JP3346452B2 - スイッチング装置及びスイッチング装置の製造方法 - Google Patents

スイッチング装置及びスイッチング装置の製造方法

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JP3346452B2
JP3346452B2 JP17013096A JP17013096A JP3346452B2 JP 3346452 B2 JP3346452 B2 JP 3346452B2 JP 17013096 A JP17013096 A JP 17013096A JP 17013096 A JP17013096 A JP 17013096A JP 3346452 B2 JP3346452 B2 JP 3346452B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はスイッチング装置及
びスイッチング装置の製造方法に関し、例えば自動車に
おいてバッテリからの電源を選択的に各負荷に供給する
スイッチング装置に適用し得る。
【0002】
【従来の技術】従来自動車においては、イグニッション
キー、ライトスイッチ、オーディオスイッチ等の操作ス
イッチの操作に応じてバッテリからの電源を選択的に各
電気部品(以下、この電気部品を負荷と呼ぶ)に供給す
るために、多数のスイッチング回路が搭載されている。
【0003】図5はその概略を示すもので、バッテリ1
がジャンクションブロック(J/B)2に接続されてい
ると共に、当該ジャンクションブロック2には操作パネ
ル3上に配設された操作スイッチSW1、SW2、……
が接続されている。ジャンクションブロック2には操作
スイッチSW1、SW2、……の数に応じたスイッチン
グ回路が設けられており、各スイッチング回路は操作ス
イッチSW1、SW2、……の操作に応じてバッテリ1
からの電源ラインと各負荷に繋がる電線との間の接続を
オン状態又はオフ状態とする。
【0004】これによりバッテリ電源はジャンクション
ブロック2を介して操作スイッチSW1、SW2、……
の操作に応じて各負荷に選択的に供給される。例えばヘ
ッドライトスイッチがオン操作された場合には、ジャン
クションブロック2でバッテリ1からの電源ラインとヘ
ッドライト4A、4Bへの電線とがオン状態とされるこ
とによりヘッドライト4A、4Bに電源が供給されヘッ
ドライト4A、4Bが点灯する。
【0005】なおヘッドライト4A、4Bのようにジャ
ンクションブロック2を介して直接負荷に電源が供給さ
れるものとは別に、例えばパワーウィンドを駆動するモ
ータ5A、5Bのようにジャンクションブロック2から
出力される電源をスイッチング回路6A、6Bを介して
供給するものもある。このスイッチング回路5A、5B
は操作スイッチ7A、7Bによってスイッチング制御さ
れる。
【0006】実際上ジャンクションブロック2は、図6
に示すように構成されている。ジャンクションブロック
2には複数のリレーL1、L2、L3、……が設けられ
ており、これらのリレーL1、L2、L3、……は例え
ば上述したヘッドライト4A、4Bに対応するリレーL
1、L2のように直接操作スイッチSW1、SW2によ
ってオンオフが制御されて直接負荷に電流を与えるリレ
ーと、イグニッションスイッチ8の状態に応じてオンオ
フが制御されるリレーL3とがある。
【0007】このうちリレーL1、L2にはバッテリか
らヒュージブルリンク(FL)9及びヒューズF1、F
2を介してバッテリ電源が供給される。これによりバッ
テリ1とジャンクションブロック2を接続する電源ライ
ンに許容値以上の大電流が流れた場合にはヒュージブル
リンク9が溶断し、ジャンクションブロック2と各負荷
を接続する電線(ハーネス)に許容値以上の過電流が流
れた場合にはヒューズF1、F2が溶断することによ
り、電源ライン全体の発煙や発火、及び負荷に過電流が
流れるのを防止し得るようになされている。同様にリレ
ーL3にはバッテリ1からヒュージブルリンク9を介し
てバッテリ電源が供給されていると共に、当該リレーL
3の出力端はヒューズF3、F4及びリレーL4、L5
を介して各負荷5A、5Bに接続されている。
【0008】ところで、近年における半導体製造技術の
進歩に伴って、性能が良くかつ安価な半導体スイッチが
容易に手に入るようになったことにより、上述した機械
接点によって動作するリレーL1、L2、……に代えて
半導体スイッチを用いたスイッチング回路が提案されて
いる。
【0009】この種のスイッチング回路は、一般に半導
体スイッチを過電流や過熱から保護する保護機能を持っ
ており、半導体スイッチに定格電流以上の電流が流れる
ような場合または半導体スイッチが規定以上の温度まで
上昇した場合に、半導体スイッチングを強制的にオフ制
御することにより半導体スイッチを保護するようになさ
れている。
【0010】図7に、この半導体スイッチを用いたスイ
ッチング回路の一例としてインテリジェントパワースイ
ッチと呼ばれるスイッチング回路30を示す。スイッチ
ング回路30は上述した各リレーL1、L2、……に代
えて当該各リレーL1、L2、……の位置に接続され
る。例えばスイッチング回路30がリレーL1に代えて
接続された場合について説明すると、電源入力端子12
にはヒューズF1(図6)が接続され、出力端子13に
は負荷4Aが接続される。また制御信号入力端子14に
は操作スイッチSW1が接続される。なおスイッチング
回路30の場合には、実際上操作スイッチSW1がオン
操作されると制御信号入力端子14には操作スイッチS
W1からオン制御信号として例えば5〔V〕の制御電圧
INを供給し、操作スイッチSW1がオフ操作されると
制御電圧VINを供給しないような制御電圧発生部(図示
せず)が操作スイッチSW1と制御信号入力端子14の
間に配設される。
【0011】このスイッチング回路30は、半導体スイ
ッチからの出力電圧値VOUTに基づいてスイッチング回
路30の異常を外部に知らせるための異常信号出力部4
1を有する。異常信号出力部41は、図5に示すよう
に、CPU(中央処理ユニット)42を介して異常表示
部43に接続されており、スイッチング回路30の半導
体スイッチ32に過電圧の電源電圧が印加されたり、過
電流が流れたり、または過熱した場合に、スイッチング
回路30の保護機能が働いて半導体スイッチ32が強制
的にオフ制御されると、これを検出して異常信号をCP
U42に送出する。そしてCPU42はこの異常信号に
基づいてどのスイッチング回路30にどのような異常が
発生したかを判断し、その結果を異常表示部43に表示
させる。
【0012】以下、このインテリジェントパワースイッ
チ構成でなるスイッチング回路30の構成を説明する。
スイッチング回路30はヒューズF1(図6)に接続さ
れた入力端子12を介して電源電圧VBをπMOS−F
ET32に与えると共に、このπMOS−FET32の
オンオフ制御をドライバ33によって行う。
【0013】またスイッチング回路30には、電源電圧
Bが過電圧である場合にこれを検出する過電圧検出回
路34と、πMOS−FET32のドレイン−ソース間
に流れる電流値に基づく電圧値を基準電圧発生回路33
Aからの基準電圧Vref と比較することにより過電流を
検出する電流検出回路35と、πMOS−FET32の
近傍に設けられた温度センサ(図示せず)により得れる
温度電圧値VTを基準電圧Vref と比較することにより
πMOS−FET32の過熱を検出する温度検出回路3
6とが設けられ、これら各検出回路34、35、36の
検出結果が論理和否定回路37に入力される。また論理
和否定回路37には制御電圧VINがインバータ38を介
して入力される。
【0014】論理和否定回路37の出力はドライバ33
及びチャージポンプ39に与えられる。チャージポンプ
39は論理和否定回路37の出力が正論理のときだけ動
作し、レギュレータ40によって安定化された電源電圧
