JP3430181B2 - クリーンルーム用ファンフィルターユニット - Google Patents
クリーンルーム用ファンフィルターユニットInfo
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- 230000001143 conditioned effect Effects 0.000 description 6
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルーム用ファ
ンフィルターユニットに関するものである。 【０００２】 【従来技術及びその問題点】一般にクリーンルーム用フ
ァンフィルターユニットとは、極微の塵埃も嫌う高精密
機器を製作する部屋の空気調和を行う際に使用される空
気濾過装置のことをいい、ダクトを介して送風されてき
た調和空気をファンでその圧力を高めてフィルターを通
過させることによって濾過し、清浄な調和空気を室内に
供給するためのもので、図６に示されるようにチャンバ
ーａ内にファンｂを内蔵し、下部の空気吹出口側に高性
能のフィルターｃを設けた構造をしている。 【０００３】このファンフィルターユニットは、その部
屋の容積に応じて図７に示されるように天井面に複数個
取り付けられて使用されるが、ファンフィルターユニッ
トの故障あるいは室内にあるパーティション配置の都合
上一部のファンフィルターユニットの運転を停止した場
合、運転を停止したユニット内は室内の空気圧よりも負
圧になっているため、室内空気がこのユニット内に逆流
しようとし、室内で発生した塵埃がチャンバー下部に設
けられたフィルター下面に付着して堆積し、運転再開
時、吹出気流によって徐々に剥離して室内に飛散される
ことになって安定した清浄度が望めないことになるとい
う問題点があった。 【０００４】そのため、従来は運転停止と同時にフィル
ター下面に盲板等を張り付けてフィルター下面に塵埃が
付着しないように処置していたが、運転停止毎に盲板な
どを一々取り出してきてこのような作業をすることは極
めて煩雑であるという問題点があり、更に、運転中には
隣接するファンフイルターユニット間の空間部で渦流が
生じて気流が円滑に拡散せず、乱流が生じるという問題
点があった。 【０００５】 【発明の目的】本発明は、上記問題点を解決するため
に、フィルター下面を覆う盲板を透明で非帯電性のフィ
ルムとし、このフィルムの一端をフィルターの一部に止
着して運転中は乱流を防止し、運転停止中はフィルター
下面全面を覆うことによりフィルター下面に塵埃が付着
することを防止するファンフィルターユニットを提供す
ることを目的とするものである。 【０００６】 【発明の開示】本発明に係るクリーンルーム用ファンフ
ィルターユニットは、チャンバー内にファンを内蔵し、
下方の空気吹出口側にフィルターを設けたクリーンルー
ム用ファンフィルターユニットにおいて、前記フィルタ
ー下面の一端側に、フィルター下面全面または一部を覆
う広さの透明で非帯電性のフィルムの一端を止着し、同
フィルムの他端部をフィルターの他端側に着脱自在に止
着することにより単体のフィルムまたは複数のフィルム
で以てフィルター下面全面を覆うようにし、ファンフィ
ルターユニットが運転中はフィルムが垂れ下がった状態
でユニット間がフィルムによって仕切られるようにした
ことを特徴とするものである。 【０００７】 【発明の作用】透明で非帯電性のフィルムの一端がフィ
ルター下面の一部に止着されて運転中は垂れ下がった状
態となり、隣接するファンフィルターユニット間の空間
に生じる渦流を防止して調和空気の拡散を円滑なものと
し、運転停止時にはフィルター下面を覆うことによって
フィルター下面への塵埃の付着を防止する。 【０００８】 【実施例１】本発明ファンフィルターユニットの実施例
を図面について具体的に説明する。図１、図２は、本発
明ユニットの縦断側面図であって、１は、下部が開口し
た調和空気吹出用のチャンバー、２は、インレットコー
ン２１と、モータに駆動されて回転するランナー２２と
から成るファンで、チャンバー１の天板１１の中央部に
取り付けられている。３は、チャンバーの下部開口部に
取り付けられたＨＥＰＡフィルターであって、このフィ
ルターの枠３１の一端側下面にフィルター３下面全面を
覆う広さの透明で非帯電性のフィルム４の一端４１が接
着剤等によって止着されており、他端４２つまり自由端
