JP4074660B2 - シリコンをベースとした化学センサ - Google Patents

Description

本発明は、トランスデューサーとして作用する半導体基板上に設けられているセンサとして働く層を備えたシリコンをベースとした化学センサに関する。
生物活性の成分で働く化学センサ公知であり、その開発は隆盛をみている。
このようなセンサは本質的に、検査すべき媒体−特に液体−に曝されるセンサとして働く物質を備えている表面層を有している。この層は、通常例えばＰＶＣから成る膜内に固定化されて存在しているセンサとして働く物質を含んでいる。分解物質の作用の下にセンサとして働く物質から発生される信号はトランスデューサー素子により変換され、場合によっては集積されている電気処理部により最後に記録可能な形態で得られる。
トランスデューサーとしては、特に半導体電極、電界効果型トランジスタ、電位差計測型電極および電流計測型電極等が該当する。
すべての公知のセンサに共通していることは、センサ膜のその都度の基礎構造素子上への付着が大抵不十分であることである。即ち、検査すべき測定溶液が洗い流されたり、不都合な事態では直接センサ膜内に侵入してしまったり、このセンサ膜を非可逆的に損傷してしまう。これに伴って、センサ出力信号の安定性に関する問題およびドリフトに関する問題が生じる。更に、感受性の膜成分の溶液内への拡散、即ち“滲出と洗流（Ausblut und Auswaschen）”を確認しなければならない。従って、このようなセンサは寿命が限られている。更に、接触部および電子信号部が薄い固定化層によってのみ感受性の領域内から分離されており、これにより極めて故障の発生が多くなることは不利である。
このような問題を解決するための試みを、クノル氏はドイツ連邦共和国特許公開第４１ １５ ４１４号公報に記載している。即ち、その記載によれば、異方性のエッチング開孔（窓）が封じ込め部（Containment）として基板内に形成され、このエッチング開孔内にセンサ膜が定着される。この閉じ込め部は非伝導性の物質で被覆されており、付加的にバイパス電極（Ableiteelektrode）が分離される。この垂直な閉じ込め部はチップ背側方向で先細りの開孔を備えており、この開孔は測定溶液と直接接触している。これにより、上に記載した欠点が回避される。特に、この技術によりいわゆる異なった物質もしくは種類の異なるイオンに対して異なった感受性を備たセンサ配列が形成される。
このセンサ様式にあっては、閉じ込め部の形成により、滲出と流出に対するイオン選択性の膜の或る程度の保護が達せられる。しかし、この技術はそれを行うには容易なことではない。即ち、この技術は経費を要するリソグラフ技術を用いて始めて実現可能である。こう言ったことから、本発明が目的とするところは、冒頭に記載の様式のセンサを、センサとして働く物質を、異なった形態で、センサの異なったタイプのトランスデューサー／電子機器に集積可能であるように、しかも故障発生率が僅かであるように、かつこの場合付加的に安定性の向上並びに感受性の増大も達せられるように構成することである。
この目的は本質的に請求の範囲請求項１に記載の様式の化学センサによって解決される。この化学センサは電子工業的に超小型化された形で得られる。
本発明による他の構成は請求の範囲の他の請求項に記載した。
本発明にあっては、多孔質の層を造る際、経費を要するリソグラフ技術の適用はしなくて済む。形成された三次元の海綿状構造は、多孔質の半導体基板内でのセンサとして働く材料の良好な機械的な定着のための、および立体的な架橋のためのマトリックスとして使用できる。これに伴い、液体中での高い物理的な（機械的な）かつ電気化学的な安定性が達せられる。従って、特に連続的な作業での使用に適しており、例えばＦＩＡ−シテムでの検出器としての使用に適している。
