JPH04304652A - 熱処理装置用ボート - Google Patents
熱処理装置用ボートInfo
- Publication number
- JPH04304652A JPH04304652A JP3068360A JP6836091A JPH04304652A JP H04304652 A JPH04304652 A JP H04304652A JP 3068360 A JP3068360 A JP 3068360A JP 6836091 A JP6836091 A JP 6836091A JP H04304652 A JPH04304652 A JP H04304652A
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- JP
- Japan
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- wafer
- boat
- top plate
- heat treatment
- bottom plate
- Prior art date
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はウェハを保持するための
技術、特に、半導体装置の製造に採用されて酸化、拡散
などを行うための熱処理装置に用いて効果のある技術に
関するものである。
技術、特に、半導体装置の製造に採用されて酸化、拡散
などを行うための熱処理装置に用いて効果のある技術に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】酸化、拡散などを行うに際しては、ウェ
ハの処理面を覆うことなく多数枚のウェハを同時に保持
して石英反応管などを用いた熱処理室内に設置する必要
があり、このためにボートと称する治具が用いられてい
る。
ハの処理面を覆うことなく多数枚のウェハを同時に保持
して石英反応管などを用いた熱処理室内に設置する必要
があり、このためにボートと称する治具が用いられてい
る。
【０００３】その具体例として、例えば、特開昭５８−
６５３６９号公報があり、４本の柱及びこれら柱を周縁
に配しながら、この柱と同一材料を用いて作られた天板
及び底板により上下端を固定するように一体成形で加工
する構成が提案されている。
６５３６９号公報があり、４本の柱及びこれら柱を周縁
に配しながら、この柱と同一材料を用いて作られた天板
及び底板により上下端を固定するように一体成形で加工
する構成が提案されている。
【０００４】また、特開昭５６−５３２６６公報では、
シリコン材料を用いて柱、天板及び底板を個別に作成し
、これらを組み立てる構成が提案されている。
シリコン材料を用いて柱、天板及び底板を個別に作成し
、これらを組み立てる構成が提案されている。
【０００５】なお、縦型拡散装置には大別してボート挿
入口を上側に設けた上方開放型とボート挿入口を下側に
設けた下方開放型があり、上方開放型はボートを吊り下
げた状態で装置へ挿入し、下方開放型はキャップに載置
したボートを下側から押し上げるようにして挿入する。
入口を上側に設けた上方開放型とボート挿入口を下側に
設けた下方開放型があり、上方開放型はボートを吊り下
げた状態で装置へ挿入し、下方開放型はキャップに載置
したボートを下側から押し上げるようにして挿入する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記特開昭
５８−６５３６９号公報及び、特開昭５６−５３２６６
号公報に記載された従来技術には、以下の問題のあるこ
とを本発明者は見出した。
５８−６５３６９号公報及び、特開昭５６−５３２６６
号公報に記載された従来技術には、以下の問題のあるこ
とを本発明者は見出した。
【０００７】すなわち、大口径（例えば、６〜８インチ
）のウェハを１０００℃以上の高温雰囲気下に置くと、
ウェハ面内に温度分布（＝温度差）が生じ、これが熱応
力転位の発生を招き、ウェハに結晶欠陥を生じさせ、Ｉ
Ｃ製品の電気的特性に悪影響を及ぼすという問題のある
ことが本発明者によって見出された。
）のウェハを１０００℃以上の高温雰囲気下に置くと、
ウェハ面内に温度分布（＝温度差）が生じ、これが熱応
力転位の発生を招き、ウェハに結晶欠陥を生じさせ、Ｉ
Ｃ製品の電気的特性に悪影響を及ぼすという問題のある
ことが本発明者によって見出された。
【０００８】さらに、特開昭５８−６５３６９号公報に
記載の構成では、一体構成にされているために、変形や
破損が生じた際には、メンテナンスが困難になる。
記載の構成では、一体構成にされているために、変形や
破損が生じた際には、メンテナンスが困難になる。
【０００９】また、ボートにセットされた大径のウェハ
は、周縁の一部が柱状体に点状に保持されるので、ウェ
ハの自重が周縁の数カ所にかかり、局部的に荷重が加わ
るためにウェハを変形させることになる。
は、周縁の一部が柱状体に点状に保持されるので、ウェ
ハの自重が周縁の数カ所にかかり、局部的に荷重が加わ
るためにウェハを変形させることになる。
【００１０】そこで、本発明の目的は、大口径ウェハの