側には、フィルター３の他端側の一部或いは隣接する照
明器具等の一部に着脱自在に止められる止着具５が取り
付けられている。この止着具５は両面テープ、マジック
ファスナー（商品名）、永久磁石等簡単に着脱できるも
のが好ましく、マジックファスナーの場合は対となる部
分が相手方に装着されているものとする。 【０００９】ファンフィルターユニットが運転中は図１
の如くフィルム４が垂れ下がった状態でユニット間がフ
ィルム４によって仕切られた状態となり、ユニット間で
の気流の干渉がなく、乱流が生じず、一部のユニットが
運転を停止した場合は、図２の如くフィルム４でフィル
ター３下面を覆うようにして自由端の止着具５で止めれ
ばフィルター３下面への塵埃の付着が防止される。 【００１０】 【実施例２】図３、図４は、実施例１のフィルム４を二
枚に分割したもので、フィルム４、４の一端をそれぞれ
フィルターの枠３１の両端に止着し、フィルター３の中
央部で止着具５、５を介して一体化するようにしたもの
で、その作用は実施例１の場合と同一であるが、ファン
フィルターユニット運転中には隣接するフィルム同士を
図５のように止着具５、５を介して一体化させることに
よってフィルムの揺れを防止できるものである。 【００１１】 【発明の効果】本発明に係るクリーンルーム用ファンフ
ィルターユニットによれば、フィルター下面の一端側
に、フィルター下面全面または一部を覆う広さの透明で
非帯電性のフィルムの一端を止着し、同フィルムの他端
部をフイルターの他端部側に着脱自在に止着することこ
とにより単体のフィルムまたは複数のフィルムで以てフ
ィルター下面全面を覆うようにしたものであるから、運
転停止中はフィルムの一端を止着するだけで簡単にフィ
ルター下面全面を覆ってフィルター下面への塵埃の付着
を防止ことができ、運転中にはフィルムが垂れ下がった
状態となって各ファンフィルターユニットの仕切りの作
用をしてユニット間での気流の干渉がなく、乱流が生じ
ることがなくなって調和空気の拡散が円滑に行われる等
優れた効果を奏し得るものである。
ンフィルターユニットに関するものである。 【０００２】 【従来技術及びその問題点】一般にクリーンルーム用フ
ァンフィルターユニットとは、極微の塵埃も嫌う高精密
機器を製作する部屋の空気調和を行う際に使用される空
気濾過装置のことをいい、ダクトを介して送風されてき
た調和空気をファンでその圧力を高めてフィルターを通
過させることによって濾過し、清浄な調和空気を室内に
供給するためのもので、図６に示されるようにチャンバ
ーａ内にファンｂを内蔵し、下部の空気吹出口側に高性
能のフィルターｃを設けた構造をしている。 【０００３】このファンフィルターユニットは、その部
屋の容積に応じて図７に示されるように天井面に複数個
取り付けられて使用されるが、ファンフィルターユニッ
トの故障あるいは室内にあるパーティション配置の都合
上一部のファンフィルターユニットの運転を停止した場
合、運転を停止したユニット内は室内の空気圧よりも負
圧になっているため、室内空気がこのユニット内に逆流
しようとし、室内で発生した塵埃がチャンバー下部に設
けられたフィルター下面に付着して堆積し、運転再開
時、吹出気流によって徐々に剥離して室内に飛散される
ことになって安定した清浄度が望めないことになるとい
う問題点があった。 【０００４】そのため、従来は運転停止と同時にフィル
ター下面に盲板等を張り付けてフィルター下面に塵埃が
付着しないように処置していたが、運転停止毎に盲板な
どを一々取り出してきてこのような作業をすることは極
めて煩雑であるという問題点があり、更に、運転中には
隣接するファンフイルターユニット間の空間部で渦流が
生じて気流が円滑に拡散せず、乱流が生じるという問題
点があった。 【０００５】 【発明の目的】本発明は、上記問題点を解決するため
に、フィルター下面を覆う盲板を透明で非帯電性のフィ
ルムとし、このフィルムの一端をフィルターの一部に止
着して運転中は乱流を防止し、運転停止中はフィルター
下面全面を覆うことによりフィルター下面に塵埃が付着
することを防止するファンフィルターユニットを提供す
ることを目的とするものである。 【０００６】 【発明の開示】本発明に係るクリーンルーム用ファンフ
ィルターユニットは、チャンバー内にファンを内蔵し、
下方の空気吹出口側にフィルターを設けたクリーンルー