エッチング処理により形成された多孔質のシリコンは自体久しい以前から知られており、その使用も日本国特開昭６１−２１８ ９３２号に記載のバイオセンサ技術において言及されている。この公報にはＩＳＦＥＴ（イオン高感度電界効果型トランジスタ）が記載されており、このＩＳＦＥＴの表面上にソースとドレイン間で絶縁層が形成され、次いで多結晶のシリコンで積層され、このシリコンは陽極化成処理により生化学物質のための“フイルム”として多孔質のシリコン層に変換される。この提案はバイオセンサの形態の改良に関しては明らかに全くと言っていいほど示唆するところがなく、またクノル氏の提案から推察可能であるように実際の使用に程遠い。
この日本国公開特許公報に開示の内容と本発明は、トランスデューサーとして働く半導体基板が、表面から物質内に侵入する多孔質の海綿状構造を形成するために直接エッチング処理され、この多孔質の海綿状構造の孔はセンサとして働く物質の侵入能に適合した平均孔径を有している点で異なる。
この場合、特に厚みの僅かな非伝導性の絶縁層の間挿の下にセンサとして働く物質を収容する、メソ孔および／またはマクロ孔を有している、海綿状の多孔質層が有利であり、従ってセンサとして働く物質の単位面積（幾何学的な表面）当たりの有効性は著しく増大する。
もちろん、センサとして働く物質の種類および形状により、エッチング処理により生成される多孔質のシリコンの必要とする海綿状構造が決定される。
根本的にドーピングに応じて異なる多孔質輪郭が得られ、その際ｎ−シリコン内に枝分かれを有する深く侵入したエッチング開孔が形成され、このエッチング孔の平均孔径は選択された予備処理のパラメータ、温度、電解液の組成、陽極化成電流密度および陽極化成時間並びに後処理により決定される。陽極エッチングの処理の間の照射により開孔形成を調節することが可能であり、その際特に間欠的な光線入射により場合によっては開孔内の所望の直径の変動を全長にわたって達することが可能である。
ｐ−シリコン並びにｎ⁺−シリコンもしくはｐ⁺−シリコンをエッチング処理することにより（マイクロ多孔質の、もしくはいわゆる矢はず張り形の枝別れ（Fischgraetenverzweigung）を備えて）形成される多孔質の構造は、積層されるセンサとして働く物質の種類に応じて使用可能である。エッチング処理とエッチング処理結果に関する詳細は、雑誌『Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．』、１９９２年７１Ｒｌに所載のＲ．Ｌ．ＳｍｉｔｈとＳ．Ｄ．Ｃｏｌｌｉｎｓの論文に記載されている。
形成される海綿状構造の孔径により、この孔径をマクロ多孔質シリコン（＜２ｎｍ）、メソ多孔質シリコン（２−５０ｎｍ）とマクロ多孔質シリコン（＞５０ｎｍ）とに区別される。
本発明によるエッチング処理のために適用可能なプロセスパラメータを以下に記載する。
−半導体基板の電気化学的な前処理（フッ化水素酸、有機および無機溶剤、水、並びにそれらの混合物質）
−使用されるエッチング処理剤および溶剤（ＨＦ−エタノールもしくはＨＦ−プロパノール−混合物質）；
−プロセス温度（５−１５０℃）；
−陽極化成処理電流（１−５００ｍＡ／cm²）；
−陽極化成処理中の付加的な照射（波長λ＝２００−８００ｎｍ、強度および出力：０，１−１００ｍＷ／cm²、照明の設置場所：試料の上側或いは試料の下側並びに照明の周波数ｆ＝０，１−１０００Ｈｚ）；
−多孔質の海綿状構造の後処理（洗浄レジメ、例えばエタノール中で／温度／貯蔵条件、例えばＮ₂−雰囲気中で）。
