JP5587731B2 - 部分洗浄装置及び部分洗浄方法 - Google Patents

Description

本発明は、部分洗浄装置及びそれを用いた部分洗浄方法に関する。特に、洗浄対象部分の周辺に対し、使用済みの洗浄液が飛散して付着することを防止し、洗浄対象部分を効率的に洗浄することができる部分洗浄装置及びそれを用いた部分洗浄方法に関する。

従来、半導体ウエハや液晶表示パネル用ガラス基板あるいは半導体製造用マスク基板等の基板に対して、高圧の洗浄液を吐出し、基板にダメージを与えることなく、半田フラックス等を効果的に除去する洗浄装置が使用されている（例えば、特許文献１）。
すなわち、特許文献１には、図１６に示すように、基板Ｗを水平姿勢で保持した状態で鉛直軸１２３周りに回転する基板保持手段１２４と、基板保持手段１２４に保持されて回転する基板Ｗに対して洗浄液を吐出する洗浄液吐出ノズル１１３と、洗浄液吐出ノズル１１３に加圧された洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、洗浄液吐出ノズル１１３から基板保持手段１２４に保持されて回転する基板Ｗに対して供給される洗浄液の供給位置が少なくとも基板保持手段１２４に保持されて回転する基板Ｗの回転中心Ｃと基板Ｗの周縁とを通過するように洗浄液吐出ノズル１１３を移動させる移動手段１１５とを備えた基板洗浄装置１００において、洗浄液吐出ノズル１１３は、基板保持手段１２４に保持されて回転する基板Ｗの表面における各々異なる複数の位置に向けて洗浄液を吐出するための複数個の吐出孔を備えた基板洗浄装置１００が開示されている。

特開平１１−２０４４８１号公報（特許請求の範囲）

しかしながら、特許文献１の基板洗浄装置を用いた場合、基板に対するダメージを抑制することはできるものの、全体における僅かな部分にしか洗浄対象部分を有さない被洗浄物を全体的に洗浄した場合、以下に示すような問題が見られた。
（１）洗浄対象部分の周辺に対しても、使用済みの洗浄液が飛散して付着しやすい。
（２）洗浄液の使用量が多くなる。
（３）洗浄後の乾燥に時間がかかる。
（４）使用済みの洗浄液により、被洗浄物が侵食される。

そこで、本発明者等は、鋭意検討した結果、洗浄液吐出ノズル、エアー吹き付けノズル、所定の開口部を有するハウジングと、所定の弾性マスキング部材と、を備えた部分洗浄装置であれば、上述した問題を解決できることを見出し、本発明を完成させたものである。
すなわち、本発明の目的は、洗浄対象部分の周辺に対し、使用済みの洗浄液が飛散して付着することを効果的に抑制し、洗浄対象部分のみを効率的に洗浄することができるばかりか、洗浄液の使用量を抑制し、洗浄後の乾燥時間を短縮でき、かつ、使用済みの洗浄液により被洗浄物が侵食されることを防止できる部分洗浄装置及びそれを用いた部分洗浄方法を提供することにある。

本発明によれば、被洗浄物を部分的に洗浄するための部分洗浄装置であって、内部に洗浄液吐出ノズル及びエアー吹き付けノズルを有し、上方または側方の壁面に第１の開口部を有するハウジングと、ハウジングにおける第１の開口部と連通した開口部を形成するための第２の開口部を有し、ハウジングに対して取り外し可能に固定された弾性マスキング部材と、を備え、ハウジングを構成する構成部材として、開口部を有するとともに、ハウジングから取り外し可能なトレイ部材を備え、かつ、当該トレイ部材が有する開口部を、第１の開口部とし、かつ、ハウジングの上方または側方において、弾性マスキング部材によって部分的にマスキングされた状態で載置された被洗浄物に対し、第１及び第２の開口部を通して、洗浄液吐出ノズルにて洗浄液を吐出した後、エアー吹き付けノズルにてエアーを吹き付け、被洗浄物に付着した洗浄液を強制的に除去することを特徴とする部分洗浄装置が提供され、上述した問題を解決することができる。
すなわち、本発明の部分洗浄装置であれば、弾性マスキング部材によって部分的にマスキングされた状態で載置された被洗浄物に対し、連通した第１及び第２の開口部を通して洗浄液吐出ノズルにて洗浄液を吐出することができる。したがって、洗浄対象部分の周辺に対し、使用済みの洗浄液が飛散して付着することを効果的に抑制し、洗浄対象部分を効率的に洗浄することができるばかりか、洗浄液の使用量を抑制することができる。
また、弾性マスキング部材によって部分的にマスキングされた状態で載置された被洗浄物に対し、連通した第１及び第２の開口部を通してエアー吹き付けノズルにてエアーを吹き付けることができる。したがって、洗浄後の乾燥時間を短縮することができ、さらには、使用済みの洗浄液による被洗浄物の浸食を防止することができる。
また、被洗浄物を、ハウジングの上方または側方に載置させる構成であることから、吐出された洗浄液を、容易にハウジング下部にて回収することができる。
さらに、本発明の部分洗浄装置であれば、上述した構成であることから、図１（ａ）〜（ｂ）に示すように、装置の省スペース化にも寄与することができる。
また、このように構成することにより、トレイ部材のハウジング側において、連通した第１及び第２の開口部を通して、被洗浄物の洗浄対象部分が露出していることを容易に確認することができる。したがって、洗浄対象部分の周辺に対し、使用済みの洗浄液が飛散して付着することを、より確実に抑制することができる。
また、トレイ部材を交換することにより、第１の開口部の形状を、容易に変えることができる。

また、本発明の部分洗浄装置を構成するにあたり、ハウジングが、弾性マスキング部材が密着する側における第１の開口部の周囲に、凸状の被押圧部を有することが好ましい。
このように構成することにより、第１の開口部の周囲部分における被洗浄物及び弾性マスキング部材間における密着性、並びに弾性マスキング部材及びハウジング間における密着性を、部分的に向上させることができる。したがって、洗浄対象部分の周辺に対し、使用済みの洗浄液が飛散して付着することを、より効果的に抑制することができる。

また、本発明の部分洗浄装置を構成するにあたり、ハウジングにおける第１の開口部が、ハウジングの内部に向かって広がるように、第１の開口部の内壁が傾斜部を有することが好ましい。
このように構成することにより、洗浄液の吐出及び付着した洗浄液の強制除去を、より容易に行うことができる。したがって、洗浄後の乾燥時間を、さらに短縮することができる。

また、本発明の部分洗浄装置を構成するにあたり、弾性マスキング部材によって部分的にマスキングされた状態の被洗浄物を、ハウジングに対して押圧するための押圧手段を備えることが好ましい。
このように構成することにより、押圧力のムラを抑制して、洗浄対象部分の周辺に対し、使用済みの洗浄液が飛散して付着することを、さらに効果的に抑制することができる。

また、本発明の部分洗浄装置を構成するにあたり、弾性マスキング部材の主原料が、天然ゴム、エチレンプロピレンジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、アクリルゴム、アクリロニトリルブタジエンゴム、エチレンプロピレンゴム、イソプレンゴム、エピクロルヒドリンゴム、クロロプレンゴム、スチレンブタジエンゴム、ブタジエンゴム、フッ素ゴム及びポリイソブチレンから選択される少なくとも一種であることが好ましい。
このように構成することにより、弾性マスキング部材の弾性を、容易に調節することができるばかりか、被洗浄物との接触面における立体形状の加工も、容易に行うことができる。

また、本発明の部分洗浄装置を構成するにあたり、洗浄液吐出ノズルが、広角ノズルであるとともに、当該広角ノズルが、第１の開口部の開口面に沿って平行移動可能であることが好ましい。
このように構成することにより、洗浄対象部分の面積が比較的広い場合であっても、洗浄対象部分全面に対して、効率的に洗浄液を吐出することができる。

また、本発明の部分洗浄装置を構成するにあたり、ハウジングの一部にエアー排出口を備えることが好ましい。
このように構成することにより、エアー吹き付けノズルにより吹き付けられたエアーを、そのままハウジング外へと、安定的に排出することができる。

また、本発明の部分洗浄装置を構成するにあたり、エアー排出口の断面積を１〜２００ｃｍ²の範囲内の値とすることが好ましい。
このように構成することにより、エアー吹き付けノズルにより吹き付けられたエアーを、より安定的にハウジング外へと排出することができ、ひいては、洗浄後の乾燥時間をより安定的に短縮することができる。

また、本発明の部分洗浄装置を構成するにあたり、エアー吹き付けノズルが、スリット型エアーノズルであるとともに、当該スリット型エアーノズルが、第１の開口部の開口面に沿って平行移動可能であり、かつ、第１の開口部を介して、スリット型エアーノズルと対向する位置に、コの字型吸引ノズルを備えることが好ましい。
このように構成することにより、洗浄対象部分の面積が比較的広い場合であっても、洗浄対象部分に吐出された使用済みの洗浄液を、効率的に強制除去しつつ、吹き付けられたエアーを、安定的にハウジング外に排出することができる。

また、本発明の部分洗浄装置を構成するにあたり、スリット型エアーノズルにおけるエアー流速を８０〜３００ｍ／秒の範囲内の値とすることが好ましい。
このように構成することにより、洗浄対象部分の面積が比較的広い場合であっても、洗浄対象部分に吐出された使用済みの洗浄液を、より効率的に強制除去することができる。

