JP7100556B2 - 基板ホルダに基板を保持させるためおよび／又は基板ホルダによる基板の保持を解除するための装置、および同装置を有するめっき装置 - Google Patents

基板ホルダに基板を保持させるためおよび／又は基板ホルダによる基板の保持を解除するための装置、および同装置を有するめっき装置 Download PDF

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Description

本発明は、基板ホルダに基板を保持させるためおよび／又は基板ホルダによる基板の保持を解除するための装置、および同装置を有するめっき装置に関する。
従来から、基板をめっきするためのめっき装置が知られている。特許文献１には、基板ホルダに基板を保持させるためおよび基板ホルダによる基板の保持を解除させるための基板着脱装置（特許文献１では「基板ホルダ開閉機構１０２」）を備えるめっき装置が開示されている。
特開２０１２－１０７３１１号公報
特許文献１では、基板の片面のみをめっきするための基板ホルダ（片面ホルダ）が用いられている。一方で、特許文献１では、基板の両面をめっきするための基板ホルダ（両面ホルダ）を用いることは考慮されていない。そこで本願は、両面ホルダに適合し得る基板着脱装置を提供することを一つの目的とする。
本願は、一実施形態として、基板ホルダに基板を保持させるためおよび／又は基板ホルダによる基板の保持を解除するための装置であって、基板ホルダは基板を挟持するための第１のフレームおよび第２のフレームを備え、第１のフレームおよび第２のフレームのそれぞれは、基板を露出するための開口を有し、装置は、第１のフレームおよび第２のフレームの間で基板を挟持するための基板サポーティングユニットを備え、基板サポーティングユニットは、基板を下部から支持する下部基板サポータと、基板を上部から支持する上部基板サポータと、を備え、下部基板サポータは第１のフレームおよび第２のフレームのうち下方に位置するフレームの開口を通じて基板と接触するよう構成されており、上部基板サポータは第１のフレームおよび第２のフレームのうち上方に位置するフレームの開口を通じて基板と接触するよう構成されている、装置を開示する。
一実施形態にかかるめっき装置の上面図である。 一実施形態にかかるめっき装置の正面図である。 一実施形態にかかるめっき装置において用いられる基板ホルダの正面図である。 一実施形態にかかるめっき装置において用いられる基板ホルダの断面図である。 図２Ｂに「Ａ」と付された箇所の拡大分解図である。 基板ホルダのうち基板を保持する部分の断面図である。 一実施形態にかかる基板着脱装置の上面図である。 一実施形態にかかる基板着脱装置の正面図である。 基板ホルダを受け取る前のホルダ傾動部の正面図である。 基板ホルダを受け取った後のホルダ傾動部の正面図である。 基板ホルダを受け取る前のホルダ搬送部の正面図である。 基板ホルダを押付部に向けて搬送しているホルダ搬送部の正面図である。 基板ホルダを受け取る前の押付部の正面図である。 基板ホルダを受け取った後の押付部の正面図である。 基板ホルダを下部に向かって押し付けている押付部の正面図である。 押付部を上方からみた斜視図である。 押付部を上方からみた斜視図である。図８Ｂの押付部は光源よりわずかに高い位置で切り取られている。 押付部を下方からみた斜視図である。図８Ｃの押付部は押付ユニットより低く、かつ、ステージより高い位置で切り取られている。 基板ホルダによる基板の保持を解除する動作の第１の時点（以下では単に「第ｎの時点」という）における押付部の模式図である。 第２の時点における押付部の模式図である。 第３の時点における押付部の模式図である。 第４の時点における押付部の模式図である。 第５の時点における押付部の模式図である。 第６の時点における押付部の模式図である。 第７の時点における押付部の模式図である。 第８の時点における押付部の模式図である。 第９の時点における押付部の模式図である。 第１０の時点における押付部の模式図である。 第１１の時点における押付部の模式図である。 第１２の時点における押付部の模式図である。 第１３の時点における押付部の模式図である。 光源およびカメラの双方が待機位置にある場合の押付部の模式図である。 光源が照射位置にあり、カメラが撮像位置にある場合の押付部の模式図である。 セミロック機能を有するクランパのプレートの斜視図である。 図１１のプレートの対になるフック部の斜視図である。 図１１のプレートと図１２のフック部とを備えるクランパの断面図である。 一実施形態にかかる押付部の模式図である。 基板を垂直姿勢で基板ホルダへの着脱を行う実施例を示す図である。
＜めっき装置について＞
図１は一実施形態にかかるめっき装置１００の模式図である。図１Ａはめっき装置１００の上面図である。図１Ｂはめっき装置１００の正面図である。一実施形態にかかるめっき装置１００は、ロードポート１１０と、基板搬送ロボット１２０と、ドライヤ１３０と、基板着脱装置１４０と、めっき処理部１５０と、トランスポータ１６０と、ストッカ１７０と、を備える。さらに、めっき装置１００はめっき装置１００の各部を制御するための制御部１８０を備えてよい。
ロードポート１１０はめっき装置１００に基板をロードし、および、装置１００から基板をアンロードするために設けられている。ロードポート１１０はＦＯＵＰ等の機構を置くことができるように、または、ＦＯＵＰ等の機構との間で基板を搬送可能であるように構成されていてよい。
ロードポート１１０によりロードされた基板は基板搬送ロボット１２０により搬送される。具体的には、基板搬送ロボット１２０は、ロードポート１１０、ドライヤ１３０および基板着脱装置１４０の間で基板を搬送可能に構成されている。ただし、基板搬送ロボッ
ト１２０以外の搬送機構が用いられてもよい。なお、本明細書における「ロードポート１１０に基板を搬送すること」は「ロードポート１１０に置かれたＦＯＵＰ等の機構に基板を搬送すること」を含む。ドライヤ１３０はめっき処理部１５０によって処理された基板を乾燥させるために設けられている。
基板着脱装置１４０は、基板ホルダに基板を保持させるためおよび／または基板ホルダによる基板の保持を解除するための装置である。図１の基板着脱装置１４０は、基板ホルダに基板を保持させること、および、基板ホルダによる基板の保持を解除することの双方が可能である。一方で、基板ホルダに基板を保持させるための基板着脱装置１４０と、基板ホルダによる基板の保持を解除するための基板着脱装置１４０を別個に設けてもよく、どちらか一方のみを設けてもよい。基板着脱装置１４０には基板および基板ホルダの双方が搬入される必要がある。そこで、基板着脱装置１４０は、基板搬送ロボット１２０およびトランスポータ１６０の双方がアクセス可能な位置に位置付けられる。基板着脱装置１４０の詳細は後述される。