高温処理時における熱応力転位の発生を防止することの
できる技術を提供することにある。
高温処理時における熱応力転位の発生を防止することの
できる技術を提供することにある。
【００１１】本発明の他の目的は、ウェハ保持部の破損
や変形に伴うメンテナンスを容易に行うことのできる技
術を提供することにある。
や変形に伴うメンテナンスを容易に行うことのできる技
術を提供することにある。
【００１２】さらに本発明の他の目的は、ウェハの保持
部近傍に荷重が局部的に加わるのを防止することのでき
る技術提供することにある。
部近傍に荷重が局部的に加わるのを防止することのでき
る技術提供することにある。
【００１３】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかにな
るであろう。
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかにな
るであろう。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば以
下の通りである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば以
下の通りである。
【００１５】すなわち、縦型でかつ下方開放型の熱処理
装置に用いられるボートであって、天板及び下板を複数
の連結部材で連結して一体化すると共に各々に同一材料
を用いたボート本体と、ウェハを支持するための溝を有
して前記天板及び前記下板間に着脱自在に取り付けられ
ると共に、物理的特性がウェハに等しいウェハ保持部材
とを設けるようにしている。
装置に用いられるボートであって、天板及び下板を複数
の連結部材で連結して一体化すると共に各々に同一材料
を用いたボート本体と、ウェハを支持するための溝を有
して前記天板及び前記下板間に着脱自在に取り付けられ
ると共に、物理的特性がウェハに等しいウェハ保持部材
とを設けるようにしている。
【００１６】
【作用】上記した手段によれば、天板、下板及び連結部
材の３点を溶接などで一体化して本体を構成し、この本
体に着脱自在に取り付けられると共に、物理的特性がウ
ェハに等しいウェハ保持部材にのみウェハが支持される
。したがって、ウェハの熱応力転位の発生を低減するこ
とができる。
材の３点を溶接などで一体化して本体を構成し、この本
体に着脱自在に取り付けられると共に、物理的特性がウ
ェハに等しいウェハ保持部材にのみウェハが支持される
。したがって、ウェハの熱応力転位の発生を低減するこ
とができる。
【００１７】
【実施例】図１は本発明による熱処理装置用ボートの一
実施例を示す斜視図である。また、図２は溝棒の実装状
態を示す断面図である。
実施例を示す斜視図である。また、図２は溝棒の実装状
態を示す断面図である。
【００１８】石英またはＳｉＣを用いて加工対象のウェ
ハよりやや大径の円板形の天板１及び下板２が形成され
、両者は３本の石英またはＳｉＣによる円柱状の丸棒３
ａ，３ｂ，３ｃ（連結部材）によって、図２のように固
定されている。天板１及び下板２と丸棒３ａ，３ｂ，３
ｃは溶接によって一体的に固定されている。丸棒３ａ，
３ｂ，３ｃの各々は、下板２の中心に対し同一半径位置
に立設され、かつ水平方向からのウェハの出し入れに支
障がないように、いずれか１方向に対しウェハ幅分の空
間が確保されている。
ハよりやや大径の円板形の天板１及び下板２が形成され
、両者は３本の石英またはＳｉＣによる円柱状の丸棒３
ａ，３ｂ，３ｃ（連結部材）によって、図２のように固
定されている。天板１及び下板２と丸棒３ａ，３ｂ，３
ｃは溶接によって一体的に固定されている。丸棒３ａ，
３ｂ，３ｃの各々は、下板２の中心に対し同一半径位置
に立設され、かつ水平方向からのウェハの出し入れに支
障がないように、いずれか１方向に対しウェハ幅分の空
間が確保されている。
【００１９】さらに、ウェハの外形相当の位置に４本の
溝棒４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ（ウェハ保持部材）が立設
状態で天板１及び下板２に遊嵌されている。この溝棒４
ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄも、丸棒３ａ，３ｂ，３ｃにおい
て確保されたウェハ出入用空間に合わせてウェハ出入用
空間が設けられている。
溝棒４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ（ウェハ保持部材）が立設
状態で天板１及び下板２に遊嵌されている。この溝棒４
ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄも、丸棒３ａ，３ｂ，３ｃにおい
て確保されたウェハ出入用空間に合わせてウェハ出入用
空間が設けられている。
【００２０】図３は溝棒４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの詳細
構成を示す斜視図である。
構成を示す斜視図である。