DDの電圧を上昇させることによりπMOS−FET3
2をオン動作させるのに必要な駆動電圧を生成し、これ
をドライバ33に供給する。ドライバ33は論理和否定
回路37の出力が正論理である場合にはチャージポンプ
39により形成された駆動電圧をπMOS−FET32
のゲートに印加することによりπMOS−FET32を
オン動作させ、一方論理和否定回路37の出力が負論理
である場合にはπMOS−FET32のゲートには上記
駆動電圧を印加せずにπMOS−FET32をオフ動作
させる。
【0015】またスイッチング回路30では、出力電圧
OUTをインバータ44を介して異常信号出力部41に
供給する。異常信号出力部41はnチャンネルMOS−
FET41Aを有し、πMOS−FET32がオン制御
され出力電圧VOUTが高電圧となっている場合にはMO
S−FET41Aはオフ動作する。これに対してπMO
S−FET32がオフ制御され出力電圧VOUTが低電圧
となっている場合にはMOS−FET41Aはオン動作
する。またMOS−FET41Aのドレイン端子41B
はプルアップされている。
【0016】従ってCPU42(図5)では、MOS−
FET41Aのドレイン端子41B及びソース端子41
C間に電位差がない場合にはスイッチング回路30には
保護機能が働いていない(すなわち異常無し)と判断で
き、これに対してドレイン端子41B及びソース端子4
1C間に電位差がある場合にはスイッチング回路30に
は保護機能が働いている(すなわち異常有り)と判断で
きる。
【0017】なおスイッチング回路30は、1チップ構
成となっている。
【0018】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うなスイッチング回路30のように半導体スイッチを用
いたスイッチング回路では、半導体スイッチ(πMOS
−FET)32に5〜50〔A〕程度の電源電流が流れ
るため当該半導体スイッチ32の温度が上昇し、その熱
が半導体スイッチ32以外の回路部分にまで伝導するこ
とになる。
【0019】その結果、実質的に半導体スイッチ32の
オンオフを制御する機能を果たす回路部分(図7におけ
るドライバ33、過電流検出回路34、電流検出回路3
5等(以下この回路部分を半導体スイッチを過電流や過
熱から保護する機能を有するので保護回路と呼ぶ。))
の温度が上昇することにより、当該保護回路の動作が劣
化したり、さらには誤動作したりする可能性が生じる。
【0020】このように保護回路の性能が劣化するとい
うことは、そのスイッチング回路から電源の供給を受け
る負荷の誤動作に直接つながるため、そのスイッチング
回路を用いた装置全体の信頼性を低下させる問題があっ
た。
【0021】ここでこのような半導体スイッチによる熱
の影響を比較的受けにくいインテリジェントパワースイ
ッチとして、図8に示すようなインテリジェントパワー
スイッチ45が提案されている。インテリジェントパワ
ースイッチ45は、半導体スイッチが形成された半導体
チップ46と、保護回路が形成された半導体チップ47
とが別チップ化されていることにより、半導体スイッチ
から発生した熱が保護回路に伝導しにくい構成となって
いる。
【0022】またインテリジェントパワースイッチ45
においては、半導体スイッチが形成された半導体チップ
46が保護回路が形成された半導体チップ47と共に放
熱フィン49に取り付けられているため、半導体スイッ
チから発生する熱を有効に放熱できるようになってい
る。
【0023】しかしながら、図8に示すようなインテリ
ジェントパワースイッチ45を用いたとしても、半導体
スイッチから発生する熱による保護回路への悪影響を十
分に防止できるとは言い得なかった。
【0024】さらに自動車等においては、非常に多数の
インテリジェントパワースイッチを用いることになるた
め、例えば図8のような構成のインテリジェントパワー
スイッチ45を用いた場合には、決められた位置に図8
に示すようなユニットを一つ一つ取り付けていかなけれ
ばならず、非常に煩雑な手間がかかる問題があった。ま
たユニット数も非常に膨大になる問題もある。
【0025】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、半導体スイッチの発熱による悪影響を一段と低減す
ることによりスイッチングの信頼性を向上させ、さらに
はユニット数を低減させることによりユニットの取り扱
い及び取り付けを容易化し得るスイッチング装置及びス
イッチング装置の製造方法を提案しようとするものであ
る。
【0026】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明により成された請求項1記載のスイッチング装置
は、制御入力端子に入力されるオン制御することを示す
制御信号によってオンされて電源を出力端子に接続され
た負荷に供給する半導体スイッチと、当該半導体スイッ
チに過電流が流れた場合及び又は当該半導体スイッチが
過熱した場合に制御入力端子に信号を出力して当該半導
体スイッチをオフ制御することにより、当該半導体スイ
ッチを保護する保護回路とを有するスイッチング装置に
おいて、半導体スイッチは、制御入力端子に制御信号が
入力されている場合でも、当該半導体スイッチが過熱し
た場合には、制御入力端子への駆動電圧の供給が停止さ
れて、強制的にオフ制御され、半導体スイッチと、保護
回路とが別の半導体チップ上に形成されており、半導体
スイッチが形成された半導体チップには、半導体スイッ
チの温度を検出し当該検出結果を保護回路に与える温度
検出手段が、半導体スイッチと対になって形成されてお
り、半導体スイッチが形成された半導体チップと、保護
回路が形成された半導体チップは、それぞれ別のパッケ
ージ内に収納されているようにする。
【0027】以上の構成において、半導体スイッチと保
護回路がパッケージによって分離されているため、半導
体スイッチで発生した熱が保護回路に伝導し難くなる。
また、温度検出手段は半導体スイッチと同一の半導体チ
ップ上で半導体スイッチの温度を検出することになるた
め半導体スイッチの温度を正確に検出できるようにな
る。この結果保護回路による過熱保護動作が半導体スイ
ッチの温度が正確に反映された良好なものとなる。
【0028】また上記課題を解決するため本発明により
成された請求項2記載のスイッチング装置は、半導体ス
イッチは、一旦、当該半導体スイッチが過熱してオフ制
御されると、オン制御することを示す次の制御信号が到
来するまでは、オフされ続けるようにする。
【0029】以上の構成において、過熱防止回路をラッ
チ構成としたことにより、負荷に対して安定的に電源が
供給されるようになる。
【0030】また上記課題を解決するため本発明により
成された請求項3記載のスイッチング装置は、半導体ス
イッチが形成された半導体チップを収納するパッケージ
内には、半導体スイッチが形成された半導体チップが複
数収納されていると共に、保護回路が形成された半導体
チップを収納するパッケージ内には、保護回路が形成さ
れた半導体チップが複数収納されているようにする。
【0031】以上の構成において、半導体スイッチとこ
れに対応する保護回路を一つずつ集めてユニット化(パ
ッケージ化)する場合に比して、格段にユニット(パッ
ケージ)の数を低減させることができる。例えば10個
の負荷を駆動させるための半導体スイッチ及び保護回路
を図8に示すような従来の構成によって実現しようとし
た場合には、ユニット数は合計10個となってしまう。
これに対して本請求項によれば、合計2個のユニット
(パッケージ)で10個さらにはそれ以上の負荷を駆動
させることができるようになる。この結果ユニットの取
り扱い及び取り付けが容易になる。
【0032】また上記課題を解決するため本発明により
成された請求項4記載のスイッチング装置は、半導体ス
イッチが形成された半導体チップには、同一チップ内に
