JP3426257B2 - 走査式描画装置 - Google Patents
走査式描画装置Info
- Publication number
- JP3426257B2 JP3426257B2 JP29856191A JP29856191A JP3426257B2 JP 3426257 B2 JP3426257 B2 JP 3426257B2 JP 29856191 A JP29856191 A JP 29856191A JP 29856191 A JP29856191 A JP 29856191A JP 3426257 B2 JP3426257 B2 JP 3426257B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- lane
- light beam
- arrow
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 39
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
Description
描画を行なう走査式描画装置に関するものである。
うに、テーブル91上の描画面92を複数レーンに分割
して、レーザ光束のスポットが各レーンを順次、走査す
るものがある。
スポットがレーン92Aの初期位置すなわち始点201
に在れば、このスポットは、図示されない走査光学系に
より行う光束の走査により、矢印Qと同じ方向の主走査
方向にレーン92A内を移動すると共に、矢印Rと同じ
方向のテーブル91の移動により、副走査方向にレーン
92A内を移動する。これらの主走査及び副走査によ
り、スポットが始点201から終点202に描画面92
を走査し、主走査方向に対して傾斜した走査線(実際に
描画されるライン)が描かれる。続いて、スポットは、
終点202から次の始点203移り、再び、主走査方向
に対して傾斜した走査線を描く。
到達すると、テーブル91の移動により、この終点20
4から、次のレーン92Bの初期位置である始点205
に移動して、再び、主走査方向に対して傾斜した走査線
を描く。
走査式描画装置、すなわち主走査を複数のレーンに分割
し、副走査の回数が複数になる走査式描画装置では、以
下のような問題がある。 (1)走査線の描画に際して、従来の走査式描画装置
は、副走査の方向を一定としており、一旦、副走査のた
めに送ったテーブルを再度初期位置に戻してから、次の
レーンの描画をする必要があるため、時間のロスを生じ
る。特に、高い描画精度が要求される装置では、テーブ
ル移動にも高い精度が要求されるため、テーブル移動速
度は一般に低速である。したがって、このような装置で
は、低速なテーブル移動速度とテーブルを初期位置に戻
すためのロス時間とにより、描画時間が増加する。
スを減らすために、図9のテーブル91を往復移動させ
ると、図10に示されるように、例えば隣接するレーン
92A,92Bの走査線が、逆「ハ」の字形となり、描
かれた走査線のパターンの連続性がレーンの境目部分で
失われる。
ために主走査を傾けた場合には、一方向のレーンに対し
ては垂直となるが、逆方向のレーンに対してはかえって
傾きが大きくなる。
れたもので、テーブルを往復移動して走査線を描くと
き、描かれたすべての走査線の方向を揃えて、往復移動
による描画を可能にする走査式描画装置を提供すること
を目的とする。
達成するため、描画用の光束を発する光源と、光源から
の光束を偏向させると共に、偏向させた光束を所定方向
又はこの方向と逆の方向に走査させる偏向手段と、偏光
手段からの光束を描画面上に収束させる走査レンズと、
描画面を所定方向にかつ段階的に移動すると共に、所定
方向に対して略直角な方向に描画面を往復移動して、描
画面をレーン毎に走査可能にするテーブルと、テーブル
により描画面のレーンが切り換えられる毎に、偏向手段
を制御して、光束の走査方向を逆の方向へ切り換える制
御手段とを備えることを特徴としている。
の実施例1を示したものである。
手段12と、制御手段である制御部13と、走査レンズ
14と、テーブル15とを備えている。
レーザ11Aと、走査用レーザ11Aから発したレーザ
光の光束を収束する収束レンズ11Bと、収束レンズ1
1Bにより収束された光束を変調するA/0変調器11
Cと、A/0変調器11Cからの光束を平行光束にする
コリメートレンズ11Dとを備えている。
と、正逆転が可能なモータ12Bと、制御部13の制御
によりモータ12Bを正転又は逆転させるモータ駆動部