シリコンー海綿状構造の孔壁上に形成される非伝導性の層は、自体公知の方法により（最も簡単な場合）ＳｉＯ₂或いはＡｌ₂Ｏ₃或いはＴａ₂Ｏ₅或いはまたＺｒＯ₂、Ｓｉ₃Ｎ₄、珪酸塩、ガラス等のような他の誘電化合物−それら単独で或いは組合せで−から成る。この目的で、ＳｉＯ₂を使用した場合は、海綿状構造の存在しているＳｉ−表面を酸化処理するのが有利である。これは特に、熱的な、無機的な、化学的な均一な酸化或いはまた自然の酸化により達せられる。その際、得られた非伝導性の層の層厚みは−孔の大きさに依存しているが−１−１００ｎｍの範囲で変動可能である。
Ａｌ₂Ｏ₃或いはＴａ₂Ｏ₅を使用した場合は、先ず基礎となる金属（ＡｌおよびＴａ）は、例えば電気化学的に、直流電気により或いは気相から析出され、これに引続いて−上記のＳｉに関して記載したと同様にして−相当する酸化物に変換される。
ＳｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃、Ｔａ₂Ｏ₅、ＺｒＯ₂、Ｓｉ₃Ｎ₄等のような酸化の誘電化合物を従来のＰＶＤ−方法およびＣＶＤの方法により直接シリコン基板上に析出させることは公知である（雑誌『Ｓｅｎｓｏｒ ａｎｄ Ａｃｔｕａｔｏｒｓ』、１７巻（１９９４）、１５７−１６４頁参照）。
本発明によりこのようにして形成された多孔質の構造中に或いはこの構造面に“定着される”センサとして働く物質は、大多数知られている。従って、以下に、異なったシステムとシリコンのこの目的に適切な多孔率並びに定着の例を記載する。
純粋な吸着もしくは化学吸着以外に、多孔質の構造へのセンサとして働く物質の共有結合も有利であり、この多孔質の構造の平均孔径は１０〜１０³ｎｍに選択される。この孔表面は、センサとして働く物質を結合するために、化学的な前処理或いは変性により、例えばシラン化により、活性化される。更に、例えばグルタルジアルデヒドのようないわゆる機能的な架橋体（スペーサ分子）が孔境界面に或いは孔壁に定着される。
孔層内に侵入した生体分子相互の、例えばグルタルジアルデヒドとの完全な或いは部分的な（例えば表面近傍の領域内においてのみの）架橋は、層内における生化学物質の特別安定した統合を誘起する。このような架橋は多孔質層内に生体分子が侵入した後、例えばグルタルジアルデヒドで飽和された雰囲気での露光により達せられる。このようにして処理される層の平均孔径は≧５０ｎｍである。
酵素、たんぱく質、抗体、細胞、細胞内小器官、組織片等のような生物学的構造体は直接或いはゲル封じ込めにより、即ちポリウレタン、ポリアクリルアミド、寒天、ゼラチン等のようなポリマーから成るキャリアマトリックス内に埋設され、場合によっては立体的に架橋されて侵入させられ、その際多孔質海綿状構造内に侵入させられる物質の大きさに応じて、平均孔大きさは１０ｎｍから１００μｍの範囲で、特に≧２０ｎｍに選択される。
例えば、
−ＰＶＣ
−軟化剤
−イオン活性化合物（イオノフォア）
−添加剤
から成る“膜カクテル（Membrancocktail）”として使用される液状膜の形のセンサとして働く物質を定着するために、少なくとも５０ｎｍ、特に１００ｎｍ以上の孔大きさが適用される。
液状のゾル／ゲル層＋湿潤剤として孔内に侵入させられ、引続いて焼戻されて無定形のガラス層−これは原料カクテルに依存して、例えば異なったアルカリイオンの検出に使用可能である−とされたガラス層は、特に化学センサとして適している。この場合も同様に孔の大きさが≧５０ｎｍ、特に１００ｎｍ以上であるのが有利である。直流電流のもしくは気体相からおよび電気化学的に多孔質物質中で析出された金属から成る固体層は、陰イオンの検出に使用できる金属化合物（例えばＡｇ／Ａｇｃｌ等のような）との組合せで、所定の孔大きさに関して極めて柔軟性を有しており、この場合孔大きさが１０−５００ｎｍの領域にあることが有利であることが分かった。
選択されたセンサとして働く物質は、公知の方法により異なるタイプのセンサものとの組合せで使用することが可能である。その詳細は、例えば単行本であるＦ．ＳｃｈｅｌｌｅｒおよびＦ．Ｓｃｈｕｂｅｒｔ共著“Ｂｉｏｓｅｓｏｒｅｎ（バイオセンサ）”、ベルリン アカデミー出版社１９８９年発行を参照されたい。
