JP5117052B2 - 露光装置および露光方法 - Google Patents

Description

本発明は、フイルム状のテープを露光ステージに１ブロックずつ送りながら、露光ステージにて１ブロックごとに露光する露光装置、および露光方法に関する。

一般に、携帯電話やモバイル機器等の小型機器で用いられる電子回路基板のベース基材には、フイルム状のテープが使われている。このフイルム状のテープは巻取り可能なリールにより取り扱われている。

前記テープは、安定して送り出しができるように、左右両側辺から内側に１ｍｍないし２ｍｍ入った付近に等間隔に等しい大きさのパーフォレイションホールが形成され、スプロケットを介して送ることができるように構成されている。

電子回路基板の製造過程では、前記テープに回路パターンを形成するために露光工程が実施されるが、この露光工程においても、テープはリールから露光ステージに送り出され、露光ステージで固定される。テープを露光ステージに固定するために、板と露光ステージで挟む方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。また、複数の電磁弁を用い、テープを曲面状の露光ステージに固定する方法が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
特許第２８９２０７９号公報（第7欄の４０行から４７行までと第２図） 特許第２７９３０００号公報（請求項１、請求項２と第１図）

前記テープの厚みは、電子回路基板の性能を向上させるために、薄くなる傾向にあるが、薄くなることにより、製造過程によって生じるストレスや温度、湿度の変化によりテープが反るという問題がある。露光工程では、テープの表面にレジストを塗布しベイキングするので、テープには熱伸縮によるストレスが残り、また、テープをリールから送り出すと周囲環境の変化によりテープの温度と湿度が変化し、テープは中央領域とその両側の側辺領域との間、特にパーフォレイションホールの外側で反りを生じた。

テープが反っていると、露光ステージにテープを固定しようとしても、テープの中央領域が露光ステージに当たってもテープの側辺領域は露光ステージから浮き上がってしまい、テープを露光ステージ上で平面に固定できなく、回路パターンの転写に影響を及ばす場合があった。

そこで、例えば、特許文献１のように、テープを露光ステージに板で固定する方法が提案されているが、この方法では、テープを板で押さえるのでテープに傷が付く問題があった。また、板で押さえても、テープと露光ステージを全面に渡り密着できるわけでなく、テープの側辺領域の一部は露光ステージからが浮き上がる問題があった。
さらに、テープには前記テープ以外に用途によってパーフォレイションの有無や配置に異なるものがあるため、前記問題以外にも、押さえる動作をした際に得られる効果が一定ではなく、テープの押さえ部に汎用性がなかった。

本発明は、上記点に鑑み、テープの中央領域と側辺領域とを露光ステージに固定することができる露光装置と露光方法を提供することを目的とする。

本発明は、フイルム状のテープを１ブロックずつ送り方向に送りながら、露光ステージで１ブロックごとにテープを露光する露光装置において、露光ステージは、テープの中央領域を引き付ける第１吸引力を働かせ、中央領域を吸引し吸着させる中央吸引口と、テープの側辺領域を引き付ける第１吸引力より強い第２吸引力を働かせ、側辺領域を吸引し吸着させる側辺吸引口とを有することを特徴とする。

本発明によれば、第１吸引力によりテープの中央領域を露光ステージに固定でき、このとき、テープの反りにより、露光ステージから浮き上がったテープの側辺領域は、第１吸引力より強い第２吸引力により露光ステージに固定できる。このため、露光装置は、テープに回路パターンを正確に転写できるようになる。

露光装置は、中央吸引口に接続する第１減圧装置と、側辺吸引口に接続し、第１減圧装置より吸引力が強い第２減圧装置とを有することが好ましい。第１減圧装置は、中央吸引口の内部を減圧にする。中央吸引口は内部と大気との圧力差により、中央吸引口近傍の空気も含めテープの中央領域を吸引する。そして、テープの中央領域は中央吸引口に吸着する。第２減圧装置は、側辺吸引口の内部を減圧にする。側辺吸引口は内部と大気との圧力差により、側辺吸引口近傍の空気も含めテープの側辺領域を吸引する。この吸引において、第２減圧装置は第１減圧装置より吸引力が強いので、側辺吸引口は中央吸引口より時間当たり多くの空気を吸引することができ、テープの反りにより、テープの側辺領域は中央領域より露光ステージから離れているが、この離れている側辺領域の近傍の空気も吸引できる。この吸引によりテープの側辺領域も側辺吸引口に引き寄せられ吸着する。

第２減圧装置は、側辺吸引口に接続する減圧ポンプと、側辺吸引口と減圧ポンプとに接続し、減圧ポンプにより内部圧力が減圧される減圧タンクとを有していることが好ましい。減圧ポンプにより内部圧力を減圧にした減圧タンクは、内部圧力が大気圧に達するまで、空気を吸引する吸引力を有する。減圧ポンプも本来の機能として空気を吸引するという吸引力を有する。側辺吸引口に減圧ポンプと減圧タンクとを接続することにより、減圧ポンプの吸引力と、減圧タンクの吸引力とが合わさった大きな吸引力が得られ、側辺吸引口は大量の空気を吸引することができ、この吸引に伴って、テープの反りによって離れたテープの側辺領域を引き寄せ吸着させることができる。

露光装置は、中央領域および側辺領域の吸引を開始した後に、テープの中央吸引口または側辺吸引口とは反対側からテープに向かって気体を吹き出すブロア部を有することが好ましい。気体としては、テープに対して不活性な空気や窒素ガスを用いることができる。ブロア部が吹き出す気体によって、テープは露光ステージの方向に吹き寄せられる。テープと露光ステージの間隔が狭まるので、テープと露光ステージとの間にある空気の体積も小さくなり、テープを露光ステージに引き寄せるために第１減圧装置と第２減圧装置とが吸引する空気の体積を小さくすることができる。そして、テープの迅速な吸着が可能になり、一方で、第１減圧装置と第２減圧装置の吸引力を小さくすることができる。

たとえば、ある種のテープは送り方向に伸びる少なくとも一対のパーフォレイションを有しており、中央領域は一対のパーフォレイション間の領域であり、側辺領域はパーフォレイションからテープの端部であることを特徴とする。また、別の種類の露光されるフイルム状のテープには、パーフォレイションのないテープがある。この種のテープであればテープの中央が中央領域となり、側辺領域はテープの端部から約１０パーセント内側に入った領域までである。さらに別の種類のテープでは、パーフォレイションが二対以上あるテープなどがある。二対以上のパーフォレイションを有するテープであれば、中央領域は対となるパーフォレイション間になる。

また、本発明は、フイルム状のテープを１ブロックずつ送りながら、露光ステージで１ブロックごとにテープを吸着しては露光する露光方法において、第１減圧ポンプで減圧タンクの内部圧力を減圧にし、第２減圧ポンプにより、テープの第１面の中央領域を引き付ける第１吸引力を働かせ、次に、第１ポンプと減圧にされた減圧タンクとにより、テープの第一面の側辺領域を引き付ける第１吸引力より強い第２吸引力を働かせることを特徴とする。

本発明によれば、第１吸引力によりテープの中央領域を露光ステージに固定でき、このとき、テープの反りにより、露光ステージから浮き上がったテープの側辺領域は、減圧タンクに内部圧力を減圧にした状態で吸引する側辺吸引口と、この側辺吸引口の吸引面積より大きな中央吸引口とで吸引することで、中央の第１吸引力より強い側辺部の第２吸引力により露光ステージに固定できる。この露光方法によれば、テープに回路パターンを正確に転写できるようになる。

この露光方法は、第２吸引力を働かせた後でかつ露光前に、第１面とは異なる第２面に向けて気体を吹き出す。第２吸引力を働かせた状態で、気体を反対側から吹き出すことで、露光ステージから浮き上がったテープの側辺領域テープを露光ステージに吸着することができる。また、露光に影響を与えないように、露光開始前には気体を止めることが好ましい。

以上、本発明によれば、テープの中央領域と側辺領域とを露光ステージに固定して、正確にパターンを転写することができる露光装置と露光方法を提供できる。

＜露光装置の全体構成＞
図１は本発明の一実施形態に係る露光装置１を示している。露光装置１は、テープ６を吸着させる露光ステージ２と、露光ステージ２に接続しテープ６を露光ステージ２に吸着させるための減圧装置と、テープ６に向かって露光ステージ２の方向に空気４を吹き出すブロア５と、テープ６を露光ステージ２に送る搬送部と、露光ステージ２上のテープ６に電子回路の回路パターンが結像するように光を照射する光学部と、露光装置１を制御する制御部を有している。

露光ステージ２には、複数の側辺吸引口３が設けられている。側辺吸引口３はそれぞれ連結穴１２を介して側辺ポート１１に連結している。減圧装置は、側辺ポート１１に接続するジョイント７と、ジョイント７に接続する三方バルブ８と、三方バルブ８に接続する減圧ポンプ１０と減圧タンク９とで構成されている。三方バルブ８は、ジョイント７からの接続を、大気と接続するように切り替えたり、減圧タンク９と減圧ポンプ１０とに接続するように切り替えたりできる。

搬送部は、テープ６が巻かれた供給リール４１と、テープ６を巻き取る巻き取りリール５１と、搬送中のテープ６のテンションを調整するエアーダンサ４３、４９と、テープ６の走行する経路をガイドするガイドローラ４２、４４、４８、５０と搬送ローラ４５、４７を有している。供給リール４１は、ガイドローラ４２より高い位置に設けられ、ガイドローラ４２、４４は、エアーダンサ４３の直上に設けられている。これらのことにより、テープ６を供給リール４１からエアーダンサ４３にスムーズに送り込むことができ、エアーダンサ４３からテープ６をスムーズに取り出すことができる。搬送ローラ４５は、露光ステージ２の直上で、ガイドローラ４４よりも低い位置に設けられ、搬送ローラ４７は露光ステージ２の直下に設けられている。これらのことにより、テープ６は、露光ステージ２の近傍を鉛直方向４６の上から下にスムーズに送ることができる。テープ６は側辺吸引口３に対向するように配置される。ガイドローラ４８、５０は、エアーダンサ４９の直上に設けられ、巻き取りリール５１は、ガイドローラ５０より高い位置に設けられている。これらのことにより、テープ６をエアーダンサ４９へスムーズに送り込むことができ、テープ６をエアーダンサ４９から巻き取りリール５１にスムーズに引き上げて巻き取ることができる。なお、エアーダンサ４３、４９はガイドローラ４２、４４間、および、ガイドローラ４８、５０間におけるテープ６にテンションを与えて常にテープ６のテンションを調整するものである。

光学部は、所定波長の紫外線を照射するランプ３４と、ランプ３４で照射した光を反射する楕円ミラー３５と、この楕円ミラー３５からの光線の方向を変える反射ミラー３３と、光軸上に配置され光強度の分布を整えるフライアイレンズ３２と、光軸上に配置されマスク保持枠に支持される回路パターンの描かれたマスクＭと、光軸上に配置され回路パターンをテープ６上に投影する露光光学系（例えば、ダイソン光学系）３１とを有している。

制御部は、撮像装置３６と、画像処理装置３７と、装置制御装置３８とを有する。撮像装置３６は、露光ステージ２とテープ６との近傍に配置され、テープ６上に既に形成された位置合わせ用のマークとマスクＭによってテープ６上に投影される位置合わせ用のマークとを撮影する。画像処理装置３７は、撮影されたマークの画像データを、装置制御装置３８で処理できるデータに変換する。装置制御装置３８は、画像処理装置３７から受信したデータからテープ６の露光ステージ２上の位置合わせのための制御や、露光回数をカウントし所定の回数に達したら露光をストップする制御等、露光装置１での露光方法に関する全般的な制御を行う。

＜露光ステージによる吸引＞
図２（ａ）に示すように、ここで使用されるテープ６は、たとえば幅が約１００ｍｍであり、両側にパーフォレイションホール２０が形成されたいわゆるワークである。パーフォレイションホール２０は左右両側辺から内側に１ｍｍないし２ｍｍ入った付近に等間隔に等しい大きさに形成されている。露光ステージ２において、テープ６は、鉛直方向４６の上から下に、搬送ローラ４５と４７によって送られる。テープ６の中央には、回路パターンがブロック２１ごとに転写される中央領域１７が設けられている。中央領域１７の両側には、テープ６を送るためのパーフォレイションホール２０が形成されたホール領域１８が設けられている。ホール領域１８の外側には幅が１ｍｍ以上２ｍｍ以下の側辺領域１９が、テープ６の側辺まで設けられている。

図２（ａ）と（ｂ）に示すように、露光ステージ２には、テープ６の中央領域１７と側辺領域１９が吸着するが、吸着した際には、中央領域１７は露光ステージ２の中央部２２に吸着し、側辺領域１９は露光ステージ２の側辺部２３に吸着する。中央部２２の全面には、複数の中央吸引口１３が設けられており、中央吸引口１３はそれぞれ連結穴１４を介して中央ポート２４に連結している。テープ６の両側にある側辺部２３の全面には、複数の側辺吸引口３が設けられており、側辺吸引口３はそれぞれ連結穴１２を介して側辺ポート１１に連結している。

中央ポート２４と両側の側辺ポート１１との３つのポートにはそれぞれ減圧装置が接続されている。中央ポート２４には、中央ポート２４に接続するジョイント２５と、ジョイント２５に接続する三方バルブ１５と、三方バルブ１５に接続する減圧ポンプ１６とを備える第１減圧装置が接続されている。三方バルブ１５は、ジョイント２５からの接続を、大気と接続するように切り替えたり、減圧ポンプ１６とに接続するように切り替えたりできる。側辺ポート１１には、側辺ポート１１に接続するジョイント７と、ジョイント７に接続する三方バルブ８と、三方バルブ８に接続する減圧ポンプ１０と減圧タンク９とを備える第２減圧装置が接続されている。パーフォレイションホール２０が接する露光ステージ２上には、中央吸引口１３も側辺吸引口３も設けられていないので、パーフォレイションホール２０から大気が中央吸引口１３と側辺吸引口３とに吸入されることがなく、強固にテープ６を露光ステージ２に吸着することができる。

次に、減圧タンク９の機能について説明する。減圧タンク９は、減圧ポンプ１０で引いて、内部圧力を減圧にすることができる。この減圧の状態で三方バルブ８が開かれ、側辺吸引口３と減圧タンク９とがつながると、減圧タンク９は露光ステージ２付近の大気の空気を吸引するという吸引作用をする。並行して、減圧ポンプ１０も側辺吸引口３につながり同様の吸引作用をする。これらの吸引作用により、通常の減圧ポンプ１０のみの場合より、吸引容量が増加し、時間当たりに吸引できる大気圧換算での空気の体積を増加できる。この時間当たりに吸引できる大気圧換算での空気の体積が、吸引力の指標になり、減圧タンク９を採用することにより吸引力を大きくすることができる。

次に、テープ６が反っている場合を考えると、この反りにより、テープ６の側辺領域１９は、中央領域１７より、露光ステージ２から離れていることになる。したがって、側辺領域１９と露光ステージ２の側辺部２３の間に存在する空気の体積は、中央領域１７と露光ステージ２の中央部２２の間に存在する空気の体積より大きくなる。これらの体積の空気をそれぞれ、減圧ポンプ１０、１６で吸引すれば、テープ６の露光ステージ２側の気圧は下がり、テープ６の光学部の側からの大気圧に押されて、テープ６は露光ステージ２方向に移動し最終的に露光ステージ２に押し付けられる。ただ、側辺領域１９と側辺部２３との間に存在する空気と、中央領域１７と中央部２２の間に存在する空気とは、大気に開放されているので、ゆっくり吸引していたのでは、大気から空気が流れ込み、テープ６の前後に圧力差は生まれない。そこで、このような開放された空気では、他の空気が流れ込むよりも速く空気を吸引する必要がある。

すなわち、他の空気が流れ込む体積より大きい体積の空気を吸引する吸引力を有する減圧装置が必要になる。ここで、側辺領域１９と側辺部２３との間に存在する空気の体積は、中央領域１７と中央部２２との間に存在する空気の体積より大きいので、側辺領域１９と側辺部２３との間に存在する空気を吸引するための吸引力は、中央領域１７と中央部２２との間に存在する空気を吸引するための吸引力より大きくする必要がある。そこで、この吸引力を増加させるため、減圧ポンプ１０には、減圧タンク９を接続している。すなわち、減圧タンク９を設けることにより、側辺領域１９と側辺部２３の間に存在する空気を、中央領域１７と中央部２２の間に存在する空気より速く吸引するための吸引の容量を確保している。そして、この吸引容量の確保は、露光ステージ２でのテープ６の吸着に先だって、減圧ポンプ１０を用いて行えるので、減圧ポンプ１０が過負荷になることもない。

このようにして、中央吸引口１３に接続する第１減圧装置より、側辺吸引口３に接続する第２減圧装置は、吸引力が大きくなっている。したがって、中央吸引口１３のある中央部２２がテープ６の中央領域１７を引き付ける第１力より、側辺吸引口３のある側辺部２３がテープ６の側辺領域１９を引き付ける第２力は大きくなる。このような構成によれば、第１力によりテープ６の中央領域１７を露光ステージ２に固定でき、このとき、テープ６の反りにより、露光ステージ２から浮き上がったテープ６の側辺領域１９は、第１力より強い第２力により露光ステージ２に固定できる。

なお、図１に示すように、テープ６を露光ステージ２に吸着させる際に、ブロア５で、テープ６に向かって露光ステージ２の方向に空気４を吹き出すと、ブロア５が吹き出す空気４によって、テープ６は露光ステージ２の方向に吹き寄せられる。テープ６と露光ステージ２の間隔が狭まるので、テープ６と露光ステージ２との間にある空気の体積も小さくなり、テープ６を露光ステージ２に引き寄せるために吸引する空気の体積を小さくすることができる。そして、迅速な吸引と吸着が可能になる。さらに、吹き付ける圧力を高くすることにより、反っているテープ６を露光ステージ２の表面に沿うように倣わしてもよい。吹き付ける圧力は、吸引力と統合して、テープ６を固定する力を大きくし、テープ６を露光ステージ２に平面状に固定することができる。逆に、ブロア５による吹き付ける圧力の分だけ、第１減圧装置と第２減圧装置の吸引力を小さくすることができるので、減圧ポンプ１０、１６の容量を小さくすることができる。

＜別のテープの例＞
以上の実施例では、パーフォレイションホール２０を両側に形成したテ−プ６で説明してきた。しかし、テ−プ６には、いろいろな種類がある。
図３（ａ）は、パーフォレイションホール２０を有しないテ−プ６−１を、露光ステージ２で吸着した状態を示している。このように、パーフォレイションホール２０を有していないテープ６−１に対しても、テープ６−１の外側（端部）での反りを十分に吸着することができる。このテ−プ６−１の場合、側辺領域１９は、テープ６の全体の幅の左右それぞれ１０パーセント以下の領域である。

図３（ｂ）は、２対のパーフォレイションホール２０を有するテ−プ６−２を、露光ステージ２で吸着した状態を示している。このような２対のパーフォレイションホール２０を有するテ−プ６−２は、テープ６−２の全体幅の中央にパーフォレイションホール２０が形成されている。このため、このように、パーフォレイションホール２０を有していないテープ６−１に対しても、テープ６−１の外側（端部）での反りを十分に吸着することができる。
この場合、２対のパーフォレイションホール２０がテープの中央にあるので、パーフォレイションホール２０に該当する箇所には、中央吸引口１３を設けることができない。このため、一対のパーフォレイションホール２０の間の中央領域１７に中央吸引口１３が形成されている。用途によって異なるテープ６が用いられるため、露光ステージ２は、テープ６のパーフォレイションホール２０の配列に応じて、そのテープ６に適した中央吸引口１３および側辺吸引口３を形成したものに適宜取り替えることができる。

＜露光装置の動作＞
次に、露光装置１を用いた露光方法について説明する。なお、テープ６は、すでに、送りが可能なように、供給リール４１からガイドローラ４２、４４、４８、５０と搬送ローラ４５、４７を経由して、巻き取りリール５１まで張られているとする。また、この露光方法において、テープ６、テープ６−１またはテープ６−２のいずれであっても適用できる。
まず、図４に示すように、ステップＳ１で、減圧ポンプ１０で減圧タンク９の内部圧力を減圧にする。
ステップＳ２で、露光ステージ２に設けられた側辺吸引口３と減圧にされた減圧タンク９との間の三方バルブ８を開く。また、中央吸引口１３と減圧ポンプ１６との間の三方バルブ１５を開く。
ステップＳ３において、まず、テープ６が反っている場合であっても露光ステージ２とテープ６との隙間が狭い中央吸引口１３が吸引を開始する。そのすぐ後に側辺吸引口３は周辺の空気と共にテープ６を吸引する。さらに、中央吸引口１３および側辺吸引口３の吸引が開始したので、ブロア５でテープ６が露光ステージ２に密着するように、テープ６の吸着面とは別の面に空気４を吹き出す。つまり、ブロア５から吹き出された空気４は、テープ６を露光ステージ２の方向に押す。
ステップＳ４において、ステップＳ３と同時期に、減圧タンク９の内部圧力を減圧のまま上昇させる。減圧タンク９は減圧の状態であれば吸引し続けることができる。

ステップＳ５で、側辺吸引口３および中央吸引口１３はテープ６の側辺領域１９と中央領域１７とを吸着した状態のままにする。一方、ブロア５は空気４の吹き出しを位置合わせ前にブロア５からの空気４が影響を与えないように止める。つまり、ブロア５は空気４の吹き出しを露光開始前に止める。この間、側辺吸引口３および中央吸引口１３は吸引した状態である。
ステップＳ６で、制御部を用いて位置合わせを行った後に、光学部を用いて、吸着したテープ６にマスクＭの回路パターンを結像する光を照射し、テープ６のブロック２１を露光する。
ステップＳ７で、三方バルブ８、１５を閉めて、側辺吸引口３と中央吸引口１３とを三方バルブ８、１５を介して大気に接続し、側辺吸引口３内と中央吸引口１３内の圧力を大気圧にする。
ステップＳ８において、減圧ポンプ１０で減圧タンク９の内部圧力を減圧のまま降下させ、減圧タンク９が吸引可能な容量を回復させる。
ステップＳ９で、搬送部を用いて、テープ６を１ブロック２１だけ送る。

ステップＳ１０で、装置制御装置３８により、露光回数が所定の回数に達したか判定する。露光回数が所定の回数に達していない場合は、ステップＳ２に戻り、所定の回数に達するまで、ステップＳ２乃至Ｓ１０からなるループを繰り返す。露光回数が所定の回数に達した場合は、露光装置１を用いた露光方法を終了する。減圧タンク９は減圧ポンプ１０の吸引力を補強するが、減圧タンク９で空気を吸引し続けると、内部圧力は上昇し、減圧タンク９の吸引力は低下する。そこで、１ブロック２１の露光の毎に、減圧タンク９の内部圧力を、減圧ポンプ１０を用いて降下させ、減圧タンク９の吸引力を回復させる。ブロック２１毎に毎回、大きな吸引力でテープ６を露光ステージ２に吸着させることができる。

以上、露光装置１によれば、薄くて反るようなテープ６であっても、安定して、搬送し露光ステージ２に固定することができ、露光後も確実に巻き取り回収することができるので、テープ６に安定して微細なパターンを転写することができる。

本発明の一実施形態に係る露光装置の側面図である。 （ａ）は本発明の露光装置の露光ステージにテープが吸着された状態での背面方向からの透視図であり、（ｂ）はテープがステージ吸着された状態での（ａ）のＡ−Ａ方向の断面図である。 別のテープに関する実施例で、別のテープがステージ吸着された状態である。 本発明の一実施形態に係る露光方法のフローチャートである。

符号の説明

１ 露光装置
２ 露光ステージ
３ 側辺吸引口
５ ブロア
６ テープ
８ 三方バルブ
９ 減圧タンク
１０ 減圧ポンプ
１３ 中央吸引口
１５ 三方バルブ
１６ 減圧ポンプ
１７ 中央領域
１８ ホール領域
１９ 側辺領域
２０ パーフォレイションホール
２１ ブロック
２２ 中央部
２３ 側辺部

Claims (8)

1. フイルム状のテープを１ブロックずつ送り方向に送りながら、露光ステージで前記１ブロックごとに前記テープを露光する露光装置において、
   前記露光装置は、
   中央吸引口に接続する第１減圧装置と、
   側辺吸引口に接続し、前記第１減圧装置より吸引力が強い第２減圧装置を有し、
   前記露光ステージは、
   前記第１減圧装置が前記テープを引き付ける第１吸引力により前記テープの中央領域を吸引し吸着させる前記中央吸引口と、
   前記第２減圧装置が前記テープの側辺領域を引き付ける前記第１吸引力より強い第２吸引力により前記側辺領域を吸引し吸着させる側辺吸引口と、
   を有し、
   前記露光ステージは取り替え可能であることを特徴とする露光装置。
2. フイルム状のテープを１ブロックずつ送り方向に送りながら、露光ステージで前記１ブロックごとに前記テープを露光する露光装置において、
   前記露光装置は、
   中央吸引口に接続する前記第１減圧装置と、
   側辺吸引口に接続し、前記第１減圧装置より吸引力が強い第２減圧装置を有し、
   前記第２減圧装置は、
   前記側辺吸引口に接続する減圧ポンプと、
   前記側辺吸引口と前記減圧ポンプとに接続し、前記減圧ポンプにより内部圧力が減圧される減圧タンクと、
   を有し、
   前記露光ステージは、
   前記第１減圧装置が前記テープを引き付ける前記第１吸引力により前記テープの中央領域を吸引し吸着させる前記中央吸引口と、
   前記第２減圧装置が前記テープの側辺領域を引き付ける前記第１吸引力より強い第２吸引力により前記側辺領域を吸引し吸着させる側辺吸引口と、
   を有し、
   前記露光ステージは取り替え可能であることを特徴とする露光装置。
3. 前記テープが前記送り方向に伸びる少なくとも一対のパーフォレイションを有し、
   一対のパーフォレイション間の前記中央領域と前記パーフォレイションから前記テープの端部までの前記側辺領域を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の露光装置。
4. 前記側辺領域はパーフォレイションを有していない前記テープの幅に対して１０パーセント以下の領域であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の露光装置。
5. 前記中央領域および前記側辺領域の吸引を開始した後に、前記テープの前記中央吸引口または側辺吸引口とは反対側からテープに向かって気体を吹き出すブロア部を有することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の露光装置。
6. フイルム状のテープを１ブロックずつ送りながら、前記露光ステージで前記１ブロックごとに前記テープを吸着しては露光する露光方法において、
   第１減圧ポンプで減圧タンクの内部圧力を減圧する工程、
   第２減圧ポンプにより、前記テープの第１面の中央領域を引き付ける第１吸引力を働かせる工程、
   次に、前記第１ポンプと減圧された前記減圧タンクとにより、前記テープの第一面の側辺領域を引き付ける前記第１吸引力より強い第２吸引力を働かせる工程、
   を特徴とする露光方法。
7. 前記第２吸引力を働かせた後でかつ前記露光前に、前記第１面とは異なる第２面に向けて気体を吹き出すことを特徴とする請求項６に記載の露光方法。
8. 前記テープは前記送り方向に伸びる少なくとも一対のパーフォレイションを有しており、前記中央領域は一対のパーフォレイション間の領域であり、前記側辺領域は前記パーフォレイションから前記テープの端部であることを特徴とする請求項６乃至請求項７のいずれか１項に記載の露光方法。