JPH0519952Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 (1) 考案の目的 ［産業上の利用分野］ 本考案は、ウエーハの熱処理用治具に関し、特
にウエーハ支持部の下部板状体の下面中央部を凹
部としてなるウエーハの熱処理用治具に関するも
のである。

［従来の技術］ 従来この種のウエーハの熱処理用治具として
は、第４図に示すように、ウエーハ支持部２０の
下部板状体２２の下面２２Ｄ全体が同一平面とさ
れてなるものが提案されていた。

［解決すべき問題点］ しかしながら従来のウエーハの熱処理用治具で
は、下部板状体２２の下面２２Ｄが同一平面であ
つたので、テーブル部の支持柱体頭部による支持
領域を確保するために、その全面を研磨加工によ
つて平坦化しなければならない欠点があり、ひい
てはその研磨加工に多大の労力ならびに時間を必
要とする欠点があつた。

そこで本考案は、これらの欠点を解決すべく、
ウエーハ支持部の下部板状体下面をその中央部で
凹部としてなるウエーハの熱処理用治具を提供せ
んとするものである。

(2) 考案の構成 ［問題点の解決手段］ 本考案により提供される問題点の解決手段は、
ウエーハ支持部２０とテーブル部３０より成り、
上記ウエーハ支持部２０が、ウエーハを挿入載置
して支持するスリツト溝２１ａを有するウエーハ
支持柱体２１と、該ウエーハ支持柱体２１の両端
部に配設された上部板状体２３及び下部板状体２
２と、該下部板状体２２の下面中央部に形成され
た位置決穴２２Ｂを有し、他方、上記テーブル部
３０が、昇降部材３４の上部に配設されているテ
ーブル基板３５と、該テーブル基板３５の上面中
央部に配設されていて上記下部板状体２２の下面
中央部の上記位置決穴２２Ｂに嵌合される位置決
柱体３２と、該位置決柱体３２の外周に沿つて配
設された複数の支持柱体３３とを有し、さらに、
上記下部板状体２２の下面に、上記複数の支持柱
体３３と上記位置決穴２２Ｂとの間で凹部２２Ａ
が形成されていることを特徴とする半導体ウエー
ハの熱処理用治具。

である。

［作用］ 本考案にかかるウエーハの熱処理用治具は、ウ
エーハ支持部の下部板状体の下面中央部に対し凹
部を形成してなるので、下部板状体下面のうち研
磨加工を必要とする領域をその凹部周囲部のみに
制限する作用をなしており、ひいてはその研磨加
工に必要とする労力および時間を大幅に削減する
作用をなす。

［実施例］ 次に本考案について、添付図面を参照しつつ具
体的に説明する。

第１図は、本考案にかかるウエーハの熱処理用
治具の一実施例を示す正面図であつて、下部板状
体の下面中央部が除去されている。

第２図および第３図は、ともに第１図実施例の
部分斜視図であつて、それぞれウエーハ支持部お
よびテーブル部を示している。

まず本考案にかかるウエーハの熱処理用治具の
一実施例について、その構成を詳細に説明する。

１０は本考案のウエーハの熱処理用治具で、半
導体ウエーハ（図示せず）を支持するための石英
もしくは炭化珪素などで形成されたウエーハ支持
部２０と、ウエーハ支持部２０を下方より支持し
縦型熱処理炉（図示せず）に対して挿入しあるい
はその縦型熱処理炉から取り出すための石英もし
くは炭化珪素などで形成されたテーブル部３０と
を包有している。

ウエーハ支持部２０は、半導体ウエーハを挿入
載置して支持するためのスリツト溝２１ａを有す
る複数（たとえば４本）のウエーハ支持柱体２１
と、ウエーハ支持柱体２１の両端部すなわち下端
部および上端部に対して配設された下部板状体２
２および上部板状体２３とを含有している。下部
板状体２２の下面は、中央部に対し凹部２２Ａが
形成されており、かつ凹部２２Ａの中心部に位置
決穴２２Ｂが形成されている。

テーブル部３０は、下部板状体２２の位置決穴
２２Ｂに対し頭部すなわち上端部が挿入される位
置決柱体３２と、下部板状体２２の凹部２２Ａの
周囲部すなわち支持領域２２Ｃに対して頭部すな
わち上端部が当接される複数の支持柱体３３と、
位置決柱体３２および支持柱体３３が上面に植設
され下面が昇降部材３４に支持されたテーブル基
板３５とを包有している。ここで昇降部材とテー
ブル基板３５との間には、所望により熱遮蔽板な
どを配置してもよい。

更に本考案にかかるウエーハの熱処理用治具の
一実施例について、その作用を詳細に説明する。

本考案のウエーハの熱処理用治具１０は、ウエ
ーハ支持柱体２１に対しスリツト溝２１ａを形成
したのち、下部板状体２２の凹部２２Ａの周囲部
すなわち支持領域２２Ｃを平坦面とするための研
磨加工を行なう。

これにより下部板状体２２の下面のうち、テー
ブル部３０の支持柱体３３による支持のために所
要の支持領域２２Ｃを必要最小限の労力および時
間で平坦化することができ、ひいてはテーブル部
３０の支持柱体３３の頭部による支持を効率よく
確保し安定化している。

(3) 考案の効果 上述より明らかなように本考案にかかるウエー
ハの熱処理用治具は、テーブル基板上に配置され
た位置決柱体および支持柱体によつてウエーハ支
持部の下部板状体の下面を支持してなるウエーハ
の熱処理用治具であつて、特に 下部板状体の下面の中央部を凹部としてなるの
で、 (i) 下部板状体下面のうち研磨加工を必要とする
領域を凹部周囲部のみに制限できる効果 を有し、ひいては (ii) その研磨加工に必要とする労力および時間を
大幅に削減できる効果 を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案にかかるウエーハの熱処理用治
具の一実施例を示す正面図、第２図および第３図
はともに同部分斜視図、第４図は同従来例を示す
斜視図である。 １０……ウエーハの熱処理用治具、２０……ウ
エーハ支持部、２１……支持柱体、２１ａ……ス
リツト溝、２２……下部板状体、２２Ａ……凹
部、２２Ｂ……位置決穴、２３……上部板状体、
３０……テーブル部、３２……位置決柱体、３３
……支持柱体、３４……昇降部材、３５……テー
ブル基板。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ウエーハ支持部２０とテーブル部３０より成
   り、上記ウエーハ支持部２０が、ウエーハを挿入
   載置して支持するスリツト溝２１ａを有するウエ
   ーハ支持柱体２１と、該ウエーハ支持柱体２１の
   両端部に配設された上部板状体２３及び下部板状
   体２２と、該下部板状体２２の下面中央部に形成
   された位置決穴２２Ｂを有し、他方、上記テーブ
   ル部３０が、昇降部材３４の上部に配設されてい
   るテーブル基板３５と、該テーブル基板３５の上
   面中央部に配設されていて上記下部板状体２２の
   下面中央部の上記位置決穴２２Ｂに嵌合される位
   置決柱体３２と、該位置決柱体３２の外周に沿つ
   て配設された複数の支持柱体３３とを有し、さら
   に、上記下部板状体２２の下面に、上記複数の支
   持柱体３３と上記位置決穴２２Ｂとの間で凹部２
   ２Ａが形成されていることを特徴とする半導体ウ
   エーハの熱処理用治具。