めっき処理部１５０は基板に対してめっき処理（めっき加工）を行うために設けられている。めっき処理部１５０は１つまたは複数の処理槽を備える。１つまたは複数の処理槽のうち少なくとも１つはめっき槽である。一例として、図１の処理部１５０は８つの処理槽、すなわち前水洗槽１５１、前処理槽１５２、第１のリンス槽１５３、第１のめっき槽１５４、第２のリンス槽１５５、第２のめっき槽１５６、第３のリンス槽１５７およびブロー槽１５８を備える。めっき装置１００は、各処理槽にて所定の処理を順番に行うことができる。
トランスポータ１６０は基板着脱装置１４０、めっき処理部１５０およびストッカ１７０との間で基板ホルダを搬送するよう構成されている。さらに、トランスポータ１６０は各処理槽（前水洗槽１５１～ブロー槽１５８）の間で基板ホルダを搬送するように構成されている。トランスポータ１６０は、基板ホルダを懸架するためのトランスポータアーム１６１と、トランスポータアーム１６１を上下動させるためのアーム上下動機構１６２と、アーム上下動機構１６２を処理槽の並びに沿って水平移動させるための水平移動機構１６３と、を備える。水平移動機構１６３はトランスポータアーム１６１を水平移動させるための機構と表現されてもよい。トランスポータ１６０の構成は例示に過ぎないことに留意されたい。
ストッカ１７０は基板ホルダを少なくとも１枚、好ましくは複数枚保管可能に構成されている。一実施形態にかかる制御部１８０は、ストッカ１７０に保管されている基板ホルダのうち基板を保持していない基板ホルダが取り出されるよう、トランスポータ１６０を制御する。その後、制御部１８０は、取り出された基板ホルダが基板着脱装置１４０まで搬送されるよう、基板着脱装置１４０およびトランスポータ１６０を制御する。その後、制御部１８０は、基板が基板ホルダにより保持されるよう、基板着脱装置１４０を制御する。基板ホルダによって保持されるべき基板は、基板搬送ロボット１２０によりロードポート１１０から基板着脱装置１４０まで搬送される。以上の手順により、基板を保持していない基板ホルダは「基板を保持している基板ホルダ」となる。その後、制御部１８０は、基板を保持している基板ホルダが基板着脱装置１４０から取り出されるよう、基板着脱装置１４０およびトランスポータ１６０を制御する。さらにその後、制御部１８０は、当該基板ホルダがめっき処理部１５０に搬送されるよう、トランスポータ１６０を制御する。
めっき処理が終わった場合など、基板ホルダによる基板の保持を解除する必要がある場合、制御部１８０は、上述の手順と大凡逆の手順においてめっき装置１００の各要素を制御する。すなわち、制御部１８０は、基板を保持している基板ホルダが基板着脱装置１４
０に搬送されるよう、基板着脱装置１４０およびトランスポータ１６０を制御する。その後、制御部１８０は、基板ホルダによる基板の保持が解除されるよう、基板着脱装置１４０を制御する。以上の手順により、基板を保持している基板ホルダは「基板を保持していない基板ホルダ」となる。基板ホルダによる基板の保持が解除された後、当該基板ホルダに別の基板が保持されて再びめっき処理部１５０に搬送されてもよい。代替として、基板ホルダによる基板の保持が解除された後、当該基板ホルダがストッカ１７０に収容されてもよい。基板ホルダから取り外された基板は、基板搬送ロボット１２０によりロードポート１１０またはドライヤ１３０に搬送されてよい。
＜基板ホルダについて＞
次に、めっき装置１００において用いられる基板ホルダ（以下では符号「２００」を付す）について説明する。図２は基板ホルダ２００の模式図である。図２Ａは基板ホルダ２００の正面図である。図２Ｂは基板ホルダ２００の断面図である。図２Ｃは、図２Ｂで「Ａ」と付された箇所の拡大分解図である。なお、「めっき装置１００または基板着脱装置１４０の正面」と「基板ホルダ２００の正面」とは必ずしも一致しないことに留意されたい。
基板ホルダ２００は、フレーム間に基板を挟むことによって基板を保持するための部材である。基板ホルダ２００は基板を挟持するためのフロントフレーム２００ａおよびリアフレーム２００ｂを備える。フロントフレーム２００ａとリアフレーム２００ｂとは、少なくとも１つ、好ましくは複数のクランパ２９０（クランパ２９０の詳細は後述）によってクランプされる。基板（以下では符号「Ｗ」を付す）は図２Ｂ中に想像線で示されている。
フロントフレーム２００ａとリアフレーム２００ｂとは、後述するフック部２５０およびプレート２７０を除き、対称的な構造を有する。したがって、「フロント」と「リア」という名称は便宜的なものに過ぎない。フロントフレーム２００ａの位置する側とリアフレーム２００ｂの位置する側のどちらが正面として扱われてもよい。フロントフレーム２００ａとリアフレーム２００ｂは対称的な構造でなくともよい。
フロントフレーム２００ａの上部にはホルダアーム２１０ａが設けられている。ホルダアーム２１０ａの肩部には肩部電極２２０が設けられてよい。図２の例では、ホルダアーム２１０ａの両肩に２つの肩部電極２２０が設けられている。肩部電極２２０は図示しない導電経路（配線またはバスバーなど）により後述する基板用電極３２０と電気的に接続されている。後述する基板用電極３２０は基板Ｗと電気的に接続されるので、肩部電極２２０は基板Ｗと電気的に接続される。リアフレーム２００ｂにはホルダアーム２１０ｂが設けられている。ホルダアーム２１０ｂの構成はホルダアーム２１０ａと同等である。フロントフレーム２００ａは配線格納部２３０ａを備えてよい。リアフレーム２００ｂは配線格納部２３０ｂを備えてよい。
フロントフレーム２００ａはさらにフレームボディ２４０ａを備える。リアフレーム２００ｂはさらにフレームボディ２４０ｂを備える。フレームボディ２４０ａおよびフレームボディ２４０ｂは概略板状の部材である。フレームボディ２４０ａおよびフレームボディ２４０ｂのそれぞれの中央部分には、基板Ｗを露出するための開口２６０ａおよび開口２６０ｂがそれぞれ形成されている。図２の例では、開口２６０ａおよび開口２６０ｂは角形である。開口２６０ａおよび開口２６０ｂの形状は必要に応じて適宜変更されてよい。基板Ｗはフレームボディ２４０ａとフレームボディ２４０ｂとの間に挟み込まれる。
基板Ｗの一つの面は開口２６０ａを介して外部に露出する。基板Ｗの他の面は開口２６０ｂを介して外部に露出する。したがって、図２の基板ホルダ２００を用いてめっき処理
を行うと、基板Ｗの両面がめっき液に接触する。つまり、図２の基板ホルダ２００は「両面ホルダ」である。ただし、どちらかの開口をカバーすること、または、電気的条件を制御することなどによって、基板ホルダ２００を片面めっきのために用いることも可能である。
基板ホルダ２００は１つまたは複数のクランパ２９０を備える。クランパ２９０は、フレームボディ２４０ａに取り付けられたフック部２５０と、フレームボディ２４０ｂに取り付けられたプレート２７０とを有する。図２の例では合計で４つのクランパ２９０が設けられている。