また、本発明の別の態様は、上述した部分洗浄装置を用いた部分洗浄方法であって、下記工程（ａ）〜（ｄ）を含むことを特徴とする部分洗浄方法である。
（ａ）ハウジングに対して取り外し可能に固定された弾性マスキング部材に対して、被洗浄物を載置し、被洗浄物を弾性マスキング部材によって部分的にマスキングする工程。
（ｂ）弾性マスキング部材によって部分的にマスキングされた状態の被洗浄物を、ハウジングに対して押圧する工程。
（ｃ）押圧された状態の被洗浄物における洗浄対象部分に対し、洗浄液吐出ノズルから洗浄液を吐出し、被洗浄物を洗浄する工程。
（ｄ）押圧された状態の被洗浄物における洗浄対象部分に対し、エアー吹き付けノズルからエアーを吹き付け、被洗浄物に付着した洗浄液を強制的に除去する工程。
すなわち、これらの工程を含む部分洗浄方法であれば、洗浄対象部分の周辺に対し、使用済みの洗浄液が飛散して付着することを効果的に抑制し、洗浄対象部分を効率的に洗浄することができるばかりか、洗浄液の使用量を抑制し、かつ、洗浄後の乾燥時間を短縮することができる。

また、本発明の部分洗浄方法を実施するにあたり、工程（ａ）の後に、下記工程（ａ´）を行うことが好ましい。
（ａ´）トレイ部材のハウジング側において、第１及び第２の開口部を通して、被洗浄物の洗浄対象部分が露出していることを確認する工程。
このように実施することにより、手作業で部分洗浄方法を実施する場合であっても、より安定的に所定の洗浄対象部分のみを洗浄することができる。

図１（ａ）〜（ｂ）は、第１の実施形態の部分洗浄装置を説明するために供する図である。 図２は、第１の実施形態の部分洗浄装置におけるハウジングを説明するために供する図である。 図３は、被洗浄物の載置形態を説明するために供する図である。 図４（ａ）〜（ｂ）は、第１の実施形態の部分洗浄装置による被洗浄物の洗浄態様を説明するために供する図である。 図５（ａ）〜（ｃ）は、被洗浄物を説明するために供する図である。 図６（ａ）〜（ｂ）は、第１の開口部の形態を説明するために供する図である。 図７は、トレイ部材を用いた場合の被洗浄物の載置形態を説明するために供する図である。 図８は、第１及び第２の開口部を通して露出した洗浄対象部分を説明するために供する図である。 図９は、スプレー距離及び洗浄液の吐出圧と、洗浄時間と、の関係を説明するために供する図である。 図１０（ａ）〜（ｂ）は、弾性マスキング部材を固定する態様を説明するために供する図である。 図１１（ａ）〜（ｂ）は、押圧部材について説明するために供する図である。 図１２（ａ）〜（ｂ）は、大面積用部分洗浄装置について説明するために供する図である。 図１３（ａ）〜（ｃ）は、広角ノズル、スリット型エアーノズルおよびフラットエアーノズルについて説明するために供する図である。 図１４（ａ）〜（ｂ）は、汎用部分洗浄装置について説明するために供する図である。 図１５（ａ）〜（ｃ）は、ペーストカップ用部分洗浄装置について説明するために供する図である。 図１６は、従来の基板洗浄装置を説明するために供する図である。

［第１の実施形態］
第１の実施形態は、被洗浄物を部分的に洗浄するための部分洗浄装置であって、図１及び図２に示すように、内部に洗浄液吐出ノズル３及びエアー吹き付けノズル４を有し、上方または側方の壁面に第１の開口部１３を有するハウジング２と、ハウジング２における第１の開口部１３と連通した開口部を形成するための第２の開口部３１を有し、ハウジング２に対して取り外し可能に固定された弾性マスキング部材３０と、を備え、ハウジングを構成する構成部材として、開口部を有するとともに、ハウジングから取り外し可能なトレイ部材を備え、かつ、当該トレイ部材が有する開口部を、第１の開口部とし、かつ、ハウジング２の上方または側方において、弾性マスキング部材３０によって部分的にマスキングされた状態で載置された被洗浄物２０に対し、第１及び第２の開口部１３、３１を通して、洗浄液吐出ノズル３にて洗浄液を吐出した後、エアーを吹き付けノズル４にてエアーを吹き付け、被洗浄物２０に付着した洗浄液を強制的に除去することを特徴とする部分洗浄装置１である。
なお、図１は、本発明である第１の実施形態の部分洗浄装置１を説明するために供する図であって、図２は、その部分洗浄装置１におけるハウジング２を、被洗浄物２０とともに、特に説明するために供する図である。
以下、第１の実施形態としての部分洗浄装置について、構成要件ごとに具体的に説明する。

１．部分洗浄の概要
まず、第１の実施形態の部分洗浄装置を用いて行う部分洗浄の概要を説明する。
すなわち、第１の実施形態の部分洗浄装置は、図２および図３に示すように、ハウジング２の上方（または側方）位置において、弾性マスキング部材３０によって部分的にマスキングされた状態で、被洗浄物２０を載置するように構成してある。
図２は、弾性マスキング部材３０を介して、被洗浄物２０を載置するとともに、矢印Ａで示される方向に加圧して、所定場所に密着させることを示している。
また、図３は、被洗浄物２０を矢印Ａで示されるように、反転させながら、弾性マスキング部材３０を介して、所定場所に載置することを示している。
したがって、図４（ａ）〜（ｂ）に示すように、連通した第１及び第２の開口部１３、３１を介して、被洗浄物２０における所定の洗浄対象部分２１のみを洗浄液吐出ノズル３及びエアー吹き付けノズル４に対して露出させることができる。
その結果、図４（ａ）に示すように、洗浄対象部分２１のみを、洗浄液吐出ノズル３より吐出される洗浄液にて洗浄することができる。
さらに、図４（ｂ）に示すように、洗浄対象部分２１に付着している洗浄液を、エアー吹き付けノズル４より吹き付けられるエアーによって、強制的に除去し、乾燥させることができる。
したがって、第１の実施形態の部分洗浄装置１であれば、洗浄対象部分の周辺に対し、使用済みの洗浄液が飛散して付着することを効果的に抑制し、洗浄対象部分を効率的に洗浄することができるばかりか、洗浄液の使用量を抑制し、かつ、洗浄後の乾燥時間を短縮することができる。

２．被洗浄物
第１の実施形態の部分洗浄装置にて洗浄される被洗浄物としては、特に限定されるものではないが、被洗浄物の特定部分のみを洗浄対象部分として有する部材であることが好ましい。
例えば、部材中の一部にのみ回路基板部分を有するような家電部品、自動車部品、あるいはその他の工業用部品等であれば、当該回路基板部分に残留している半田フラックスを洗浄する必要があることから、本発明における被洗浄物として好適である。
このような被洗浄物としては、より具体的に、部分洗浄が必要なパーソナルコンピュータ用回路基板、テレビ用回路基板、ビデオ用回路基板、冷蔵庫用回路基板、洗濯機用回路基板、掃除機用回路基板、携帯電話用回路基板、複写器用回路基板、エアコン用回路基板、配電盤用回路基板、ロードセルに含まれる起歪体、ハードディスク用ベース、自動車電子制御用回路基板、車両用回路基板、船舶制御用回路基板、飛行機制御用回路基板等が挙げられる。
また、全体が回路基板からなる被洗浄物であっても、後付けされた部分のみを部分的に洗浄する場合があるため、このような被洗浄物も本発明における被洗浄物の対象として好適である。
さらに、部材中に回路基板部分を有していないものであっても、例えば、基板の表面実装に用いられるペーストの使用済みカップ（ペーストカップ）であれば、カップの内部に残留しているペーストを洗浄除去するに際し、容器の内部のみを部分洗浄することにメリットがあるため、本発明における被洗浄物の対象として好適である。

次いで、図５（ａ）〜（ｃ）を用いて、被洗浄物２０の一例としてのロードセルに含まれる起歪体を説明する。
ここで、図５（ａ）は、起歪体の側面図であり、図５（ｂ）は、正面図であり、図５（ｃ）は、斜視図である。
すなわち、図５（ａ）〜（ｃ）に示す起歪体２０には、歪みゲージが半田付けされた回路基板部分２１（２１ａ、２１ｂ、２１ｃ）が設けてあり、そこから歪増幅器や指示計等と接続可能に、電気配線や端子が配設されている。
したがって、このような起歪体２０を本発明の部分洗浄装置にて洗浄する場合には、起歪体２０における回路基板部分２１（２１ａ、２１ｂ、２１ｃ）のみを洗浄対象部分として、選択的に洗浄することになる。

３．ハウジング
本発明の部分洗浄装置のハウジングは、以下においてそれぞれ説明するように、第１の開口部、洗浄液吐出ノズル及びエアー吹き付けノズルを有することを特徴とする。
なお、かかるハウジングの構成材料としては、洗浄液による腐食や機械的強度等を考慮して、ステンレスとすることが好ましい。
また、ハウジングの容量としては、被洗浄物の大きさや、洗浄条件等にもよるが、一般的には５〜５０リットルの範囲内の値とすることが好ましく、１０〜２０リットルの範囲内の値とすることがより好ましい。

（１）第１の開口部
本発明におけるハウジング２は、図２に示すように、上方または側方の壁面２９において第１の開口部１３を有することを特徴とする。
この理由は、ハウジング２が、上方または側方の壁面２９において第１の開口部１３を有することにより、後述する弾性マスキング部材３０によって部分的にマスキングされた状態で載置された被洗浄物２０に対し、当該第１の開口部１３及び弾性マスキング部材３０に設けられた第２の開口部３１を通して、洗浄液吐出ノズル３にて洗浄液を吐出することができるためである。
その結果、これらの開口部１３、３１以外の部分、すなわち、洗浄対象部分２１の周辺に対し、使用済みの洗浄液が飛散して付着することを効果的に抑制し、洗浄対象部分２１を効率的に洗浄することができるばかりか、洗浄液の使用量を抑制することができるためである。
また、弾性マスキング部材３０によって部分的にマスキングされた状態で載置された被洗浄物２０に対し、連通した第１及び第２の開口部１３、３１を通してエアー吹き付けノズル４にてエアーを吹き付けることから、洗浄後の乾燥時間を短縮することができるためである。
また、被洗浄物２０をハウジング２の上方また側方に載置させる構成であることから、吐出された洗浄液を、容易にハウジング２の下部にて回収することができる。
なお、第１の開口部の形状は、洗浄対象部分の形状に対応して形成されていればよく、図３に示すような不定形や、長方形、三角形、円形等、何ら制限されるものではない。
また、図２においては、第１の開口部１３をハウジング２の上方に設けた形態のみを示しているが、第１の開口部１３をハウジング２の側方に設けた場合であっても、洗浄対象部分の周辺に対し、使用済みの洗浄液が飛散して付着することを効果的に抑制し、洗浄対象部分を効率的に洗浄することができるばかりか、洗浄液の使用量を抑制し、かつ、洗浄後の乾燥時間を短縮することができる。