複数の半導体スイッチが形成されているようにする。
【0033】以上の構成において、一つのパッケージ内
に一つの半導体チップをパッケージングするだけで、一
つのパッケージ内に複数の半導体スイッチをパッケージ
ングしたことになり、複数の半導体スイッチを一つのパ
ッケージ内に収納する際の作業性を向上し得る。
【0034】また上記課題を解決するため本発明により
成された請求項5記載のスイッチング装置は、保護回路
が形成された半導体チップには、同一チップ内に複数の
保護回路が形成されているようにする。
【0035】以上の構成において、一つのパッケージ内
に一つの半導体チップをパッケージングするだけで、一
つのパッケージ内に複数の保護回路をパッケージングし
たことになり、複数の保護回路を一つのパッケージ内に
収納する際の作業性を向上し得る。
【0036】また上記課題を解決するため本発明により
成された請求項6記載のスイッチング装置は、半導体ス
イッチが形成された半導体チップには、同一チップ内に
複数の半導体スイッチが形成されていると共に、保護回
路が形成された半導体チップには、同一チップ内に複数
の保護回路が形成されているようにする。
【0037】以上の構成において、複数の半導体スイッ
チを一つのパッケージ内に収納する際の作業性を向上し
得ると共に、複数の保護回路を一つのパッケージ内に収
納する際の作業性を向上し得る。
【0038】また上記課題を解決するため本発明により
成された請求項7記載のスイッチング装置は、制御入力
端子に入力されるオン制御することを示す制御信号によ
ってオンされて電源を出力端子に接続された負荷に供給
する半導体スイッチを複数設けると共に、当該各半導体
スイッチに過電流が流れた場合及び又は当該半導体スイ
ッチが過熱した場合に制御入力端子に信号を出力して半
導体スイッチをオフ制御することにより、半導体スイッ
チをそれぞれ保護する保護回路を複数設けてなるスイッ
チング装置において、半導体スイッチは、制御入力端子
に制御信号が入力されている場合でも、当該半導体スイ
ッチが過熱した場合には、制御入力端子への駆動電圧の
供給が停止されて、強制的にオフ制御され、複数の半導
体スイッチと、複数の保護回路とが別の半導体チップ上
に形成されていると共に、半導体スイッチが形成された
半導体チップには、半導体スイッチの温度を検出し当該
検出結果を保護回路に与える温度検出手段が、半導体ス
イッチと対になって形成されており、複数の半導体スイ
ッチが形成された単数又は複数の半導体チップは一つの
放熱フィンに取り付けられているようにする。
【0039】以上の構成において、複数の半導体スイッ
チがまとめて一つの放熱フィンに取り付けられているた
め、半導体スイッチから発生する熱をまとめて一箇所で
処理できるようになり、放熱処理がし易くなると共に、
保護回路等への熱の伝導を抑制できる。また全ての半導
体スイッチが同時にオン制御される場合は希なので、実
際に発熱している半導体スイッチに対する放熱フィンの
割合を大きくすることができ、この分放熱効率を上げる
ことができる。また、温度検出手段は半導体スイッチと
同一の半導体チップ上で半導体スイッチの温度を検出す
ることになるため半導体スイッチの温度を正確に検出で
きるようになる。この結果保護回路による過熱保護動作
が半導体スイッチの温度が正確に反映された良好なもの
となる。
【0040】また上記課題を解決するため本発明により
成された請求項8記載のスイッチング装置は、負荷は、
複数の半導体スイッチにそれぞれ接続された複数の車載
機器であるようにする。
【0041】以上の構成において、それぞれ保護回路が
形成された多数の半導体チップを1ユニット(1パッケ
ージ)として取り扱うことができるようになり、自動車
等のように多数の保護回路が必要となる場合における当
該保護回路の取り扱いを簡単化できると共に回路基盤へ
の取り付け作業を簡単化できる。
【0042】また上記課題を解決するため本発明により
成された請求項9記載のスイッチング装置の製造方法
は、制御入力端子に入力されるオン制御することを示す
制御信号によってオンされて電源を出力端子に接続され
た負荷に供給する半導体スイッチと、当該半導体スイッ
チに過電流が流れた場合及び又は当該半導体スイッチが
過熱した場合には、制御入力端子に制御信号が入力され
ている場合でも、制御入力端子への駆動電圧の供給を停
止させて、当該半導体スイッチを強制的にオフ制御する
ことにより、当該半導体スイッチを保護する保護回路と
を有するスイッチング装置の製造方法において、第1の
半導体ウェハ上で複数の半導体スイッチを形成した後、
それらを切断することにより複数の半導体チップを形成
する工程と、第2の半導体ウェハ上で、全て同一の構成
でなる複数の保護回路を形成した後、それらを切断する
ことにより複数の半導体チップを形成する工程と、半導
体スイッチが形成された複数の半導体チップを一つの放
熱フィンに取り付ける工程と、複数の半導体スイッチ
と、複数の保護回路とを電気的に接続する工程と、複数
の保護回路が形成された半導体チップにおいて、複数の
保護回路に対してそれぞれ過電流の検出のためのボリュ
ーム調整を行う工程とを具えるようにする。
【0043】この結果、構成及びチップ面積の同じ半導
体スイッチを同一の半導体ウェハ上で形成すると共に、
構成及びチップ面積の同じ保護回路を同一の半導体ウェ
ハ上で形成することになるため、半導体ウェハの面積を
有効に利用できるようになり、製造上の歩留まりが向上
する。また、同一の半導体ウェハ上で全て同一の構成で
かつチップ面積が同じ多数の保護回路を形成した後、半
導体スイッチの容量に応じて過電流の検出のためのボリ
ューム調整ができるようになるため、保護回路を製造す
る際の歩留まりを低下させずに各半導体スイッチに適合
した保護回路を製造することができる。
【0044】また上記課題を解決するため本発明により
成された請求項10記載のスイッチング装置の製造方法
は、半導体スイッチが形成された半導体チップ及び保護
回路が形成された半導体チップをそれぞれ別のパッケー
ジに収納する工程と、半導体スイッチのパッケージの端
子と保護回路のパッケージの端子とを電気的に接続する
工程とを具えるようにする。
【0045】この結果、半導体スイッチと保護回路とは
それぞれパッケージによって覆われることになるため、
半導体スイッチに電流を流したときに半導体スイッチか
ら発生する熱の保護回路への伝導が一段と抑制されるス
イッチング装置を実現できる。
【0046】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態の具体
例を図面を参照して説明する。 (1)基本構成 図1に、本発明によるスイッチング装置50の基本構成
を示す。図1の例では、本発明のスイッチング装置50
を自動車のジャンクションブロック(J/B)51内に
設けた場合について説明する。
【0047】スイッチング装置50は、電源52と各負
荷53A〜53Xとの間にそれぞれ接続されオンオフ動
作に応じて各負荷53A〜53Xに電源を選択的に供給
する半導体スイッチを有する半導体スイッチ部54A〜
54Xと、当該各半導体スイッチ部54A〜54X内に
設けられた半導体スイッチを過電流や過熱から保護する
ように各半導体スイッチをオンオフ制御する保護回路5
5A〜55Xとがそれぞれ別のチップ上に形成されてい
る。これによりスイッチング装置50においては、半導
体スイッチから発生する熱の保護回路55A〜55Xへ
の伝導を抑制することができ、この結果保護回路55A
〜55Xの熱による劣化や誤動作を防止することができ
る。
【0048】ここでそれぞれが1チップで構成された複
数の保護回路55A〜55Xは、一つのパッケージ56
内にまとめてパッケージングされている。またそれぞれ
が1チップで構成された各半導体スイッチ部54A〜5
4Xはそれぞれがパッケージングされており、当該パッ