フック部２５０は、フレームボディ２４０ａに取り付けられるフックベース２５１と、フック本体２５２と、フック本体２５２をフックベース２５１に対して枢動可能に支持するシャフト２５３と、を備える。フック部２５０は、シャフト２５３を中心としてフック本体２５２を枢動させるためのレバー２５４をさらに有してもよい。フック本体２５２はリアフレーム２００ｂの方向に向かって延びている。シャフト２５３は、保持されるべき基板Ｗの面と平行な面内で伸びている。フック部２５０は、シャフト２５３を中心としてフック本体２５２を図２Ｂまたは図２Ｃの反時計回りに付勢して、フック本体２５２とクロー２７１（後述）との間の引っ掛かりを維持するための押圧部材（図示せず）をさらに備える。押圧部材はたとえばねじりバネであってよい。
フレームボディ２４０ａにはポート２４１ａ（図２Ｃ参照）が設けられている。フック部２５０は、ボルトなどによってポート２４１ａに取り付けられる。フレームボディ２４０ｂにはポート２４１ｂ（図２Ｃ参照）が設けられている。ポート２４１ｂの位置および個数はポート２４１ａの位置および個数に対応する。ポート２４１ｂにはボルトなどによりプレート２７０が取り付けられる。プレート２７０には、フック本体２５２が引っ掛けられるクロー２７１が設けられている。クロー２７１はフロントフレーム２００ａの方向に向かって延びている。
図２に示した実施形態では、レバー２５４をフレームボディ２４０ｂに向かって押すことでフック本体２５２とクロー２７１の引っ掛かりが解除される。これに代え、レバー２５４を正面側に引っ張ることで引っ掛かりが解除されるよう、レバー２５４等を構成してもよい。
図２では、フロントフレーム２００ａにフック部２５０が取り付けられ、リアフレーム２００ｂにプレート２７０が取り付けられている。代替として、フック部２５０がリアフレーム２００ｂに取り付けられてよく、プレート２７０がフロントフレーム２００ａに取り付けられていてもよい。
次に、図３を用いて基板ホルダ２００のうち基板Ｗを保持する部分の詳細を説明する。図３は基板ホルダ２００のうち基板Ｗを保持する部分の断面図である。基板Ｗの両面にめっき処理を行うためには、基板Ｗの両面に電力を供給する必要がある。そこで、図３のフレームボディ２４０ａおよびフレームボディ２４０ｂにはそれぞれ基板用電極３２０が設けられている。基板用電極３２０のそれぞれは、基板Ｗのそれぞれの面に電気的に接続される。基板用電極３２０は肩部電極２２０に電気的に接続されている。したがって、肩部電極２２０に供給された電力は基板用電極３２０を介して基板Ｗに供給される。
基板ホルダ２００は、基板用電極３２０が存在する空間をめっき液からシールするためのアウタシール３００およびインナシール３１０を備える。アウタシール３００は基板Ｗの外側においてフレームボディ２４０ａとフレームボディ２４０ｂとの間の隙間をシールするように構成されている。アウタシール３００はフレームボディ２４０ａに設けられて
いてもよく、フレームボディ２４０ｂに設けられていてもよい。インナシール３１０はフレームボディ２４０ａとフレームボディ２４０ｂのそれぞれに設けられている。インナシール３１０は、基板Ｗが保持された場合に基板Ｗと接触する。アウタシール３００およびインナシール３１０は基板Ｗの厚さ方向に弾性的に変形可能である。基板Ｗは、インナシール３１０と基板Ｗとの間の接触圧によってフレームボディ２４０ａとフレームボディ２４０ｂとの間に保持される。なお、図３は模式図に過ぎず、実際の構成とは異なり得ることに留意されたい。たとえば、基板ホルダ２００は、アウタシール３００およびインナシール３１０を保持するためのシールホルダを有してもよい。
＜基板着脱装置について＞
基板Ｗをフレームボディ２４０ａとフレームボディ２４０ｂとの間に挟み込むためには、フック本体２５２がクロー２７１に引っ掛けられる必要がある。フック本体２５２がクロー２７１に引っ掛けられていると、フレームボディ２４０ａとフレームボディ２４０ｂが互いに離れることが規制され、アウタシール３００およびインナシール３１０は基板Ｗの厚さ方向に弾性的に変形し、シール圧力が発生する。フック本体２５２をクロー２７１に引っ掛けるためには、一旦、フック本体２５２がクロー２７１より背面側（図２Ｃの右方向）に位置させられる必要がある。したがって、基板ホルダ２００により基板Ｗを保持するためには、フレームボディ２４０ａがフレームボディ２４０ｂに向けて押し込まれる、または、フレームボディ２４０ｂがフレームボディ２４０ａに向けて押し込まれる必要がある。
前述のように、フレームボディ２４０ａとフレームボディ２４０ｂとの間にはアウタシール３００およびインナシール３１０が存在する。したがって、フレームボディ２４０ａおよび／またはフレームボディ２４０ｂを押し込むと、アウタシール３００およびインナシール３１０からの反力が生じる。一実施形態にかかる基板着脱装置１４０は、アウタシール３００およびインナシール３１０からの反力に逆らってフレームボディ２４０ａおよび／またはフレームボディ２４０ｂを押し込むことが可能に構成されている。基板着脱装置１４０はさらに、フレームボディ２４０ａおよび／またはフレームボディ２４０ｂを押し込んだ状態でフック本体２５２をクロー２７１に引っ掛ける（フック本体２５２を枢動させる）ことが可能であるように構成されている。基板着脱装置１４０は、これらの動作により基板ホルダ２００に基板Ｗを保持させることができる。以下、基板着脱装置１４０の詳細について説明する。
図４は一実施形態にかかる基板着脱装置１４０の模式図である。図４Ａは基板着脱装置１４０の上面図である。図４Ｂは基板着脱装置１４０の正面図である。図４Ａには基板搬送ロボット１２０およびトランスポータ１６０もあわせて図示されている。
基板着脱装置１４０は、ホルダ受け部４００と、ホルダ傾動部４１０と、ホルダ搬送部４２０と、押付部４３０と、を備える。押付部４３０は「フィキシング(fixing)部」または「基板着脱部」などと呼ばれてもよい。トランスポータ１６０はホルダ受け部４００にアクセス可能であるよう構成される。基板Ｗは、基板搬送ロボット１２０によって基板着脱装置１４０、より具体的には押付部４３０にロードされ、かつ、基板搬送ロボット１２０によって基板着脱装置１４０、より具体的には押付部４３０からアンロードされる。
ホルダ受け部４００は、ホルダ受け本体４０１と、ホルダ受け本体４０１を移動させるためのホルダ受け直動機構４０２を備える。ホルダ受け本体４０１はトランスポータ１６０から基板ホルダ２００を受け取る。その後、ホルダ受け本体４０１は、ホルダ受け直動機構４０２により、ホルダ傾動部４１０の近くまで移動させられる。
ホルダ傾動部４１０はホルダ傾動部アーム４１１を備える。図５Ａに示されるように、
