JP4854256B2

JP4854256B2 - パネル処理装置及び処理方法

Info

Publication number: JP4854256B2
Application number: JP2005293116A
Authority: JP
Inventors: 淳斧城; 一洋安藤
Original assignee: Hitachi High Technologies Corp
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 2005-10-06
Filing date: 2005-10-06
Publication date: 2012-01-18
Anticipated expiration: 2025-10-06
Also published as: JP2007099466A

Description

本発明は、液晶パネル，プラズマパネル等のフラット型ディスプレイパネル、その他のパネルに対して複数の処理を行うためのパネル処理装置及び処理方法に関するものである。

フラット型ディスプレイパネルとして、例えば液晶パネルを製造するに当っては種々の処理工程を経る必要がある。例えば、パネルにその駆動回路を接続するためには、パネルに異方性導電シートを貼り付けて、ドライバ回路を構成する半導体回路装置を接続し、この半導体回路装置の他端に印刷回路基板が接続されるようにする。このためには、最低限、搬入されたパネルに異方性導電シートを貼り付けるステージ、半導体回路装置を搭載するステージ、印刷回路基板の接続ステージの各ステージが必要となり、また半導体回路装置の搭載を仮圧着と本圧着との２段階で行うようにすることもある等、さらに多くのステージが設けられることもある。

例えば、特許文献１には、複数のステージをライン状に配列しておき、これら各ステージにはパネルを支持するテーブルをそれぞれ設けて、各テーブルを少なくとも水平方向に位置調整可能に、つまりＹ軸，Ｘ軸及びθ方向に位置調整可能な構成として、パネルを各ステージに順次搬入して、各々のステージに設けたテーブル上でパネルを真空吸着により固定的に保持した状態でそれぞれ所定の処理を行う構成としたものが開示されている。そして、ステージ間でパネルを移載するために、ピックアンドプレイス手段を設けて、このピックアンドプレイス手段によってパネルを前後のステージ間に移載するように構成している。
特開２００４−６４６７号公報

ところで、各ステージではパネルの表面側に対して処理が施される関係から、各テーブルではパネルの裏面側を真空吸着することにより固定している。このために、ステージ間にパネルを移載するピックアンドプレイス手段はパネルの表面側を吸着することになり、しかもパネルを重力に抗するようにして持ち上げることになる。パネルが厚手でサイズが小さい場合であればともかく、大型であり、しかも薄型のディスプレイを構成するパネルの場合には、ピックアンドプレイス手段でその表面を真空吸着して持ち上げたときに、大きな負荷が作用することになる。従って、複数のステージ間で繰り返し移載する間には、パネルに歪みや変形等のダメージが発生するおそれがあるといった不都合が生じる。

本発明は以上の点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、パネルにダメージを与えることなく、パネルを円滑かつ確実に処理ステージ間を移載することができるようにすることにある。

前述した目的を達成するために、本発明に係るパネル処理装置の構成としては、複数の処理ステージ間にパネルを搬送させて、各処理ステージで前記パネルに対して順次所定の処理を施すようにしたパネル処理装置であって、前記パネルの裏面が載置される複数のホルダアームを水平回動部に装着したパネルホルダを前記各処理ステージに対応させて配置し、奇数番目の処理ステージに位置するパネルホルダと偶数番目の処理ステージに位置するパネルホルダの少なくともいずれか一方に昇降動作及び前記パネルの搬送方向への移動動作を行わせる駆動手段を設け、奇数番目の処理ステージに位置するパネルホルダと偶数番目の処理ステージに位置するパネルホルダとのホルダアームを相互に近接させると、一方の隣接ホルダアーム間に他方のホルダアームが入り込むものであり、前記奇数番目の処理ステージに配設されたパネルホルダと前記偶数番目の処理ステージに配設されたパネルホルダとは同じものであって、前記駆動手段は前記パネルホルダを昇降させるＺ軸駆動手段と、水平方向の直交２軸におけるＸ軸方向に駆動するＸ軸駆動手段と、Ｙ軸方向に駆動するＹ軸駆動手段とを有する構成としたことを特徴とするものである。