また、図６（ａ）に示すように、弾性マスキング部材３０が固定される側における第１の開口部１３の周囲に、凸状の被押圧部１３ａを設けることが好ましい。
この理由は、かかる被押圧部１３ａを設けることにより、第１の開口部１３の周囲部分における被洗浄物及び弾性マスキング部材間における密着性、並びに弾性マスキング部材及びハウジング間における密着性を、部分的に向上させることができるためである。
その結果、洗浄対象部分２１の周辺に対し、使用済みの洗浄液が飛散して付着することを、より効果的に抑制することができるためである。
なお、被押圧部１３ａの面積Ｓ２は、被洗浄物に対する押圧にもよるが、例えば、第１の開口部の面積１ｃｍ²当たり１〜１０ｃｍ²の範囲内の値とすることが好ましく、２〜５ｃｍ²の範囲内の値とすることがより好ましい。
特に、第１の開口部の形状にかかわりなく、かかる被押圧部の面積を一定とすることで、被洗浄物の種類にかかわりなく、被押圧部に対する押圧力を一定レベルに調節することが容易になる。
また、被押圧部１３ａの高さとしては、１〜５ｍｍの範囲内の値とすることが好ましく、２〜３ｍｍの範囲内の値とすることがより好ましい。

また、図６（ｂ）に示すように、第１の開口部１３が、ハウジングの内部に向かって広がるように、第１の開口部１３の内壁に傾斜部１３ｂを設けることが好ましい。
この理由は、かかる傾斜部１３ｂを設けることにより、洗浄液の吐出及び付着した洗浄液の強制除去を、より容易に行うことができることから、洗浄後の乾燥時間を、さらに短縮することができるためである。
すなわち、図６（ｂ）中に、傾斜角度（θ）で表わされる傾斜部を設けることにより、吐出された洗浄液の吐出方向を、洗浄対象部分に集中させやすくすることができるばかりか、付着した洗浄液についても、吹き付けられたエアーによって、容易に飛散させることができるためである。
なお、かかる傾斜部は、平面状であっても曲面状であってもよく、傾斜角度θについては、１〜６０°の範囲内の値とすることが好ましく、１０〜３０°の範囲内の値とすることがより好ましい。

また、図３に示すように、第１の開口部１３の周囲に、弾性マスキング部材３０及び被洗浄物２０を安定的に位置決めするための位置決め部材１２を設けることが好ましい。
この理由は、かかる位置決め部材１２を設けることにより、連通した第１及び第２の開口部を通して、確実に洗浄対象部分をハウジング側に露出させることができるためである。
なお、かかる位置決め部材は、少なくとも縦及び横の位置決め部材をそれぞれ一つずつ設けることが好ましく、図３に示すように、合計３つ設けることも好ましい。

（２）トレイ部材
また、図７に示すように、ハウジング２を構成する構成部材として、開口部を有するとともに、ハウジング２から取り外し可能なトレイ部材４０を備え、かつ、当該トレイ部材４０が有する開口部を、前記第１の開口部１３とすることを特徴とする。
すなわち、ハウジング２における弾性マスキング部材３０を取り外し可能に固定させる部分を、ハウジング本体２から取り外し可能なトレイ部材４０とすることを特徴とする。
この理由は、かかるトレイ部材を設けることにより、図８に示すように、トレイ部材４０のハウジング側において、連通した第１及び第２の開口部１３、３１を通して、被洗浄物の洗浄対象部分２１が露出していることを容易に確認することができるためである。
これにより、洗浄対象部分２１の周辺に対し、使用済みの洗浄液が飛散して付着することを、より確実に抑制することができる。
また、トレイ部材４０を交換することにより、第１の開口部１３の形状を、容易に変えることができる。
すなわち、例えば、図３に示すように、トレイ部材を設けない場合、被洗浄部分がハウジング側において露出しているか否かを直接確認することは困難となる。
一方、トレイ部材４０を設けた場合には、図７に示すようにトレイ部材４０上に弾性マスキング部材３０によって部分的にマスキングされた被洗浄物２０を載置させた状態で、全体を反転させることにより、図８に示すように、容易に洗浄対象部分２１が露出していることを確認することができる。

（３）洗浄液吐出ノズル
また、本発明におけるハウジングは、図２に示すように、内部に洗浄液吐出ノズル３を有することを特徴とする。
この理由は、ハウジング２の内部に洗浄液吐出ノズル３を設けることにより、ハウジング２の内部から、連通した第１及び第２の開口部１３、３１を通して、露出した洗浄対象部分２１のみを、洗浄液にて洗浄することができるためである。

かかる洗浄液吐出ノズルとしては、特に制限されるものではなく、例えば、図１に示すように、エアー駆動式のダイアフラムポンプ等の洗浄液供給手段８によって、洗浄液汲み上げ管１０ａ及び洗浄液供給管１０ｂを介して洗浄液供給容器１１ａから供給された洗浄液を、圧力０．１〜０．５ＭＰａの条件下、０．１〜２４リットル／分の範囲内の吐出速度（流量）を得ることができるスプレーノズルとすることが好ましい。
また、かかるスプレーノズルとしては、被洗浄物に応じて、扇形、円錐、角錐、直進ノズル等を適宜使い分けて使用することができる。
また、１回の洗浄で用いる洗浄液の量は、洗浄対象部分のサイズにもよるが、一般的には１〜７２０，０００ミリリットルの範囲内の値とすることが好ましく、１〜２４０，０００ミリリットルの範囲内の値とすることがより好ましい。
また、洗浄液吐出ノズル３は、図２に示すように、第１の開口部１３の正面に位置するように設けることが好ましい。
この理由は、このように設けることにより、洗浄対象部分における半田フラックス等の汚染物質を、ムラなく安定的に洗浄することができるためである。
そして、第１の開口部１３と、洗浄液吐出ノズル３と、の距離を、−２００〜２００ｍｍの範囲内の値とすることが好ましく、−６０〜６０ｍｍの範囲内の値とすることがより好ましい。
なお、第１の開口部と、洗浄液吐出ノズルと、の距離が負の値となる場合とは、例えば、弾性マスキング部材の厚さを非常に厚くした場合や、後述する汎用部分洗浄装置及びペーストカップ用部分洗浄装置における場合等に、洗浄液吐出ノズルの先端が、第１の開口部よりも、ハウジングの外側に位置している場合が該当する。

次いで、図９を用いて、第１の開口部及び洗浄液吐出ノズル間の距離（以下、洗浄距離と称する）及び洗浄液の吐出圧と、洗浄時間と、の関係を説明する。
すなわち、図９には、横軸に洗浄距離（ｍｍ）を採り、縦軸に洗浄時間（秒）を採った特性曲線Ａ〜Ｃが示してある。
ここで、特性曲線Ａ〜Ｃは、洗浄液の吐出圧を、それぞれ０．１、０．３及び０．５ＭＰａとした場合の特性曲線である。
なお、洗浄時間とは、被洗浄物としてロードセルに含まれる起歪体の基板部分における半田フラックスの除去具合を、光学顕微鏡を用いて確認した場合に、樹脂残が全く無い状態となるまでに要した洗浄時間（秒）を意味する。

かかる特性曲線Ａ〜Ｃより理解されるように、洗浄距離が０〜６０ｍｍまでであれば、吐出圧にかかわらず、２０秒以内の洗浄時間で効率的に部分洗浄を行うことができる。
一方、洗浄距離が６０ｍｍを超えた値になると、洗浄時間に対する吐出圧の影響が徐々に大きくなってしまうことがわかる。
より具体的には、洗浄距離を９０ｍｍにして、２０秒以内の洗浄時間を確保しようとするならば、０．３ＭＰａ以上の吐出圧としなければならないことがわかる。
したがって、本発明の部分洗浄装置においては、洗浄距離を０〜６０ｍｍの範囲内に調節することで、吐出圧によらず、優れた洗浄性を安定的に得ることができることが理解される。
他方、仮に洗浄距離を６０〜２００ｍｍの範囲で、比較的大きく取った場合であっても、吐出圧を増加させることで、所望の洗浄性を維持できることが理解される。

（４）エアー吹き付けノズル
また、本発明におけるハウジングは、図２に示すように、内部にエアー吹き付けノズル４を有することを特徴とする。
この理由は、ハウジング２の内部にエアー吹き付けノズル４を設けることにより、洗浄対象部分２１に付着した洗浄液を強制的に飛散させて、除去することができるためである。
したがって、かかるエアー吹き付けノズルを設けることにより、洗浄後の乾燥時間を短縮することができるばかりか、使用済みの洗浄液による被洗浄物の浸食についても効果的に抑制することができる。

ここで、かかるエアー吹き付けノズルの態様としては、特に制限されるものではなく、エアー供給管９ａを介してコンプレッサ等に接続され、０．１〜０．８ＭＰａの条件下で、１００〜１，５００リットル／分（０℃、１ａｔｍ）の範囲内の吹き付け速度（流量）を得ることができるものであれば、幅広型エアーノズルであっても、集中型エアーノズルであってもよい。
また、１回のエアー吹き付け量としては、洗浄対象部分のサイズにもよるが、一般的には０．１〜４５，０００リットルの範囲内の値とすることが好ましく、１〜１５，０００リットルの範囲内の値とすることがより好ましい。
また、エアー吹き付けノズル４は、図２に示すように、第１の開口部１３の斜め方向に位置するように設けることが好ましい。
この理由は、このように設けることにより、洗浄対象部分に付着している洗浄液を、より容易に飛散させて、除去することができるためである。
そして、第１の開口部１３と、エアー吹き付けノズル４と、の距離は、−２００〜２００ｍｍの範囲内の値とすることが好ましく、−６０〜６０ｍｍの範囲内の値とすることがより好ましい。
また、エアー吹き付けノズル及びエアー駆動式のダイアフラムポンプに供給されるコンプレッサからのエアー供給タイミング及び供給量は、図１に示すように、エアー制御装置１４によって、最適なプログラムに沿って制御することが好ましい。