12Cとを備えている。
正転すると、矢印Aの方向に回転すると共に、光源11
からの描画用光束を反射させて、この光束を矢印Bの方
向に走査させる。また、モータ12Bが逆転すると、矢
印Aと逆方向に回転し、光束を矢印Bと反対方向に走査
させる。
により反射された光束を、テーブル15の描画面16上
に収束させる。
矢印Cの方向に、幅W毎に段階的に移動すると共に、矢
印Cの方向に対して略直角な方向、すなわち矢印Dの方
向又は矢印Dと逆の方向に往復移動する。
12Bの正・逆転を制御する。このとき、制御部13
は、テーブル15が図2の矢印Cの方向に段階的に移動
する毎に、モータ12Bの回転方向を切り換えるような
制御を行なう。
転している偏向手段12のポリゴンミラー12Aによ
り、偏向、走査され、走査レンズ14によりテーブル1
5の描画面16上に収束される。描画面16上に収束さ
れた光束のスポットは、最初に、図2のレーン16Aを
走査する。
ゴンミラー12Aの矢印Aの方向への回転により、図2
の矢印Cと逆の方向となっている。一方、スポットの副
走査方向は、テーブル15の矢印D方向の移動により、
矢印Dと逆の方向となっている。
とにより、スポットは、始点101から終点102へ移
動する。これにより、一走査が行われ、主走査方向に対
して傾斜した走査線が描かれる。この走査が終了する
と、スポットが次の始点103に移動して、同様の走査
が行われる。スポットが終点104に達すると、レーン
16Aでの走査は終了する。
ブル15が方向Cに幅Wの移動を行い、次のレーン16
Bでの走査が開始される。
御して、モータ12Bの回転を正転から逆転に切り換え
る。これにより、ポリゴンミラー12Aは、矢印Aと逆
の方向に回転し、光源11からの光束を矢印Bと反対の
方向に走査させる。この結果、描画面16に対するスポ
ットの主走査方向は、図2の矢印Cの方向となる。
に移動を始める。これにより、スポットの副走査方向
は、矢印Dの方向になる。
レーン16Bの始点105から終点106へ移動する。
これにより、一走査が行われ、主走査方向に対して傾斜
した走査線が描かれる。この走査が終了すると、スポッ
トが次の始点107に移動して、同様の走査が行われ
る。
すると、レーン16Bでの走査が終了し、テーブル15
は、矢印Cの方向に幅Wの移動を行い、つぎに、矢印D
の方向に移動を始める。同時に、制御部13は、駆動部
12Cを制御して、モータ12Bの回転を逆転から正転
に切り換える。これにより、ポリゴンミラー12Aは、
矢印Aの方向に回転し、光源11からの光束を矢印Bの
方向に走査させるので、スポットは、レーン16Aと同
様の走査を次のレーンで行なう。以下、同様にして、各
レーンでの走査が行われる。
査するとき、ポリゴンミラーの回転方向を切り換えて、
スポットの主走査方向を反転させることにより、描かれ
た走査線の方向を揃えて、テーブルの往復移動により走
査線を描画でき、描画時間の短縮を可能にする。
の実施例2を示したものである。
に示されるように、偏向ユニット31と、駆動部36と
を用いているが、他は図1の実施例と同様となってい
る。
回転している第一のモータ32と、矢印Eと逆の方向に
常に回転している第二のモータ34と、第一のポリゴン
ミラー33と、第二のポリゴンミラー35とを備えてい
る。
矢印Eの方向に回転しており、光源からの光束が入射さ
れると、この光束を反射して、図2に示されるように、
描画面16上のスポットの主走査方向を矢印Cと逆の方
向にする。
矢印Eと逆の方向に回転しており、光源からの描画用光
束が入射されると、この光束を反射して、描画面16上
のスポットの主走査方向を矢印Cの方向にする。
ニット31と接続されており、制御部13の制御によ
り、偏向ユニット31を矢印F又はその逆の方向にスラ
イドさせる。この場合、駆動部36は、図2のテーブル
15が矢印Dの方向に移動するとき、光源からの描画用
光束をポリゴンミラー33に入射させ、また、テーブル
15が矢印Dと逆の方向に移動するとき、偏向ユニット
31をスライドして、光源からの描画用光束をポリゴン
ミラー35に入射させる。
6を用いると、描画面上での走査は、次のように行われ
る。
ト31のポリゴンミラー33により偏向、走査され、走
査レンズ14によりテーブル15の描画面16上に収束
される。描画面16上に収束された光束のスポットは、
最初に、図2のレーン16Aを走査する。
ゴンミラー33の矢印Eの方向への回転により、図2の
矢印Cと逆の方向となっている。一方、スポットの副走
査方向は、テーブル15の矢印Dの方向の移動により、