ム用ファンフィルターユニットにおいて、前記フィルタ
ー下面の一端側に、フィルター下面全面または一部を覆
う広さの透明で非帯電性のフィルムの一端を止着し、同
フィルムの他端部をフィルターの他端側に着脱自在に止
着することにより単体のフィルムまたは複数のフィルム
で以てフィルター下面全面を覆うようにし、ファンフィ
ルターユニットが運転中はフィルムが垂れ下がった状態
でユニット間がフィルムによって仕切られるようにした
ことを特徴とするものである。 【０００７】 【発明の作用】透明で非帯電性のフィルムの一端がフィ
ルター下面の一部に止着されて運転中は垂れ下がった状
態となり、隣接するファンフィルターユニット間の空間
に生じる渦流を防止して調和空気の拡散を円滑なものと
し、運転停止時にはフィルター下面を覆うことによって
フィルター下面への塵埃の付着を防止する。 【０００８】 【実施例１】本発明ファンフィルターユニットの実施例
を図面について具体的に説明する。図１、図２は、本発
明ユニットの縦断側面図であって、１は、下部が開口し
た調和空気吹出用のチャンバー、２は、インレットコー
ン２１と、モータに駆動されて回転するランナー２２と
から成るファンで、チャンバー１の天板１１の中央部に
取り付けられている。３は、チャンバーの下部開口部に
取り付けられたＨＥＰＡフィルターであって、このフィ
ルターの枠３１の一端側下面にフィルター３下面全面を
覆う広さの透明で非帯電性のフィルム４の一端４１が接
着剤等によって止着されており、他端４２つまり自由端
側には、フィルター３の他端側の一部或いは隣接する照
明器具等の一部に着脱自在に止められる止着具５が取り
付けられている。この止着具５は両面テープ、マジック
ファスナー（商品名）、永久磁石等簡単に着脱できるも
のが好ましく、マジックファスナーの場合は対となる部
分が相手方に装着されているものとする。 【０００９】ファンフィルターユニットが運転中は図１
の如くフィルム４が垂れ下がった状態でユニット間がフ
ィルム４によって仕切られた状態となり、ユニット間で
の気流の干渉がなく、乱流が生じず、一部のユニットが
運転を停止した場合は、図２の如くフィルム４でフィル
ター３下面を覆うようにして自由端の止着具５で止めれ
ばフィルター３下面への塵埃の付着が防止される。 【００１０】 【実施例２】図３、図４は、実施例１のフィルム４を二
枚に分割したもので、フィルム４、４の一端をそれぞれ
フィルターの枠３１の両端に止着し、フィルター３の中
央部で止着具５、５を介して一体化するようにしたもの
で、その作用は実施例１の場合と同一であるが、ファン
フィルターユニット運転中には隣接するフィルム同士を
図５のように止着具５、５を介して一体化させることに
よってフィルムの揺れを防止できるものである。 【００１１】 【発明の効果】本発明に係るクリーンルーム用ファンフ
ィルターユニットによれば、フィルター下面の一端側
に、フィルター下面全面または一部を覆う広さの透明で
非帯電性のフィルムの一端を止着し、同フィルムの他端
部をフイルターの他端部側に着脱自在に止着することこ
とにより単体のフィルムまたは複数のフィルムで以てフ
ィルター下面全面を覆うようにしたものであるから、運
転停止中はフィルムの一端を止着するだけで簡単にフィ
ルター下面全面を覆ってフィルター下面への塵埃の付着
を防止ことができ、運転中にはフィルムが垂れ下がった
状態となって各ファンフィルターユニットの仕切りの作
用をしてユニット間での気流の干渉がなく、乱流が生じ
ることがなくなって調和空気の拡散が円滑に行われる等
優れた効果を奏し得るものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明クリーンルーム用ファンフィルターユニ
ットの運転中の縦断側面図である。 【図２】本発明クリーンルーム用ファンフィルターユニ
ットの運転停止中の縦断側面図である。 【図３】本発明クリーンルーム用ファンフィルターユニ
ットの第２実施例の運転中の縦断側面図である。 【図４】本発明クリーンルーム用ファンフィルターユニ
ットの第２実施例の運転停止中の縦断側面図である。 【図５】本発明クリーンルーム用ファンフィルターユニ
ットを複数個取り付けた部屋の概略説明図である。 【図６】従来公知のクリーンルーム用ファンフィルター
ユニットの縦断側面図である。 【図７】従来公知のクリーンルーム用ファンフィルター