（５）エアー排出口
また、本発明におけるハウジングは、図２に示すように、当該ハウジングの一部にエアー排出口５を備えることが好ましい。
この理由は、かかるエアー排出口５を設けることにより、エアー吹き付けノズル４から吹き付けられたエアーを、そのままエアー排出管６を介してハウジング２の外へと、安定的に排出することができ、ひいては、洗浄後の乾燥時間をより安定的に短縮することができるためである。

また、かかるエアー排出口５の断面積Ｓ１を１〜２００ｃｍ²の範囲内の値とすることが好ましい。
この理由は、エアー排出口の断面積Ｓ１をかかる範囲内の値とすることによって、エアー吹き付けノズル４により吹き付けられたエアーを、より安定的にハウジング２の外へと排出することができるためである。
したがって、エアー排出口の断面積を３〜１８０ｃｍ²の範囲内の値とすることがより好ましく、５〜８０ｃｍ²の範囲内の値とすることがさらに好ましい。

（６）洗浄液回収口
また、図１及び図２に示すように、ハウジング２の下部において、洗浄液回収口７を設けることが好ましい。
この理由は、洗浄液吐出ノズル３から吐出された使用済みの洗浄液を、回収洗浄液輸送管１５を介して、容易にハウジング２の外に輸送し、洗浄液回収容器１１ｂ内に回収することができるためである。

４．弾性マスキング部材
本発明の部分洗浄装置は、図２に示すように、ハウジング２に対して取り外し可能に固定された弾性マスキング部材３０を備えることを特徴とする。
この理由は、図４（ａ）〜（ｂ）に示すように、弾性マスキング部材３０を備えることにより、ハウジング２及び弾性マスキング部材３０の間における密着性、並びに被洗浄物２０及び弾性マスキング部材３０の間における密着性を、それぞれ効果的に向上させることができるためである。
したがって、ハウジング２及び被洗浄物２０と、弾性マスキング部材３０と、の間に、洗浄液が侵入することを効果的に抑制することができ、ひいては、洗浄対象部分２１以外の部分に対して洗浄液が付着することを、効果的に抑制することができる。

また、このような弾性マスキング部材３０であれば、被洗浄物２０との密着性に優れる一方で、剥離性にも優れることから、部分洗浄済の被洗浄物２０を、容易に取り外し、次の被洗浄物２０の部分洗浄に移行することができる。

また、このような弾性マスキング部材３０であれば、加圧により適度に変形し、かつ、その変形が可塑的であるため、複数の被洗浄物２０を連続して部分洗浄した場合であっても、上述した優れた密着性及び剥離性を、繰り返し、かつ、安定的に発揮することができる。

さらに、上述した弾性マスキング部材３０であれば、加圧により適度に変形することから、部分洗浄時に被洗浄物２０を押圧した場合であっても、被洗浄物２０に対するダメージを効果的に抑制することができる。

（１）第２の開口部
また、図３に示すように、弾性マスキング部材３０は、ハウジング２における第１の開口部１３と連通した開口部を形成するための第２の開口部３１を有することを特徴とする。
ただし、かかる第２の開口部３１は、その形状がハウジング２１における第１の開口部１３の形状に対応するように形成されていれば、他の条件については特に制限されるものではない。

（２）材質
また、弾性マスキング部材の主原料が、天然ゴム、エチレンプロピレンジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、アクリルゴム、アクリロニトリルブタジエンゴム、エチレンプロピレンゴム、イソプレンゴム、エピクロルヒドリンゴム、クロロプレンゴム、スチレンブタジエンゴム、ブタジエンゴム、フッ素ゴム及びポリイソブチレンから選択される少なくとも一種であることが好ましい。
この理由は、これらの樹脂組成物であれば、弾性マスキング部材の弾性を、容易に調節することができるばかりか、後述する被洗浄物との接触面における立体形状の加工も、容易に行うことができるためである。
特に、ウレタンゴムであれば、弾性率が低くても耐溶剤性が高いため、より好適である。
なお、弾性マスキング部材の弾性の目安としては、そのヤング率を１００〜５，０００ｋＰａの範囲内の値とすることが好ましく、１５０〜３，０００ｋＰａの範囲内の値とすることがより好ましい。

（３）形状
また、弾性マスキング部材における被洗浄物との接触面における立体形状を、第２の開口部を除き、被洗浄物に対して嵌合するように形成してあることが好ましい。
この理由は、弾性マスキング部材をこのように形成することにより、弾性マスキング部材により被洗浄物をマスキングする際に、容易に位置合わせをすることができるためである。
その結果、洗浄対象部分の周辺に対し、使用済みの洗浄液が飛散して付着することを、さらに確実に抑制することができる。
すなわち、このように構成することにより、洗浄対象部分と、第２の開口部と、の位置合わせを、容易に行うことができるためである。

また、弾性マスキング部材の厚さを３〜２０ｍｍの範囲内の値とすることが好ましい。
この理由は、弾性マスキング部材の厚さが３ｍｍ未満の値となると、被洗浄物をハウジング側に押圧した場合であっても、十分な密着性を得ることが困難となる場合があるためである。一方、弾性マスキング部材の厚さが２０ｍｍを超えた値となると、押圧によって第２の開口部が過度に変形しやすくなったりする場合があるためである。
したがって、弾性マスキング部材の厚さを４〜１８ｍｍの範囲内の値とすることがより好ましく、５〜１５ｍｍの範囲内の値とすることがさらに好ましい。

（４）固定
また、弾性マスキング部材を、取り外し可能にハウジングに固定する方法としては、特に限定されるものではないが、ビス及びナット等によって固定することが好ましい。
この場合、被洗浄物と直接に接する部材であることから、被洗浄物側にビスもしくはナットを露出させることはできないため、図１０（ａ）〜（ｂ）に示すように、ビス３３もしくはナット３４を、弾性マスキング部材３０に設けられた凹部３２に収まるようにし、さらに、その上から、弾性マスキング部材３０と同程度の弾性を有する樹脂３５等によって、蓋をしておくことが好ましい。

５．押圧部材
本発明の部分洗浄装置では、図４（ａ）〜（ｂ）に示すように、ハウジング２に対して、弾性マスキング部材３０によって部分的にマスキングされた状態の被洗浄物２０を、作業者が手によって直接押圧することで、十分に洗浄液の漏れを抑制することができる。
一方、かかる押圧を、押圧部材を用いて行うことも好ましい。
この理由は、押圧力のムラを抑制して、吐出された洗浄液の漏れを、さらに効果的に抑制することができるためである。
より具体的には、トグルクランプ、油圧シリンダー及び空圧シリンダー等を用いた押圧部材等を挙げることができる。
特に、図１１（ａ）〜（ｂ）に示すような、トグルクランプ５０であれば、手動で容易に扱うことができる一方で、押圧力のムラを効果的に抑制することができることから、好適である。
また、このとき、被洗浄物の表面に押圧によるダメージを与えないために、図１１（ａ）〜（ｂ）に示すように、トグルクランプ５０の押圧部に、例えば、ウレタン樹脂からなる弾性体層５１を設けることが好ましい。
なお、被洗浄物に対する押圧力としては、１０〜１，２００ｋＰａの範囲内の値とすることが好ましく、３０〜８００ｋＰａの範囲内の値とすることがより好ましい。
さらに、押圧部材に対し、押圧計を設置した場合には、弾性マスキング部材の劣化具合を定量的に確認することができ、弾性マスキング部材を交換する時期の目安とすることもできる。
なお、被洗浄物２０が、厚さの薄い回路基板等である場合には、洗浄後の被洗浄物２０を弾性マスキング部材３０上から回収しにくくなる場合があるため、例えば、真空パッド等のメカニカルチャックを部分洗浄装置に対して取り付けることも好ましい。

６．その他の態様
以上においては、主に、部材中の一部にのみ回路基板部分を有し、かつ、洗浄対象部分の面積が比較的狭い特定の被洗浄物の部分洗浄に特化した部分洗浄装置（以下、小面積用部分洗浄装置と称する場合がある。）を例に挙げて説明してきたが、本発明の部分洗浄装置は、かかる態様に限定されるものではない。
以下、その他の態様の例として、洗浄対象部分の面積が比較的広い被洗浄物を対象とした大面積用部分洗浄装置、汎用部分洗浄装置、及びペーストカップ用部分洗浄装置について、それぞれ説明する。

（１）大面積用部分洗浄装置
図１２（ａ）〜（ｂ）に示すように、大面積用部分洗浄装置１ａの基本的な構成としては、図３に示す小面積用部分洗浄装置１と変わるところはないものの、被洗浄物２０として、洗浄対象部分２１の面積が比較的広い被洗浄物２０ａを対象としている点が大きく異なっている。
すなわち、かかる大面積用部分洗浄装置１ａは、例えば、複数の半導体チップが、比較的広い面積、より具体的には、１〜１０００ｃｍ²の範囲に渡って半田づけされている回路基板であっても、効率的に部分洗浄できる点を特徴とする。
したがって、大面積用部分洗浄装置１ａにおける第１の開口部１３の面積は、５０〜６００ｃｍ²の範囲内の値とすることがより好ましく、９０〜２００ｃｍ²の範囲内の値とすることがさらに好ましい。