ケージングされた複数の半導体スイッチ部54A〜54
Xが一つの放熱フィン57上にまとめて取り付けられて
いる。
【0049】これによりスイッチング装置50において
は、半導体スイッチ部54A〜54Xの半導体スイッチ
から発生する熱の保護回路55A〜 55Xへの伝導を
一段と抑制し得ると共に、半導体スイッチ部54A〜5
4Xから発生する熱を放熱フィン57を介して外部に放
熱することができるので半導体スイッチの過熱自体を抑
制することができる。
【0050】次にスイッチング装置50の全体構成につ
いて説明する。インターフェース(I/F)59には、
各負荷53A、53B、53C、……、53Xに対応し
た操作スイッチ(図示せず)からのスイッチング制御信
号S1が入力され、これがマイコン60に供給される。
【0051】マイコン60は各負荷53A、53B、5
3C、……、53Xに対応した操作スイッチからのスイ
ッチング制御信号S1(以下、これを単に制御信号S1
と呼ぶ)を、対応する保護回路55A、55B、55
C、……、55Xに送出する。ここで例えば保護回路5
5A、半導体スイッチ部54A及びシャント抵抗58A
は負荷53Aに対応しており、保護回路55X、半導体
スイッチ部54X及びシャント抵抗58Xは負荷53X
に対応している。
【0052】ここでマイコン60、保護回路55A、半
導体スイッチ部54A、シャント抵抗58A及び負荷5
3Aの関係は、マイコン60、保護回路55B〜55
X、半導体スイッチ部54B〜54X、シャント抵抗5
8B〜58X及び負荷53B〜53Xの関係と同様なの
で、以下の説明ではマイコン60、保護回路55A、半
導体スイッチ部54A、シャント抵抗58A及び負荷5
3Aの関係のみを説明する。
【0053】保護回路55Aはレギュレータ61から安
定化された電源電圧VDDを入力すると共に、チャージポ
ンプ62によって昇圧された電源電圧VCを入力し、マ
イコン60から入力される制御信号S1Aに応じて、昇
圧された電源電圧VCを半導体スイッチ部54A内の半
導体スイッチのゲートに選択的に印加することによりそ
の半導体スイッチをオンオフ制御する。
【0054】また保護回路55Aは、半導体スイッチ部
54A内に設けられた温度検出回路から当該半導体スイ
ッチ部54Aの温度を表す温度情報VTを入力すると共
に、シャント抵抗58Aから半導体スイッチ部54Aを
流れる電流の大きさを表す電流値情報SI0を入力するこ
とにより、半導体スイッチが過熱状態にあるか否かを検
出すると共に、半導体スイッチに過電流が流れているか
否かを検出する。
【0055】そして、半導体スイッチが過熱状態にある
場合、または半導体スイッチに過電流が流れている場合
には、マイコン60から半導体スイッチをオン制御する
ことを表す制御信号S1Aが入力されている場合でも、
半導体スイッチのゲートへの駆動電圧(すなわち昇圧さ
れた電源電圧VC)の供給を停止することにより、半導
体スイッチを過熱及び過電流から保護する。
【0056】またシャント抵抗58Aから得られる電流
値情報SI0は保護回路55Aによって電圧変換された後
マイコン60に送出され、マイコン60はこの電圧値に
基づいて現在負荷53Aに電源が供給されているか否か
を判断する。ここで保護回路55Aにスイッチオンを指
令する制御信号S1Aを送出しているにも拘わらず負荷
53Aに電源が供給されていない判断結果が得られると
いうことは、保護回路55Aによる保護機能が働いて半
導体スイッチ部53A内の半導体スイッチがオフ状態と
されているか又は負荷53Aがオープン状態となってい
ることを意味し、このような場合マイコン60はインタ
ーフェース59を介して異常信号S2を送出することに
よりそのことを例えばインジケータランプ等でなる異常
表示部(図示せず)に通知する。
【0057】半導体スイッチ53A内の半導体スイッチ
は保護回路55Aからの駆動電圧によってオンオフが制
御されて、オン制御された場合には、ノイズ除去回路6
3を介して入力した電源をそのまま出力する。半導体ス
イッチ部53Aから出力された電源はシャント抵抗58
Aを介して負荷53Aに供給される。
【0058】ここでシャント抵抗58Aは抵抗値が10
〔mΩ〕、抵抗許容値が±5〔%〕程度のものが用いら
れており、ワンチップ化された拡散抵抗やポリシリコン
抵抗により構成されている。そして複数のチップ化され
たシャント抵抗58A〜58Xが1つのパッケージ64
内にパッケージングされている。
【0059】(2)スイッチング装置の詳細構成 次にこの実施形態でのスイッチング装置50の詳細構成
を、図2を用いて説明する。図2では、図1中の複数の
保護回路55A〜55X、半導体スイッチ部54A〜5
4X、シャント抵抗58A〜58X及び負荷53A〜5
3Xのうち、負荷53Aに対応する保護回路55A、半
導体スイッチ部54A、シャント抵抗58Aを他を代表
して説明する。
【0060】ここで図に示すように、この実施形態の場
合、半導体スイッチ部54A内には半導体スイッチとし
てパワーMOS−FET110が形成されている。また
上述したように保護回路55A、半導体スイッチ部54
A及びシャント抵抗58Aはそれぞれ別チップ上に形成
されている。
【0061】保護回路55Aは、大きく分けて、シャン
ト抵抗58Aの両端電圧に基づいてパワーMOS−FE
T110を流れる電流値I0 を検出する電流検出回路7
0と、電流検出回路70から得られた電流に応じた電圧
値とMOS−FET110の定格電流に対応した基準電
圧とを比較することによりMOS−FET110に過電
流が流れているか否かを検出する過電流検出回路71
と、過電流検出回路71の検出結果と制御信号S1Aと
の論理積に応じてMOS−FET110のゲートに駆動
電圧を選択的に供給する論理積回路72と、温度検出回
路111から得られるMOS−FET110の温度に応
じた検出電圧(上述した温度情報VTに相当する)と基
準電圧とを比較することによりMOS−FET110が
過熱状態であるか否かを検出する過熱検出回路73と、
過熱検出回路73の検出結果が過熱を表すものであった
場合MOS−FET110のゲート電圧を強制的に降下
させてMOS−FET110をオフ動作させる過熱防止
回路74とにより構成されている。
【0062】電流検出回路70はシャント抵抗58Aを
流れる電流値I0 をシャント抵抗58Aの両端電圧を基
に求める。すなわち電流検出回路70はシャント抵抗5
8Aの一端の電圧を入力端子105、分圧抵抗R1及び
R2を介して差動増幅回路75の非反転入力端に入力す
ると共に、シャント抵抗58Aの他端の電圧を入力端子
106、入力抵抗R3 を介して差動増幅回路75の反転
入力端に入力し、かつ差動増幅回路75の反転入力端と
出力端とを抵抗R4 を介して接続することにより、MO
S−FET110からの出力電流値I0 に応じた電圧値
を出力し得るようになされている。この電流検出回路7
0の検出電圧は出力端子107を介してマイコン60に
送出される。
【0063】過電流検出回路71は、コンパレータ76
の非反転入力端に電流検出回路70からの検出電圧値を
入力すると共に反転入力端に基準電圧発生器77によっ
て生成されたMOS−FET110の定格電流に対応し
た基準電圧値を入力し、検出電圧値が基準電圧値以上に
なったとき出力を正電位(以下、これを正論理と呼び、
零電位を負論理と呼ぶ)を出力する。そしてコンパレー
タ76の出力をインバータ78を介して論理積回路72
に出力する。かくして過電流検出回路71はMOS−F
ET110に通常の電流が流れている場合には正論理を
出力し、これに対して過電流が流れた場合には負論理を
出力する。
【0064】論理積回路72は、論理積否定回路79に
制御信号入力端子100を介して制御信号S1Aを入力
すると共に過電流検出回路71からの論理値を入力し、
それらの論理積否定結果を求める。論理積否定回路79
の出力はインバータ80を介してバッファ81に供給さ