はじめにホルダ傾動部アーム４１１は真下を向いている。図５Ｂに示されるようにホルダ傾動部アーム４１１が水平になるまで傾動することで、ホルダ傾動部アーム４１１はホルダ受け本体４０１から基板ホルダ２００を受け取る。ホルダ傾動部アーム４１１の傾動により、基板ホルダ２００は水平になるまで傾動させられる（縦向きであった基板ホルダ２００が横向きにされる）。ホルダ傾動部アーム４１１は、基板ホルダ２００を支持し、基板ホルダ２００の落下を防止するためのピン５００を有してよい。ピン５００は格納可能であってよい。ピン５００の具体的な構造、配置、個数などは適宜決定されてよい。基板ホルダ２００はピン５００に対応するピン穴（図示せず）を有してよい。
ホルダ搬送部４２０はホルダキャリア４２１と、ホルダキャリア４２１を上下動させるためのキャリア上下動機構４２２と、キャリア上下動機構４２２を押付部４３０に向けて移動させるための搬送部直動機構４２３と、を備える。図６Ａおよび図６Ｂに示されるように、ホルダキャリア４２１はホルダ傾動部アーム４１１の下部から基板ホルダ２００を受け取り、押付部４３０へ向けて基板ホルダ２００を搬送する。
押付部４３０は、基板ホルダ２００が水平に置かれるステージ４３１と、押付ユニット４３２と、を備える。ステージ４３１はホルダ搬送部４２０から基板ホルダ２００を受け取るように構成されている。ステージ４３１はさらに、基板ホルダ２００をホルダ搬送部４２０に受け渡すよう構成されている。押付ユニット４３２はステージ４３１の上方に配置されている。押付ユニット４３２は上下動可能に構成されている。押付ユニット４３２はステージ４３１上の基板ホルダ２００を下方に向かって押し付けることができる。
ホルダ搬送部４２０および押付部４３０の動きについて、図７を用いて説明する。まず、キャリア上下動機構４２２により、ホルダキャリア４２１の高さがステージ４３１に基板ホルダ２００を受け渡すために適切な高さに調整される。その後、搬送部直動機構４２３によりホルダキャリア４２１が押付部４３０の内部へロードされる（図７Ａ）。次に、キャリア上下動機構４２２によりホルダキャリア４２１が下降させられる（図７Ｂ）。ホルダキャリア４２１が下降することで、基板ホルダ２００はステージ４３１上に置かれる。
次に、押付ユニット４３２がステージ４３１上の基板ホルダ２００に向けて下降させられる（図７Ｃ）。押付ユニット４３２により基板ホルダ２００が押し付けられることで、フック本体２５２をクロー２７１に引っ掛けることまたはフック本体２５２とクロー２７１の引っ掛かりを解除することができる位置に、フック本体２５２およびクロー２７１が位置付けられる（フック本体２５２およびクロー２７１については図２を参照）。
図示された基板着脱装置１４０の構成は例示に過ぎないことに留意されたい。たとえばトランスポータ１６０により基板ホルダ２００を水平にすることができるのであれば、ホルダ傾動部４１０は不要である。たとえばトランスポータ１６０が基板ホルダ２００を押付部４３０に直接搬送することができるのであれば、押付部４３０以外の要素は不要である。基板着脱装置１４０の具体的な構成は適宜決定されてよい。また、ステージ４３１に置かれた基板ホルダ２００をトランスポータ１６０に搬送する場合、図５から図７により説明された手順と逆の手順が実行される。
＜押付部の構成について＞
図８により押付部４３０の詳細が説明される。図８Ａは押付部４３０を上方からみた斜視図である。図８Ｂは押付部４３０を上方からみた斜視図である。図８Ｂの押付部４３０は、光源８９０よりわずかに高い位置で切り取られている。図８Ｃは押付部４３０を下方からみた斜視図である。図８Ｃの押付部４３０は、押付ユニット４３２より低く、かつ、ステージ４３１より高い位置で切り取られている。
押付部４３０はハウジング８００を備える。図８の例では、ハウジング８００はメタルバーから構成されている。ステージ４３１はハウジング８００に取り付けられている。ステージ４３１は水平面と実質的に平行である。ステージ４３１には押付ユニット上下動機構８１０が設けられている。押付ユニット４３２は押付ユニット上下動機構８１０により上下動させられる。押付ユニット上下動機構８１０は例えばエアシリンダを有してよく、例えばボールねじとモータの組み合わせを有してもよい。ステージ４３１にはさらに直動ガイド８１１およびブレーキ８１２が設けられている。ブレーキ８１２は「リニアクランパ」「リニアガイドクランパ」などと称されてもよい。直動ガイド８１１はステージ４３１から上方向に延びており、押付ユニット４３２の上下動を案内する。ブレーキ８１２は押付ユニット４３２を任意の場所で静止させることができる。押付ユニット４３２等の重量に耐えることができる限り、押付ユニット上下動機構８１０、直動ガイド８１１およびブレーキ８１２の構成は任意の構成であってよい。
ステージ４３１のほぼ中央には枠状（窓枠状）の載置部８２０が設けられている。載置部８２０の具体的な形状は、基板Ｗおよび基板ホルダ２００の形状により定められてよい。基板ホルダ２００は載置部８２０に置かれる。載置部８２０は基板ホルダ２００（具体的には、たとえばフロントフレーム２００ａ）に接触するが、基板Ｗには接触しないように構成される。
ステージ４３１は位置決め機構８３０および固定クランプ８３１を備えてよい。位置決め機構８３０は、基板ホルダ２００を水平方向に押すことで、載置部８２０に置かれるべきまたは置かれた基板ホルダ２００を２次元的または１次元的に位置決めする。位置決め機構８３０の具体的な配置、形状その他の特性は、基板ホルダ２００の形状、大きさ等によって決定される。固定クランプ８３１は下方に位置するフレーム（図９の例ではフロントフレーム２００ａ）を挟み込むことで、下方に位置するフレームを固定する。
ステージ４３１はさらにフレームプッシャ８４０を備える。フレームプッシャ８４０は、基板ホルダ２００のフレームのうち上方に位置するフレーム（図９の例ではリアフレーム２００ｂ）を持ち上げる。フレームプッシャ８４０の具体的な配置、形状その他の特性は、基板ホルダ２００の形状、大きさ等によって決定される。フレームプッシャ８４０の動作については後述される。
押付部４３０はさらに、フロントフレーム２００ａとリアフレーム２００ｂとの間で基板Ｗを挟持するための基板サポーティングユニット８５０を有する。基板サポーティングユニット８５０は、下部基板サポータ８５１、下部基板サポータ上下動機構８５２、上部基板サポータ８５３および上部基板サポータ上下動機構８５４を備えてよい。