また、大面積用部分洗浄装置における洗浄液吐出ノズルは、図１３（ａ）に示すように、広角ノズル３ａであることが好ましく、さらに、当該広角ノズル３ａが、第１の開口部１３の開口面に沿って平行移動可能であることが好ましい。
この理由は、このように構成することにより、洗浄対象部分２１ｄの面積が比較的広い場合であっても、洗浄対象部分２１ｄの全面に対して、効率的に洗浄液を吐出することができるためである。
すなわち、図１３（ａ）に示すような、例えば、８０〜１５０°の噴射角θ３を有する広角ノズル３ａを、洗浄液を吐出しながら図１２（ａ）に示すように、矢印Ａの方向に平行移動させることで、被洗浄物２０ａにおける洗浄対象部分２１ｄが比較的広い場合であっても、洗浄対象部分２１ｄの全面に対して、効率的に洗浄液を吐出することができる。
したがって、広角ノズル３ａの噴射角θ３を、１０〜１２０°の範囲内の値とすることがより好ましく、９０〜１１０°の範囲内の値とすることがさらに好ましい。
なお、広角ノズル３ａの態様としては、所定の噴射角を有し、洗浄対象部分２１ｄの全面に対して洗浄液を吐出できるものであれば、特に限定されるものではなく、扇形、円錐、角錐、直進ノズル等を適宜使い分けて使用することができる。

また、広角ノズルの移動速度としては、被洗浄物によるが、通常１〜３０ｃｍ／秒の範囲内の値とすることが好ましく、１０〜２０ｃｍ／秒の範囲内の値とすることがさらに好ましい。
また、順次、複数の被洗浄物を洗浄する観点から、広角ノズルが往復可能であることが好ましく、このときの洗浄液の吐出は、往時のみでも、往復時両方であってもよく、被洗浄物によって、適宜調節することが好ましい。
また、広角ノズルの移動方法としては、例えば、図１２（ｂ）に示すように、ハウジング２の内壁に対して広角ノズル３ａの進行方向に沿って設けられたレール部材６３（６３ａ、６３ｂ）と、かかるレール部材６３に対して移動可能に固定された広角ノズル移動部材６４とを用いることが好ましい。
この理由は、かかる移動方法であれば、広角ノズル３ａを安定的に第１の開口部１３の開口面に対して平行方向に移動させることができるためである。
なお、広角ノズルが固定された広角ノズル移動部材を移動させる具体的な態様としては、例えば、モーター等の回転運動を往復運動に変換したロッド方式のピストン等が挙げられる。
また、広角ノズル３ａが移動しながら洗浄液を吐出できるように、広角ノズル３ａに対して洗浄液を供給するためのパイプは、洗浄液供給用可撓性パイプ６２とすることが好ましい。
その他、大面積用部分洗浄装置における上述した以外の洗浄液の吐出条件については、既に記載した小面積用部分洗浄装置における条件と同様にすることができる。

また、大面積用部分洗浄装置におけるエアー吹き付けノズルは、図１２（ａ）および（ｂ）に示すように、スリット型エアーノズル４ａであることが好ましく、さらに、当該スリット型エアーノズル４ａが、第１の開口部１３の開口面に沿って平行移動可能であることが好ましい。
この理由は、このように構成することにより、洗浄対象部分の面積が比較的広い場合であっても、洗浄対象部分に吐出された使用済みの洗浄液を、効率的に強制除去しつつ、吹き付けられたエアーを、安定的にハウジング外に排出することができるためである。
すなわち、スリット型エアーノズル４ａを、被洗浄物２０ａに対して、エアーを吹き付けながら図１２（ａ）に示すように、矢印Ｂの方向に平行移動させることで、被洗浄物２０ａにおける洗浄対象部分２１ｄが比較的広い場合であっても、洗浄対象部分２１ｄに吐出された使用済みの洗浄液を、効率的に強制除去することができる。
また、第１の開口部１３を介して、スリット型エアーノズル４ａと対向する位置に、コの字型吸引ノズル５ａを備えることにより、スリット型エアーノズル４ａから吹きつけられる大量のエアーを、積極的にハウジング２の外に排出して、ハウジング２の内圧が過度に上昇することを防ぐことができる。
なお、スリット型エアーノズルとは、スリット状のエアー吹き出し部を備えたエアーノズルであって、被洗浄物に対して断面形状が線状であるエアーを吹き付けて、所謂、エアーナイフを形成できるエアーノズルを意味する。

また、スリット型エアーノズルを、図１３（ｂ）に示すような長尺ノズル４ａとすることが好ましい。
この理由は、洗浄対象部分２１ｄの全面に対してエアーを吹き付ける必要があることから、スリット型エアーノズル４ａの長さＬ１を洗浄対象部分２１ｄの幅と同程度か、あるいはそれよりも大きな値とする必要があるためである。
したがって、洗浄対象部分２１ｄの幅によるが、通常、スリット型エアーノズル４ａの長さＬ１を５〜１５０ｃｍの範囲内の値とすることが好ましく、２〜３０ｃｍの範囲内の値とすることがより好ましい。
また、エアー吹き出し部の幅、すなわち、スリット幅Ｌ３は、０．１〜３ｍｍの範囲内の値とすることが好ましい。
この理由は、スリット型エアーノズルにおけるエアー流速を所定の範囲内の値に調節して、洗浄対象部分に吐出された使用済みの洗浄液を、より効率的に強制除去することができるためである。
したがって、エアー吹き出し部の幅Ｌ３を５０〜１，５００ｍｍの範囲内の値とすることがより好ましく、２０〜３００ｍｍの範囲内の値とすることがさらに好ましい。
なお、エアー吹き付け角度θ１としては、特に制限されないが、１〜９０°の範囲内の値とすることが好ましく、４５〜９０°の範囲内の値とすることがより好ましい。

また、図１３（ｂ）に示すようにスリット型エアーノズル本体７０の断面を、長方形とし、さらに、長手方向に設けられたエアー吹き出し部７４を、被洗浄物が存在する方向に延設するための平板状延設冶具７１およびＬ字状延設冶具７２を備えることが好ましい。
この理由は、スリット型エアーノズル４ａの断面を長方形とすることにより、その外面に対して、平板状延設冶具７１およびＬ字状延設冶具７２を、ネジ７３等によって容易に固定することができるためである。
また、平板状延設冶具およびＬ字状延設冶具を備えることにより、これらの位置を微調整したり、交換したりすることで、エアー吹き出し部の幅の調節や、エアー吹き出し部と被洗浄物との距離の調節を容易に行うことができるためである。

また、スリット型エアーノズルにおけるエアーの吹き出し速さ、すなわち、エアー流速を８０〜３００ｍ／秒の範囲内の値とすることが好ましい。
この理由は、かかるエアー流速を所定範囲内の値とすることにより、洗浄対象部分の面積が比較的広い場合であっても、洗浄対象部分に吐出された使用済みの洗浄液を、より効率的に強制除去することができるためである。
すなわち、かかるエアー流速が８０ｍ／秒未満の値となると、洗浄対象部分の面積が比較的広い場合には、洗浄対象部分に吐出された使用済みの洗浄液を、十分に吹き飛ばして強制除去することが困難になる場合があるためである。一方、かかるエアー流速が３００ｍ／秒を超えた値となると、ハウジング内の圧力制御が困難になったり、洗浄対象部分における半田づけされた半導体チップ等が脱落したり、破損したりする場合があるためである。
したがって、スリット型エアーノズルにおけるエアー流速を９０〜２００ｍ／秒の範囲内の値とすることがより好ましく、１００〜１５０ｍ／秒の範囲内の値とすることがさらに好ましい。

また、スリット型エアーノズルに対してエアーを供給するエアー供給装置としては、高圧ブロアを用いることが好ましい。
この理由は、大面積用部分洗浄装置においては、洗浄対象部分の面積が比較的大きいことから、スリット型エアーノズルからのエアー吹き付け量が大きく、小面積用部分洗浄装置におけるように、エアー供給装置としてコンプレッサ等を用いると、十分量のエアーを連続的に供給することが困難になる場合があるためである。
また、高圧ブロアであれば、その吸気口に対して後述するコの字型吸引ノズルを接続することにより、被洗浄物に対するエアー吹き付けと、ハウジング内のエアー吸引とを同時に行うことができるためである。

また、スリット型エアーノズルの移動速度としては、被洗浄物の種類によるが、通常１〜３０ｃｍ／秒の範囲内の値とすることが好ましく、１〜１０ｃｍ／秒の範囲内の値とすることがより好ましい。
また、順次、複数の被洗浄物を洗浄する観点から、スリット型エアーノズルが往復可能であることが好ましく、このときのエアーの吹き付けは、往時のみでも、往復時両方であってもよく、被洗浄物によって、適宜調節することが好ましい。
また、スリット型エアーノズル４ａの移動方法としては、広角ノズル３ａの移動方法と同様に、ハウジング２の内壁に対してスリット型エアーノズル４ａの進行方向に沿って設けられたレール部材と、かかるレール部材に対して移動可能に固定されたスリット型エアーノズル移動部材６５とを用いる方法が好ましい。
なお、スリット型エアーノズルの移動方法の詳細については、広角ノズルの移動方法と重複するため、省略する。
また、スリット型エアーノズル４ａが移動しながら洗浄液を吐出できるように、スリット型エアーノズル４ａに対してエアーを供給するためのパイプは、エアー供給用可撓性パイプ６１とすることが好ましい。
その他、大面積用部分洗浄装置における上述した以外のエアー吹き付け条件については、既に記載した小面積用部分洗浄装置における条件と同様にすることができる。