【００２１】溝棒４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの各々の天板
１及び下板２の中心に面した部分には、その長さ方向に
一定間隔にウェハの厚みよりやや広い幅の溝５ａが円周
方向に直交させて設けられている。この溝棒４ａ，４ｂ
，４ｃ，４ｄは、図４に示すように、下部に板状の突起
５ｂが設けられており、溝５ａが正面から回動するのを
防止できるようにしている。そして溝棒４ａ，４ｂ，４
ｃ，４ｄを保持するために、下板２の上面には座ぐり穴
６が穿設され、天板１には貫通孔７が設けられている。 座ぐり穴６には溝棒４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの下端が挿
入され、上端が貫通孔７に挿入される。
１及び下板２の中心に面した部分には、その長さ方向に
一定間隔にウェハの厚みよりやや広い幅の溝５ａが円周
方向に直交させて設けられている。この溝棒４ａ，４ｂ
，４ｃ，４ｄは、図４に示すように、下部に板状の突起
５ｂが設けられており、溝５ａが正面から回動するのを
防止できるようにしている。そして溝棒４ａ，４ｂ，４
ｃ，４ｄを保持するために、下板２の上面には座ぐり穴
６が穿設され、天板１には貫通孔７が設けられている。 座ぐり穴６には溝棒４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの下端が挿
入され、上端が貫通孔７に挿入される。
【００２２】溝棒４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄは、ウェハと
物理的特性がほぼ等しいポリシリコンが用いられる。ポ
リシリコン、石英、ＳｉＣの各々とウェハの材料である
シリコンと比較すると、次のような特徴がある。
物理的特性がほぼ等しいポリシリコンが用いられる。ポ
リシリコン、石英、ＳｉＣの各々とウェハの材料である
シリコンと比較すると、次のような特徴がある。
【００２３】
【表１】
【００２４】このように、ポリシリコンはウェハの材料
と物理的特性がほぼ等しいので、従来問題であった熱伝
導及び熱容量に差が生ぜず、高温処理時のウェハの温度
分布は均一になる。しかし、ポリシリコンには溶接が行
えない、石英などに比べて強度が弱いなどの欠点がある
。そこで、本発明では溝棒４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄとは
別に、溶接が可能で十分な強度を有する丸棒３ａ，３ｂ
，３ｃを設け、天板１と下板２を一体的に固定し、必要
な強度を得ている。
と物理的特性がほぼ等しいので、従来問題であった熱伝
導及び熱容量に差が生ぜず、高温処理時のウェハの温度
分布は均一になる。しかし、ポリシリコンには溶接が行
えない、石英などに比べて強度が弱いなどの欠点がある
。そこで、本発明では溝棒４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄとは
別に、溶接が可能で十分な強度を有する丸棒３ａ，３ｂ
，３ｃを設け、天板１と下板２を一体的に固定し、必要
な強度を得ている。
【００２５】上記実施例を組み立てるに際しては、まず
、丸棒３ａ，３ｂ，３ｃによって一体化した天板１と下
板２に対し、溝棒４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄを一本づつ取
り付けていく。最初に溝棒４ａを取り付けるとすると、
まず、その上部（突起５ｂが設けられていない側）を貫
通孔７に深く挿入し、ついで溝棒４ａが下板２上で垂直
になるようにすると共に、溝５ａを中心側に向ける。さ
らに、この状態のまま溝棒４ａを降下し、突起５ｂを天
板１の貫通孔７に挿入する。同様にして、溝棒４ｂ，４
ｃ，４ｄを順次取り付けると、図１の状態になる。
、丸棒３ａ，３ｂ，３ｃによって一体化した天板１と下
板２に対し、溝棒４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄを一本づつ取
り付けていく。最初に溝棒４ａを取り付けるとすると、
まず、その上部（突起５ｂが設けられていない側）を貫
通孔７に深く挿入し、ついで溝棒４ａが下板２上で垂直
になるようにすると共に、溝５ａを中心側に向ける。さ
らに、この状態のまま溝棒４ａを降下し、突起５ｂを天
板１の貫通孔７に挿入する。同様にして、溝棒４ｂ，４
ｃ，４ｄを順次取り付けると、図１の状態になる。
【００２６】ウェハを装着するに際しては、同じ高さ位
置にある溝棒４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの溝５ａの各々に
周縁を差し込むようにする。この作業をウェハを入れる
毎に異なる溝５ａに差し込むこむことにより、多数枚の
ウェハを重ねた状態でボートにセットすることができる
。
置にある溝棒４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの溝５ａの各々に
周縁を差し込むようにする。この作業をウェハを入れる
毎に異なる溝５ａに差し込むこむことにより、多数枚の