矢印Dと逆の方向となっている。このような主・副走査
により、スポットは、レーン16Aを走査する。
ブル15が矢印Cの方向に幅Wの移動を行い、次のレー
ン16Bでの走査が開始される。
御により、偏向ユニット31を矢印Fの方向にスライド
して、光源からの光束をポリゴンミラー35に入射させ
る。ポリゴンミラー33と逆の方向に回転しているポリ
ゴンミラー35は、この光束を反射してテーブル15に
送る。これにより、スポットの主走査方向は、図2の矢
印Cの方向となる。
に移動を始める。これにより、スポットの副走査方向
は、矢印Dと同方向になる。このような主・副走査によ
り、スポットは、レーン16Bを走査する。
すると、レーン16Bでの走査が終了し、テーブル15
は、矢印Cの方向に幅Wの移動を行い、つぎに、矢印D
の方向に移動を始める。同時に、駆動部36は、制御部
13の制御により、偏向ユニット31を矢印Fと逆の方
向にスライドして、光源からの光束をポリゴンミラー3
3に入射させる。これにより、スポットは、レーン16
Aと同様の走査をレーン16Cで行う。以下、同様にし
て、各レーンでの走査が行われる。
査するとき、偏向ユニット全体をスライドしてスポット
の主走査方向を切り換えるので、描かれた走査線の方向
を揃えて、テーブルの往復移動により走査線を描画で
き、描画時間の短縮を可能にする。また、実施例2は、
ポリゴンミラーの回転を逆方向にしてスポットの走査方
向を変える実施例1に比べて、次のレーンの走査開始ま
での時間をさらに短縮できる。
の実施例3を示したものである。
に示されるものを用いているが、他は図1の実施例と同
様となっている。
第一のモータ41と、矢印Gと逆の方向に常に回転して
いる第二のモータ43と、第一のポリゴンミラー42
と、第二のポリゴンミラー44と、ミラー部45とを備
えている。
矢印Gの方向に回転しており、ミラー部45からの光束
を反射して走査レンズ14に送る。このために、ポリゴ
ンミラー42の反射面は、傾斜して設けられている。こ
のポリゴンミラー42は、ミラー部45からの光束が入
射されると、この光束を偏向、走査して、図2の描画面
16上のスポットの主走査方向を矢印Cと逆の方向にす
る。
矢印Gと逆の方向に回転しており、ミラー部45からの
光束を反射して走査レンズ14に送る。このために、ポ
リゴンミラー42の反射面は、傾斜して設けられてい
る。このポリゴンミラー44は、ミラー部45からの光
束が入射されると、この光束を偏向、走査して、図2の
描画面16上のスポットの主走査方向を矢印Cの方向に
する。
置45Bとを備えている。
印Hの方向又はこれと逆の方向に、一定の角度だけ回転
し、光源からの描画用光束をポリゴンミラー42又は4
4の方に反射する。
り、軸45Cを中心に矢印Hの方向又はこれと逆の方向
に、ミラー45Aを一定の角度だけ回転させる。この場
合、回転装置45Bは、図2のテーブル15が矢印Dの
方向に移動するとき、光源からの光束をポリゴンミラー
42に反射させ、また、テーブル15が矢印Dと逆の方
向に移動するとき、光束をポリゴンミラー44に反射さ
せるように、ミラー45Aを回転させる。
での走査は、次のように行われる。
より偏向、走査され、走査レンズ14によりテーブル1
5の描画面16上に収束される。描画面16上に収束さ
れた光束のスポットは、最初に、図2のレーン16Aを
走査する。
ゴンミラー42の矢印Gの方向への回転により、図2の
矢印Cと反対の方向となっている。一方、スポットの副
走査方向は、テーブル15の矢印D方向の移動により、
矢印Dと反対の方向となっている。このような主・副走
査により、スポットは、レーン16Aを走査する。
ブル15が矢印Cの方向に幅Wの移動を行い、次のレー
ン16Bでの走査が開始される。
は、制御部13の制御により、ミラー45Aを矢印Hの
方向に一定の角度だけ回転させ、ミラー45Aは、光源
からの光束をポリゴンミラー44の方に反射させる。こ
れにより、スポットの主走査方向は、図2の矢印Cの方
向となる。
に移動を始める。これにより、スポットの副走査方向
は、矢印Dの方向になる。このような主・副走査によ
り、スポットは、レーン16Bを走査する。
すると、レーン16Bでの走査が終了し、テーブル15
は、矢印Cの方向に幅Wの移動を行い、つぎに、矢印D
の方向に移動を始める。同時に、回転装置45Bは、制
御部13の制御により、ミラー45Aを矢印Hと逆方向
に一定の角度だけ回転させて、光源からの光束をポリゴ
ンミラー42に反射させる。これにより、スポットは、