れる。そしてバッファ81の出力が抵抗R5 を介してM
OS−FET110のゲートに供給される。
【0065】ここで論理積回路72は、例えば制御信号
S1Aが正論理(この実施形態では正論理が5〔V〕程
度に、負論理が0〔V〕に設定されている)であり、か
つ過電流検出回路71からの出力が正論理(過電流でな
いことを表す)であった場合には、インバータ80から
正論理(この実施形態では5〔V〕の電圧値)の信号を
出力する。これに対して制御信号S1Aが正論理であ
り、かつ過電流検出回路71からの出力が負論理であっ
た場合には、インバータ80から負論理(0〔V〕)の
信号を出力する。
【0066】このように論理積回路72は、過電流検出
回路71によってMOS−FET110に過電流が流れ
たことを表す論理値が得られたとき、または制御信号S
1AがMOS−FET110をオフ動作させるための信
号であったときに負論理の信号を出力する。
【0067】またバッファ81には端子102を介して
チャージポンプ62によって生成された駆動電圧VCが
供給され、これによりMOS−FET110のゲートに
は当該MOS−FET110をオン動作させようとする
場合に必要な電圧値が確保される。すなわちこの例の場
合、インバータ80からの正論理出力は5〔V〕に設定
され、これがバッファ81によって12〔V〕だけレベ
ルシフトされる結果バッファ出力は17〔V〕となる。
なおこの実施形態での電源電圧VBは12〔V〕であ
る。
【0068】従って、インバータ出力が正論理の場合に
はMOS−FET110のゲートには17〔V〕の電圧
が印加されるためMOS−FET110は正常にオン動
作する。これに対してインバータ出力が負論理の場合に
はバッファ81出力は接地電位とされ、この結果ゲート
−ソース間に電位差が得られないのでMOS−FET1
10はオフ動作する。なおMOS−FET110のゲー
ト及びソース間にはダイオード82及びツェナダイオー
ド83が接続されており、これによりゲートに必要以上
の過電圧が印加されようとした場合にこれをバイパスさ
せることができMOS−FET110の損傷を防止する
ことができる。
【0069】過熱検出回路73はコンパレータ85の反
転入力端に半導体スイッチ部54Aの温度検出回路11
1が接続されていると共に非反転入力端に基準電圧発生
器86が接続されている。
【0070】従って過熱検出回路73では、MOS−F
ET110の温度が高くなるに伴って温度検出回路11
1を構成するダイオードの抵抗値が低くなることにより
コンパレータ85の反転入力端の電位が下がっていき、
やがて反転入力端の電位が基準電位よりも低くなったと
きに、コンパレータ85から正論理を出力する。例えば
MOS−FET110の温度が150〔°〕以上のとき
に正論理を出力するように設定されている。そしてこの
コンパレータ85の論理出力がインバータ87を介して
過熱防止回路74に送出される。
【0071】過熱防止回路74は、大きく分けて、過熱
検出回路73から与えられる論理値及び制御信号S1A
に基づいて動作するJKフリップフロップ88と、当該
JKフリップフロップ88の出力に基づいてオンオフ動
作することによりメインのMOS−FET110のゲー
ト電圧を変化させてパワーMOS−FET110をオン
オフ制御するMOS−FET89とにより構成されてい
る。
【0072】因みに、パワーMOS−FET110とM
OS−FET89との容量を比較すると、パワーMOS
−FET110の定格電流は10[A]程度に選定され
ているのに対してMOS−FET89の定格電流は10
[mA]程度に選定されており、その回路面積もパワー
MOS−FET110を1とするとMOS−FET89
はその1/1000程度である。
【0073】過熱防止回路74を具体的に説明すると、
JKフリップフロップ88のクロック入力CLには過熱
検出回路73の論理出力が入力されていると共に、リセ
ット入力RにはトランジスタTr1 のコレクタが接続さ
れている。ここでトランジスタTr1 のベースには制御
信号S1Aがワンショットマルチバイブレータ90を介
して入力されるようになされており、制御信号S1Aが
負論理から正論理に変化すると、ワンショットマルチバ
イブレータ90の出力パルスが立ち上がることによりト
ランジスタTr1 のコレクタからエミッタに電流が流
れ、この結果リセット入力Rの電位が立ち下がることに
よりJKフリップフロップ90がリセットされる。また
JKフリップフロップ90のJ入力にはレギュレータ6
1によって安定化された電源電圧VDDが入力端子101
を介して入力されていると共に、K入力及びセット入力
Sは接地されている。
【0074】ここでJKフリップフロップ88の動作
を、図3を用いて説明する。すなわち時点t1 において
制御信号S1Aが正論理になると(図3(A))、ワン
ショットマルチバイブレータ90の出力パルスが立ち上
がってトランジスタTr1 のベース電位が上がることに
より出力パネルに応じたパルス幅のリセットパルス(図
3(C))がリセット入力Rに入力され、JKフリップ
フロップ88がリセット状態とされる。
【0075】この状態において、時点t2 でMOS−F
ET110の温度が所定値以上となると、過熱検出回路
73からクロック入力CLに入力される論理出力が正論
理(図3(B))になり、この結果Q出力が正論理とな
る。次に時点t3 において入力制御信号S1Aが負論理
になったり、時点t4 で過熱検出回路73からクロック
入力CLに入力される論理出力が負論理になってもJK
フリップフロップ88はこの状態を保持しQ出力として
正論理を出力し続ける。やがて時点t5 において、再び
制御信号S1Aが負論理から正論理になり、リセット入
力Rにリセットパルスが入力されると、Q出力は正論理
から負論理に反転する(図3(D))。
【0076】このようにJKフリップフロップ88は、
制御信号S1Aが正論理の状態で過熱検出回路73の出
力が正論理となったとき初めて正論理のQ出力を出力
し、この後過熱検出回路73の出力が負論理になっても
この状態を維持する。ここで過熱防止回路74をラッチ
構成とし、一旦MOS−FET110が所定温度以上に
なると次にMOS−FET110をオン制御させるため
の制御信号S1Aが到来するまでMOS−FET110
をオフさせ続けるのは次の理由による。
【0077】すなわち過熱防止回路74をラッチ構成と
せずに温度検出結果に基づき実時間でMOS−FET1
10のオンオフを制御しようとすると、MOS−FET
110が所定温度以上になりMOS−FET110をオ
フ制御すると間もなくMOS−FET110の温度が下
がるのでMOS−FET110がオン制御される。そし
て再びMOS−FET110の温度が上昇するとMOS
−FET110がオフ制御される。そしてこのようなオ
ンオフが短時間の何度も繰り返されるようになると負荷
53Aに対して不安定な電源が供給されることになるた
め、制御信号S1Aが一旦負論理とされ再び正論理とさ
れたときに初めてMOS−FET110をオン状態に復
帰させるようになっている。
【0078】JKフリップフロップ88のQ出力は、上
述したバッファ81と同様にチャージポンプ62の出力
が供給され入力を12〔V〕だけレベルシフトさせるバ
ッファ91を介してMOS−FET89のゲートに供給
される。この結果、Q出力が正論理(5〔V〕)の場合
にはMOS−FET89のゲートには17〔V〕の電圧
が印加されるためMOS−FET89はオン状態とされ
る。これに対してQ出力が負論理(0〔V〕)の場合に
はMOS−FET89のゲートには接地電位しか印加さ
れないのでMOS−FET89はオフ状態となる。
【0079】ここでMOS−FET89がオン状態とさ
れたときにはMOS−FET110のゲートは接地電位
となる結果、MOS−FET110は論理積回路72か
らの論理出力に係わらず強制的にオフ状態にされる。こ