ウェハを重ねた状態でボートにセットすることができる
。
【００２７】本実施例によれば、ウェハとポリシリコン
製の溝棒４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄとは熱伝達係数及び熱
容量が同一であるので、ウェハの温度分布は全面で均一
になり、熱応力を低減できるので、結晶欠陥を生じるこ
とがない。また、本実施例では、ボート本体に溝棒４ａ
，４ｂ，４ｃ，４ｄを組み付ける構成にしているため、
破損や変形を生じても、部品の交換や修理は容易に行う
ことができる。
製の溝棒４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄとは熱伝達係数及び熱
容量が同一であるので、ウェハの温度分布は全面で均一
になり、熱応力を低減できるので、結晶欠陥を生じるこ
とがない。また、本実施例では、ボート本体に溝棒４ａ
，４ｂ，４ｃ，４ｄを組み付ける構成にしているため、
破損や変形を生じても、部品の交換や修理は容易に行う
ことができる。
【００２８】図５は本発明による熱処理装置用ボートの
他の実施例を示す平面図であり、図６は図５の正面図で
ある。図６は、ウェハをボートに装着した状態が示され
ている。
他の実施例を示す平面図であり、図６は図５の正面図で
ある。図６は、ウェハをボートに装着した状態が示され
ている。
【００２９】本実施例は、前記実施例が溝棒４ａ，４ｂ
，４ｃ，４ｄによってウェハの周縁の数カ所を保持する
構成にしていたのに対し、ウェハ１２をポリシリコン製
の円板状でウェハより大径の保持部材８上に載置する構
成にしたところに特徴がある。本実施例では、前記実施
例の丸棒３ａ，３ｂ，３ｃに代えて、この丸棒３ａ，３
ｂ，３ｃと溝棒４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの機能を併せ持
った溝付きで石英またはＳｉＣ製のウェハ保持柱９ａ，
９ｂ，９ｃ，９ｄ（連結部材）を用い、このウェハ保持
柱９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄの上下に天板１０と下板１１
（共に石英またはＳｉＣ製）を溶接によって固定してい
る。ウェハ保持柱９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄには、溝棒４
ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄと同様に長さ方向に一定間隔に溝
が設けられ、この溝へ図６に示すように保持部材８の各
々が係止される。
，４ｃ，４ｄによってウェハの周縁の数カ所を保持する
構成にしていたのに対し、ウェハ１２をポリシリコン製
の円板状でウェハより大径の保持部材８上に載置する構
成にしたところに特徴がある。本実施例では、前記実施
例の丸棒３ａ，３ｂ，３ｃに代えて、この丸棒３ａ，３
ｂ，３ｃと溝棒４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの機能を併せ持
った溝付きで石英またはＳｉＣ製のウェハ保持柱９ａ，
９ｂ，９ｃ，９ｄ（連結部材）を用い、このウェハ保持
柱９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄの上下に天板１０と下板１１
（共に石英またはＳｉＣ製）を溶接によって固定してい
る。ウェハ保持柱９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄには、溝棒４
ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄと同様に長さ方向に一定間隔に溝
が設けられ、この溝へ図６に示すように保持部材８の各
々が係止される。
【００３０】保持部材８は図８に示すように、中心部か
ら周辺方向に向かって開口部１３が形成されている。こ
の開口部１３は、ウェハ１２を保持部材８へ自動機を用
いて載置し或いは取り出すことができるようにするため
に設けられている。開口部１３が設けられた方向の中心
を境に左右９０°の範囲には、ウェハ保持柱９ａ，９ｂ
，９ｃ，９ｄを設けず、ウェハ保持柱９ａ，９ｂ，９ｃ
，９ｄ及びウェハ１２を自由に出し入れできるようにし
ている。
ら周辺方向に向かって開口部１３が形成されている。こ
の開口部１３は、ウェハ１２を保持部材８へ自動機を用
いて載置し或いは取り出すことができるようにするため
に設けられている。開口部１３が設けられた方向の中心
を境に左右９０°の範囲には、ウェハ保持柱９ａ，９ｂ
，９ｃ，９ｄを設けず、ウェハ保持柱９ａ，９ｂ，９ｃ
，９ｄ及びウェハ１２を自由に出し入れできるようにし
ている。
【００３１】本実施例では、ボート本体は図７に示すよ
うに、石英（またはＳｉＣ）製のウェハ保持柱９ａ，９
ｂ，９ｃ，９ｄにより、同一材料の天板１０と下板１１
を溶接を用いて一体的に固定することにより作製できる
。このようにして完成したボート本体のウェハ保持柱９
ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄの溝ごとに１枚の保持部材８を差
