JP3394367B2 - ウェーハ支持具の溝棒の溝方向合わせ治具 - Google Patents
ウェーハ支持具の溝棒の溝方向合わせ治具Info
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- JP3394367B2 JP3394367B2 JP22433195A JP22433195A JP3394367B2 JP 3394367 B2 JP3394367 B2 JP 3394367B2 JP 22433195 A JP22433195 A JP 22433195A JP 22433195 A JP22433195 A JP 22433195A JP 3394367 B2 JP3394367 B2 JP 3394367B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、シリコンウェーハ
等の半導体ウェーハを支持する石英ガラス製のウェーハ
支持具の溝棒の溝方向合わせ治具に関する。
等の半導体ウェーハを支持する石英ガラス製のウェーハ
支持具の溝棒の溝方向合わせ治具に関する。
【０００２】
【関連技術】シリコンウェーハ（シリコン基板ともいわ
れる）の各種熱処理工程（例えば熱拡散、熱酸化工程
等）には、現在多くの場合、通常「タテ型ボート」と称
する高純度石英ガラス製のウェーハ支持具が用いられて
いる。
れる）の各種熱処理工程（例えば熱拡散、熱酸化工程
等）には、現在多くの場合、通常「タテ型ボート」と称
する高純度石英ガラス製のウェーハ支持具が用いられて
いる。
【０００３】図４に示すごとく、このウェーハ支持具２
は、天板４と底板５の間に複数本（図示の例では４本）
の溝棒６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄが設計された間隔で組み
込まれており、それらの溝棒６ａ〜６ｄには数十枚にも
及ぶウェーハを載置係止するための多数の溝８ａ，８
ｂ，８ｃ，８ｄが形成されている。
は、天板４と底板５の間に複数本（図示の例では４本）
の溝棒６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄが設計された間隔で組み
込まれており、それらの溝棒６ａ〜６ｄには数十枚にも
及ぶウェーハを載置係止するための多数の溝８ａ，８
ｂ，８ｃ，８ｄが形成されている。
【０００４】ウェーハＷは４本の溝棒６ａ〜６ｄの同一
高さの溝８ａ〜８ｄによってほぼ水平に係止される構成
であるため、溝棒６ａ〜６ｄの各々に設けられる数十も
の溝８ａ〜８ｄは４本の溝棒６ａ〜６ｄに共通して寸法
精度の高いものでなければならない。さらに、これに加
えて、それら４本の溝棒６ａ〜６ｄが石英ガラス製の天
板４及び底板５に極めて正確な向きでかつ高精度で溶接
固定される必要がある。
高さの溝８ａ〜８ｄによってほぼ水平に係止される構成
であるため、溝棒６ａ〜６ｄの各々に設けられる数十も
の溝８ａ〜８ｄは４本の溝棒６ａ〜６ｄに共通して寸法
精度の高いものでなければならない。さらに、これに加
えて、それら４本の溝棒６ａ〜６ｄが石英ガラス製の天
板４及び底板５に極めて正確な向きでかつ高精度で溶接
固定される必要がある。
【０００５】このウェーハ支持具２の溝棒６ａ〜６ｄの
相互の位置及び各溝８ａ〜８ｄの位置を正確に決めるこ
とは極めて重要なことである。そのため、天板４及び底
板５に溝棒６ａ〜６ｄの上下端部を溶接固定する前に仮
溶接工程をおき、この仮溶接工程の前後で各溝８ａ〜８
ｄの向きを正確に決める作業が行われていた。従来の溝
方向合わせ作業においては、カーボン製のダミーウェー
ハや位置決め用の細長い薄板状プレートを用いて各溝の
位置決めを行なっていた。
相互の位置及び各溝８ａ〜８ｄの位置を正確に決めるこ
とは極めて重要なことである。そのため、天板４及び底
板５に溝棒６ａ〜６ｄの上下端部を溶接固定する前に仮
溶接工程をおき、この仮溶接工程の前後で各溝８ａ〜８
ｄの向きを正確に決める作業が行われていた。従来の溝