レーン16Aと同様の走査をレーン16Cで行う。以
下、同様にして、各レーンでの走査が行われる。
査するとき、ミラーを一定の角度だけ回転させてスポッ
トの主走査方向を切り換えるので、描かれた走査線の方
向を揃えて、テーブルの往復移動により走査線を描画で
き、描画時間の短縮を可能にする。また、実施例3は、
偏向ユニット全体をスライドさせてスポットの走査方向
を切り換える実施例2に比べて、スポットの走査方向
を、簡単な構造により、切り換えできる。
回転軸を傾け回転して、入射された光束を偏向、走査す
ると、描画面上に走査線を傾けないで描ける。たとえ
ば、図5に示されるように、レーン16Aでのスポット
の主走査方向を矢印Jの方向に傾け、レーン16Bでの
主走査方向を矢印Kの方向に傾けることにより、走査線
を傾けないで描くことができる。
の実施例4を示したものである。
手段61と、切換手段62と、切換手段62を制御する
制御部63と、走査レンズ14と、テーブル15とを備
えている。なお、図6では、図1と同一のものには同じ
番号を付し、これらの説明を省略する。
タ61Aと、モータ61Aにより回転すると共に、光源
11からの描画用光束を反射、走査させるポリゴンミラ
ー61Bとを備えている。
を中継するリレーレンズ64と、切換部65と、切換部
65からの光束を走査レンズ14に中継するリレーレン
ズ67とを備えている。
ージローテータ66を備えている。
Aに入射された像を反射面66B,66C,66Dで反
射し、射出端面66Eから射出する。このとき、反射面
66Bの短辺66Fと平行な像L1は、像L1と同じ像
L2として射出する。また、像L1と直角な像M1は、
180゜回転された像M2として射出する。この性質に
より、像L1の示す方向に走査する光束は、イメージロ
ーテータ66を射出した後、像L2の示す方向に走査さ
れ、像M1の示す方向に走査する光束は、像M2の示す
方向に走査する。
により、テーブル15が図2の矢印Dの方向に移動する
とき、図8(a)に示されるように、リレーレンズ64
からの光束をイメージローテータ66に入射させる。す
なわち、矢印N1の方向に走査される、リレーレンズ6
4からの光束は、反射面66Bの短辺と平行な方向に走
査される光束として入射端面66Aに入射される。した
がって、イメージローテータ66は、入射された光束と
同一方向、すなわち矢印N2の方向に走査される光束を
射出端面66Eから射出する。また、切換部65は、テ
ーブル15が図2の矢印Dと反対の方向に移動すると、
制御部63の制御により、イメージローテータ66を光
軸301を中心として矢印Pの方向に90゜回転して、
図8(b)の状態にする。これにより、リレーレンズ6
4からの光束は、反射面66Bの短辺に直角な方向に走
査される光束として、入射端面66Aに入射される。し
たがって、イメージローテータ66は、入射された光束
と逆の方向、すなわち矢印N3の方向に走査される光束
を射出する。
レーレンズ64を介して切換部65に入射される。切換
部65は、入射された光束と同一方向に走査される光束
を、リレーレンズ67を介してテーブル15に射出す
る。テーブル15の描画面16上に収束された光束のス
ポットは、最初に、図2のレーン16Aを走査する。こ
のとき、スポットの主走査方向は、切換部65より、図
2の矢印Cと逆の方向となっている。一方、スポットの
副走査方向は、テーブル15の矢印D方向の移動によ
り、矢印Dと逆の方向となっている。このような、スポ
ットの主・副走査により、図2に示されるように、レー
ン16Aでの走査が行われる。
ブル15が方向Cに幅Wの移動を行い、次のレーン16
Bでの走査が開始される。このとき、切換部65は、制
御部63の制御により、イメージローテータ66を90
゜回転し、入射される方向と逆方向に走査される光束を
射出する。この結果、描画面16に対するスポットの主
走査方向は、図2の矢印Cの方向となる。一方、テーブ
ル15は、図2の矢印Dと逆の方向に移動を姶め、スポ
ットの副走査方向は、矢印Dの方向になる。これらの主
・副走査により、レーン16Bでの走査が行われる。
ブル15は、矢印Cの方向に幅Wの移動を行い、つぎ
に、矢印Dの方向に移動を始める。同時に、制御部63
は、切換部65を制御して、イメージローテータ66を
90゜回転させる。これにより、スポットは、レーン1
6Aと同様の走査をレーン16Cで行なう。以下、同様
にして、各レーンでの走査が行われる。
査するとき、切換部のイメージローテータの回転によ