下部基板サポータ８５１はステージ４３１に設けられている。下部基板サポータ８５１は、基板Ｗを下部から支持する部材である。具体的には、下部基板サポータ８５１は載置部８２０により画定される枠の内部に配置されている。下部基板サポータ８５１は下方に位置するフレームの開口（たとえば開口２６０ａ）を通じて基板Ｗと接触する。基板Ｗの可触領域は予め設定された領域であり、たとえば基板Ｗのうち配線が形成されない領域である。そこで、下部基板サポータ８５１は基板Ｗの可触領域にのみ触れるように形成される。たとえば図８の例では下部基板サポータ８５１の形状は十字である。下部基板サポータ８５１は下部基板サポータ上下動機構８５２により上下動可能に構成されている。好ましくは、下部基板サポータ上下動機構８５２は空圧式の機構である。ただし、空圧式以外の下部基板サポータ上下動機構８５２が用いられてもよい。下部基板サポータ上下動機構８５２はたとえばモータであってもよい。
上部基板サポータ８５３はステージ４３１の上部に配置されている。図８の例では上部基板サポータ８５３はハウジング８００に取り付けられている。より具体的には、図８の押付ユニット４３２は押付ユニット開口４３２ｏｐを有し、かつ、上部基板サポータ８５３は押付ユニット開口４３２ｏｐを介して基板Ｗにアクセス可能に構成されている。上部基板サポータ８５３は基板Ｗを上部から支持する部材である。上部基板サポータ８５３は、下部基板サポータ８５１と協働して基板Ｗを挟持する。さらに、上部基板サポータ８５３は上方に位置するフレームの開口（たとえば開口２６０ｂ）を通じて基板Ｗと直接接触する。そこで、上部基板サポータ８５３もまた基板Ｗの可触領域にのみ触れるように形成される。なお、基板Ｗの可触領域は基板の面によって異なり得ることに留意されたい。したがって、上部基板サポータ８５３の形状は下部基板サポータ８５１の形状と異なり得る。図８の上部基板サポータ８５３は例えば逆Ｕ字状であり、基板Ｗと２点で接触する。上部基板サポータ８５３は上部基板サポータ上下動機構８５４により上下動可能に構成されている。好ましくは、上部基板サポータ上下動機構８５４もまた空圧式の機構である。ただし、空圧式以外の上部基板サポータ上下動機構８５４が用いられてもよい。
基板サポーティングユニット８５０は、上方に位置するフレームが持ち上げられている場合に、基板Ｗを移動させることができる。以下では、フロントフレーム２００ａが下方、リアフレーム２００ｂが上方に位置している場合を想定して説明する。具体的には、基板サポーティングユニット８５０は、基板Ｗを、フロントフレーム２００ａとリアフレーム２００ｂで基板を挟持することが可能な第１の位置（図９Ｃ参照）と、基板Ｗを基板着脱装置１４０からアンロードすることが可能な位置である第２の位置（図９Ｊ参照）と、の間で移動させる。第２の位置は第１の位置より高い位置である。第１の位置は、典型的には、基板Ｗの下面とフロントフレーム２００ａの上面（リアフレーム２００ｂに対向する側の面）がほぼ同一平面となる位置である。
押付ユニット４３２はおおよそ板状の部材となっている。押付ユニット４３２の下面には押付機構８７０が設けられている。押付機構８７０は基板ホルダ２００のアウタシール３００およびインナシール３１０を圧縮するために基板ホルダ２００を押し付ける機構である。より正確には、押付機構８７０は、リアフレーム２００ｂをステージ４３１の方向に向かって、すなわち下方向へ押し付ける。押付機構８７０は、たとえば上下動可能なエアシリンダおよびピストンから構成されていてよい。押付機構８７０はモータ等を含んでもよい。押付機構８７０によりアウタシール３００およびインナシール３１０が圧縮される結果、クランパ２９０のフック本体２５２をクロー２７１に引っ掛けることが可能になる。アウタシール３００およびインナシール３１０を均一に圧縮するため、押付ユニット４３２は複数（図８では１６個）の押付機構８７０を有してよい。アウタシール３００およびインナシール３１０を圧縮するためには、押付機構８７０はそれらのシールのほぼ真上に配置されることが好ましい。図示した例では、基板Ｗは矩形である。よって、シールもまた矩形状となっている。したがって、図８の例では、押付機構８７０が矩形状に配列されている。押付機構８７０の具体的な個数、位置および大きさならびに押付機構８７０が基板ホルダ２００のフレームを押し付ける強度などは、基板ホルダ２００の特性に応じて決定されてよい。
ステージ４３１には、さらに、クランパオープナ８６０が設けられている。基板ホルダ２００のクランパ２９０は「ノーマルクローズ」となるよう構成されている。クランパオープナ８６０はクランパ２９０を押すことでクランパ２９０を開く。より正確には、クランパオープナ８６０はレバー２５４を押してフック本体２５２をシャフト２５３の周りで枢動させる（図２も参照のこと）。クランパ２９０が開かれると、フック本体２５２をクロー２７１に引っ掛けること、および、フック本体２５２とクロー２７１との引っ掛かりを解除することが可能になる。クランパオープナ８６０の個数、配置その他の特性は、クランパ２９０の個数、大きさ等に応じて決定される。なお、図８のクランパオープナ８６
０は２つのクランパ２９０を１つのアクチュエータで操作するようにしている。
押付ユニット４３２にはフレームリフティングクロー８８０が設けられている。フレームリフティングクロー８８０は基板Ｗと平行な面内で伸縮可能に構成されている。フレームリフティングクロー８８０はリアフレーム２００ｂを引っ掛け、当該フレームを持ち上げるために設けられている。基板ホルダ２００を三点支持するため、好ましくは、押付ユニット４３２は３つまたはそれ以上のフレームリフティングクロー８８０を有する。図８Ｃでは６つのフレームリフティングクロー８８０が示されており、２つのフレームリフティングクロー８８０が１つの組となっている。押付ユニット４３２はクロー以外の手段によってフレームを持ち上げることが可能に構成されていてもよい。クロー以外の手段には、電磁石および吸着要素を例として含む。
基板着脱装置１４０はさらに少なくとも１組の光源８９０およびカメラ８９１を備えてよい。光源８９０およびカメラ８９１は、基板Ｗを基板搬送ロボット１２０により基板着脱装置１４０に搬送する際に用いられる。具体的には、光源８９０およびカメラ８９１は、基板Ｗの位置および／または角度の調整に用いられる。光源８９０はステージ４３１に取り付けられている。具体的には、光源８９０は載置部８２０より外側に設けられている。光源８９０は光源用アクチュエータ８９３により枢動可能（回転移動可能）に構成されている。光源８９０の枢動の軸は鉛直方向に沿っている。枢動により、光源８９０は、基板Ｗの着脱を阻害しない位置である光源待機位置と、基板搬送ロボット１２０により掴まれた基板Ｗの角部に光を照射可能な照射位置と、の間で移動する。ただし、光源８９０は枢動以外の他の手段、たとえば直動、によって移動可能であってよい。