上記から推察されるように、本発明の構成は極めて多様である。以下に若干の例を添付の図面を基として説明する。
第１図および第１ａ図 多孔質の（バイオ）化学のシリコンセンサの切断して拡大した断面図、
第２図 容量形電界効果型センサ、
第３図 電界効果センサの断面図、
第４図 電位差計測型イオン選択性電極（ＩＳＥ）、
第５図 センサ配列
第１図には多孔質の（バイオ−）化学シリコンセンサの層構造が断面図で示されている。
基板２として、ドーピングされた単結晶或いは多結晶のシリコンが使用されている。ドーピングの濃度は、ｎ−シリコンおよびｐ−シリコンに関して１×１０¹⁴−１×１０¹⁸cm³の範囲で可変され、ｎ⁺−シリコンおよびｐ⁺−シリコンに関しては＞１×１０¹⁸／cm³である。基板２の下側には、例えばＡｌ、Ｔｉ／Ｐｔ／Ａｕ、Ｃｒ／Ｓｂ／Ａｕ或いは類似の伝導性の化合物質のような伝導性の層もしくは層列から成るオーム背面接触層１が存在している。この接触層は、例えばＰＶＤ−析出およびイオン打込み或いは電気化学的な析出方法のような従来の積層方法により形成される。
多孔質の層構造を造るため、基板は化学的に不活性な試料小室（例えばテフロン▲Ｒ▼（米国デュポン社の商標）内に内蔵され、この試料は陽極として、エッチング液中に浸漬された（例えば白金から成る）陰極中に接続され、海綿状構造３が以下のような方法で造られる。
ａ）出発物質としてｎ−シリコンを使用した際、照射強度と照射側面に応じて異なって変成された孔構造およびチャンネル構造が得られる。光源、例えばハロゲンランプがオーム背面接触層１と反対側に存在している場合、ｎ−シリコンの集積物中に、水平な、側方の枝別れ、いわゆる“サイドブランチ”に比される次元を備えた垂直な、マクロ孔のチャンネル３（長さは多孔質構造の層厚みに相当し、直径は０．１−１０μｍ）が形成される。その上表面領域内に、異方性の孔構造（直径：＜５ｎｍ）−この孔構造はマクロ孔の海綿状構造３との組合せで利用できるか或いはプロセス工程が終了した後ＮａＯＨ−溶液で除去可能である−を備えたミクロ孔層が形成される。陽極化成電流密度（孔率の増大）も処理時間（多孔質のシリコン構造の層厚みの増大）も決定的にマクロ孔の海綿状構造の構造を決定する。このマクロ孔の海綿状構造に対して平行に形成されるミクロ孔層の層厚みは本質的に光入射深さ、即ち照射光線源の波長により決定される。
更に、照射光線源の強度を時間に依存して変更した場合、即ち孔成長の間例えば照射光線源を接続したり或いは遮断したりした場合、これに伴い付加的に垂直チャンネルの直径を変えることが可能である。照射作業相の間、遮蔽相の時間帯におけると異なる孔径が形成される。このことから、“波形の、鼓状の”かつ垂直な孔構造とチャンネル構造が得られ、これらの構造は引続いて析出するセンサ膜の機械的な定着を支援する。照射光線源がオーム背面接触層１と反対側に存在している場合、垂直なチャンネル構造の様式のマクロ孔が側方での枝別れを伴うことなく形成される。その際、プロセスパラメータに応じて、孔径は１００ｎｍ〜１０μｍの範囲で変更可能である。この垂直なチャンネルの長さは多孔質の孔層の全層厚みの領域内にある。
ｂ）上記の工程と異なって、ｎ⁺−ドーピングされたシリコンがメソ多孔質の海綿状構造（孔径：２−５０ｎｍ、チャンネル長さは多孔質構造の層厚みに相当している。）を形成する。水平な枝別れは垂直なチャンネルに対して厳格に直交して指向してはいない。多孔質層構造は“矢はず張り形状”に比される。即ち、サイドブランチは垂直なチャンネルに対して＜４５°の傾斜で存在している。