り、スポットの主走査方向を反転させるので、描かれた
走査線の方向を揃えて、テーブルの往復移動により走査
線を描画でき、描画時間の短縮を可能にする。また、実
施例4は、実施例2,3のように、ポリゴンミラーを2
つ使用しないので、偏向手段の構造を簡単にできる。
するレーンが次に移るとき、スポットの主走査の方向を
逆にすることにより、描画面上に描かれたすべての走査
線の方向を揃えるので、テーブルの往復移動による走査
線の描画を可能にする効果を有する。さらに、これによ
り、走査線の描画時間を短縮できる。
ある。
ある。
ある。
ある。
る。
る。
ある。
である。
Claims (6)
- 【請求項1】描画用の光束を発する光源と、前記光源か
らの光束を偏向させると共に、偏向させた光束を所定方
向又はこの方向と逆の方向に走査させる偏向手段と、前
記偏光手段からの光束を描画面上に収束させる走査レン
ズと、前記描画面を前記所定方向にかつ段階的に移動す
ると共に、前記所定方向に対して略直角な方向に前記描
画面を往復移動して、前記描画面をレーン毎に走査可能
にするテーブルと、前記テーブルにより前記描画面のレ
ーンが切り換えられる毎に、前記偏向手段を制御して、
光束の走査方向を逆の方向へ切り換える制御手段とを備
えることを特徴とする走査式描画装置。 - 【請求項2】前記偏向手段は、 正逆転可能なモータと、 前記光源からの光束を前記走査レンズに反射させると共
に、前記モータにより回転駆動されるポリゴンミラー
と、 前記描画面のレーンが切り換えられる毎に、前記制御手
段の制御により前記モータを正転又は逆転させるモータ
駆動部とを備えることを特徴とする請求項1に記載の走
査式描画装置。 - 【請求項3】前記偏向手段は、 正転及び逆転するそれぞれ第一及び第二のモータと、 前記光源からの光束を前記走査レンズに反射させる共
に、前記第一及び第二のモータにより回転駆動されるそ
れぞれ第一及び第二のポリゴンミラーと、 前記描画面のレーンが切り換えられる毎に、前記制御手
段の制御により前記第一及び第二のポリゴンミラーを移
動して、前記光源からの光束を前記第一又は第二のポリ
ゴンミラーに反射させる駆動部とを備えることを特徴と
する請求項1に記載の走査式描画装置。 - 【請求項4】前記偏向手段は、 正転及び逆転するそれぞれ第一及び第二のモータと、 光束を前記走査レンズに反射すると共に、前記第一及び
第二のモータにより回転駆動されるそれぞれ第一及び第
二のポリゴンミラーと、 前記描画面のレーンが切り換えられる毎に、前記制御手
段の制御により、前記光源からの光束を前記第一又は第
二のポリゴンミラーに反射させるミラー部とを備えるこ
とを特徴とする請求項1に記載の走査式描画装置。 - 【請求項5】描画用の光束を発する光源と、前記光源か
らの光束を偏向させると共に、偏向させた光束を所定方
向に走査させる偏向手段と、前記偏向手段からの光束を
所定方向又はこの方向と逆の方向に切り換える切換手段
と、前記切換手段からの光束を描画面上に収束させる走
査レンズと、前記描画面を前記所定方向にかつ段階的に
移動すると共に、前記所定方向に対して略直角な方向に
前記描画面を往復移動して、前記描画面をレーン毎に走
査可能にするテーブルと、前記テーブルにより前記描画
面のレーンが切り換えられる毎に、前記切換手段を制御
して、光束の走査方向を逆の方向へ切り換える制御手段
とを備えることを特徴とする走査式描画装置。 - 【請求項6】前記切換手段は、 光束の走査方向切り換えの可能なイメージローテータを
具備すると共に、前記制御手段の制御により、このイメ
ージローテータを一定の角度回転して、前記偏向手段か
らの光束を所定方向又はこの方向と逆の方向に切り換え
て前記走査レンズに射出する切換部を備えることを特徴
とする請求項5に記載の走査式描画装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29856191A JP3426257B2 (ja) | 1991-08-27 | 1991-08-27 | 走査式描画装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29856191A JP3426257B2 (ja) | 1991-08-27 | 1991-08-27 | 走査式描画装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05328043A JPH05328043A (ja) | 1993-12-10 |