カメラ８９１はハウジング８００または上部基板サポータ上下動機構８５４などに取り付けられている。図８の例では、カメラ８９１はハウジング８００に取り付けられている。カメラ８９１はカメラ用アクチュエータ８９４により水平移動可能に構成されている。具体的には、カメラ用アクチュエータ８９４は、カメラ８９１をカメラ待機位置と、撮像位置との間で移動させる。カメラ待機位置は、基板Ｗの着脱を阻害しない位置であって、リアフレーム２００ｂの上昇下降に干渉しないように、開口２６０ｂの内側にある位置である。撮像位置は、前述の照射位置と対向する位置である。さらに、撮像位置は、光源により照射されている基板Ｗの角部を撮像可能な位置である。カメラ８９１は水平移動以外の他の手段、たとえば枢動、によって移動可能であってよい。光源８９０およびカメラ８９１の具体的な動作については後述される。
押付部４３０はさらに通電センサ８９２を備えてよい。通電センサ８９２は、基板ホルダ２００と基板Ｗとの間の通電を確認するためのセンサである。通電センサ８９２は肩部電極２２０に接触可能に構成されている。通電センサ８９２は、図示しないモータまたは空圧機構などによって格納可能であってよい。
なお、図８においてステージ４３１に取り付けられている部品はステージ４３１から独立した部品であってよい（ただし載置部８２０を除く）。すなわち、「ステージ４３１が部品Ａを備える」という説明は、「押付部４３０が部品Ａを備える」と言い換えられてよい。基板着脱装置１４０の具体的な構成は適宜決定されてよい。これまでフック部２５０を有するフレームボディ２４０ａが下方に位置している場合を例に説明したが、たとえば、フック部２５０がフレームボディ２４０ｂに取り付けられているならば、クランパオープナ８６０はステージ４３１ではなく押付ユニット４３２に設けられていてよい。
＜押付部の動作について＞
次に、押付部４３０の動作について図９を用いて説明する。図９では、基板ホルダ２００による基板Ｗの保持を解除するための押付部４３０の動作を例にして説明する。図９は
押付部４３０の動作の基本原理を示すものにすぎず、図９に示される要素の寸法、形状、配置等は正確なものではないことに留意されたい。図９Ａ～Ｍは時系列順に記載されている。図９Ａでは、図示された全ての部品に符号が付されている。一方で、図９Ｂ～Ｍでは、その時点において動作する部品にのみ符号が付されている。図９の説明に関しては、フロントフレーム２００ａはフレームボディ２４０ａと同視されてよく、リアフレーム２００ｂはフレームボディ２４０ｂと同視されてよい。
図９では、基板サポーティングユニット８５０により、基板Ｗが、第１の位置と第２の位置との間で移動する。第１の位置は、フロントフレーム２００ａとリアフレーム２００ｂで基板を挟持することが可能な位置である（図９Ｃ～図９Ｉ）。第２の位置は、基板Ｗを基板着脱装置１４０からアンロードすることが可能な位置である（図９Ｊ、図９Ｋ）。第２の位置は第１の位置より高い。
図９Ａは、基板ホルダ２００による基板Ｗの保持を解除する動作の第１の時点（以下では単に「第ｎの時点」という）における押付部４３０の模式図である。第１の時点では基板ホルダ２００が載置部８２０に置かれており、押付ユニット４３２は上げられている。すなわち、図９Ａは図７Ｂに相当する。第１の時点において位置決め機構８３０（図９には図示されていない）および固定クランプ８３１が動作させられてよい。
図９Ｂは第２の時点における押付部４３０の模式図である。第２の時点では押付ユニット上下動機構８１０（図９には図示されていない）によって押付ユニット４３２が下げられる。押付ユニット４３２は、押付機構８７０がリアフレーム２００ｂを押すことができる位置まで下降させられる。押付ユニット４３２が適切な位置まで下降させられた後、ブレーキ８１２（図９には図示されていない）が動作し、押付ユニット４３２の位置が固定される。
図９Ｃは第３の時点における押付部４３０の模式図である。第３の時点では基板サポーティングユニット８５０が動作する。すなわち、第３の時点では、下部基板サポータ上下動機構８５２により下部基板サポータ８５１が上昇させられる。さらに、第３の時点では、上部基板サポータ上下動機構８５４により上部基板サポータ８５３が下降させられる。結果として、第３の時点では、下部基板サポータ８５１および上部基板サポータ８５３によって基板Ｗが挟持される。基板Ｗは、図９Ｃに示された位置において基板ホルダ２００に取り付けられ、または、基板ホルダ２００から取り外される。すなわち、フロントフレーム２００ａとリアフレーム２００ｂで基板を挟持し、あるいはフロントフレーム２００ａとリアフレーム２００ｂが互いに離反して基板の挟持が解除される。したがって、図９Ｃに示された基板Ｗの位置が「第１の位置」となる。下部基板サポータ８５１の上昇および上部基板サポータ上下動機構８５４の下降は同時に実行されてもよく、順々に実行されてもよい。
図９Ｄは第４の時点における押付部４３０の模式図である。第４の時点では押付機構８７０が動作し、リアフレーム２００ｂを下部に向かって押し付ける。押し付けにより、アウタシール３００およびインナシール３１０が圧縮され、リアフレーム２００ｂがフロントフレーム２００ａに近づくこととなる。その結果、クランパオープナ８６０がクランパ２９０を開けることができるようになる。押付ユニット４３２はブレーキ８１２によって固定されているので、押付機構８７０はリアフレーム２００ｂを十分に強く押し付けることができる。
図９Ｅは第５の時点における押付部４３０の模式図である。第５の時点ではクランパオープナ８６０が動作し、クランパオープナ８６０がフック本体２５２を枢動させる。クランパオープナ８６０によりフック本体２５２とクロー２７１の引っ掛かりが解除され、ク
ランパ２９０が開けられる。なお、固定クランプ８３１によりフロントフレーム２００ａが固定されていれば、フロントフレーム２００ａがクランパオープナ８６０により持ち上げられることを防止することができる。
図９Ｆは第６の時点における押付部４３０の模式図である。第６の時点では押付機構８７０による押し付けが解除される。第５の時点においてクランパ２９０は開けられているので、第６の時点において押し付けを解除すると、アウタシール３００およびインナシール３１０の反力によりリアフレーム２００ｂがわずかに上昇する。
図９Ｇは第７の時点における押付部４３０の模式図である。第７の時点ではフレームプッシャ８４０によりリアフレーム２００ｂがさらに押し上げられる。フレームプッシャ８４０は、フレームリフティングクロー８８０を差し込むために十分な大きさのギャップをリアフレーム２００ｂとフロントフレーム２００ａとの間に生じさせる。
図９Ｈは第８の時点における押付部４３０の模式図である。第８の時点ではリアフレーム２００ｂを持ち上げるための準備が行われる。すなわち、第８の時点ではフレームリフティングクロー８８０がリアフレーム２００ｂとフロントフレーム２００ａとのギャップに向かって伸長する。