ｃ）ミクロ多孔質層構造（平均孔径は＜２ｎｍである）は特にｐ−シリコンを介して出発物質として使用できる。この場合、異方性の、均一に分配された孔配列が形成される。孔径は上に述べた領域内において照射によって調節可能であり、孔率は陽極化成電流を変化させることにより調節可能である。
ｄ）基礎物質としてｐ⁺−ドーピングされたシリコンを使用した場合、これによって得られる海綿状構造はｎ⁺−ドーピングされたシリコンに関して得られた結果に比される。水平な横方向枝別れは、その立体構造がｂ）において述べた構造に全く類似している。同様に垂直な孔径並びにチャンネル長さはその幾何学的な延長に比すことが可能である。
ａ）−ｄ）に記載したような様式で色々と調節可能な海綿状構造により、センサとして働く（バイオ）化学膜の意図した調節により造ること（Tailoring）が可能となる。この目的のために、海綿状構造３は（第１ａ図に断面で示した）が非伝導性の物質４により積層される。このようにして形成された多孔質の層はセンサとして働く成分５を収容するのに役立つ。
その都度の使用目的に応じて、センサとして働く物質は、既に冒頭に記載したように、イオン選択性の膜として存在していることも、およびバイオセンサ素子の形でも構成されていてもよく、その際必要に応じて化学的な前処理（例えばシラン化）が行なわれ、これによりセンサ物質の多孔質の層への直接的な良好な付着および多孔質の層内への固着が可能となる：
ａ）イオン選択性の膜の公知の製造は同様な方法により多孔質の海綿状構造にも適用することが可能である。この目的のため、或る溶剤中に含有されている膜材料（例えばイオノフォア、軟化剤、ＰＶＣ−マトリックス）が海綿状構造内に侵入させられた、この海綿状構造内で溶剤の蒸発後、安定化および固着が行なわれる。
ｂ）更に、酵素、抗体、組織片、小器官或いはレセプターの形の生体分子をがセンサとして働く膜成分として或いは直接海綿状構造内で析出させることが可能である。これを行うには、慣用の物理的な固定化方法（例えば吸着、ゲル封じ込め）、および公知の化学的な固定化方法（例えば共有結合、架橋）も利用することが可能である。
第２図には、実施例として（バイオ）化学的な多孔質の、容量性電界効果型センサの構成が示されている。層構造は第１図に関して述べた配設に相応する。場合によっては膜の形で形成されているセンサとして働く物質６は化学センサとして、またバイオセンサとして、その都度の層組成物に応じて機能する。更に、センサとして働く物質６は海綿状構造内で、および選択的これに加えてセンサ表面６ａ上に析出させることが可能である。多孔質のセンサ素子は適当な（例えばテフロン或いはＰＭＭＡから成る）測定小室８に内蔵され、直接分解溶液７と接触させられる。もちろん、第３図に関連して以下に詳細に説明する基本構造に相当するカプセル化も可能である。
分解溶液７と金属性の基板接触子１間の電気的な結合を形成するために、例えば市場で手に入れることのできる電位一定なかつ分解溶液７中に入れられ基板接触子１と結合される補助電極が使用される。この補助電極の代わりに、同じ様式の非感受性のかつ多孔質のセンサ素子を補助素子として使用することも可能である。この場合、上記の配設により、一般に補助電極の大きさによって制限されるが最小化可能であると言う点で、および例えばセンサ素子および補助電極の異なっている温度係数のような外的な影響の作用が低減されと言う点で利点が得られる。
第３図には、多孔質の（バイオ）化学的電界効果型トランジスタの構造が示されている。使用それる基礎物質は上記した容量性のシリコンセンサの基礎物質に相応する。基礎物質２のドーピングに依存して、二つのポケット１０−ソースとドレン−は反対のドーピングを有している。この基礎物質がｎ−ドーピングされている場合、ソースとドレンはｐ−ドーピングされ、逆となる。ソースとドレンは、金属の接触子１１（例えばＴｉ／Ａｌ、Ｔｉ／Ｐｄ／Ａｕ或いは類似の伝導性の材料）を介して固定のキャリャ、例えば伝導基板１３と結合されている。金属化部１１は、ＳｉＯ₂或いはＳｉＯ₂／Ｓｉ₃Ｎ₄或いはＳｉＯ₂／Ａｌ₂Ｏ₃或いはＳｉＯ₂／Ｔａ₂Ｏ₅等から成る絶縁層もしくは絶縁層列９と９ａにより基板から絶縁されて塗布されている。このような電界効果型トランジスタの製造は文献（Ｋ．Ｈｏｒｎｉｎｇｅｒ著“Ｉｎｔｅｇｒｉｅｒｔｅ ＭＯＳ−Ｓｃｈａｌｔｕｎｇｅｎ（集積されたＭＯＳ回路）”１９８７年、ハイデルベルク、Ｓｐｒｉｎｇｅｒ社発行）から公知になっている。
上記の配設にあって、両ポケット１０間で多孔質のシリコン−ゲートの形でゲート領域を利用することは新規なことである。この目的のため、本来のプロセスの間、即ち両ポケット１０のドーピング直後に、図に示したような“隆起している”ゲートが、例えば付加的なフオトリソグラフイ処理とエッチング処理とにより、造られる。このようなゲートは、選択的に半導体技術において使用される方法、例えば選択的なエピタキシー或いは類似の方法により形成することが可能である。
シリコン出発物質内での海綿状構造３の形成、或いは次いでこれに引続いて行なわれるセンサとして働く物質６の析出は、第１図に関して説明したと全く同じ方法で行なわれる。基礎キャリヤ１３に対している基板接触部１は伝導性の接着結合部１４により、例えば伝導性銀により形成される。センサ構造素子は、例えばエポキシ樹脂或いは他の鋳造物質から成る保護層１２により測定環境から保護されており、従ってセンサとして働くゲート領域のみが分解液と接触する。しかし、カプセル化は、第２図に関連して記載した固定試料小室内への内蔵によっても行われる。容量性の多孔質の（バイオ）化学センサにおけると同様に、外的な補助電極の代わりに、非感受性のセンサ素子を使用することの可能性は、この構造によっても補助トランジスタの形でも解決可能である。
多孔質の、電位（バイオ）化学“イオン選択性電極“（ＩＳＥ）の実施例は第４図から明らかである。多孔質の海綿状構造の製造とこの海綿状構造の非伝導性の物質での被覆は、第１図に関して説明したと全く同じ方法で行なわれる。この工程に引続いて、基板２は基板１の試料背壁から湿式化学的に、例えばＨＦ／水−混合物により海綿状構造の領域内に達するまでエッチング処理により取去られる。これにより試料背壁に海綿状構造が露出する。
固形の電解液もしくは液状の電解液としてセンサとして働く成分６を、第１図に関して説明したと全く同じ方法で、海綿状構造内に侵入させられる以前に、第４．１図および第４．２図から認められるように、金属の導出部が形成されなければならない。この目的のため、第４．１図においては金属フイルム１７、例えばＡｇから成るフイルムが従来のＰＶＤ−方法（例えば蒸着）により孔構造内に析出される。このＡｇ層の公知の電気化学的な方法による塩化物による処理は上記の工程に直ぐ続いて行なわれる。付加的な内部電解液１８は第４．２図において侵入させられる。この内部電解液は一般に高モルの塩溶液、例えば飽和ＫＣｌ−溶液から成り、溶剤の蒸発の後固形有機マトリックス内に内部電解液として残る。
このようにプロセス化された半導体構造は伝導性の接着剤１４、例えば伝導性銀により、例えばガラス、合成樹脂、シリコン或いはセラミック材料から成る電気的な接触層を備えたキャリア１６（第４図参照）上に固定される。これによりこのキャリア１６上の薄い多孔質のシリコン構造が安定される。センサとして働く層のプロセス化は、既に第１図において述べたようにして行なわれる。仕上げられた多孔質のＩＳＥは耐溶液性の材料から成る保持体１５に電気的な接触部、例えばテフロン或いは合成樹脂で載置される。センサ構成素子は、例えばエポキシ樹脂或いは他の鋳造材料から成る保護層１２により、この多孔質のＩＳＥのセンサとして働く領域のみが分析溶液と接触するように測定環境に対して保護されている。