し込んでいくことによりボートが完成する。このような
ボートに対し、ウェハ１２を保持部材８の各々の上面に
載置する。この状態で拡散装置内に設置されたボートは
高温雰囲気下で処理されるが、ウェハ１２と保持部材８
の物理的性質が同じであるため、ウェハ１２に温度差を
生じさせることがない。したがって、前記実施例と同様
に、ウェハには結晶欠陥が生じない。また、ウェハ１２
の全面が保持部材８によって支持されるため、局部的な
荷重の印加が防止され、同様に結晶欠陥の発生を防止す
ることができる。
うに、石英（またはＳｉＣ）製のウェハ保持柱９ａ，９
ｂ，９ｃ，９ｄにより、同一材料の天板１０と下板１１
を溶接を用いて一体的に固定することにより作製できる
。このようにして完成したボート本体のウェハ保持柱９
ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄの溝ごとに１枚の保持部材８を差
し込んでいくことによりボートが完成する。このような
ボートに対し、ウェハ１２を保持部材８の各々の上面に
載置する。この状態で拡散装置内に設置されたボートは
高温雰囲気下で処理されるが、ウェハ１２と保持部材８
の物理的性質が同じであるため、ウェハ１２に温度差を
生じさせることがない。したがって、前記実施例と同様
に、ウェハには結晶欠陥が生じない。また、ウェハ１２
の全面が保持部材８によって支持されるため、局部的な
荷重の印加が防止され、同様に結晶欠陥の発生を防止す
ることができる。
【００３２】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。
【００３３】例えば、上記実施例においては、天板及び
下板を円板形にしたが、四角形、六角形などであっても
よい。同様に、丸棒３ａ〜３ｃ、溝棒４ａ〜４ｄ、ウェ
ハ保持柱９ａ〜９ｄは、丸棒状のものを用いたが、これ
に限らず角柱状のものであってもよい。
下板を円板形にしたが、四角形、六角形などであっても
よい。同様に、丸棒３ａ〜３ｃ、溝棒４ａ〜４ｄ、ウェ
ハ保持柱９ａ〜９ｄは、丸棒状のものを用いたが、これ
に限らず角柱状のものであってもよい。
【００３４】また、溝棒４ａ〜４ｄは、丸棒形の例を示
したが、長板に溝を設けるものとしてもよい。さらに、
溝を溝棒４ａ〜４ｄ及びウェハ保持柱９ａ〜９ｄの一部
分にのみ設けるものとしたが、リング状に周回させても
よい。このようにすれば、方向性を考慮する必要が無い
ので、突起５ｂを設ける必要が無くなる。
したが、長板に溝を設けるものとしてもよい。さらに、
溝を溝棒４ａ〜４ｄ及びウェハ保持柱９ａ〜９ｄの一部
分にのみ設けるものとしたが、リング状に周回させても
よい。このようにすれば、方向性を考慮する必要が無い
ので、突起５ｂを設ける必要が無くなる。
【００３５】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記の通りである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記の通りである。
【００３６】すなわち、縦型でかつ下方開放型の熱処理
装置に用いられるボートであって、天板及び下板を複数
の連結部材で連結して一体化すると共に各々に同一材料
を用いたボート本体と、ウェハを支持するための溝を有
して前記天板及び前記下板間に着脱自在に取り付けられ
ると共に物理的特性がウェハに等しいウェハ保持部材と
を設けるようにしたので、熱伝導率の差に起因してウェ
ハに生じていた熱応力転位を低減することができるほか
、変形や破損を低減でき、部品の交換が容易なために、
そのメンテナンスも極めて容易である。
装置に用いられるボートであって、天板及び下板を複数
の連結部材で連結して一体化すると共に各々に同一材料
を用いたボート本体と、ウェハを支持するための溝を有
して前記天板及び前記下板間に着脱自在に取り付けられ
ると共に物理的特性がウェハに等しいウェハ保持部材と
を設けるようにしたので、熱伝導率の差に起因してウェ
ハに生じていた熱応力転位を低減することができるほか
、変形や破損を低減でき、部品の交換が容易なために、
そのメンテナンスも極めて容易である。
【００３７】また、縦型でかつ下方開放型の熱処理装置
に用いられるボートであって、同一材料による天板及び
下板と、これらと同一の材料を用いて加工され、前記下
板及び前記天板を連結すると共にその長手方向に連続的
に溝が形成された複数の連結部材と、該ウェハ保持部の
溝に支持されると共に、ウェハが載置される円板状の保
持部材とを設けたことにより、ウェハを全面で支持する
ことができ、ウェハに局所的に荷重が印加されるのを防
止でき、結晶欠陥の発生などの防止が可能になる。
に用いられるボートであって、同一材料による天板及び
下板と、これらと同一の材料を用いて加工され、前記下
板及び前記天板を連結すると共にその長手方向に連続的
に溝が形成された複数の連結部材と、該ウェハ保持部の
溝に支持されると共に、ウェハが載置される円板状の保
持部材とを設けたことにより、ウェハを全面で支持する
ことができ、ウェハに局所的に荷重が印加されるのを防