れに対してMOS−FET89がオフ状態とされたとき
にはMOS−FET110のゲート電位は論理積回路7
2からの論理出力に応じた値となる。
【0080】かくして過熱検出回路73及び過熱防止回
路74においては、少なくともMOS−FET110の
温度が所定値以上になっている期間は、MOS−FET
110のスイッチング状態を強制的にオフ状態とするこ
とができることにより、MOS−FET110の過熱に
よる損傷を未然に回避できる。
【0081】(3)スイッチング装置の製造方法 次に図4を用いて本発明によるスイッチング装置の製造
方法について説明する。先ず図4(A)に示すように、
シリコン基盤上で順次、酸化膜成長処理、ドレイン及び
ソース拡散処理、ゲート酸化膜成長処理及び電極金属成
長処理を施すことにより、多数のパワーMOS−FET
110とこれに隣接するように温度検出回路111が形
成された半導体ウェハ200を作成する。
【0082】次に半導体ウェハ200をダイシングやス
クライビングによって切断することにより、チップ状の
半導体スイッチ部54A〜54Xを作成する。次に半導
体スイッチ部54A〜54Xをそれぞれパッケージング
した後、各パッケージ201A〜201Xを一つの放熱
フィン202上にまとめて取り付ける。
【0083】このように複数の半導体スイッチ部54A
〜54Xをまとめて一つの放熱フィン202に取り付け
るようにしたことにより、半導体スイッチ部54A〜5
4Xから発生する熱をまとめて一箇所で処理できるよう
になり、放熱処理がし易くなる。また保護回路55A〜
55Xと全く別の場所で放熱処理ができるため保護回路
55A〜55Xへの熱の伝導を抑制できる。また半導体
スイッチ部54A〜54Xの全てのパワーMOS−FE
T110が同時にオン制御される場合は希なので、実際
に発熱している半導体スイッチ部54A〜54Xに対す
る放熱フィン202の割合を大きくすることができ、こ
の分放熱効率を上げることができる。
【0084】また図4(B)に示すように、シリコン基
盤状で、薄膜形成、フォトレジスト形成、露光、エッチ
ング及びアルミニウム配線形成処理等を施すことによ
り、多数の保護回路が形成された半導体ウェハ300を
作成する。次にこの半導体ウェハ300をダイシングや
スクライビングによって切断することにより、チップ状
の保護回路55A〜55Xを作成する。次にこの多数の
チップ状の保護回路55A〜55Xをまとめて1つのパ
ッケージ56内にパッケージングする。
【0085】このように多数のチップ状の保護回路55
A〜55Xをまとめて1つのパッケージ56内にパッケ
ージングするようにしたことにより、それぞれ保護回路
が形成された多数の半導体チップを1ユニット(1パッ
ケージ)として取り扱うことができるようになり、取り
扱いを簡単化できると共にその後の回路基盤への取り付
け作業を簡単化できる。
【0086】次に図4(C)に示すように、回路基盤4
00の所定位置にパッケージ201A〜201Xが取り
付けられた放熱フィン202及びパッケージ56をそれ
ぞれ取り付ける。これによりパッケージ201A〜20
1X内の半導体スイッチ部54A〜54Xと、パッケー
ジ56内のこれに対応する保護回路55A〜55Xとが
回路基盤400上に形成された配線401によって接続
される。
【0087】このようにこの実施形態では、半導体スイ
ッチ部54A〜54Xと保護回路55A〜55Xとを別
チップとし、さらにパワーMOS−FET110を有す
る半導体スイッチ部54A〜54Xを同一の半導体ウェ
ハ200上で形成し、かつ保護回路55A〜55Xを同
一の半導体ウェハ300上で形成するようにしたことに
より、各半導体ウェハ200、300の面積を有効利用
できパワーMOS−FET及び保護回路の製造上の歩留
まりを向上させることができる。
【0088】因みに、自動車のようにそれぞれ容量の異
なる多数の負荷が設けられている場合にあっては、それ
に応じて容量の異なるパワーMOS−FETを用意する
必要がある。このような場合には、同じ容量のパワーM
OS−FETを同一の半導体ウェハ上で形成するように
すれば、一段と歩留まりを向上させることができる。
【0089】実際上、このようにパワーMOS−FET
の容量が異なる場合には各パワーMOS−FETにおい
て過電流の程度が異なる。すなわち容量の大きなパワー
MOS−FETほど大きな電流を流すことができる。
【0090】そのため、パワーMOS−FETの容量に
応じてそのパワーMOS−FETのための保護回路の構
成も変える必要があるが、この実施形態では同一の半導
体ウェハ上で全て同一の構成でなる保護回路を形成し、
チップに切断した後、過電流検出回路71(図2)の基
準電圧発生器77のボリュームをパワーMOS−FET
の容量に合わせて調整する。これにより、保護回路を製
造する際の歩留まりを低下させずに各パワーMOS−F
ETに適合した保護回路を製造することができるように
なる。
【0091】(4)効果 以上の構成によれば、半導体スイッチ部54A〜54X
と、当該半導体スイッチ部54A〜54Xの温度及び電
流状態を監視して半導体スイッチ部54A〜54Xが過
熱や過電流によって損傷しないように半導体スイッチ部
54A〜54Xを制御する保護回路55A〜55Xと
を、それぞれ別チップ構成とし、さらにそれらを別のパ
ッケージ内に収納するようにしたことにより、半導体ス
イッチ部54A〜54Xで発生する熱の保護回路55A
〜55Xへの伝導を抑制することができ、この結果誤動
作の少ない信頼性の高いスイッチング装置50を実現し
得る。
【0092】また半導体スイッチ部54A〜54Xを構
成する半導体チップ上に半導体スイッチと共に当該半導
体スイッチの温度を検出する温度検出回路111を形成
するようにしたことにより、半導体スイッチの温度を正
確に検出できるようになる。この結果保護回路による過
熱保護動作を半導体スイッチの温度が正確に反映された
良好なものとすることができる。
【0093】また多数のチップ状の保護回路55A〜5
5Xをまとめて1つのパッケージ56内にパッケージン
グするようにしたことにより、それぞれ保護回路が形成
された多数の半導体チップを1ユニット(1パッケー
ジ)として取り扱うことができるようになり、自動車等
のように多数の保護回路55A〜55Xが必要となる場
合における当該保護回路55A〜55Xの取り扱いを簡
単化できると共に回路基盤への取り付け作業を簡単化で
きる。
【0094】さらに複数の半導体スイッチ部54A〜5
4Xをまとめて一つの放熱フィン202に取り付けるよ
うにしたことにより、半導体スイッチ部54A〜54X
から発生する熱をまとめて一箇所で処理できるようにな
り、放熱処理がし易くなると共に放熱効率を上げること
ができる。
【0095】また半導体スイッチ部54A〜54Xを同
一の半導体ウェハ200上で作成すると共に、保護回路
55A〜55Xを同一の半導体ウェハ300上で形成
し、それらの半導体ウェハ200及び300を切断する
ことで半導体スイッチチップ及び保護回路チップを形成
した後、それらのチップを互いに接続するようにしたこ
とにより、製造上の歩留まりを向上させることができ
る。
【0096】(5)他の実施形態 なお上述の実施形態では、本発明によるスイッチング装
置を、図1に示すような構成のスイッチング装置50、
及び図2に示すような保護回路55Aを例にとって説明
したが、本発明はこれに限らず、要はインテリジェント
パワースイッチに代表されるような、半導体スイッチ
と、当該半導体スイッチを過電流や過熱から保護する保
護回路とを有するスイッチング装置に広く適用すること
ができる。
【0097】また上述の実施形態では、それぞれが1チ
ップ構成でなる複数の半導体スイッチ部54A〜54X
をそれぞれ別々にパッケージ(いわゆるシングルチップ
パッケージ)した後、そのパッケージ201A〜201
Xを放熱フィン202上に取り付ける場合について述べ
たが、本発明はこれに限らず、複数の半導体スイッチ部
54A〜54Xを集めて放熱フィンが設けられたパッケ
ージ内にまとめてパッケージする(いわゆるマルチチッ
プパッケージ)するようにしてもよい。
【0098】このようにすれば複数の保護回路チップを
1パッケージ内に収納した場合と同様に、複数の半導体
スイッチチップを1ユニットとして取り扱うことができ
るようになるため、当該複数の半導体スイッチチップの
取り扱い及び回路基盤への取り付け作業を簡単化させる
ことができる。
【0099】同様に上述の実施形態では、それぞれが1
チップ構成でなる複数の保護回路55A〜55Xを集め
て1つのパッケージ56内にまとめてパッケージ(いわ
ゆるマルチチップパッケージ)する場合について述べた
が、本発明はこれに限らず、各保護回路55A〜55X
をそれぞれ別々にパッケージ(いわゆるシングルチップ
パッケージ)するようにしてもよい。
【0100】さらに上述の実施形態では、各半導体チッ
プをパッケージ内に収納した後これらを電気的に接続す
る場合について述べたが、本発明はこれに限らず、各半
導体チップをそのままの状態で電気的に接続するように
してもよい。
【0101】さらに上述の実施形態では、各々半導体ス
イッチが形成された複数の半導体チップを一つのパッケ
ージ内に収納する場合について述べたが、本発明はこれ
に限らず、同一チップ内に複数の半導体スイッチが形成
されているような半導体チップを作成し、この半導体チ
ップをパッケージ内に収納するようにしてもよい。この
ようにすれば、一つのパッケージ内に一つの半導体チッ
プをパッケージングするだけで、一つのパッケージ内に
複数の半導体スイッチをパッケージングしたことにな
り、複数の半導体スイッチを一つのパッケージ内に収納
する際の作業性を向上し得る。
【0102】同様に、同一チップ内に複数の保護回路が
形成されているような半導体チップを作成し、この半導
体チップをパッケージ内に収納するようにしてもよい。
このようにすれば、一つのパッケージ内に一つの半導体
チップをパッケージングするだけで、一つのパッケージ
内に複数の保護回路をパッケージングしたことになり、
複数の保護回路を一つのパッケージ内に収納する際の作
業性を向上し得る。
【0103】また上述の実施形態では、本発明によるス
イッチング装置を自動車のジャンクションブロック51
に適用した場合について述べたが、本発明はこれに限ら
ず、例えばCD(コンパクトディスク)のモータに接続
されモータに適宜電源を供給するスイッチング装置等に
も適用することができる。
【0104】さらに上述の実施形態では、半導体スイッ
チとしてMOS−FET110を用いた場合について述
べたが、本発明の半導体スイッチはこれに限らず、他の
半導体スイッチを用いた場合でも上述の場合と同様の効
果を得ることができる。
【0105】
【発明の効果】上述のように請求項1に記載の発明によ
れば、制御入力端子への制御入力に応じてオンされて電
源を出力端子に接続された負荷に供給する半導体スイッ
チと、当該半導体スイッチに過電流が流れた場合及び又
は当該半導体スイッチが過熱した場合に制御入力端子に
信号を出力して当該半導体スイッチをオフ制御すること
により、当該半導体スイッチを保護する保護回路とを有
するスイッチング装置において、半導体スイッチと、保
護回路とが別の半導体チップ上に形成されており、半導
体スイッチが形成された半導体チップと、保護回路が形
成された半導体チップは、それぞれ別のパッケージ内に
収納されているようにしたことにより、半導体スイッチ
から発生する熱の保護回路への伝導を抑制し得、この結
果保護回路の熱による誤動作や劣化を低減することがで
き、スイッチングの信頼性が向上したスイッチング装置
を実現し得る。また、請求項1に記載の発明によれば、
半導体スイッチが形成された半導体チップに、半導体ス
イッチの温度を検出し当該検出結果を保護回路に与える
温度検出手段を形成するようにしたことにより、保護回
路による過熱保護動作を半導体スイッチの温度が正確に
反映された良好なものとすることができる。
【0106】また請求項2に記載の発明によれば、過熱
防止回路をラッチ構成としたことにより、負荷に対して
安定的に電源が供給されるようになる。
【0107】また請求項3に記載の発明によれば、半導
体スイッチが形成された半導体チップを収納するパッケ
ージ内には、半導体スイッチが形成された半導体チップ
が複数収納されていると共に、保護回路が形成された半
導体チップを収納するパッケージ内には、保護回路が形
成された半導体チップが複数収納されているようにした
ことにより、ユニット(パッケージ)の数を低減させる
ことができ、この結果ユニットの取り扱い及び取り付け
が容易になる。
【0108】また請求項4乃至請求項6の発明によれ
ば、複数の半導体スイッチを一つのパッケージ内に収納
する際の作業性を向上し得ると共に、複数の保護回路を
一つのパッケージ内に収納する際の作業性を向上し得
る。
【0109】また請求項7に記載の発明によれば、制御
入力端子への制御入力に応じてオンされて電源を出力端
子に接続された負荷に供給する半導体スイッチを複数設
けると共に、当該各半導体スイッチに過電流が流れた場
合及び又は当該半導体スイッチが過熱した場合に制御入
力端子に信号を出力して半導体スイッチをオフ制御する
ことにより、半導体スイッチをそれぞれ保護する保護回
路を複数設けてなるスイッチング装置において、複数の
半導体スイッチと、複数の前記保護回路とが別の半導体
チップ上に形成されていると共に、複数の半導体スイッ
チが形成された単数又は複数の半導体チップは一つの放
熱フィンに取り付けられているようにしたことにより、
放熱処理がし易くなると共に保護回路等への熱の伝導を
抑制でき、さらには放熱効率を上げることができる。さ
らに請求項7に記載の発明によれば、半導体スイッチが
形成された半導体チップに、半導体スイッチの温度を検
出し当該検出結果を保護回路に与える温度検出手段が形
成するようにしたことにより、保護回路による過熱保護
動作を半導体スイッチの温度が正確に反映された良好な
ものとすることができる。
【0110】また請求項8に記載の発明によれば、それ
ぞれ保護回路が形成された多数の半導体チップを1ユニ
ット(1パッケージ)として取り扱うことができるよう
になり、自動車等のように多数の保護回路が必要となる
場合における当該保護回路の取り扱いを簡単化できると
共に回路基盤への取り付け作業を簡単化できる。
【0111】また請求項9に記載の発明によれば、構成
及びチップ面積の同じ半導体スイッチを同一の半導体ウ
ェハ上で形成すると共に、構成及びチップ面積の同じ保
護回路を同一の半導体ウェハ上で形成することになるた
め、半導体ウェハの面積を有効に利用できるようにな
り、製造上の歩留まりを向上させることができる。さら
に請求項9に記載の発明によれば、保護回路を製造する
際の歩留まりを低下させずに各半導体スイッチに適合し
た保護回路を製造することができる。
【0112】また請求項10に記載の発明によれば、請
求項9の発明の効果に加えて、半導体スイッチから発生
する熱の保護回路への伝導を一段と抑制することができ
るスイッチング装置を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるスイッチング装置の基本構成を示
すブロック図である。
【図2】保護回路の構成を示す回路接続図である。
【図3】図2中のJKフリップフロップの動作の説明に
供するタイミングチャートである。
【図4】本発明によるスイッチング装置の製造方法の説
明に供する略線図である。
【図5】自動車における各負荷への電源供給の説明に供
する略線図である。
【図6】機械接点を有するリレーを用いたジャンクショ
ンブロックの説明に供する略線図である。
【図7】従来のインテリジェントパワースイッチの回路
構成を示すブロック図である。