方向合わせ作業においては、カーボン製のダミーウェー
ハや位置決め用の細長い薄板状プレートを用いて各溝の
位置決めを行なっていた。
【０００６】図４における内側の２本の溝棒６ｂ、６ｃ
の溝８ｂ、８ｃの位置決めはダミーウェーハの先端部分
を使って行う。また、図４における外側の２本の溝棒６
ａ、６ｄの溝８ａ、８ｄの位置決めは、薄板状プレート
を使って２本の溝棒６ａ、６ｄの溝８ａ、８ｄの高さが
一致することを確認して行なう。
の溝８ｂ、８ｃの位置決めはダミーウェーハの先端部分
を使って行う。また、図４における外側の２本の溝棒６
ａ、６ｄの溝８ａ、８ｄの位置決めは、薄板状プレート
を使って２本の溝棒６ａ、６ｄの溝８ａ、８ｄの高さが
一致することを確認して行なう。
【０００７】このように溝棒の溝合わせ治具として２つ
の治具を用いる場合にはそれらの治具をその都度交換す
る必要がある上に、溝合わせ作業も時間をおいて２度に
わたって行なわざるを得ないために、その都合溝位置が
変動してしまうことが多く何度もやり直す必要がある
（仮溶接後に溝の向きの不一致が見い出された場合に
は、仮溶接を除去する必要があり、仮溶接作業を繰り返
すこととなる）など、作業に手間がかかる上、正確な溝
方向合わせが困難という不都合があった。
の治具を用いる場合にはそれらの治具をその都度交換す
る必要がある上に、溝合わせ作業も時間をおいて２度に
わたって行なわざるを得ないために、その都合溝位置が
変動してしまうことが多く何度もやり直す必要がある
（仮溶接後に溝の向きの不一致が見い出された場合に
は、仮溶接を除去する必要があり、仮溶接作業を繰り返
すこととなる）など、作業に手間がかかる上、正確な溝
方向合わせが困難という不都合があった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記した従
来技術の問題点に鑑みてなされたもので、一つの治具
で、複数の溝棒の溝位置を時間的な遅れもなく、一度に
行なうことができることを可能とし、溝棒の溝合わせ作
業を確実かつ迅速に行なうことを可能にした新規なウェ
ーハ支持具の溝棒の溝方向合わせ治具を提供することを
目的とする。
来技術の問題点に鑑みてなされたもので、一つの治具
で、複数の溝棒の溝位置を時間的な遅れもなく、一度に
行なうことができることを可能とし、溝棒の溝合わせ作
業を確実かつ迅速に行なうことを可能にした新規なウェ
ーハ支持具の溝棒の溝方向合わせ治具を提供することを
目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、天板と底板の間に複数本の溝棒を設置
し、該溝棒にはウェーハを載置係止するための多数の溝
が形成されてなるウェーハ支持具の溝棒の溝方向合わせ
治具であり、該溝棒の溝に挿入可能な薄さを有する周縁
部を有する主板と、該主板上に摺動可能に設けられかつ
少なくとも両端部を該溝棒の溝に挿入可能な薄さとした
長尺状スライド板とからなることを特徴とする。
に、本発明は、天板と底板の間に複数本の溝棒を設置
し、該溝棒にはウェーハを載置係止するための多数の溝
が形成されてなるウェーハ支持具の溝棒の溝方向合わせ
治具であり、該溝棒の溝に挿入可能な薄さを有する周縁
部を有する主板と、該主板上に摺動可能に設けられかつ
少なくとも両端部を該溝棒の溝に挿入可能な薄さとした
長尺状スライド板とからなることを特徴とする。
【００１０】前記主板は、中央部に設けられた肉厚平坦
部と、該肉厚平坦部の周囲に形成され、所定角度の複数
の肉薄辺部を有する肉薄周縁部と、該肉厚平坦部に穿設
された１以上のガイド溝とを有し、該スライド板は、長
手方向両端を所定角度とした長尺薄板状のスライド板本
体と、下面長手方向に設けられた突条と、上面に設けら
れた摘みとを有し、該突条を該ガイド溝に摺動自在に嵌
合することにより、前記スライド板が該主板の肉厚平坦
部の上面を摺動可能とされる構成であり、上記肉薄辺部
又はスライド板本体の長手方向の端部を溝棒の溝に挿入