| JP3426257B2 true JP3426257B2 (ja) | 2003-07-14 |
Family
ID=17861340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29856191A Expired - Fee Related JP3426257B2 (ja) | 1991-08-27 | 1991-08-27 | 走査式描画装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3426257B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3746901B2 (ja) * | 1997-10-15 | 2006-02-22 | ユニ・チャーム株式会社 | 開閉自在容器 |
| KR102794576B1 (ko) * | 2024-04-03 | 2025-04-15 | 주식회사 에이치비테크놀러지 | 검사장치 |
-
1991
- 1991-08-27 JP JP29856191A patent/JP3426257B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05328043A (ja) | 1993-12-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3437182B2 (ja) | レーザビーム走査装置及び方法 | |
| US5048904A (en) | Two-mirror scanner with pincushion error correction | |
| JPS6365926B2 (ja) | ||
| JPH01149010A (ja) | 回転ミラー走査装置 | |
| JP3426257B2 (ja) | 走査式描画装置 | |
| US3972583A (en) | Scanning devices | |
| JPS617818A (ja) | 光走査装置 | |
| JPH116973A (ja) | 光走査装置 | |
| JPH10221618A (ja) | マルチビーム光学装置 | |
| US20060023285A1 (en) | Pixel differential polygon scanning projector | |
| JPH0682851A (ja) | ビーム偏向装置 | |
| JPH06273683A (ja) | 光学走査装置 | |
| KR102283179B1 (ko) | 2차원 스캔 장치 | |
| US3432771A (en) | Optical scanning techniques employing an optical cavity including two reflectors and a focussing objective | |
| JPH0588099A (ja) | レーザビームの走査方法 | |
| JPH01262520A (ja) | レーザビームスキャナ | |
| JP2740481B2 (ja) | 走査光学装置 | |
| JPS6290615A (ja) | 光走査装置 | |
| CN219758497U (zh) | 一种可变视角激光雷达装置 | |
| JP3088153B2 (ja) | 走査式描画装置 | |
| JP3118324B2 (ja) | マルチパタン光スキャニング装置 | |
| JPS58100815A (ja) | 広域光走査装置 | |
| JPS5820410B2 (ja) | 光学的走査装置 | |
| JPH01167718A (ja) | 二次元走査装置 | |
| JPH10142537A (ja) | 光走査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090509 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090509 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090509 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090509 Year of fee payment: 6 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |