JP5139986B2 - ポリイミド系樹脂組成物及びその製造方法、ならびに金属積層体 - Google Patents
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Description
また、リジットフレックスやフレキシブル多層基板と称される用途では、従来要求されていた半田耐熱温度では信頼性が不足することが指摘されており、より高温の耐熱性が望まれている。
さらに本発明の樹脂組成物を用いて、フレキシブルプリント基板などとして好ましく適用される金属積層体を提供する。
[1]下記一般式(1−1)で表される繰り返し単位、および一般式(1−2)で表される繰り返し単位を含むポリイミド樹脂、ならびに下記一般式(2)で表されるイミドオリゴマーを含有する、ポリイミド系樹脂組成物。
前記金属層に接するポリイミド層が、[1]〜[6]のいずれかに記載のポリイミド系樹脂組成物の硬化物からなる樹脂層である金属積層体。[12]樹脂フィルム、および前記樹脂フィルムの片面又は両面に積層された、[1]〜[6]のいずれかに記載のポリイミド系樹脂組成物の硬化物からなる樹脂層を有する接着シート。
得られる金属積層体や、金属積層体の前駆体である接着シート(金属層がない状態のシート)は半田耐熱性に優れているため、使用温度条件が厳しいLSIチップや部品実装工程及び、それらリペア工程においても膨れが発生しにくい。
本発明のポリイミド系樹脂組成物は、ポリイミド樹脂、およびイミドオリゴマーを含有することを特徴とする。
ポリイミド系樹脂組成物に含まれるポリイミド樹脂は、下記一般式(1−1)に示される繰り返し単位と一般式(1−2)に示される繰り返し単位とを含むか;または、イミド化されることにより、下記一般式(1−1)に示される繰り返し単位と一般式(1−2)に示される繰り返し単位を生成する前駆体(つまり、ポリアミド酸)であってもよい。
ポリイミド系樹脂組成物に含まれるポリイミド樹脂は、テトラカルボン酸二無水物とジアミンとを含む原料から製造されることが好ましい。
ポリイミド系樹脂組成物に含まれるイミドオリゴマーは、式(2)に示される構造を有する。式(2)におけるlは1〜5である。式(2)におけるlが1であると、イミドオリゴマーの可塑剤としての効果がより高まり、その結果、ポリイミド系樹脂組成物の低温接着性がより高まる。
イミドオリゴマーの重量平均分子量がこの範囲であると、樹脂組成物を加熱したときの蒸発量が低減され、また可塑化の効果が低下することもなく好ましい。さらに蒸発量抑制と可塑性向上のバランスの観点から、重量平均分子量Mwは1000以上4000以下であることが好ましく、1000以上3500以下であることが更に好ましく、1500以上3500以下であることがより更に好ましい。
本発明のポリイミド系樹脂組成物に含まれるイミドオリゴマーは、任意の方法で製造されうるが、例えばテトラカルボン酸酸二無水物、ジアミンおよびジカルボン酸無水物、ならびに必要に応じて溶媒を含む原料を、イミド化反応させて製造される。原料に含まれる各成分(テトラカルボン酸酸二無水物、ジアミンおよびジカルボン酸無水物)のモル比を制御することにより、好ましいイミドオリゴマーが得られる(後述)。
イミドオリゴマーの原料における触媒の含有量は、重合反応速度が実質的に向上すればよく特に制限はないが、例えばテトラカルボン酸二無水物1モルに対して、0.001〜0.5モルである。
熱イミド化とは、前述の原料を100℃以下の低温、具体的には−20〜70℃、好ましくは0〜60℃で反応させてイミドオリゴマー前駆体を合成し、ついで100〜200℃に温度を上げてイミド化することによりイミドオリゴマーを得る方法である。化学イミド化とは、前記イミドオリゴマー前駆体を、無水酢酸などのイミド化剤を用いて化学的にイミド化を行う方法である。
一方、直接熱イミド化とは、ジアミン、テトラカルボン酸二無水物およびジカルボン酸無水物を混合した後、有機塩基および/または共沸脱水用溶媒の存在下または不存在下で、速やかに昇温することで、反応系中で生成したイミドオリゴマー前駆体をそのままイミド化する方法である。
直接熱イミド化の場合は、目安として、留出する水がほぼ理論量に達する(通常は全てが回収されるわけではないので50〜90%の回収率である)まで反応させるが、通常は約数時間の反応時間が必要である。この場合、イミド化によって生じる水を、トルエンなどの共沸剤で除去する方法が一般的であって、かつ有効である。
ジアミン1モルに対するテトラカルボン酸二無水物が0.5モル未満であると、ジアミンとジカルボン酸無水物からなるビスイミドが多量に生成し、加熱時の蒸発量が多くなり好ましくない。一方、0.80モルを超えると分子量増加により、例えば可塑剤として用いる場合の可塑化効果が低下するため好ましくない。
(M4−M3)×2×1.0 ≦ M5 ≦ (M4−M3)×2×2.2
本発明のポリイミド系樹脂組成物は、前記一般式(1−1)に示される繰り返し単位と一般式(1−2)に示される繰り返し単位とを含むポリイミド樹脂、および前記一般式(2)で示されるイミドオリゴマーを含むことを特徴とする。またポリイミド樹脂は、硬化後の樹脂であっても、硬化されると一般式(1−1)に示される繰り返し単位と一般式(1−2)に示される繰り返し単位を生成する樹脂(ポリアミド酸)であってもよい。
ポリイミド樹脂と、イミドオリゴマーの比率が前記範囲内にあると、ポリイミド系樹脂組成物のガラス転移温度が十分低くなり、低温接着性を必要とする金属積層体に用いる場合に特に有用である。さらに、ポリイミド系樹脂組成物を硬化してフィルムや層とした場合に、それらの脆さが低減されて好ましい。
任意の熱可塑性樹脂の例には、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリブタジエン、ポリスチレン、ポリ酢酸ビニル、ABS樹脂、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリフェニレンオキシド、ポリカーボネート、PTFE、セルロイド、ポリアリレート、ポリエーテルニトリル、ポリアミド、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン、ポリフェニレンスルフィド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、変性ポリフェニレンオキシドおよびポリイミドなどが含まれる。
任意の熱硬化性樹脂の例には、熱硬化性ポリブタジエン、ホルムアルデヒド樹脂、アミノ樹脂、ポリウレタン、シリコン樹脂、SBR、NBR、不飽和ポリエステル、エポキシ樹脂、ポリシアネート、フェノール樹脂およびポリビスマレイミドなどが含まれる。
目的に応じて、1種もしくは2種以上の熱可塑性樹脂や熱硬化性樹脂を、適当量ブレンド化またはアロイ化して、ポリイミド系樹脂組成物に含有させることができる。それらの方法は特に限定されず公知の方法が適用できる。
またポリアミド酸とイミドオリゴマーとを含有する溶液には、同様の目的で、赤外線、紫外線やα,β及びγ線などの放射線、電子線及びX線の照射、更には、プラズマ処理やドーピング処理を施すこともできる。
脱溶媒化およびイミド化(つまり「硬化」)の方法に特に制限はないが、減圧下で、または窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性雰囲気下で行えばよい。また、使用する溶媒の沸点以上かつイミド化反応が進行する温度以上にすればよく、例えば非プロトン系アミド溶媒を用いた場合には200℃以上であればよい。脱溶媒およびイミド化に要する時間は特に制限はないが、通常2時間以上あれば十分である。
本発明の金属積層体は、金属層と樹脂層とを含む。金属積層体には1層または2層以上の樹脂層が含まれているが、そのうちの一層以上の樹脂層が本発明のポリイミド系樹脂組成物の硬化物(「樹脂硬化物」ともいう)からなる。好ましくは、金属積層体はポリイミドフィルムと、該ポリイミドフィルムの片面もしくは両面に形成されたポリイミド層と、さらに該ポリイミド層のいずれかまたは両方に積層された金属層とを有し、金属層に接するポリイミド層が前述の本発明のポリイミド系樹脂組成物の硬化物からなる。
前記の通り、本発明の金属積層体は、1層または2層以上のポリイミド樹脂層を含むが、そのうちの1層以上の樹脂層が本発明のポリイミド系樹脂組成物の硬化物からなる。2層以上のポリイミド樹脂層を含む場合には、隣接する層が互いに成分が異なるポリイミドからなることが好ましい。ポリイミドの成分が異なるとは、モノマー単位の種類および/または含有量が異なることをいう。また、単層のポリイミド層または多層のポリイミド層を構成する層の少なくとも1つは、2種以上の異なるポリイミドからなる組成物(混合物)から形成されていてもよい。