また、第１の開口部１３を介して、スリット型エアーノズル４ａと対向する位置に、コの字型吸引ノズル５ａを備えることが好ましい。
このようにコの字型吸引ノズル５ａを配置することにより、洗浄対象部分２１ｄに当たって跳ね返ったエアーを、そのまま吸引することができるためである。
また、拡散したエアーについても効率的に吸引する必要があることから、コの字型エアーノズル５ａの長さＬ２をスリット型エアーノズル４ａの長さＬ１よりも大きな値とすることが好ましい。
したがって、スリット型エアーノズル４ａの長さＬ１にもよるが、通常、コの字型吸引ノズル５ａの長さＬ２を１〜３０ｃｍの範囲内の値とすることが好ましく、１０〜２０ｃｍの範囲内の値とすることがより好ましい。
また、洗浄対象部分２１ｄに当たって跳ね返ったエアーの大半を、そのまま吸引すべく、コの字型吸引ノズル５ａにおける開口幅Ｌ４を１〜１０ｃｍの範囲内の値とすることが好ましく、１〜５ｃｍの範囲内の値とすることがより好ましい。
また、同様の観点から、コの時型吸引ノズル５ａの取り付け角度θ２を０〜８０°の範囲内の値とすることが好ましく、２０〜４５°の範囲内の値とすることがより好ましい。

なお、大面積用部分洗浄装置におけるエアー吹き付けノズルとして、スリット型エアーノズルを中心に説明してきたが、洗浄対象部分の面積に合わせて、その他のエアー吹き付けノズルを適宜使用することも好ましい。
より具体的には、洗浄対象部分の幅が１〜２０ｍｍの範囲内の値である場合には、広角ノズルを用いることが好ましい。
なお、かかる広角ノズルは、構成として、洗浄液吐出ノズルとしての図１３（ａ）に示す広角ノズル３ａと同様の構成とすることができる。
また、洗浄対象部分の幅が２０〜５０ｍｍの範囲内の値である場合には、図１３（ｃ）に示すような、所謂、フラットエアーノズル（例えば、いけうち（株）製、１／４Ｍ ＴＦ−Ｆ５０−１６−０１２ Ｓ３０４）４ｂを使用することが好ましい。
そして、最後に、洗浄対象部分の幅が５０ｍｍ以上の値である場合には、上述してきたように、図１３（ｂ）に示すようなスリット型エアーノズル４ａを使用することが好ましい。
なお、エアー吹き付けノズルとして広角ノズルやフラット型エアーノズルを用いる場合には、ハウジングからのエアー排出手段として、エアー排出口を用いてもよいし、コの字型吸引ノズルを用いてもよい。

また、コの字型吸引ノズルにおける負圧を形成するエアー吸引装置としては、スリット型エアーノズルの項において記載したように、高圧ブロアを用いることが好ましい。
この理由は、高圧ブロアであれば、その吸気口に対してコの字型吸引ノズルを接続することにより、スリット型エアーノズルから吹きつけられたエアーを、そのまま吸引して、被洗浄物に対するエアー吹き付けと、ハウジング内のエアー吸引とを同時に行うことができるためである。

（２）汎用部分洗浄装置
図１４（ａ）〜（ｂ）に示すように、汎用部分洗浄装置１ｂは、被洗浄物２０を特定することなく、種々の被洗浄物２０ｂ、２０ｃ、２０ｄを部分洗浄することができる態様の部分洗浄装置である。
すなわち、かかる汎用部分洗浄装置１ｂは、基本的に、図３に示す小面積用部分洗浄装置１と変わるところはないものの、弾性マスキング部材３０を被洗浄物２０に合わせて交換することなく、種々の回路基板や、それを含む部材等を、部分洗浄できる点を特徴とする。
したがって、種々の被洗浄物に適応可能とする観点から、図１４（ｂ）に示すように、第１の開口部１３及び第２の開口部３１の平面形状を、円形や長方形といった、汎用性の高い形状とすることが好ましい。
また、種々の洗浄部分に適応可能とすべく、第１の開口部１３及び第２の開口部３１の面積を、比較的大きめとすることが好ましい。
具体的には、１〜１００ｃｍ²の範囲内の値とすることが好ましく、７〜４０ｃｍ²の範囲内の値とすることがより好ましい。

また、かかる汎用部分洗浄装置における弾性マスキング部材としては、図１４（ａ）〜（ｂ）に示すように、第１の開口部１３における周辺部において、当該周辺部を囲むように、被洗浄物２０ｂ、２０ｃ、２０ｄの側に突出した立設部３０ａが設けてあることが好ましい。
この理由は、弾性マスキング部材をこのように形成することによって、種々の被洗浄物における洗浄部分を、容易に開口部内に収めることができるためである。
また、被洗浄物における洗浄部分以外の領域における立体形状にかかわらず、洗浄部分を容易に開口部内に収めることができるためである。
また、弾性マスキング部材３０における立設部３０ａの頭頂部３０ａ´の形状を、水平または内側の方が高くなるように傾斜を設けることが好ましい。
この理由は、立設部における頭頂部の形状をかかる形状とすることにより、被洗浄物と、弾性マスキング部材と、の間にかかる圧力を大きくし、これらの密着性を効果的に向上させることができるためである。
なお、立設部３０ａの幅Ｌ１は、５〜３０ｍｍの範囲内の値とすることが好ましく、高さＬ２は、３０〜１００ｍｍの範囲内の値とすることが好ましい。

また、ハウジングに対する弾性マスキング部材の固定方法としては、特に限定されるものではないが、例えば、図１４（ａ）〜（ｂ）に示すように、立設部３０ａと、ハウジング２への固定に資する平面部分３０ｂと、を有するマスキング部材３０を、固定部材３６並びにナット３４及びボルト３３等によって、ハウジング２との間で挟み込んで固定することが好ましい。
この理由は、所定の弾性マスキング部材をかかる態様で固定することにより、比較的固定しにくい立体形状を有する弾性マスキング部材であっても、安定的にハウジングに対して固定させることができるためである。
また、弾性マスキング部材における弾性体が劣化した場合等であっても、容易に取り外して、交換することができるためである。
なお、汎用部分洗浄装置における洗浄液の吐出条件や、エアーの吹き付け条件については、既に記載した小面積用部分洗浄装置における条件と同様にすることができる。

（３）ペーストカップ用部分洗浄装置
図１５（ａ）〜（ｃ）に示すようにペーストカップ用部分洗浄装置１ｃは、内容物としての半田ペーストを使い切った容器（ペーストカップ）２０ｅにおける残留物を洗浄除去するための部分洗浄装置である。
すなわち、使用済みの容器２０ｅの内部に残留しているペーストを、容器の内部のみを部分洗浄することで洗浄除去することができる点を特徴とする。

かかるペーストカップ用部分洗浄装置１ｃは、基本的に、図３に示す小面積用部分洗浄装置１と変わるところはないものの、容器２０ｅの内部を部分洗浄することに特化していることから、容器２０ｅをマスキングするための弾性マスキング部材３０に特徴を有する。
すなわち、図１５（ａ）〜（ｃ）に示すように、容器２０ｅの口部において、蓋と螺着により外嵌するために容器２０ｅの外周面に刻設されたねじ部２５に対して、弾性マスキング部材３０が、螺着により外嵌するように、内壁部に溝部３０ｃが形成してあることが好ましい。
この理由は、弾性マスキング部材３０においてこのような溝部３０ｃを形成することにより、洗浄対象外である容器２０ｅの外周面を、効果的にマスキングすることができるためである。
また、被洗浄物である容器２０ｅを、螺着により容易に固定することができるとともに、洗浄後には、容易に取り外すことができるためである。
なお、ペーストカップ用部分洗浄装置１ｃにおける第１の開口部１３及び第２の開口部３１の面積は、必然的に被洗浄物である容器２０ｅにおける口部の面積に合わせた面積となる。

また、ハウジングに対する弾性マスキング部材の固定方法としては、特に限定されるものではないが、例えば、図１５（ａ）〜（ｃ）に示すように、直接的に被洗浄物と密着するための溝部３０ｃを有する内壁部と、ハウジング２との固定に資する平面部３０ｄと、を有する弾性マスキング部材３０を、固定部材３６並びにナット３４及びボルト３３等によって、ハウジング２との間で挟み込んで固定することが好ましい。
この理由は、所定の弾性マスキング部材をかかる態様で固定することにより、弾性マスキング部材を安定的にハウジングに対して固定させることができるためである。
また、固定部材による挟み込み強度を変えることで、弾性マスキング部材における内壁部と、被洗浄物と、の密着具合を適宜調節することができるためである。
すなわち、固定部材による挟み込み強度を大きくすることで、弾性マスキング部材における内壁部が被洗浄物側に押し出され、密着力を増加させることができ、逆に、固定部材による挟み込み強度を小さくすることで、かかる密着力を減少させることができる。

また、ペーストカップ用部分洗浄装置における洗浄液吐出ノズルとしては、洗浄部分の表面積が比較的大きくなる関係上、より強い洗浄力が必要となることから、圧力０．１〜０．６ＭＰａの条件下で、１０〜３０リットル／分の範囲内の吐出速度を得ることができる円錐スプレーノズルを用いることが好ましい。
また、１回の洗浄で用いる洗浄液の量についても、１０，０００〜９００，０００ミリリットルの範囲内の値とすることが好ましく、２０，０００〜４５０，０００ミリリットルの範囲内の値とすることがより好ましい。
なお、第１の開口部と、洗浄液吐出ノズルと、の距離は、−２００〜２００ｍｍの範囲内の値とすることが好ましく、−６０〜６０ｍｍの範囲内の値とすることがより好ましい。

また、ペーストカップの内部をより確実に洗浄できる観点から、洗浄液吐出ノズルが上下方向に往復可能であることが好ましく、このときの洗浄液の吐出は、往時のみでも、往復時両方であってもよく、ペーストカップの態様によって、適宜調節することが好ましい。
また、洗浄液吐出ノズルの移動方法としては、大面積用部分洗浄装置における広角ノズルの移動方法と同様に、ハウジングの内壁に対して洗浄物吐出ノズルの進行方向に沿って設けられたレール部材と、かかるレール部材に対して移動可能に固定された洗浄液吐出ノズル移動部材とを用いる方法が好ましい。
また、洗浄液吐出ノズルが固定された洗浄液吐出ノズル移動部材を移動させる具体的な態様としては、例えば、モーター等の回転運動を往復運動に変換したロッド方式のピストン等が挙げられる。
なお、後述するエアー吹き付けノズルについても、洗浄剤吐出ノズルと同様に、上下方向に移動可能とすることが好ましい。

また、エアー吹き付けノズルについても、洗浄液吐出ノズルと同様に、比較的強い吹き付けが必要となることから、圧力０．１〜０．８ＭＰａの条件下で、１００〜１５００リットル／分（０℃、１ａｔｍ）の範囲内の吹き付け速度を得ることができるスプレーノズルを用いることが好ましい。
また、１回のエアー吹き付け量としても、０．１〜４５，０００リットルの範囲内の値とすることが好ましく、１〜１５，０００リットルの範囲内の値とすることがより好ましい。
なお、第１の開口部と、エアー吹き付けノズルと、の距離は、−２００〜２００ｍｍの範囲内の値とすることが好ましく、−６０〜６０ｍｍの範囲内の値とすることがより好ましい。

７．洗浄液
（１）種類
また、使用する洗浄液の種類は特に制限されるものではないが、例えば、グリコールエーテル系化合物、グリコールエステル系化合物、芳香族炭化水素系化合物およびピロリドン系化合物からなる群から選択される少なくとも一つの化合物であることが好ましい。
この理由は、このような洗浄液であれば、安価であり、かつ、比較的少量で、被洗浄物を迅速かつ十分に洗浄することができるためである。

ここで、好ましいグリコール化合物として、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノイソブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノプロピルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノペンチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールモノプロピルエーテル、トリエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコールモノペンチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノペンチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノペンチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル、トリプロピレングリコールモノプロピルエーテル、トリプロピレングリコールモノブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノペンチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、トリプロピレングリコールジメチルエーテル、トリプロピレングリコールジエチルエーテル、３−メトキシブタノール、３−メトキシ−３−メチル−１−ブタノール等の一種単独または二種以上の組み合わせが挙げられる。

また、グリコールエステル系化合物としては、メトキシブチルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、３−メトキシ−３−メチル−１−ブチルアセテート、３−メトキシブチルアセテート等の一種単独または二種以上の組み合わせが挙げられる。

また、芳香族炭化水素系化合物としては、１，２，４−トリメチルベンゼン（プソイドクメン）、１，２，３−トリメチルベンゼン、１，３，５−トリメチルベンゼン、メチルイソプロピルベンゼン、ジペンテン（リモネン）等の一種単独または二種以上の組み合わせが挙げられる。

また、ピロリドン系化合物としては、Ｎ−メチルピロリドン等の一種単独または二種以上の組み合わせが挙げられる。

特に、１，２，４−トリメチルベンゼン等の芳香族炭化水素系化合物と、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートやジエチレングリコールジエチルエーテル等のグリコール化合物との混合溶剤や、１，２，４−トリメチルベンゼン等の芳香族炭化水素系化合物と、３−メトキシ−３−メチル−１−ブチルアセテート等のグリコールエステル系化合物との混合溶剤が好ましい。
この理由は、このような組み合わせであれば、洗浄性が優れているばかりか、所定の帯電性に抑制することができ、さらには、比較的安価なためである。
なお、このような混合溶剤を構成する場合、芳香族炭化水素系化合物１００重量部に対して、グリコール化合物あるいはグリコールエステル系化合物の添加量を、１０〜２００重量部の範囲内の値とすることが好ましく、２０〜７０重量部の範囲内の値とすることがより好ましい。

また、プロピレングリコールモノメチルエーテルや３−メトキシ−３−メチル−１−ブタノール等のグリコール化合物と、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートや３−メトキシブチルアセテート等のグリコールエステル系化合物との混合溶剤も好ましい。
なお、このような混合溶剤を構成する場合、グリコール化合物１００重量部に対して、グリコールエステル系化合物の添加量を、１０〜９００重量部の範囲内の値とすることが好ましく、１００〜５００重量部の範囲内の値とすることがより好ましい。
また、さらに、ジペンテン等の芳香族炭化水素化合物を、グリコール化合物１００重量部に対して、５〜１８重量部の範囲内の値で添加することも好ましい。

（２）添加剤
また、使用する洗浄液中に、アミン化合物およびアルキルアンモニウムヒドロキシド化合物、あるいはいずれか一方の化合物を、さらに含有することが好ましい。
この理由は、このように構成すると、フラックス残渣の化学的除去がさらに促進され、フラックス残渣を、より効率的に除去することができるためである。

ここで、好ましいアミン化合物として、モノエタノールアミン、モノプロパノールアミン、モノブタノールアミン、ジエタノールアミン、ジプロパノールアミン、ジブタノールアミン、トリメタノールアミン、トリエタノールアミン、トリプロパノールアミン、トリブタノールアミン、Ｎ−メチルエタノールアミン、Ｎ−メチルジエタノールアミン、Ｎ−エチルエタノールアミン、Ｎ−エチルジエタノールアミン、Ｎ−プロピルエタノールアミン、Ｎ−プロピルジエタノールアミン、Ｎ−ブチルエタノールアミン、Ｎ−ブチルジエタノールアミン、Ｎ−シクロヘキジエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジエチルエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジプロピルエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジブチルエタノールアミン等の一種単独、または二種以上の組み合わせが挙げられる。

なお、上述したアミン化合物を添加する場合、その添加量を、洗浄液の主成分１００重量部に対して、０．１〜２０重量部の範囲内の値とすることが好ましい。
この理由は、かかるアミン化合物の添加量が、０．１重量部未満の値となると、添加効果が発現しない場合があるためであり、一方、２０重量部を超えた値となると、フラックスの除去効率が逆に低下する場合があるためである。
したがって、アミン化合物の添加量を、洗浄液の主成分１００重量部に対して、１〜２０重量部の範囲内の値とすることがより好ましく、２〜１０重量部の範囲内の値とすることがさらに好ましい。

（３）引火点
また、洗浄液の引火点を３０℃以上の値とすることが好ましい。
この理由は、このように構成することにより、被洗浄物を迅速かつ安全に洗浄することができるためである。
但し、過度に洗浄液の引火点が高くなると、被洗浄物の洗浄性が著しく低下する場合がある。
したがって、洗浄液の引火点を４０〜１６０℃の範囲内の値とすることがより好ましく、５０〜８０℃の範囲内の値とすることがさらに好ましい。
なお、洗浄液の引火点を４０℃以上の値とすることにより、法定上の防爆設備とする制約がなくなるため、洗浄装置をさらに小型化できるという利点がある。

（４）使用温度
また、洗浄液の使用温度（液温）は、被洗浄物に対する洗浄効果や、洗浄液の酸化劣化の程度等を考慮して定めることが好ましいが、具体的に、５〜７０℃の範囲内の値とすることが好ましい。
この理由は、かかる洗浄液の温度が５℃未満となると、被洗浄物に対する洗浄効果が著しく低下する場合があるためである。一方、かかる温度が７０℃を超えると、洗浄液の酸化劣化が著しくなったり、余分なフラックス等のみならず、被洗浄物が損傷したりする場合があるためである。
したがって、洗浄液の温度を２０〜７０℃の範囲内の値とすることがより好ましく、３０〜６０℃の範囲内の値とすることがさらに好ましい。
なお、洗浄液の使用温度を定めるに際して、洗浄液の引火点を考慮することがさらに好ましい。すなわち、洗浄液の使用温度をＴ１（℃）とし、洗浄液の引火点をＴ２（℃）としたときに、Ｔ１＜Ｔ２の関係を満足することが好ましい。

［第２の実施形態］
第２の実施形態は、第１の実施形態としての部分洗浄装置を用いた部分洗浄方法であって、下記工程（ａ）〜（ｄ）を含むことを特徴とする部分洗浄方法である。
（ａ）ハウジングに対して取り外し可能に固定された弾性マスキング部材に対して、被洗浄物を載置し、被洗浄物を弾性マスキング部材によって部分的にマスキングする工程。
（ｂ）弾性マスキング部材によって部分的にマスキングされた状態の被洗浄物を、ハウジングに対して押圧する工程。
（ｃ）押圧された状態の被洗浄物における洗浄対象部分に対し、洗浄液吐出ノズルから洗浄液を吐出し、被洗浄物を洗浄する工程。
（ｄ）押圧された状態の被洗浄物における洗浄対象部分に対し、エアー吹き付けノズルからエアーを吹き付け、被洗浄物に付着した洗浄液を強制的に除去する工程。
すなわち、これらの工程を含む部分洗浄方法であれば、周辺部分に洗浄液を付着させることなく、洗浄対象部分を効率的に洗浄することができるばかりか、洗浄液の使用量を抑制、かつ洗浄後の乾燥時間を短縮することができる。
なお、これらの各工程における具体的な内容の説明については、第１の実施形態において説明した内容と重複するため、省略する。

また、本発明の部分洗浄方法を実施するにあたり、図７に示すように、部分洗浄装置１が、ハウジング２を構成する部材として、開口部を有するとともに、ハウジング２から取り外し可能なトレイ部材４０であって、当該トレイ部材４０が有する開口部を第１の開口部１３とするトレイ部材４０を備えるとともに、工程（ａ）の後に、下記工程（ａ´）を行うことが好ましい。
（ａ´）図８に示すように、トレイ部材４０におけるハウジング２の側において、連通した第１及び第２の開口部１３、３１を通して、被洗浄物の洗浄対象部分２１が露出していることを確認する工程。
この理由は、工程（ａ）の後に、下記工程（ａ´）を行うことにより、手作業で部分洗浄方法を実施する場合であっても、より安定的に洗浄対象部分のみを洗浄することができるためである。

以下、実施例に基づいて、本発明を詳細に説明する。

１．部分洗浄方法の実施
図１及び７に示す部分洗浄装置を用いて、基板部分に半田フラックス（ロジン系フラックス）が付着している状態の、図５に示すロードセルの起歪体を部分洗浄した。
すなわち、洗浄液として、プロピレングリコールモノメチルエーテル／プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（重量比１０／９０）の組成である洗浄剤Ａ（引火点：４３℃）を、扇形スプレーノズルを用いて、洗浄液温度２０℃、吐出速度０．３リットル／分、吐出時間２秒（合計吐出量１０ミリリットル）、吐出圧力０．３ＭＰａ、吐出距離１ｃｍの条件で、基板部分の正面から吐出した。
また、起歪体に対する押圧は、作業者が手によって行った。このときの押圧力は、約４００，０００Ｐａであった。
また、弾性マスキング部材としては、ヤング率が１，７００ｋＰａのウレタンゴムからなる厚さ８ｍｍのプレートを用いた。
また、ハウジングにおける第１の開口部は、図６に示すように、面積２ｃｍ²、高さ３ｍｍの被押圧部を周囲に設けるとともに、傾斜角（θ）が３０°の傾斜部を有する態様とした。
さらに、エアー排出口の断面積を、８０ｃｍ²とした。

次いで、起歪体を押圧したままの状態で、エアーを、集中型のエアーノズルを用いて、吹き付け速度１８０リットル／分（０℃、１ａｔｍ）、吹き付け時間２秒（合計吹き付け量６リットル）、吹き付け圧力０．３ＭＰａ、吹き付け距離２ｃｍの条件で、基板部分に対し、斜め３０°の角度から吹き付けた。

２．評価
（１）洗浄性の評価
基板部分における半田フラックスの除去具合を、光学顕微鏡を用いて確認し、下記基準に沿って評価した。得られた結果を表１に示す。
◎：樹脂残が全く無い。
○：樹脂残がほとんど無い。
△：樹脂残が少々認められる。
×：樹脂残が顕著に認められる。

（２）汚染性の評価
弾性マスキング部材に覆われていた基板部分周辺箇所に洗浄液が漏れ、汚染が生じているか否かを、光学顕微鏡を用いて確認し、下記基準に沿って評価した。得られた結果を表１に示す。
◎：表面のシミが全く無い。
○：表面のシミがほとんど無い。
△：表面のシミが少々認められる。
×：表面のシミが顕著に認められる。

［実施例２〜７］
実施例２〜７においては、洗浄液供給条件及びエアー供給条件を、それぞれ表１に示すように変えたほかは、実施例１と同様に、部分洗浄方法を実施し、評価した。得られた結果を表１に示す。

［実施例８〜２８］
実施例８〜２８においては、洗浄液の種類を、それぞれ表２に示すように変えたほかは、実施例１と同様に、部分洗浄方法を実施し、評価した。得られた結果を表２に示す。

［実施例２９〜３０］
実施例２９〜３０においては、洗浄液の種類を、それぞれ表２に示すように変えるとともに、洗浄対象物である半田フラックスの種類を水溶性フラックスに変えたほかは、実施例１と同様に、部分洗浄方法を実施し、評価した。得られた結果を表２に示す。

本発明にかかる部分洗浄装置及びそれを用いた部分洗浄方法によれば、洗浄液吐出ノズル、エアー吹き付けノズルおよび所定の開口部を有するハウジングと、かかるハウジングの開口部と連通した開口部を形成するための所定の開口部を有する弾性マスキング部材と、を備えることにより、従来の問題を解決できるようになった。
すなわち、周辺部分に洗浄液を付着させることなく、洗浄対象部分を効率的に洗浄することができるばかりか、洗浄液の使用量を抑制し、洗浄後の乾燥時間を短縮でき、かつ、使用済みの洗浄液により被洗浄物が侵食されることを防止できるようになった。
したがって、本発明に係る部分洗浄装置及びそれを用いた部分洗浄方法は、基板等を含む部材の高品質化や、洗浄工程における作業の効率化及びコストの低減等に著しく寄与することが期待される。

１：部分洗浄装置、１ｂ：汎用部分洗浄装置、１ｃ：ペーストカップ用部分洗浄装置、２：ハウジング、３：洗浄液吐出ノズル、３ａ：広角ノズル、４：エアー吹き付けノズル、４ａ：スリット型エアーノズル、４ｂ：フラットエアーノズル、５：エアー排出口、５ａ：コの字型吸引ノズル、６：エアー排出管、７：洗浄液回収口、８：洗浄液供給手段、９ａ、ｂ：エアー供給管、１０ａ：洗浄液汲み上げ管、１０ｂ：洗浄液供給管、１１ａ：洗浄液供給容器、１１ｂ：洗浄液回収容器、１２：位置決め部材、１３：第１の開口部、１３ａ：被押圧部、１３ｂ：傾斜部、１４：エアー制御装置、１５：回収洗浄液輸送管、２０（２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄ、２０ｅ）：被洗浄物、２０α：ロードセルに含まれる起歪体の表側の面、２０β：ロードセルに含まれる起歪体の裏側の面、２１：洗浄対象部分（回路基板部分）、２２：配線、２５：ねじ部、３０：弾性マスキング部材、３０ａ：立設部、３０ａ´：頭頂部、３０ｂ：平面部、３０ｃ：溝部、３０ｄ：平面部、３１：第２の開口部、３２：凹部、３３：ビス、３４：ナット、３５：樹脂、３６：固定部材、４０：プレート部材、５０：トグルクランプ、６１：エアー供給用可撓性パイプ、６２：洗浄液供給用可撓性パイプ、６３（６３ａ、６３ｂ）：レール部材、６４：広角ノズル移動部材、６５：スリット型エアーノズル移動部材、７０：スリット型エアーノズル本体、７１：平板状設冶具、７２：Ｌ字状延設冶具、７３：ねじ、７４：エアー吹き出し部、８０：噴射孔、８１：エアー吸込孔、８２：溝部、８３：エアー供給口

Claims (12)

1. 被洗浄物を部分的に洗浄するための部分洗浄装置であって、
   内部に洗浄液吐出ノズル及びエアー吹き付けノズルを有し、上方または側方の壁面に第１の開口部を有するハウジングと、
   前記ハウジングにおける第１の開口部と連通した開口部を形成するための第２の開口部を有し、前記ハウジングに対して取り外し可能に固定された弾性マスキング部材と、
   を備え、
   前記ハウジングを構成する構成部材として、開口部を有するとともに、前記ハウジングから取り外し可能なトレイ部材を備え、かつ、当該トレイ部材が有する開口部を、前記第１の開口部とし、かつ、
   前記ハウジングの上方または側方において、前記弾性マスキング部材によって部分的にマスキングされた状態で載置された被洗浄物に対し、前記第１及び第２の開口部を通して、前記洗浄液吐出ノズルにて洗浄液を吐出した後、前記エアー吹き付けノズルにてエアーを吹き付け、前記被洗浄物に付着した洗浄液を強制的に除去することを特徴とする部分洗浄装置。
2. 前記ハウジングが、前記弾性マスキング部材が密着する側における第１の開口部の周囲に、凸状の被押圧部を有することを特徴とする請求項１に記載の部分洗浄装置。
3. 前記ハウジングにおける第１の開口部が、前記ハウジングの内部に向かって広がるように、前記第１の開口部の内壁が傾斜部を有することを特徴とする請求項１または２に記載の部分洗浄装置。
4. 前記弾性マスキング部材によって部分的にマスキングされた状態の前記被洗浄物を、前記ハウジングに対して押圧するための押圧手段を備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の部分洗浄装置。
5. 前記弾性マスキング部材の主原料が、天然ゴム、エチレンプロピレンジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、アクリルゴム、アクリロニトリルブタジエンゴム、エチレンプロピレンゴム、イソプレンゴム、エピクロルヒドリンゴム、クロロプレンゴム、スチレンブタジエンゴム、ブタジエンゴム、フッ素ゴム及びポリイソブチレンから選択される少なくとも一種であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の部分洗浄装置。
6. 前記洗浄液吐出ノズルが、広角ノズルであるとともに、当該広角ノズルが、前記第１の開口部の開口面に沿って平行移動可能であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の部分洗浄装置。
7. 前記ハウジングの一部にエアー排出口を備えることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の部分洗浄装置。
8. 前記エアー排出口の断面積を１〜２００ｃｍ²の範囲内の値とすることを特徴とする請求項７に記載の部分洗浄装置。
9. 前記エアー吹き付けノズルが、スリット型エアーノズルであるとともに、当該スリット型エアーノズルが、前記第１の開口部の開口面に沿って平行移動可能であり、かつ、前記第１の開口部を介して、前記スリット型エアーノズルと対向する位置に、コの字型吸引ノズルを備えることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の部分洗浄装置。
10. 前記スリット型エアーノズルにおけるエアー流速を８０〜３００ｍ／秒以上の値とすることを特徴とする請求項９に記載の部分洗浄装置。
11. 請求項１に記載の部分洗浄装置を用いた部分洗浄方法であって、
    下記工程（ａ）〜（ｄ）を含むことを特徴とする部分洗浄方法。
    （ａ）ハウジングに対して取り外し可能に固定された弾性マスキング部材に対して、被洗浄物を載置し、前記被洗浄物を前記弾性マスキング部材によって部分的にマスキングする工程。
    （ｂ）前記弾性マスキング部材によって部分的にマスキングされた状態の被洗浄物を、前記ハウジングに対して押圧する工程。
    （ｃ）押圧された状態の前記被洗浄物における洗浄対象部分に対し、洗浄液吐出ノズルから洗浄液を吐出し、被洗浄物を洗浄する工程。
    （ｄ）押圧された状態の前記被洗浄物における洗浄対象部分に対し、エアー吹き付けノズルからエアーを吹き付け、前記被洗浄物に付着した洗浄液を強制的に除去する工程。
12. 前記工程（ａ）の後に、下記工程（ａ´）を行うことを特徴とする請求項１１に記載の部分洗浄方法。
    （ａ´）トレイ部材のハウジング側において、第１及び第２の開口部を通して、前記被洗浄物の洗浄対象部分が露出していることを確認する工程。

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