ユニットを複数個取り付けた部屋の概略説明図である。 【符号の説明】 １ チャンバー ２ ファン ３ フィルター ４ フィルム ５ 止着具
ットの運転中の縦断側面図である。 【図２】本発明クリーンルーム用ファンフィルターユニ
ットの運転停止中の縦断側面図である。 【図３】本発明クリーンルーム用ファンフィルターユニ
ットの第２実施例の運転中の縦断側面図である。 【図４】本発明クリーンルーム用ファンフィルターユニ
ットの第２実施例の運転停止中の縦断側面図である。 【図５】本発明クリーンルーム用ファンフィルターユニ
ットを複数個取り付けた部屋の概略説明図である。 【図６】従来公知のクリーンルーム用ファンフィルター
ユニットの縦断側面図である。 【図７】従来公知のクリーンルーム用ファンフィルター
ユニットを複数個取り付けた部屋の概略説明図である。 【符号の説明】 １ チャンバー ２ ファン ３ フィルター ４ フィルム ５ 止着具
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平４−214139（ＪＰ，Ａ)
実開 平４−45522（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭62−55027（ＪＰ，Ｕ)
実開 平４−78921（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
F24F 7/06
B01D 46/42
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 チャンバー内にファンを内蔵し、下方の
空気吹出口側にフィルターを設けたクリーンルーム用フ
ァンフィルターユニットにおいて、前記フィルターの一
端側に、フィルター下面全面または一部を覆う広さの透
明で非帯電性のフィルムの一端を止着し、同フィルムの
他端部をフィルターの他端側に着脱自在に止着すること
により単体のフィルムまたは複数のフィルムで以てフィ
ルター下面全面を覆うようにし、ファンフィルターユニ
ットが運転中はフィルムが垂れ下がった状態でユニット
間がフィルムによって仕切られるようにしたことを特徴
とするクリーンルーム用ファンフィルターユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12815694A JP3430181B2 (ja) | 1994-05-18 | 1994-05-18 | クリーンルーム用ファンフィルターユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12815694A JP3430181B2 (ja) | 1994-05-18 | 1994-05-18 | クリーンルーム用ファンフィルターユニット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07310940A JPH07310940A (ja) | 1995-11-28 |
| JP3430181B2 true JP3430181B2 (ja) | 2003-07-28 |
Family
ID=14977776
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12815694A Expired - Fee Related JP3430181B2 (ja) | 1994-05-18 | 1994-05-18 | クリーンルーム用ファンフィルターユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3430181B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111734952B (zh) * | 2020-04-10 | 2021-10-15 | 江苏盛伟燃气科技有限公司 | 一种快开盲板装置 |
-
1994
- 1994-05-18 JP JP12815694A patent/JP3430181B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07310940A (ja) | 1995-11-28 |
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