前記の通り金属積層体は、ポリイミドフィルムと、ポリイミドフィルムの片面もしくは両面に形成されたポリイミド層、該ポリイミド層のいずれかまたは両方に積層された金属層を有しうる。その金属積層体に含まれるポリイミドフィルムは、非熱可塑性ポリイミドの前駆体ワニスを塗布乾燥して得られるフィルムであってもよく、市販の非熱可塑性ポリイミドフィルムであってもよい。市販の非熱可塑性ポリイミドフィルムの例には、ユーピレックスS、ユーピレックスSGA、ユーピレックスSN(宇部興産株式会社製、登録商標/商品名)、カプトンH、カプトンV、カプトンEN(東レ・デュポン株式会社製、登録商標/商品名)、アピカルAH、アピカルNPI、アピカルHP(株式会社カネカ製、登録商標/商品名)などが含まれる。
金属積層体に含まれる金属層は特に限定されないが、銅および銅合金、ステンレス鋼およびその合金、ニッケルおよびニッケル合金(42合金も含む)、アルミニウムおよびアルミニウム合金などから選ばれる金属の層であり、好ましくは銅または銅合金の層、ステンレス層である。金属層は、金属箔を樹脂層にはり合わせて形成してもよく、スパッタ法などで樹脂に成膜してもよく、公知の手段を用いて形成することができる。金属層は、本発明のポリイミド系樹脂組成物からなる樹脂層に接していることが好ましい。
本発明の金属積層体は、本発明の効果を損なわない限り、公知の金属積層体の製法を適宜参照して製造可能であり特に制限されない。例えば以下のような方法で製造することができる。(1)単層または多層のポリイミドフィルムと金属箔とを、加熱圧着する方法。(2)ポリイミド系樹脂組成物のワニスを、金属箔に塗布した後、乾燥する方法。(3)下記積層体(i)または積層体(ii)と、下記積層体(i)または積層体(ii)とを金属層が最外層となるように積層する(樹脂層同士を接して重ね合わせて積層する)方法。
積層体(i): 単層または多層のポリイミドフィルムと金属箔とを、加熱圧着して得られる一方の面のみに金属層を有する積層体。
積層体(ii): ポリイミド系樹脂組成物のワニスを金属箔に塗布した後、乾燥して得られる一方の面のみに金属層を有する積層体。
また加熱圧着は、空気、窒素、アルゴンなどのガス雰囲気下で行えばよい。加熱温度は、熱可塑ポリイミドのガラス転移温度以上の温度、好ましくはガラス転移温度よりも約20℃以上高い温度とすることが必要で、通常100〜400℃、好ましくは150〜300℃の間で行えばよい。また、加熱時間は0.01秒以上15時間以下であることが好ましく、加熱圧力は0.1〜30MPaの範囲であればよく、通常0.5〜10MPaである。
塗布されたポリイミド系樹脂組成物のワニスの乾燥は60〜600℃の温度範囲で、好ましくは段階的に温度を上昇させて行うことが好ましい。乾燥中に塗膜から発泡したり、乾燥後の膜表面に凹凸が生じたりすることを防止し、膜厚が均一で、さらに寸法安定性にも優れる樹脂膜が得られるので、絶縁層の膜形成にとって好ましい。乾燥時間は0.05〜500分程度で適宜選択すればよい。
本発明の接着シートは、樹脂フィルムと、そのフィルムの片面または両面に形成された本発明の樹脂組成物の硬化物からなる樹脂層を有する。樹脂フィルムとは、公知の樹脂フィルムが例示でき、特に種類は限定されないが、好ましくは前述のポリイミドフィルムが例示できる。該樹脂フィルムの片面または両面に樹脂層を形成する方法についても、特に限定されないが、好ましくは、前述の金属積層体の製造方法で示したように、ポリイミド系樹脂組成物のワニスを塗布および乾燥することで形成できる。
1)対数粘度(ηinh):ポリアミド酸ワニスを、N,N-ジメチルアセトアミド溶媒中に添加して、固形分濃度を0.5g/dlに調整した後、35℃に設定した恒温槽内で測定した。
2)E型粘度:E型粘度計(RC−105A、東機産業株式会社)を用いて、25℃一定の条件で、3°コーンローターで測定した。
1)対数粘度(ηinh):イミドオリゴマーをN,N-ジメチルアセトアミド溶媒中に添加して、イミドオリゴマー固形分濃度を0.5g/dlに調整した。その溶液を35℃に調整して対数粘度を測定した。