し、該肉薄辺部の角度又はスライド板本体の長手方向端
部の角度に合わせて該溝棒の溝方向合わせを行なうよう
にするのが好ましい。
部と、該肉厚平坦部の周囲に形成され、所定角度の複数
の肉薄辺部を有する肉薄周縁部と、該肉厚平坦部に穿設
された１以上のガイド溝とを有し、該スライド板は、長
手方向両端を所定角度とした長尺薄板状のスライド板本
体と、下面長手方向に設けられた突条と、上面に設けら
れた摘みとを有し、該突条を該ガイド溝に摺動自在に嵌
合することにより、前記スライド板が該主板の肉厚平坦
部の上面を摺動可能とされる構成であり、上記肉薄辺部
又はスライド板本体の長手方向の端部を溝棒の溝に挿入
し、該肉薄辺部の角度又はスライド板本体の長手方向端
部の角度に合わせて該溝棒の溝方向合わせを行なうよう
にするのが好ましい。
【００１１】上記多辺形形状の主板が５辺形又は６辺形
形状の主板であり、５つ又は６つの肉薄辺部を有するよ
うにすれば、４本の溝棒を用いたウェーハ支持具におけ
る各溝棒の溝方向合わせ作業の際に好適に用いられる。
前記主板及びスライド板の材質としてはカーボン、炭化
珪素、シリコン、その他のセラミック類を挙げることが
できる。
形状の主板であり、５つ又は６つの肉薄辺部を有するよ
うにすれば、４本の溝棒を用いたウェーハ支持具におけ
る各溝棒の溝方向合わせ作業の際に好適に用いられる。
前記主板及びスライド板の材質としてはカーボン、炭化
珪素、シリコン、その他のセラミック類を挙げることが
できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の１つの実施の形態を添付
図面とともに説明する。
図面とともに説明する。
【００１３】図１及び図２において、９６はカーボン製
の溝方向合わせ治具で、ウェーハ支持具２の溝棒６ａ〜
６ｄの溝８ａ〜８ｄの方向合わせを行う。該溝方向合わ
せ治具９６は、主板９８とスライド板１００とから構成
されている。該主板９８は中央部に設けられた肉厚平坦
部１０２及び該肉厚平坦部１０２の周囲に形成された肉
薄周縁部１０４を有している。
の溝方向合わせ治具で、ウェーハ支持具２の溝棒６ａ〜
６ｄの溝８ａ〜８ｄの方向合わせを行う。該溝方向合わ
せ治具９６は、主板９８とスライド板１００とから構成
されている。該主板９８は中央部に設けられた肉厚平坦
部１０２及び該肉厚平坦部１０２の周囲に形成された肉
薄周縁部１０４を有している。
【００１４】該肉薄周縁部１０４は所定角度を有する複
数（図示例では６つ）の肉薄辺部１０４ａ〜１０４ｆを
有する多辺形（図示例では６辺形）の形状を有してい
る。１０５はガイド溝で、肉薄辺部１０４ｂと１０４ｆ
とを連通し、該肉薄辺部１０４ａに平行に穿設されてい
る。
数（図示例では６つ）の肉薄辺部１０４ａ〜１０４ｆを
有する多辺形（図示例では６辺形）の形状を有してい
る。１０５はガイド溝で、肉薄辺部１０４ｂと１０４ｆ
とを連通し、該肉薄辺部１０４ａに平行に穿設されてい
る。
【００１５】該スライド板１００は長手方向両端を所定
角度としかつ主板９８の幅よりもその長さを小とした長
尺状スライド板本体１０６と該スライド板本体１０６の
下面の長手方向に設けられた突条１０８と上面に設けら
れた摘み１１０とを有している。該突条１０８を該ガイ
ド溝１０５に摺動自在に嵌合することにより、該スライ
ド板１００が該ガイド溝１０５を介して該肉厚平坦部１
０２の上面を摺動する。該スライド板１００の端部は、
該主板９８の肉薄辺部１０４ｂ及び１０４ｆの端縁部か
らさらに外方まで摺動可能とされている。
角度としかつ主板９８の幅よりもその長さを小とした長
尺状スライド板本体１０６と該スライド板本体１０６の
下面の長手方向に設けられた突条１０８と上面に設けら
れた摘み１１０とを有している。該突条１０８を該ガイ
ド溝１０５に摺動自在に嵌合することにより、該スライ
ド板１００が該ガイド溝１０５を介して該肉厚平坦部１
０２の上面を摺動する。該スライド板１００の端部は、
該主板９８の肉薄辺部１０４ｂ及び１０４ｆの端縁部か
らさらに外方まで摺動可能とされている。
【００１６】溝棒６ａ〜６ｄの溝方向合わせを行う場合
には、上記溝方向合わせ治具９６は該溝棒６ａ〜６ｄの
溝８ａ〜８ｄ内に主板９８の肉薄周縁部１０４が挿通自
在に位置して載置される必要がある。
には、上記溝方向合わせ治具９６は該溝棒６ａ〜６ｄの
溝８ａ〜８ｄ内に主板９８の肉薄周縁部１０４が挿通自
在に位置して載置される必要がある。
【００１７】そのため、該主板９８の肉薄周縁部１０４
ｂの端縁部と１０４ｆの端縁部との距離は、該溝棒６
ａ、６ｄの溝８ａ、８ｄの溝底同士の間隔よりも小さい
とともに該溝棒６ａ、６ｄの対向面同士の間隔よりも大
とすることが必要である。
ｂの端縁部と１０４ｆの端縁部との距離は、該溝棒６
ａ、６ｄの溝８ａ、８ｄの溝底同士の間隔よりも小さい
とともに該溝棒６ａ、６ｄの対向面同士の間隔よりも大
とすることが必要である。
【００１８】上記溝方向合わせ治具９６によって、内側
の２本の溝棒６ｂ，６ｃの溝方向合わせは次のように行
う。該主板９８の肉薄辺部１０４ａ〜１０４ｆの内、先
端部分の肉薄辺部１０４ｃ及び１０４ｅを、それぞれ内
側の２本の溝棒６ｂ，６ｃの溝８ｂ，８ｃの溝底に当接
するように挿入し、また、これと同時に側端部分の肉薄
辺部１０４ｂ及び１０４ｆをそれぞれ外側の２本の溝棒
６ａ、６ｄの溝８ａ、８ｄに挿入する。この状態におい
て、該肉薄辺部１０４ｃ，１０４ｅの設定角度と該溝８
ｂ，８ｃの溝底の角度が一致するように該溝棒６ｂ，６
ｃを回転させることによってその溝方向合わせが行われ
る。
の２本の溝棒６ｂ，６ｃの溝方向合わせは次のように行
う。該主板９８の肉薄辺部１０４ａ〜１０４ｆの内、先
端部分の肉薄辺部１０４ｃ及び１０４ｅを、それぞれ内
側の２本の溝棒６ｂ，６ｃの溝８ｂ，８ｃの溝底に当接
するように挿入し、また、これと同時に側端部分の肉薄
辺部１０４ｂ及び１０４ｆをそれぞれ外側の２本の溝棒
６ａ、６ｄの溝８ａ、８ｄに挿入する。この状態におい
て、該肉薄辺部１０４ｃ，１０４ｅの設定角度と該溝８
ｂ，８ｃの溝底の角度が一致するように該溝棒６ｂ，６
ｃを回転させることによってその溝方向合わせが行われ
る。
【００１９】一方、該肉薄辺部１０４ｂ及び１０４ｆは
該溝８ａ、８ｄ内に位置しているが、該肉薄辺部１０４
ｂ及び１０４ｆの先端は溝８ａ、８ｄの溝底に当接して
いない。そのため、この状態では外側の２本の溝棒６
ａ、６ｄの溝方向合わせはできない。
該溝８ａ、８ｄ内に位置しているが、該肉薄辺部１０４
ｂ及び１０４ｆの先端は溝８ａ、８ｄの溝底に当接して
いない。そのため、この状態では外側の２本の溝棒６
ａ、６ｄの溝方向合わせはできない。
【００２０】そこで、スライド板１００を該肉薄辺部１
０４ａに平行に摺動自在かつ該肉薄辺部１０４ｂ，１０
４ｆの端縁部から外方に延出可能に設け、該スライド板
１００の一端部を該溝棒６ａの溝８ａの溝底に当接する
ように挿入し、該スライド板１００の一端部の直線部と
該溝８ａの溝底が一致するように該溝棒６ａを回転させ
ることによってその溝方向合わせが行われる。溝棒６ｄ
に対しては、スライド板１００を摺動してその他端部を
溝８ｄに挿入し、同様の操作で溝方向合わせを行うこと
ができる。
０４ａに平行に摺動自在かつ該肉薄辺部１０４ｂ，１０
４ｆの端縁部から外方に延出可能に設け、該スライド板
１００の一端部を該溝棒６ａの溝８ａの溝底に当接する
ように挿入し、該スライド板１００の一端部の直線部と
該溝８ａの溝底が一致するように該溝棒６ａを回転させ
ることによってその溝方向合わせが行われる。溝棒６ｄ
に対しては、スライド板１００を摺動してその他端部を
溝８ｄに挿入し、同様の操作で溝方向合わせを行うこと
ができる。
【００２１】この場合、溝棒６ａ、６ｄの溝８ａ、８ｄ
の溝方向合わせに用いられる溝８ａ、８ｄの位置は、上
記した溝棒６ｂ、６ｃの溝８ｂ、８ｃの溝方向合わせの
ために肉薄辺部１０４ｃ、１０４ｅが挿入された溝位置
よりも上方となるが、肉薄辺部１０４ａ〜１０４ｆとス