【図8】従来のインテリジェントパワースイッチの外観
構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
52 電源 53A〜53X 負荷 55A〜55X 保護回路 56、201A〜201X パッケージ 57 放熱フィン 110 半導体スイッチ(パワ
ーMOS−FET) 111 温度検出手段(温度検
出回路) 200、300 半導体ウェハ
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI H02H 7/20 (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H02H 5/04 B60R 16/02 H01L 21/822 H01L 23/58 H01L 27/04 H02H 7/20

Claims (11)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 制御入力端子に入力されるオン制御する
    ことを示す制御信号によってオンされて電源を出力端子
    に接続された負荷に供給する半導体スイッチと、当該半
    導体スイッチに過電流が流れた場合及び又は当該半導体
    スイッチが過熱した場合に前記制御入力端子に信号を出
    力して当該半導体スイッチをオフ制御することにより、
    当該半導体スイッチを保護する保護回路とを有するスイ
    ッチング装置において、前記半導体スイッチは、前記制御入力端子に前記制御信
    号が入力されている場合でも、当該半導体スイッチが過
    熱した場合には、前記制御入力端子への駆動電圧の供給
    が停止されて、強制的にオフ制御され、 前記半導体スイッチと、前記保護回路とが別の半導体チ
    ップ上に形成されており、前記半導体スイッチが形成された前記半導体チップに
    は、前記半導体スイッチの温度を検出し当該検出結果を
    前記保護回路に与える温度検出手段が、前記半導体スイ
    ッチと対になって形成されており、 前記半導体スイッチが形成された半導体チップと、前記
    保護回路が形成された半導体チップは、それぞれ別のパ
    ッケージ内に収納されていることを特徴とするスイッチ
    ング装置。
  2. 【請求項2】 前記半導体スイッチは、一旦、当該半導
    体スイッチが過熱してオフ制御されると、オン制御する
    ことを示す次の制御信号が到来するまでは、オフされ続
    けることを特徴とする請求項1に記載のスイッチング装
    置。
  3. 【請求項3】 前記半導体スイッチが形成された半導体
    チップを収納するパッケージ内には、前記半導体スイッ
    チが形成された半導体チップが複数収納されていると共
    に、 前記保護回路が形成された半導体チップを収納するパッ
    ケージ内には、前記保護回路が形成された半導体チップ
    が複数収納されていることを特徴とする請求項1又は2
    記載のスイッチング装置。
  4. 【請求項4】 前記半導体スイッチが形成された半導体
    チップには、同一チップ内に複数の前記半導体スイッチ
    が形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記
    載のスイッチング装置。
  5. 【請求項5】 前記保護回路が形成された半導体チップ
    には、同一チップ内に複数の前記保護回路が形成されて
    いることを特徴とする請求項1又は2に記載のスイッチ
    ング装置。
  6. 【請求項6】 前記半導体スイッチが形成された半導体
    チップには、同一チップ内に複数の前記半導体スイッチ
    が形成されていると共に、 前記保護回路が形成された半導体チップには、同一チッ
    プ内に複数の前記保護回路が形成されていることを特徴
    とする請求項1又は2に記載のスイッチング装置。
  7. 【請求項7】 制御入力端子に入力されるオン制御する
    ことを示す制御信号によってオンされて電源を出力端子
    に接続された負荷に供給する半導体スイッチを複数設け
    ると共に、当該各半導体スイッチに過電流が流れた場合
    及び又は当該半導体スイッチが過熱した場合に前記制御
    入力端子に信号を出力して前記半導体スイッチをオフ制
    御することにより、前記半導体スイッチをそれぞれ保護
    する保護回路を複数設けてなるスイッチング装置におい
    て、前記半導体スイッチは、前記制御入力端子に前記制御信
    号が入力されている場合でも、当該半導体スイッチが過
    熱した場合には、前記制御入力端子への駆動電圧の供給
    が停止されて、強制的にオフ制御され、 複数の前記半導体スイッチと、複数の前記保護回路とが
    別の半導体チップ上に形成されていると共に、前記半導体スイッチが形成された前記半導体チップに
    は、前記半導体スイッチの温度を検出し当該検出結果を
    前記保護回路に与える温度検出手段が、前記半導体スイ
    ッチと対になって形成されており、 前記複数の半導体スイッチが形成された単数又は複数の
    半導体チップは一つの放熱フィンに取り付けられている
    ことを特徴とするスイッチング装置。
  8. 【請求項8】 前記負荷は、前記複数の半導体スイッチ
    にそれぞれ接続された複数の車載機器である ことを特徴
    とする請求項7に記載のスイッチング装置。
  9. 【請求項9】 制御入力端子に入力されるオン制御する
    ことを示す制御信号によってオンされて電源を出力端子
    に接続された負荷に供給する半導体スイッチと、当該半
    導体スイッチに過電流が流れた場合及び又は当該半導体
    スイッチが過熱した場合には、前記制御入力端子に前記
    制御信号が入力されている場合でも、前記制御入力端子
    への駆動電圧の供給を停止させて、当該半導体スイッチ
    を強制的にオフ制御することにより、当該半導体スイッ
    チを保護する保護回路とを有するスイッチング装置の製
    造方法において、 第1の半導体ウェハ上で複数の前記半導体スイッチを形
    成した後、それらを切断することにより複数の半導体チ
    ップを形成する工程と、 第2の半導体ウェハ上で、全て同一の構成でなる複数の
    前記保護回路を形成した後、それらを切断することによ
    り複数の半導体チップを形成する工程と、 前記半導体スイッチが形成された複数の半導体チップを
    一つの放熱フィンに取り付ける工程と、 前記複数の半導体スイッチと、前記複数の保護回路とを
    電気的に接続する工程と、前記複数の保護回路が形成された前記半導体チップにお
    いて、前記複数の保護回路に対してそれぞれ過電流の検
    出のためのボリューム調整を行う工程と を具えることを
    特徴とするスイッチング装置の製造方法。
  10. 【請求項10】 前記半導体スイッチが形成された前記
    半導体チップ及び前記保護回路が形成された前記半導体
    チップをそれぞれ別のパッケージに収納する工程と、 前記半導体スイッチのパッケージの端子と前記保護回路
    のパッケージの端子とを電気的に接続する工程とを具え
    ることを特徴とする請求項9に記載のスイッチング装置
    の製造方法。
  11. 【請求項11】 前記第1の半導体ウェハ上で複数の前
    記半導体スイッチを形成する際に、切断後の前記各半導
    体チップにおいて前記各半導体スイッチにそれぞれ対応
    した温度検出手段が設けられるように、当該温度検出手
    段を形成することを特徴とする請求項9又は10のいず
    れか一項に記載のスイッチング装置の製造方法。
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