2)分子量(重量平均分子量Mw,数平均分子量Mn):Shodex社製GPCsystem−21Hシリーズ(検出器;RI,展開溶媒;テトラヒドロフラン,流速;1ml/min,カラム温度;40℃)を用いて測定した。
3)ガラス転移温度(Tg):島津製作所(株)社製熱分析装置DSC60シリーズを用いて窒素雰囲気下にて測定した。
1)ガラス転移温度(Tg):島津製作所株式会社社製 熱分析装置DSC60シリーズを用いて窒素雰囲気下にて測定した。
2)デスミア速度:ポリアミド酸溶液をガラス板上に塗工、窒素雰囲気下にて300℃で4時間加熱してポリイミドフィルムを作製した。6×2cm2の大きさのサンプルを切り出し、測定用サンプルとした。エッチング液は、マキュタイザー9275(日本マクダーミッド社製)50g、マキュタイザー9276(日本マクダーミッド社製)50mlおよびイオン交換水を全体で1Lとなるよう混合して調製した。サンプルをエッチング液に15分間浸漬した後、水洗、乾燥し、浸漬前後の重量変化から算出した。
3)揮発性:ポリアミド酸ワニスにイミドオリゴマーをポリアミド酸固形分100重量部に対し、33重量部添加して溶液を調製、ガラス基板上にキャストした。窒素雰囲気下240℃にて15分間加熱して得られたフィルムを剥離し、5cm角に切り出した。このフィルムをシャーレに入れて、窒素雰囲気下、280℃にて30分間加熱、室温まで冷却した。シャーレ上蓋に付着した析出物の量を目視観察して、○(析出物なし)、△(わずかに析出物あり)、×(ほぼ全面に析出物あり)の基準で評価した。
1)ピール強度:JIS C−6471に準拠して測定した。金属箔の流れ方向に対して平行に長さ50mm、幅1mmの試料を準備して、23℃、相対湿度50%の環境下で、金属箔を90度の角度になるように絶縁層から剥離速度50mm/minで剥離し、その応力を測定した。
2)半田耐熱温度:IPC―TM―650(The institute for Interconnecting and Packaging Electronic Circuits)No.2.4.13に準拠して測定した。240℃から340℃の間で10℃おきに、膨れや金属とポリイミド界面の変色が発生しない最高温度を半田耐熱温度とした。試料は85℃、相対湿度85%の環境下に48時間保存したものを使用した。
1)溶剤:
DMAc:N,N-ジメチルアセトアミド
2)ジアミン:
APB:1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、
APB-R:1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、
m-BP:4,4'-ビス(3-アミノフェノキシ)ビフェニル、
3)テトラカルボン酸二無水物
BTDA:3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、
DSDA:ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、
ODPA:ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物、
BPDA:3,3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、
PMDA:ピロメリット酸二無水物、
4)ジカルボン酸無水物:
MA:無水マレイン酸
NDA:無水ナディック酸
ポリアミド酸ワニスの合成
撹拌機および窒素導入管を備えた容器に、溶媒としてDMAc(991g)を装入後、これにAPB(146.25g)、APB-R(61.39g)を装入して、溶解するまで室温にて撹拌した。次に、BTDA(219.92g)を装入し、50℃において6時間撹拌して、ポリアミド酸ワニスを得た。
得られたポリアミド酸ワニスのポリアミド酸固形分の含有率は30wt%であり、対数粘度は0.61dl/g、25℃でのE型粘度は13000mPa・Sであった。
テトラカルボン酸二無水物、ジアミンの種類、およびモル比を表1に示したものに変更した以外は、合成例1と同様にポリアミド酸ワニスを合成した。結果を合成例1と合わせて表1に示す。
イミドオリゴマーの合成