図９Ｉは第９の時点における押付部４３０の模式図である。第９の時点では押付ユニット上下動機構８１０（図９には図示されていない）によって押付ユニット４３２が上げられる。フレームリフティングクロー８８０がリアフレーム２００ｂに引っ掛けられているので、押付ユニット４３２とともにリアフレーム２００ｂもまた持ち上げられる。なお、第９の時点においてブレーキ８１２は解除される。より正確には、押付ユニット４３２が上げられる前にブレーキ８１２が解除される。押付ユニット４３２が所定の高さまで持ち上げられた後、ブレーキ８１２が再度動作させられてもよい。
図９Ｊは第１０の時点における押付部４３０の模式図である。第１０の時点では基板サポーティングユニット８５０により基板Ｗが浮上させられる。下部基板サポータ８５１および上部基板サポータ８５３が上昇することにより、基板Ｗがフロントフレーム２００ａから離れ、フロントフレーム２００ａから浮上する。基板Ｗが浮上することにより、基板搬送ロボット１２０が基板Ｗを掴むことが容易になる。すなわち、基板Ｗの下面がフロントフレーム２００ａから離れているので、基板搬送ロボット１２０が基板の下面を支持して搬送することができる。したがって、図９Ｊに示された基板Ｗの位置が「第２の位置」となる。
図９Ｋは第１１の時点における押付部４３０の模式図である。これまでの図と異なり、図９Ｋには基板搬送ロボット１２０が図示されている。第１１の時点では基板搬送ロボット１２０が基板Ｗを掴む。図の簡略化のため、図９Ｋの基板搬送ロボット１２０は基板Ｗの一辺のみを掴んでいるが、基板搬送ロボット１２０は、基板Ｗの全面に渡って基板Ｗを支持することが望ましい。そのため、下部基板サポータ８５１および上部基板サポータ８５３の少なくとも一方は、基板搬送ロボット１２０と干渉しない形状となっていることが望ましい。
図９Ｌは第１２の時点における押付部４３０の模式図である。第１２の時点では上部基板サポータ上下動機構８５４が上昇させられる。これにより、基板サポーティングユニット８５０による基板の挟持が解除される。なお、基板Ｗは基板搬送ロボット１２０により掴まれているので、基板Ｗは下部基板サポータ８５１から落下しない。
図９Ｍは第１３の時点における押付部４３０の模式図である。第１３の時点では基板搬
送ロボット１２０が押付部４３０から基板Ｗを搬送する。基板Ｗの搬送にあたり基板Ｗと下部基板サポータ８５１とが擦れあわないよう、基板搬送ロボット１２０がわずかに上方に移動してもよく、下部基板サポータ上下動機構８５２が下方に移動してもよい。
以上に示した押付部４３０の動作により、基板ホルダ２００による基板Ｗの保持が解除され、基板Ｗは基板着脱装置１４０からアンロードされる。基板ホルダ２００に基板Ｗを保持させるためには、以上に示した動作（以下では「順動作」という）の逆の手順を有する動作、すなわち図９Ｍから図９Ａの順の動作（以下では「逆動作」という）を実行すればよい。逆動作において基板ホルダ２００による基板Ｗの保持が完了したのち（すなわち、図９Ｂから図９Ａの任意の時点）に、通電センサ８９２により基板ホルダ２００と基板Ｗ間の通電が確認されてよい。通電が確認できなかった場合、順動作により基板Ｗを押付部４３０から搬出してもよい。通電が確認できなかった場合、例えば図９Ｊまで順動作を実行した後、逆動作を実行して再び基板ホルダ２００と基板Ｗ間の通電を確認してもよい。
逆動作において基板サポーティングユニット８５０が基板Ｗを挟持する前に、すなわち、図９Ｌから図９Ｋの間の任意の時点において、光源８９０およびカメラ８９１を用いた基板Ｗの位置合わせが実行されてよい。図１０を用いて当該位置合わせについて説明する。図１０で示される時点は図９Ｌで示される時点（第１２の時点）に相当する。図１０において用いられている基板の形状は矩形であるとして説明する。
図１０Ａは、光源８９０およびカメラ８９１の双方が待機位置にある場合の押付部４３０の模式図である。光源８９０は載置部８２０の外側に位置し、カメラ８９１は押付ユニット開口４３２ｏｐの内側かつ開口２６０ｂの内側に位置している。ここでは、部品Ａと開口の高さが異なっても、真上または真下から見て開口から部品Ａの全部分を観察可能である（すなわち、部品Ａを上下動させた場合に部品Ａが開口を通過可能である）ならば、「部品Ａは開口の内側に位置する」ものとする。待機位置にある光源８９０およびカメラ８９１は、押付部４３０による基板Ｗの着脱を阻害しない。基板Ｗの位置合わせが実行されている場合を除き、光源８９０およびカメラ８９１は待機位置にて待機する。
図１０Ｂは、光源８９０が照射位置にあり、カメラ８９１が撮像位置にある場合の押付部４３０の模式図である。前述のとおり、光源８９０はたとえば枢動可能であり、カメラ８９１はたとえば水平移動可能である。撮像位置は照射位置の実質的に真上にある。照射位置にある光源８９０は基板搬送ロボット１２０により掴まれている基板Ｗの角部に向かって光を照射する。撮像位置にあるカメラ８９１は基板搬送ロボット１２０により掴まれている基板Ｗの角部を撮像する。光源８９０により、カメラ８９１は十分な光量を得ることができる。
撮像位置は固定されているので、カメラ８９１により得られた画像から、基板Ｗの位置および／または角度を算出することができる。算出された基板Ｗの位置および／または角度に基づき、基板搬送ロボット１２０が基板Ｗの位置および／または角度を調整する。基板Ｗと下部基板サポータ８５１との擦れあいを防止するため、位置調整の際に基板搬送ロボット１２０が上昇させられてよく、および／または、下部基板サポータ８５１が下降させられてもよい。基板Ｗの位置および／または角度の調整が終わり次第、光源８９０およびカメラ８９１は再び待機位置へと戻される。
図１０では１組の光源８９０およびカメラ８９１が示されている。したがって、図１０において撮像される基板Ｗの角部の個数は１つである。基板Ｗの位置および／または角度を高精度に調整するためには、複数の角部が撮像されることが好ましい。具体的には、少なくとも１組の対角が撮像されることが好ましい。そこで、押付部４３０は、複数の組の
光源８９０およびカメラ８９１を備えてよい。たとえば図８の押付部４３０は、１組の対角を撮影するための２組の光源８９０およびカメラ８９１を備える。
基板の角部の位置を検出するために十分なコントラストが得られるならば、押付部４３０は光源８９０を備えなくともよい。また、光源８９０およびカメラ８９１の組に代え、レーザセンサ、ラインセンサ、接触センサなどのセンサによって基板Ｗの位置および／または角度が算出されてもよい。また、カメラ８０１と基板Ｗと光源８９０の高さ方向の位置関係は特に限定されず、カメラ８０１と光源８９０がともに基板Ｗの上部にあってもよい。光源８９０の位置は、厳密にカメラ８０１の直上でなく、所定の角度の位置に設けられてもよい。基板Ｗの位置および／または角度を検出するために参照する基板の部位は角部に限定されず、例えば基板Ｗに予め設けられた基準マークであってもよい。本明細書においては、基板の角部および基準マークなどの部位を「基板の位置および／または角度の検出の基準となる部位」と総称する。本明細書においては、基板サポーティングユニット８５０が基板を挟持する前に基板Ｗの位置および／または角度を算出する機構を「基板位置検出部」と総称する。基板位置検出部の構成によっては、基板は矩形でなくともよい。