ライド板本体１０６との設定距離に応じて、１列又は２
〜３列上方に位置する溝が利用される。
の溝方向合わせに用いられる溝８ａ、８ｄの位置は、上
記した溝棒６ｂ、６ｃの溝８ｂ、８ｃの溝方向合わせの
ために肉薄辺部１０４ｃ、１０４ｅが挿入された溝位置
よりも上方となるが、肉薄辺部１０４ａ〜１０４ｆとス
ライド板本体１０６との設定距離に応じて、１列又は２
〜３列上方に位置する溝が利用される。
【００２２】上記の説明から明らかなように、所定の形
状の溝方向合わせ治具９６は、所定の位置にセットされ
た溝棒６ａ〜６ｄに対してのみ使用できるが、他の位置
にセットされた溝棒の溝方向合わせには利用できない。
従って、所定の品番のウェーハ支持具、即ち所定の溝棒
のセット位置毎に、溝方向合わせ治具９６を作成してお
くことが必要である。
状の溝方向合わせ治具９６は、所定の位置にセットされ
た溝棒６ａ〜６ｄに対してのみ使用できるが、他の位置
にセットされた溝棒の溝方向合わせには利用できない。
従って、所定の品番のウェーハ支持具、即ち所定の溝棒
のセット位置毎に、溝方向合わせ治具９６を作成してお
くことが必要である。
【００２３】図１及び図２に示した実施の形態では、ガ
イド溝１０５を１本設けた例を説明したが、ガイド溝を
複数本設けることも可能である。図３には、２本のガイ
ド溝１０５及び１０５ａを設けた例を示した。このよう
に、ガイド溝を複数個穿設しておけば、スライド板１０
０を異なる位置の２本のガイド溝１０５、１０５ａに設
置して摺動させることができるので、異なる位置にセッ
トされた溝棒の溝方向合わせを行なうことができ１個の
溝方向合わせ治具９６で、溝棒セット位置の異なる複数
の品番に対処できることとなる。ガイド溝を３本以上設
けた場合も同様に作用する。
イド溝１０５を１本設けた例を説明したが、ガイド溝を
複数本設けることも可能である。図３には、２本のガイ
ド溝１０５及び１０５ａを設けた例を示した。このよう
に、ガイド溝を複数個穿設しておけば、スライド板１０
０を異なる位置の２本のガイド溝１０５、１０５ａに設
置して摺動させることができるので、異なる位置にセッ
トされた溝棒の溝方向合わせを行なうことができ１個の
溝方向合わせ治具９６で、溝棒セット位置の異なる複数
の品番に対処できることとなる。ガイド溝を３本以上設
けた場合も同様に作用する。
【００２４】
【発明の効果】以上述べた如く、本発明によれば、一つ
の治具で、ウェーハ支持具の複数の溝棒の溝位置を時間
的な遅れもなく、一度に行なうことができることを可能
とし、溝棒の溝合わせ作業を確実かつ迅速に行なうこと
が可能となる。
の治具で、ウェーハ支持具の複数の溝棒の溝位置を時間
的な遅れもなく、一度に行なうことができることを可能
とし、溝棒の溝合わせ作業を確実かつ迅速に行なうこと
が可能となる。
【図１】本発明の溝方向合わせ治具の一つの実施の形態
を示す上面図である。
を示す上面図である。
【図２】図１に示した溝方向合わせ治具の各部材を分離
して示す図面で、（ａ）は主板の上面図、（ｂ）は主板
の側面図、（ｃ）はスライド板の長手方向側面図及び
（ｄ）はスライド板の幅方向側面図である。
して示す図面で、（ａ）は主板の上面図、（ｂ）は主板
の側面図、（ｃ）はスライド板の長手方向側面図及び
（ｄ）はスライド板の幅方向側面図である。
【図３】本発明の溝方向合わせ治具の主板の他の実施の
形態を示す図面で、(ａ）は上面図及び（ｂ）は主板の
側面図である。
形態を示す図面で、(ａ）は上面図及び（ｂ）は主板の
側面図である。
【図４】ウェーハ支持具の斜視図である。
２ ウェーハ支持具
４ 天板
５ 底板
６ａ〜６ｄ 溝棒
８ａ〜８ｄ 溝
９６ 溝方向合わせ治具
９８ 主板
１００ スライド板
１０２ 肉厚平坦部
１０４ 肉薄周縁部
１０４ａ〜１０４ｆ 肉薄辺部
１０５、１０５ａ ガイド溝
１０６ スライド板本体
１０８ 突条
１１０ 摘み
Ｗ ウェーハ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 武田 政利