撹拌機、窒素導入管、ディーンスターク、冷却器および温度計を備えたフラスコにAPB(29.23g,0.10mol)、ODPA(15.51g,0.05mol)、無水マレイン酸(以下MA)(11.77g,0.12mol)、および溶媒としてDMAc(132g)、脱水共沸溶媒としてトルエン(42g)を装入した。その後、この溶液を撹拌し、窒素ガスを通じながら130〜135℃まで加熱した。内温が130℃付近に到達すると共に、トルエンと水の蒸発が生じた。それらの一部を冷却器にて凝縮して、ディーンスタークにて水とトルエンを分離した後、トルエンのみ系内に還流し、一部を流通する窒素ガスとともに冷却管上部から系外へ留去した。
テトラカルボン酸二無水物、ジアミンの種類を表2に示したものに変更した以外は、合成例16と同様にイミドオリゴマーの合成、評価を行なった。結果を合成例2−1とまとめて表2に示す。
撹拌機、窒素導入管、ディーンスターク、冷却器および温度計を備えたフラスコにAPB(29.23g,0.10mol)、ODPA(15.51g,0.05mol)、NDA(9.85g,0.06mol)、および溶媒としてDMAc(163g)を装入した。
得られた溶液を撹拌し、窒素ガスを通じながら160℃まで加熱した。内温が160℃付近に到達するとともに、少量のDMAcと水の蒸発が生じた。それらの一部を冷却器にて凝縮してディーンスタークより抜き出し、一部は流通する窒素ガスとともに冷却管上部から系外へ留去した。2時間後、NDA(9.85g,0.06mol)を反応器内に装入し、更に4時間加熱した。その後、反応容器を冷却し、重合反応を停止した。
テトラカルボン酸二無水物、ジアミンの種類を表2に示したものに変更した以外は、合成例2−6と同様に、イミドオリゴマーの合成、評価を行なった。結果をまとめて表2に示す。
ビスイミドの合成
特開平4−99764号公報に記載の方法にて合成し、評価を行なった。結果をまとめて表2に示す。
撹拌機、窒素導入管および温度計を備えたフラスコに、合成例1−1で得られたポリアミド酸ワニスと、合成例2−1で得られたイミドオリゴマーを加えて、ポリアミド酸ワニス中のポリアミド酸固形分100重量部に対してイミドオリゴマー33重量部とした。
40℃まで加熱・混合して、DMAcを装入して、E型粘度計における粘度が100〜1000の淡褐色透明な溶液を得た。得られた溶液をキャストして得たフィルムのTgは177℃であった。また、前述の手順に従って測定したデスミア速度は2ug/cm2/min、揮発性試験の評価は○であった。
ポリアミド酸ワニス、イミドオリゴマーの種類を表3Aまたは表3Bに示したように変更した以外は、実施例1と同様にポリイミド系樹脂組成物を合成および評価し、さらにポリイミド金属積層体を作製および評価した。結果を表3Aまたは表3Bに示す。
イミドオリゴマーを用いなかった以外は、実施例1と同様にポリイミド系樹脂組成物を合成および評価して、さらにポリイミド金属積層体を作製および評価した。結果を表3Aに示す。
ポリアミド酸ワニス、架橋性基含有添加剤であるビスイミドの種類を表3Bに示したものに変更した以外は、実施例1と同様にポリイミド系樹脂組成物を合成および評価し、さらにポリイミド金属積層体を作製および評価した。結果を表3Bに示す。
また、イミドオリゴマーの代わりにビスイミドを含む樹脂組成物(比較例2および3)は、揮発性試験の評価結果に劣り、高温度環境に曝されると組成物の一部(ビスイミドと考えられる)が昇華することがわかる。
Claims (10)
- 下記一般式(1−1)で表される繰り返し単位、および一般式(1−2)で表される繰り返し単位を含むポリイミド樹脂、ならびに
前記ポリイミド樹脂100重量部に対して20〜100重量部の下記一般式(2)で表されるイミドオリゴマーを含有する、ポリイミド系樹脂組成物。
[式(1−1)および(1−2)において、
A1およびA2 のいずれか一方が下記式(a1)であり、もう一方が下記式(a2)であり、かつ前記ポリイミド樹脂に含まれる(a1)と(a2)の個数比率が8:2〜5:5であり、
B1およびB2はそれぞれ下記式(b1)または(b2)であり、互いに同一であっても異なっていてもよい]
[式(2)において、
A3は、下記式(c1)〜(c4)のいずれかであり、
B3は、下記式(d1)〜(d4)のいずれかであり、
Zは、下記式(e1)または(e2)であり、
lは1〜5の整数である]