パネル処理装置において、処理ステージは最低限２ステージであり、前の工程からこのパネル処理装置を構成する第１のステージにパネルが搬入され、最終ステージによる処理が施された後には、次の工程に搬出される。各ステージで行われる処理については格別の制約はなく、表面加工，部品の搭載や、液塗布や洗浄等を含むウエット処理，光の照射等を含むドライ処理、検査、その他各種の処理を行うステージが設けられる。１ステージで複数の処理を行う場合も含まれる。

パネルホルダを構成するホルダアームはパネルの裏面を支持するが、パネルを載置したときに、このパネルを固定的に保持する手段を備えているのが望ましい。パネルを機械的にクランプしても良いが、好ましくは真空吸着により着脱可能に固定するように構成する。このためには、各ホルダアームの表面に吸着孔を設けた弾性部材からなる吸着パッドを装着する。

パネルホルダには駆動手段が設けられるが、奇数番目の処理ステージに位置するパネルホルダと、偶数番目の処理ステージに位置するパネルホルダのいずれか一方、好ましくは両方のパネルホルダに駆動手段を設けて、少なくとも昇降動作及び搬送方向への移動が可能な構成とする。また、ステージにおいてパネルに対する処理を実行する位置と、ステージ間でパネルを移載する位置とに変位させる手段を設けることもできる。奇数番目の処理ステージに位置するパネルホルダと、偶数番目の処理ステージに位置するパネルホルダとの双方に駆動手段を設ける場合には、それらの駆動手段は異なる構成とすることができ、また同一構成の駆動手段を用いることもできる。より好ましくは全ての駆動手段を同じ構成となし、パネルホルダを昇降させるＺ軸駆動手段と、水平方向の直交２軸におけるＸ軸方向に駆動するＸ軸駆動手段と、Ｙ軸方向に駆動するＹ軸駆動手段とから構成する。

奇数番目の処理ステージのパネルホルダと偶数番目のパネルホルダにおいて、例えば一方のパネルホルダを２本のホルダアームで構成し、他方のパネルホルダを３本のホルダアームで構成することができる。パネルを安定的に保持させるという点からは、一方のパネルホルダには３本のホルダアームを設け、他方のパネルホルダに４本のホルダアームを設けるようになし、さらにホルダアームの本数を多くすることもできる。また、一方のパネルホルダにおける相隣接するホルダアーム間の間隔は、他方のパネルホルダのホルダアームの幅寸法より大きくしなければならない。これによって、一方のパネルホルダと他方のパネルホルダとを近接させると、相互のホルダアームが入り組んだ状態になる。奇数番目の処理ステージと偶数番目の処理ステージとのパネルホルダは同数のホルダアームで構成し、ホルダアーム間の間隔をホルダアームの幅より大きくする構成としても良い。さらに、それらの駆動手段も同じ構造とすることもできる。この場合には、少なくともパネルの受け渡し時に、一方のパネルホルダと他方のパネルホルダとのいずれかをホルダアームの並び方向の位置をずらせるように配置する。いずれにしろ、受け渡し側のパネルホルダに対して、受け取り側のパネルホルダが下方に位置する状態となし、受け取り側パネルホルダを上昇させるか、または受け渡し側のパネルホルダを下降させることによって、パネルの受け渡しが行われる。

各パネルホルダに設けた複数のホルダアームは固定的に保持されていても良いが、全てのホルダアームまたは一部のホルダアームを、その並び方向に移動可能な可動アームホルダとすることもできる。例えば一方のパネルホルダには、中央に１個の固定ホルダアームと、この固定ホルダアームの左右両側に近接・離間する方向に移動可能な２個の可動ホルダアームとを平行に設け、また他方のパネルホルダには、この一方のパネルホルダの固定ホルダアームの幅寸法より広い間隔となるように配置された２個の固定ホルダアームと、両固定ホルダアームの外側の位置に平行に設けられ、これら各固定ホルダアームに近接・離間する方向に移動可能な２個の可動ホルダアームとを設けるように構成することができる。このように可動ホルダアームを設けると、サイズの異なる複数種類のパネルをハンドリングできるようになる。

そして、本発明のパネル処理方法については、複数の処理ステージにパネルの裏面を真空吸着する複数のホルダアームを水平回動部に取り付けたパネルホルダを設けて、これら各パネルホルダ間で前記パネルを順次移載することによって、前記各処理ステージでパネルに対して所定の処理を施すものであって、先行の処理ステージでパネルホルダに載置したパネルに対して当該の処理ステージでの処理を行い、この処理が終了した後に、この先行の処理ステージのパネルホルダを受け渡し側のパネルホルダとして、そのホルダアームを後続の処理ステージに設けたパネルホルダである受け取り側のホルダアームに向けるように変位させ、また受け取り側のパネルホルダのホルダアームを受け渡し側のパネルホルダのホルダアームより下方の位置で、このホルダアームと対向する方向に配置し、これら両パネルホルダを近接する方向に変位させて、これら両パネルホルダの各ホルダアームが相手方の各ホルダアームとの間に入り組むように位置させ、受け取り側のパネルホルダを上昇させるか、または受け渡し側のパネルホルダを下降させることによって、パネルを受け渡し側から受け取り側のパネルホルダに移載させ、受け取り側のパネルホルダをそのホルダアームを処理ステージに向けて所定の位置まで移動させることによって、当該処理ステージでの処理を行うことを特徴としている。

これによって、パネルを処理ステージ間に移載する際に、このパネルを持ち上げる際に、パネルにストレスや変形等といったダメージを与えることなくなり、円滑かつ確実に処理ステージ間を移行させることができる。

以下、図面に基づいて本発明の実施の形態について詳細に説明する。まず、パネルに対する処理としては、図１に示したように、パネル１の長辺１ａ及び短辺１ｂに、それぞれ複数のＴＣＰ（Tape Carrier Package）からなる半導体装置２をＴＡＢ（Tape Automated Bonding）方式で搭載し、また各辺の半導体装置２に接続するように印刷回路基板３（Print Circuit Board）を接続するための装置として構成したものとして説明するが、本発明のパネル処理装置はこれに限定されるものではない。

パネル処理装置は、図２に示したステージ構成となっている。図中において、１０は搬入ステージであり、この搬入ステージ１０には搬入されたパネル１のＴＡＢ搭載部をクリーニングする機構が設けられている。このクリーニングは、例えばテープクリーニングでパネル１の表面を擦動するようにして行う。これによって、パネル１のＴＡＢ搭載部の汚れを拭き取ることができる。

搬入ステージ１０の下流側に位置するステージはパネル１のＴＡＢ搭載部にＡＣＦ（Anisotropic Conductive Film）テープを貼り付けるＡＣＦ貼り付けステージ１１である。ＡＣＦの貼り付けは、各半導体装置２が搭載される部位に限定して個別的に貼り付けるのが望ましいが、長辺１ａ及び短辺１ｂの全長にわたって貼り付けるようにすることもできる。

次の処理ステージ１２，１３は、半導体装置２を搭載するＴＡＢ搭載するためのステージである。処理ステージ１２は半導体装置２をＡＣＦに仮圧着する仮圧着ステージであり、また処理ステージ１３は仮圧着された半導体装置２を加熱下で加圧することによって、ＡＣＦを介してパネル１に固着させる本圧着ステージである。ここで、半導体装置２は、パネル１の長辺１ａ及び短辺１ｂにそれぞれ複数搭載されることになる。そして、処理ステージ１４はこのようにして圧着させた半導体装置２が正規の位置に搭載されているか否かを判定する検査ステージである。

さらに、処理ステージ１５は印刷回路基板３を接続するＰＣＢ接続ステージである。ここで、パネル１の各辺１ａ，１ｂにはそれぞれ複数の半導体装置２が搭載されており、印刷回路基板３は、各辺１ａ，１ｂに搭載されている全ての半導体装置２と電気的に接続されることになる。そして、処理ステージ１６は、半導体装置２と印刷回路基板３との接続部に封止樹脂を塗布する樹脂塗布ステージである。また、この樹脂塗布ステージ１６での処理が終了すると、パネル１は次の工程に搬出されることになる。従って、この樹脂塗布ステージ１６は搬出ステージを兼ねることになる。なお、半導体装置２及び印刷回路基板３はパネル１の複数の辺に接続されることから、前述した各処理ステージ１０〜１６のうち、例えば本圧着ステージ１３やＰＣＢ接続ステージ１５等の処理ステージは２以上のステージ構成とすることもできる。

以上の処理ステージ１０〜１６には、それぞれ必要な処理を行うための機構が装着されているが、これら各処理機構の構成の説明は省略する。そして、それぞれパネル１を支持するために、パネル１の支持手段として、複数のホルダアームを装着したパネルホルダが各処理ステージ１０〜１６に設けられている。ここで、パネルホルダは３本アーム構成のものと、４本アーム構成のものとが設けられている。図２において、１７は３本アーム構成のパネルホルダを示し、１８は４本アーム構成のパネルホルダを示している。同図から明らかなように、パネルホルダ１７とパネルホルダ１８とは交互に配設されており、図２の構成では、奇数番目の処理ステージにはパネルホルダ１７が配置され、偶数番目の処理ステージにはパネルホルダ１８が設置されている。なお、パネルホルダ１７，１８は交互に配列されておれば良く、奇数番目の処理ステージにはパネルホルダ１８を、偶数番目の処理ステージにはパネルホルダ１７を設けるように構成しても良い。

図３にパネルホルダ１７の構成を示す。この図から明らかなように、パネルホルダ１７は３本のホルダアーム２０Ｃ，２０Ｌ，２０Ｒ（これらを総称する際には、ホルダアーム２０という）を有し、これら各ホルダアーム２０Ｃ，２０Ｌ，２０Ｒは取付部材２１に支持されており、取付部材２１によって、一体的に水平方向に回動可能となっている。そして、中央に位置するホルダアーム２０Ｃは直線的なものであり、かつ取付部材２１に固定的に設けた固定アームホルダである。一方、左右のホルダアーム２０Ｌ，２０Ｒは概略Ｔ字形状のものであり、ホルダアーム２０Ｃに近接・離間する方向に平行移動させることによって、間隔調整が可能となっている。ホルダアーム２０Ｃ，２０Ｌ，２０Ｒの表面には、複数個所に弾性部材からなる吸着パッド２２が装着されており、これらの吸着パッド２２には多数の吸着孔２２ａが設けられて、パネル１の裏面を真空吸着するようになっている。

また、パネルホルダ１８は図４に示したように、４本のホルダアーム３０Ｃ１，３０Ｃ２と、３０Ｌ及び３０Ｒ（これらを総称する際には、ホルダアーム３０という）から構成される。中央に位置する２本のホルダアーム３０Ｃ１，３０Ｃ２は取付部材３１に固定的に保持されている固定ホルダアームであり、左右両側に位置するホルダアーム３０Ｌ，３０Ｒは、それぞれ固定ホルダアーム３０Ｃ１，３０Ｃ２に近接・離間する方向に平行移動させることによって、間隔調整が可能となっている。そして、これら各ホルダアーム３０Ｃ１，３０Ｃ２，３０Ｌ及び３０Ｒにも、多数の吸着孔３２ａを設けた吸着パッド３２が所定数だけ装着されている。

パネルホルダ１７及び１８において、左右両側に位置する可動のホルダアーム２０Ｌ，２０Ｒ及び３０Ｌ，３０Ｒを固定ホルダアーム２０Ｃ，３０Ｃ１，３０Ｃ２に最近接させた状態では、ホルダアーム３０Ｃ１−３０Ｃ２の間隔はホルダアーム２０Ｃの幅寸法より大きく、またホルダアーム２０Ｃ−２０Ｌ及び２０Ｃ−２０Ｒの間隔はホルダアーム３０Ｃ１及び３０Ｃ２の幅寸法より大きくなっている。さらに、ホルダアーム３０Ｃ１−３０Ｌ及び３０Ｃ２−３０Ｒの間隔は、ホルダアーム２０Ｌ，２０Ｒの幅寸法より大きくなっている。このような寸法関係を持たせることによって、パネルホルダ１７と１８とは相互にホルダアームを入り組ませた状態に配置できることになる。

パネルホルダ１７及び１８は駆動機構に装着されている。そこで、図５及び図６にこの駆動機構の構成を示す。なお、これらパネルホルダ１７及び１８の駆動機構は実質的に同一の構成となっている。そして、図５，図６には３本のホルダアーム２０Ｃ，２０Ｌ，２０Ｒを備えたパネルホルダ１７の駆動機構を示すが、パネルホルダ１８も同様に構成される。

これらの図から明らかなように、ホルダアーム２０Ｃ，２０Ｌ，２０Ｒの取付部材２１はロータリテーブル４０に取り付けられている。ロータリテーブル４０は、ロータリアクチュエータを備えた水平回動部４１上に装着されており、この水平回動部４１により例えば９０°の角度毎にインデックス回転するように構成されている。水平回動部４１はＺ軸駆動手段に装着されている。なお、パネルホルダ１８の場合には、ホルダアーム３０Ｃ１，３０Ｃ２，３０Ｌ及び３０Ｒの取付部材３１がロータリテーブル４０に取り付けられることになる。

Ｚ軸駆動手段はパネルホルダ１７を上下方向に変位させるものである。このＺ軸駆動手段はＺ軸ベース４２を有し、このＺ軸ベース４２にはガイドレール４３が設けられており、このガイドレール４３に傾斜ガイドブロック４４が装着されている。そして、この傾斜ガイドブロック４４にはモータ４５に連結したねじ軸４６が装着されており、モータ４５を作動させることによって、傾斜ガイドブロック４４をガイドレール４３に沿って直進動させるようになっている。水平回動部４１の下面にはスライダ４７が取り付けられており、このスライダ４７は傾斜ガイドブロック４４の斜面部に係合している。また、Ｚ軸ベース４２には複数本のスプライン軸４８が立設されており、水平回動部４１にはこれらスプライン軸４８が挿通される規制板４９が連結して設けられている。

従って、モータ４５を駆動すると、傾斜ガイドブロック４４がガイドレール４３に沿って移動することになり、水平回動部４１に連結したスライダ４７がこの傾斜ガイドブロック４４の傾斜面に係合し、かつ水平回動部４１に連結した規制板４９にはスプライン軸４８が挿通されているので、ロータリテーブル４０が上下動することになる。これによって、パネルホルダ１７が昇降駆動されるが、パネルホルダ１７は、上下方向において、中間位置であるパネル受け渡し位置と、このパネル受け渡し位置より下方の受け取り待機位置と、パネル受け渡し位置より上方の受け取り完了位置との３つの位置に変位するようになっている。

Ｚ軸ベース４２はＹ軸駆動手段に装着されている。Ｙ軸駆動手段はパネルホルダ１７を各々の処理ステージに近接・離間する方向に移動させるためのものであって、Ｙ軸ベース５０を有し、このＹ軸ベース５０には、Ｚ軸ベース４２をＹ軸方向に往復動させるために、Ｙ軸ガイド５１とこのＹ軸ガイド５１に沿ってＺ軸ベース４２を駆動するためのモータ５２及びねじ軸５３とが設けられている。一方、Ｚ軸ベース４２にはねじ軸５３を挿通させたナット５４が設けられている。

従って、モータ５２を作動させることによって、パネルホルダ１７を処理ステージに近接した処理動作位置と、この処理ステージから離間した退避位置とに往復移動させることができる。そして、処理作動位置は、各処理ステージにおいて同一となっているが、異なる位置であっても良い。一方、退避位置は全ての処理ステージにおいて同一の位置とする。

さらに、Ｙ軸ベース５０はＸ軸駆動手段に装着されている。Ｘ軸駆動手段はパネルホルダ１７を処理ステージの並び方向、つまりＹ軸と直交する方向に移動させるためのものであって、台座５５にＸ軸方向に設けたＸ軸ガイド５６に沿ってＹ軸ベース５０を往復移動させるように、モータ５７及びねじ軸５８が設けられ、またＹ軸ベース５０にはねじ軸５８を挿通させたナット５９が装着されている。

モータ５７を作動させることによって、Ｙ軸ベース５０がＸ軸方向に移動することになり、その結果パネルホルダ１７，１８は当該の処理ステージにおけるステージ内位置と、その前後の処理ステージに近接する移載位置とに変位可能となる。

以上のように構成することによって、パネル１を搬入ステージ１０に搬入して、この搬入ステージ１０を含む各処理ステージ１０〜１６に順次搬送されて、パネル１に対してそれぞれ所定の処理が施されて、樹脂塗布ステージ１６を搬出ステージとして、次の工程に送り出される。なお、各々の処理ステージにおける処理の内容については、液晶パネルの製造工程において、半導体装置２及び印刷回路基板３の接続工程として、従来から良く知られているものであるから、処理内容についての説明は省略する。

而して、パネル１が各処理ステージに移行するに当っては、最下流側の処理ステージから順次パネル１が搬送される。即ち、搬出ステージとして機能する樹脂塗布ステージ１６から全ての処理が完了したパネル１を搬出した後に、この樹脂塗布ステージ１６にＰＣＢ接続ステージ１５からのパネル１が搬送され、次いで検査ステージ１４にあるパネル１がＰＣＢ接続ステージ１５に移行するというように、順繰りにパネル１の搬送が行われる。そこで、以下においては、先行の処理ステージと後続の処理ステージとを区別するために、先行処理ステージをＦ、後続処理ステージをＳとして、ステージ間でのパネル１の移載方法について図７乃至図９に基づいて説明する。

まず、上流側に位置する先行処理ステージＦでパネル１の処理が完了したものとし、またこのときには下流側に位置する後続処理ステージＳでは既にパネル１が搬出されているものとする。そして、ここでは、先行処理ステージＦにはパネルホルダ１７が、また後続処理ステージＳではパネルホルダ１８が位置しているものとする。

而して、図７の状態では、先行処理ステージＦに位置するパネルホルダ１７は処理動作位置にあり、また後続処理ステージＳに位置するパネルホルダ１８は次の処理ステージへの移載位置に配置されている。なお、これらの図において、Ｏはロータリテーブル４０の回動中心である。

そこで、図８（ａ）に示したように、先行処理ステージＦにおいて、Ｙ軸駆動手段を作動させることによって、パネル１を保持しているパネルホルダ１７を矢印Ａで示したように、処理動作位置から退避位置に移行させ、次いで水平回動部４１を駆動してロータリテーブル４０を回動させて、矢印Ｂで示したようにホルダアーム２０を後続処理ステージＳ側に向けて回動させる。これと共に、後続処理ステージＳのパネルホルダ１８を１８０°回動させて、パネルホルダ１７側に向ける。このときに、図８（ｂ）にあるように、パネルホルダ１７はＺ軸駆動手段により中間の高さのパネル受け渡し位置とし、またパネルホルダ１８は低位の受け取り待機位置とし、両者の間に高さの差Ｈを持たせる。

この状態から、パネルホルダ１７及びパネルホルダ１８をそれぞれＸ軸駆動手段により相互に近接する移載位置に移動させる。これが図９の状態であり、同図（ａ）で示したように、パネルホルダ１７のホルダアーム２０とパネルホルダ１８のホルダアーム３０とは入り組んだ状態となる。そして、同図（ｂ）に示したように、ホルダアーム３０はホルダアーム２０より低い位置となっているので、パネル１の下部位置に位置することになる。

そこで、パネルホルダ１８側のＺ軸駆動手段を作動させて、矢印Ｕで示したように、このパネルホルダ１８を上昇させる。そして、パネルホルダ１８が受け取り待機位置からパネル受け渡し位置まで上昇すると（若しくはその前の段階で）、パネルホルダ１７側の真空吸着を解除し、パネルホルダ１８側でパネル１に対する吸引力を作用させる。そして、図９（ｂ）に仮想線で示したように、パネルホルダ１８の上昇をさらに継続して、受け取り完了位置となし、またパネルホルダ１７は受け取り待機位置まで下降させる。これによって、パネル１は先行処理ステージＦのパネルホルダ１７から後続処理ステージＳのパネルホルダ１８へと移行したことになる。

そして、その後に、Ｘ軸駆動手段を作動させて、後続処理ステージＳでは、パネル１を受け取ったパネルホルダ１８はステージ内位置に変位させ、次いでロータリテーブル４０を回動させて、パネルホルダ１８のホルダアーム３０を後続処理ステージＳに向けるようになし、さらにＹ軸駆動手段を作動させて、退避位置から処理動作位置に変位させる。このときにおいて、パネル１への処理はパネル受け渡し位置，受け取り待機位置または受け取り完了位置のいずれかの高さ位置とする。この高さ位置はパネル１に対する処理に応じた位置とする。

一方、パネル１を受け渡した先行処理ステージＦのパネルホルダ１７は、さらに前の処理ステージからパネル１を受け取るようにする。このためには、パネルホルダ１７はパネル１を受け取るべき処理ステージに向けるように水平方向に１８０°回動させ、受け取り待機位置まで下降させる。そして、移載位置に変位させることによって、手前側の処理ステージからパネル１を受け取る。

以上のようにして、パネル１は各処理ステージ間をピッチ送りされて、それぞれの処理ステージで所要の処理が施される。各処理ステージにおいて、パネル１に対して処理を行っている間は、パネルホルダ１７，１８によってパネル１に対して裏面から真空吸着しており、しかもそれぞれ３本及び４本のホルダアーム２０，３０によってパネル１を広い面積で支持しているので、パネル１は安定的に保持される。

また、パネル１を処理ステージ間で移載する際には、パネルホルダ１７のホルダアーム２０とパネルホルダ１８のホルダアーム３０とが交互に配置されるようになり、即ちホルダアーム３０Ｌ，２０Ｌ，３０Ｃ１，２０Ｃ，３０Ｃ２，２０Ｒ，３０Ｒの順に配列され、パネル１の裏面が受け渡し側のパネルホルダのホルダアームで吸着保持された状態から、受け取り側のパネルホルダのホルダアームによる吸着に切り換わることによって、パネル１の移載が実行されるので、この移載時にパネル１に作用する重力によって、曲げや歪み等といったストレスを受けることがなくなり、パネル１の変形や損傷等が生じるおそれはない。

さらに、パネル１の移載は、パネルホルダ１７とパネルホルダ１８とが入り組むように相互に近接させた後、一方のパネルホルダを上昇させる動作で行われることから、動きが単純になり、迅速かつ円滑にパネル１の移載を行うことができる。また、一方のパネルホルダが上昇して、他方のパネルホルダの高さ位置となる直前までは、この他方のパネルホルダでパネル１を保持し、パネルホルダの高さ位置を逆転させる時にパネル１に吸着力を作用させるパネルホルダを切り換えることによって、パネル１の安定性が良好となり、移載中にパネル１が位置ずれするのを防止することができる。

パネルホルダ１７，１８を構成する各ホルダアーム２０，３０は取付部材４０に取り付けられているが、これら各ホルダアーム２０，３０は取付部材４０に固定的に装着しても良いが、異なるサイズのパネルの処理を可能にするためには、ホルダアームの一部を取付部材に位置調整可能に装着すれば良い。即ち、図１０に示したように、パネルホルダ１７及び１８における各ホルダアームのうち、中央に位置するホルダアーム２０Ｃと、ホルダアーム３０Ｃ１，３０Ｃ２は固定的に保持されており、それらの両側に位置するホルダアーム２０Ｌ，２０Ｒ及び３０Ｌ，３０Ｒは、それぞれホルダアーム２０Ｃ及びホルダアーム３０Ｃ１，３０Ｃ２に対して近接・離間する方向に位置調整可能に取り付けられている。

図１０には最大サイズのパネル１００を保持するようにしたものが示されている。そして、パネルの取り扱いサイズの変更は段階的または無段階的に設定することができる。そして、パネルを中間位置で１または２箇所と、左右の両側端位置またはその近傍とで支持させる。また、図１１に示したように、パネルホルダ１７とパネルホルダ１８とを入り組ませたときに、相互に干渉しない位置関係となるように、ホルダアーム２０Ｌ，２０Ｒ及び３０Ｌ，３０Ｒの位置が調整されていなければならない。

パネルの処理態様の一例を示す説明図である。本発明によるパネル処理装置の全体構成図である。一方のパネルホルダの構成を示す平面図である。他方のパネルホルダの構成を示す平面図である。パネルホルダの駆動機構を示す正面図である。図５の平面図である。パネルの移載手順において、移載前の状態を示す作用説明図である。パネルの移載の準備段階を示す作用説明図である。パネルの移載を実行している状態を示す作用説明図である。パネルホルダを構成する各ホルダアームの間隔を広げた状態を示す平面図である。図１０に示したホルダアームの間隔とした状態で、一方のパネルホルダと他方のパネルホルダとを入り組ませた状態の平面図である。

符号の説明

１，１００パネル１０〜１６処理ステージ
１７，１８パネルホルダ
２０Ｃ，２０Ｌ，２０Ｒ，３０Ｃ１，３０Ｃ２，３０Ｌ，３０Ｒホルダアーム
２１，３１取付部材
２２，３２吸着パッド
２２ａ，３２ａ吸着孔
４０ロータリテーブル４２Ｚ軸ベース
５０Ｙ軸ベース５１Ｙ軸ガイド
５５台座５６Ｘ軸ガイド

Claims

複数の処理ステージ間にパネルを搬送させて、各処理ステージで前記パネルに対して順次所定の処理を施すようにしたパネル処理装置において、
前記パネルの裏面が載置される複数のホルダアームを水平回動部に装着したパネルホルダを前記各処理ステージに対応させて配置し、
奇数番目の処理ステージに位置するパネルホルダと偶数番目の処理ステージに位置するパネルホルダの少なくともいずれか一方に昇降動作及び前記パネルの搬送方向への移動動作を行わせる駆動手段を設け、
奇数番目の処理ステージに位置するパネルホルダと偶数番目の処理ステージに位置するパネルホルダとのホルダアームを相互に近接させると、一方の隣接ホルダアーム間に他方のホルダアームが入り込むものであり、
前記奇数番目の処理ステージに配設されたパネルホルダと前記偶数番目の処理ステージに配設されたパネルホルダとは同じものであって、前記駆動手段は前記パネルホルダを昇降させるＺ軸駆動手段と、水平方向の直交２軸におけるＸ軸方向に駆動するＸ軸駆動手段と、Ｙ軸方向に駆動するＹ軸駆動手段とを有する
構成としたことを特徴とするパネル処理装置。
前記各パネルホルダを構成する各ホルダアームは前記パネルの裏面を真空吸着する吸着パッドを表面に設ける構成としたことを特徴とする請求項１記載のパネル処理装置。
前記２種類のパネルホルダは、それぞれ少なくとも１個の固定ホルダアームと、複数個の可動ホルダアームとから構成し、前記固定ホルダアームは前記可動ホルダアームの間に配置して、前記固定ホルダアームの両側に位置する前記各可動ホルダアームは前記固定ホルダアームに対して近接・離間する方向に移動可能な構成としたことを特徴とする請求項１または請求項２記載のパネル処理装置。
前記各パネルホルダの前記可動ホルダアームは、前記固定ホルダアームより前記パネルの両側縁部側に当接するように配置したことを特徴とする請求項３記載のパネル処理装置。
複数の処理ステージにパネルの裏面を真空吸着する複数のホルダアームを水平回動部に取り付けたパネルホルダを設けて、これら各パネルホルダ間で前記パネルを順次移載することによって、前記各処理ステージでパネルに対して所定の処理を施すパネル処理方法であって、
先行の処理ステージでパネルホルダに載置したパネルに対して当該の処理ステージでの処理を行い、
この処理が終了した後に、この先行の処理ステージのパネルホルダを受け渡し側のパネルホルダとして、そのホルダアームを後続の処理ステージに設けたパネルホルダである受け取り側のホルダアームに向けるように変位させ、また受け取り側のパネルホルダのホルダアームを受け渡し側のパネルホルダのホルダアームより下方の位置で、このホルダアームと対向する方向に配置し、
これら両パネルホルダを近接する方向に変位させて、これら両パネルホルダの各ホルダアームが相手方の各ホルダアームとの間に入り組むように位置させ、受け取り側のパネルホルダを上昇させるか、または受け渡し側のパネルホルダを下降させることによって、パネルを受け渡し側から受け取り側のパネルホルダに移載させ、
受け取り側のパネルホルダをそのホルダアームを処理ステージに向けて所定の位置まで移動させることによって、当該処理ステージでの処理を行う
ことを特徴とするパネル処理方法。