第５図には、センサ配列の様式のマルチセンサとしての多孔質の（バイオ）化学半導体センサの配設が示されている。この場合、一つのシリコン基板２内に感受性でかつ多孔質の異なったセンサ１９が示されている。これを形成する目的で、第一の段階として、簡単なフオトリソグラフ工程による構造形成を経て、多数のセンサ素子（例えば四つの可変のセンサ）が固定される。この工程に引続いて、その数に相当する単個の多孔質の海綿状構造が製造され、上記したプロセス工程でセンサ素子に構築される。それぞれの使用目的に応じて、第２図、第３図、第４図に関して説明したセンサ素子を形成することが可能である。これらのセンサ素子は適当な方法により試料小室に内蔵するか、或いは固定ハウジング内に収納される。

Claims (16)

1. トランスデューサーとして働くシリコンをベースとした半導体基板上にセンサとして働く層を備えたシリコンをベースとした化学センサにおいて、トランスデューサーとして働く基板表面をエッチング処理することにより形成された多孔質の層がその孔内に侵入するセンサとして働く物質を備えており、この孔の開孔径がこのセンサとして働く物質の侵入能に適合されていることを特徴とする化学センサ。
2. 上記基板表面をエッチング処理することにより形成された多孔質の層の表面とセンサとして働く物質との間に、ＳｉＯ ₂ 、Ａｌ ₂ Ｏ ₃ 、Ｔａ ₂ Ｏ ₅ 、ＺｒＯ ₂ 、Ｓｉ ₃ Ｎ ₄ 、珪酸塩、ガラスの誘電化合物単独から或いはこれらの化合物から成る非伝導性の境界層が存在していることを特徴とする請求項１に記載の化学センサ。
3. 上記非伝導性の境界層の厚みが１−１００ｎｍであることを特徴とする請求項２に記載の化学センサ。
4. 上記基板表面をエッチング処理することにより形成された多孔質の層が海綿状であり、かつメソ−および／またはマクロ孔を備えていることを特徴とする請求項１に記載の化学センサ。
5. 上記孔が枝別れを有していて、１０−１００ｎｍ（チャンネル直径）の平均孔径を備えたチャンネルによって形成されていることを特徴とする請求項４に記載の化学センサ。
6. 上記海綿状の層の厚みが１０ｎｍ−１００μｍであることを特徴とする請求項４に記載の化学センサ。
7. 上記海綿状層構造体内に或いは海綿状層構造体の表面に吸着によりセンサとして働く物質が蓄積されていることを特徴とする請求項６に記載の化学センサ。
8. センサとして働く物質が多孔質の海綿状層構造体に共有結合されていることを特徴とする請求項６に記載の化学センサ。
9. 上記孔内に侵入しているセンサとして働く物質の生体分子が架橋されていることを特徴とする請求項１から６までのいずれか一つに記載の化学センサ。
10. センサとして働く物質が層形成体内に存在していることを特徴とする請求項１から６までのいずれか一つに記載の化学センサ。
11. センサとして働く物質がガラス膜或いは固形物膜或いは合成樹脂膜或いはポリマー膜内に分散されて存在していることを特徴とする請求項１０項に記載の化学センサ。
12. イオン選択性電極として形成されていることを特徴とする請求項１から１１までのいずれか一つに記載の化学センサ。
13. 容量性電界効果型構造として形成されていることを特徴とする請求項１から１１までのいずれか一つに記載の化学センサ。
14. イオン選択性の容量的或いは電位差計測の電界効果型トランジスタとして形成されていることを特徴とする請求項１から１１項までのいずれか一つに記載の化学センサ。
15. 異なる選択性のセンサ要素として形成されていることを特徴とする請求項１から１４までのいずれか一つに記載の化学センサ。
16. 非感受性の多孔質のセンサ要素が補助要素として形成されていることを特徴とする請求項１５項に記載の化学センサ。

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