[式(c1)〜(c4)において、X7〜12は、直結、−O−、−S−、−CO−、−COO−、−C(CH3)2−、−C(CF3)2−、−SO2−、−NHCO−からなる群から選択され、互いに同一であっても異なっていてもよい]
[式(d1)〜(d4)において、Y7〜12は、直結、−O−、−S−、−CO−、−COO−、−C(CH3)2−、−C(CF3)2−、−SO2−、−NHCO−からなる群から選択され、互いに同一であっても異なっていてもよい]
[式(e1)または(e2)において、
R1〜4は、水素原子、ハロゲン原子、および炭素数1〜3のアルキル基からなる群から選択され、互いに同一であっても異なっていてもよく、
R5は、−O−、−S−、−CH2−、−C(CH3)2−、−CO−、または−COO−である] - 前記一般式(2)におけるlが1である、請求項1に記載のポリイミド系樹脂組成物。
- ガラス転移温度が100℃以上300℃以下の範囲である、請求項1または2に記載のポリイミド系樹脂組成物。
- 前記一般式(2)において、
A3は、下記式(c5)または(c6)であり、
B3は、下記式(d1)、および(d5)〜(d10)からなる群から選択され、
Zが、(e3)または(e4)であり、
lが1〜5の整数である、
請求項1〜3のいずれか一項に記載のポリイミド系樹脂組成物。
[R3およびR4は、前記式(e2)と同様に定義される] - 下記一般式(3−1)で表される繰り返し単位、および下記一般式(3−2)で表される繰り返し単位とを含むポリアミド酸、
前記ポリイミド樹脂100重量部に対して20〜100重量部の一般式(2)で表されるイミドオリゴマー、ならびに
必要に応じて溶媒を含む、混合物。
[式(3−1)および(3−2)において、
A1およびA2 のいずれか一方が下記式(a1)であり、もう一方が下記式(a2)であり、かつ前記ポリイミド樹脂に含まれる(a1)と(a2)の個数比率が8:2〜5:5であり、
B1およびB2はそれぞれ下記式(b1)または(b2)であり、互いに同一であっても異なっていてもよい]
[式(2)において、
A3は、下記式(c1)〜(c4)のいずれかであり、
B3は、下記式(d1)〜(d4)のいずれかであり、
Zは、下記式(e1)または(e2)であり、
lは1〜5の整数である]
[式(c1)〜(c4)において、X7〜12は、直結、−O−、−S−、−CO−、−COO−、−C(CH3)2−、−C(CF3)2−、−SO2−、−NHCO−からなる群から選択され、互いに同一であっても異なっていてもよい]
[式(d1)〜(d4)において、Y7〜12は、直結、−O−、−S−、−CO−、−COO−、−C(CH3)2−、−C(CF3)2−、−SO2−、−NHCO−からなる群から選択され、互いに同一であっても異なっていてもよい]
[式(e1)または(e2)において、
R1〜4は、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜3のアルキル基からなる群から選択され、互いに同一であっても異なっていてもよく、
R5は、−O−、−S−、−CH2−、−C(CH3)2−、−CO−、または−COO−である] - 請求項5に記載の混合物を加熱して、イミド化反応させるステップを含む、ポリイミド系樹脂硬化物の製造方法。
- 請求項1〜4のいずれか一項に記載のポリイミド系樹脂組成物の硬化物または請求項5に記載の混合物の硬化物を含むフィルム。
- 金属層と樹脂層からなる金属積層体であって、
前記樹脂層の少なくとも一層は、請求項1〜4のいずれか一項に記載のポリイミド系樹脂組成物の硬化物または請求項5に記載の混合物の硬化物からなる、金属積層体。 - ポリイミドフィルム、前記ポリイミドフィルムの片面もしくは両面に形成されたポリイミド層、前記ポリイミド層の一方または両方に積層された金属層を有し、
前記金属層に接するポリイミド層が、請求項1〜4のいずれか一項に記載のポリイミド系樹脂組成物の硬化物または請求項5に記載の混合物の硬化物からなる樹脂層である、金属積層体。 - 樹脂フィルム、および前記樹脂フィルムの片面又は両面に積層された、請求項1〜4のいずれか一項に記載のポリイミド系樹脂組成物の硬化物または請求項5に記載の混合物の硬化物からなる樹脂層、を有する接着シート。
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