山形県天童市大字清池字藤段1357番３
株式会社山形信越石英内
(56)参考文献 特開 平７−130833（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/22
Claims (4)
- 【請求項１】 天板と底板の間に複数本の溝棒を設置
し、該溝棒にはウェーハを載置係止するための多数の溝
が形成されてなるウェーハ支持具の溝棒の溝方向合わせ
治具であり、該溝棒の溝に挿入可能な薄さとした周縁部
を有する主板と、該主板上に摺動可能に設けられかつ少
なくとも両端部を該溝棒の溝に挿入可能な薄さとした長
尺状スライド板とからなることを特徴とするウェーハ支
持具の溝棒の溝方向合わせ治具。 - 【請求項２】 前記主板は、中央部に設けられた肉厚平
坦部と、該肉厚平坦部の周囲に形成され、所定角度の複
数の肉薄辺部を有する肉薄周縁部と、該肉厚平坦部に穿
設された１以上のガイド溝とを有し、前記スライド板
は、長手方向両端を所定角度とした長尺薄板状のスライ
ド板本体と、下面長手方向に設けられた突条と、上面に
設けられた摘みとを有し、該突条を該ガイド溝に摺動自
在に嵌合することにより、該スライド板が該主板の肉厚
平坦部の上面を摺動可能とされる構成であり、上記肉薄
辺部又はスライド板本体の長手方向の端部を溝棒の溝に
挿入し、該肉薄辺部の角度又はスライド板本体の長手方
向端部の角度に合わせて該溝棒の溝方向合わせを行なう
ようにしたことを特徴とする請求項１記載のウェーハ支
持具の溝棒の溝方向合わせ治具。 - 【請求項３】 上記多辺形形状の主板が５辺形又は６辺
形形状の主板であり、５つ又は６つの肉薄辺部を有する
ようにしたことを特徴とする請求項２記載のウェーハ支
持具の溝棒の溝方向合わせ治具。 - 【請求項４】 前記主板及びスライド板の材質がカーボ
ン、炭化珪素又はシリコンであることを特徴とする請求
項１〜３のいずれか１項記載のウェーハ支持具の溝棒の
溝方向合わせ治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22433195A JP3394367B2 (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | ウェーハ支持具の溝棒の溝方向合わせ治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22433195A JP3394367B2 (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | ウェーハ支持具の溝棒の溝方向合わせ治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0969493A JPH0969493A (ja) | 1997-03-11 |
| JP3394367B2 true JP3394367B2 (ja) | 2003-04-07 |
Family
ID=16812087
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22433195A Expired - Lifetime JP3394367B2 (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | ウェーハ支持具の溝棒の溝方向合わせ治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3394367B2 (ja) |
-
1995
- 1995-08-31 JP JP22433195A patent/JP3394367B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0969493A (ja) | 1997-03-11 |
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