止でき、結晶欠陥の発生などの防止が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による熱処理装置用ボートの一実施例を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図２】本発明に係る溝棒の実装状態を示す断面図であ
る。
る。
【図３】溝棒の詳細構成を示す斜視図である。
【図４】溝棒の取付状態を示す断面図である。
【図５】本発明による熱処理装置用ボートの他の実施例
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【図６】図５の実施例の正面図である。
【図７】図６おけるボート本体の詳細を示す斜視図であ
る。
る。
【図８】図６に示す保持部材の詳細を示す斜視図である
。
。
１ 天板
２ 下板
３ａ，３ｂ，３ｃ 丸棒（連結部材）４ａ，４ｂ，４
ｃ，４ｄ 溝棒（ウェハ保持部材）５ａ 溝 ５ｂ 突起 ６ 座ぐり穴 ７ 貫通孔 ８ 保持部材 ９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄ ウェハ保持柱（連結部材）
１０ 天板 １１ 下板 １２ ウェハ １３ 開口部
ｃ，４ｄ 溝棒（ウェハ保持部材）５ａ 溝 ５ｂ 突起 ６ 座ぐり穴 ７ 貫通孔 ８ 保持部材 ９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄ ウェハ保持柱（連結部材）
１０ 天板 １１ 下板 １２ ウェハ １３ 開口部
Claims (4)
- 【請求項１】 縦型でかつ下方開放型の熱処理装置に
用いられるボートであって、天板及び下板を複数の連結
部材で連結して一体化すると共に、各々に同一材料を用
いたボート本体と、ウェハを支持するための溝を有して
前記天板及び前記下板間に着脱自在に取り付けられると
共に、物理的特性がウェハに等しいウェハ保持部材とを
具備することを特徴とする熱処理装置用ボート。 - 【請求項２】 前記ウェハ保持部の材料が、ポリシリ
コンであることを特徴とする請求項１記載の熱処理装置
用ボート。 - 【請求項３】 縦型でかつ下方開放型の熱処理装置に
用いられるボートであって、同一材料による天板及び下
板と、これらと同一の材料を用いて加工され、前記下板
及び前記天板を連結すると共にその長手方向に連続的に
溝が形成された複数の連結部材と、該ウェハ保持部の溝
に支持されると共に、ウェハが載置される円板状の保持
部材とを具備することを特徴とする熱処理装置用ボート
。 - 【請求項４】 前記保持部材の材料が、ポリシリコン
であることを特徴とする請求項３記載の熱処理装置用ボ
ート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3068360A JPH04304652A (ja) | 1991-04-01 | 1991-04-01 | 熱処理装置用ボート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3068360A JPH04304652A (ja) | 1991-04-01 | 1991-04-01 | 熱処理装置用ボート |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04304652A true JPH04304652A (ja) | 1992-10-28 |
Family
ID=13371553
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3068360A Pending JPH04304652A (ja) | 1991-04-01 | 1991-04-01 | 熱処理装置用ボート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04304652A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5370142A (en) * | 1992-11-10 | 1994-12-06 | Tokyo Electron Limited | Substrate washing device |
| WO1996028843A1 (en) * | 1995-03-13 | 1996-09-19 | Tokyo Electron Limited | Heat-treating apparatus |
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| JP2023179113A (ja) * | 2022-06-07 | 2023-12-19 | 株式会社フェローテックホールディングス | ウェハボート |
-
1991
- 1991-04-01 JP JP3068360A patent/JPH04304652A/ja active Pending
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