＜「セミロック」に対応可能な押付部について＞
基板ホルダは「セミロック機能」を有するクランパを備え得る。セミロック機能とは、「フロントフレーム２００ａとリアフレーム２００ｂとを離間させた状態でフロントフレーム２００ａとリアフレーム２００ｂとを保持する機能」をいう。基本的に、セミロック機能は、基板を保持していない基板ホルダのフロントフレーム２００ａとリアフレーム２００ｂを組み合わせておく機能である。セミロック状態では、フロントフレーム２００ａとリアフレーム２００ｂのシール（アウタシール３００、インナシール３１０）及び接点（基板用電極３２０）は他方に接触しない。基板ホルダをセミロックさせることは、部品の寿命、基板ホルダの搬送の容易さ、基板ホルダの洗浄の容易さなどの点で有利である。
図１１は、セミロック機能を有するクランパ２９０のプレートの斜視図である。以下では、図１１に示されるプレートを「プレート２７０ＳＬ」という。なお、「ＳＬ」は「Semi-Lock」の頭文字である。図１２は、プレート２７０ＳＬの対になるフック部の斜視図である。以下では、図１２に示されるフック部を「フック部２５０ＳＬ」という。図１３は、図１１のプレート２７０ＳＬと図１２のフック部２５０ＳＬとを備えるクランパ２９０の断面図である。
プレート２７０ＳＬは、２つのクロー２７１を有する。具体的には、プレート２７０ＳＬは、ロック用クロー２７１ａとセミロック用クロー２７１ｂを有する。ロック用クロー２７１ａは、フック本体２５２がロック用クロー２７１ａに引っ掛けられた場合に基板ホルダ２００が基板Ｗを保持することができるように構成されている。セミロック用クロー２７１ｂは、フック本体２５２がセミロック用クロー２７１ｂに引っ掛けられた場合のフロントフレーム２００ａとリアフレーム２００ｂの間の距離が、フック本体２５２がロック用クロー２７１ａに引っ掛けられた場合のフロントフレーム２００ａとリアフレーム２００ｂの間の距離よりも大きくなるように構成されている。
フック部２５０ＳＬは、シャフト２５３の長手方向に伸長されたフック本体２５２を備える。フック本体２５２が伸長されていることに伴い、フック本体２５２は２本のシャフト２５３により支持されている。シャフト２５３のそれぞれは同軸に配置されている。２本のシャフト２５３に代え、伸長された１本のシャフト２５３を用いることもできる。
伸長されたフック本体２５２は、ロック用クロー２７１ａおよびセミロック用クロー２７１ｂに対して選択的に引っ掛けられる。フック本体２５２がロック用クロー２７１ａに引っ掛けられた場合、クランパ２９０はロックされる。フック本体２５２がセミロック用
クロー２７１ｂに引っ掛けられた場合、クランパ２９０はセミロックされる（「基板ホルダ２００がセミロックされる」ともいう）。基板ホルダ２００がセミロックされている場合、アウタシール３００およびインナシール３１０は全く圧縮されていないか、わずかに圧縮されている状態か、または、互いに離間している状態である。
以下に例示として示す手順により、基板ホルダ２００はセミロックされる。
（ａ）図９Ｍにおいて基板搬送ロボット１２０により基板Ｗがアンロードされた後、フック本体２５２をセミロック用クロー２７１ｂに引っかけることができる位置まで、押付ユニット上下動機構８１０により押付ユニット４３２を下降させる。
（ｂ）クランパオープナ８６０によるフック本体２５２の枢動を解除して、フック本体２５２をセミロック用クロー２７１ｂに引っ掛ける。
一実施形態にかかる押付部４３０の模式図を図１４に示す。図１４において符号が付されていない部品の符号については図９Ａを参照されたい。好ましい実施形態では、上方に位置するフレームは、フレームプッシャ８４０によって、フレーム間にフレームリフティングクロー８８０を差し込むことが可能であり、かつ、フック本体２５２をセミロック用クロー２７１ｂに引っ掛けることが可能である位置まで押し上げられる。すなわち、フレーム間にフレームリフティングクロー８８０を差し込むことができるように、フレームプッシャ８４０がリアフレーム２００ｂを持ち上げる高さと、フック本体２５２がセミロック用クロー２７１ｂに引っ掛かることが可能である（リアフレーム２００ｂの）高さは、同じである。図９Ｍにおいて基板搬送ロボット１２０により基板Ｗがアンロードされた後、押付ユニット上下動機構８１０は、フレームプッシャ８４０が上方向に伸長した状態でリアフレーム２００ｂを下降させ、リアフレーム２００ｂをフレームプッシャ８４０の突出部の上に載置する。好ましい押付部４３０は、比較的簡単な制御によって基板ホルダ２００をセミロックすることができる。
＜基板サポータが基板を挟持する位置について＞
一実施形態にかかる下部基板サポータ上下動機構８５２および上部基板サポータ上下動機構８５４のそれぞれは空圧機構（エアシリンダ）である。基板サポーティングユニット８５０は、基板Ｗを挟持したまま、少なくとも２つの位置の間で移動可能である。
一実施形態においては、基板サポーティングユニット８５０が基板Ｗを挟持する位置は、下部基板サポータ上下動機構８５２と上部基板サポータ上下動機構８５４のそれぞれに供給される圧力を調整することにより選択可能である。基板Ｗを第１の位置において挟持する場合、下部基板サポータ上下動機構８５２に供給される圧力は上部基板サポータ上下動機構８５４に供給される圧力より低くされる。基板Ｗを第２の位置において挟持する場合、下部基板サポータ上下動機構８５２に供給される圧力は上部基板サポータ上下動機構８５４に供給される圧力より高くされる。基板Ｗを第１の位置と第２の位置の間で上昇または下降させる際も、下部基板サポータ上下動機構８５２と上部基板サポータ上下動機構８５４に供給される圧力を調整することにより、下部基板サポータ８５１と上部基板サポータ８５３が常に基板Ｗを押し合う状態が維持されることが好ましい。
下部基板サポータ上下動機構８５２および上部基板サポータ上下動機構８５４のそれぞれは空圧機構であるので、それぞれが互いに押し合うことによる故障の可能性は低い。以上の制御により、高価で複雑な高さ測定機構（高さ調整機構）を備えずとも、基板Ｗが基板サポーティングユニット８５０から脱落することを防止しながら、基板Ｗが挟持される位置を選択することが可能となる。
これまで述べた実施例では、基板ホルダはシール圧力が発生した状態で２つのフレームで基板を挟持するためのクランパを有し、押付ユニットは、クランパを締結および解除可
能とするためにリアフレーム２００ｂをフロントフレーム２００ａの方向に押し付ける機能を有していた。しかし、例えば基板ホルダ自身がシール圧力を発生することが可能な場合は、基板着脱装置１４０はリアフレーム２００ｂを押し付ける機能を有さなくてもよい。そのような場合、基板着脱装置１４０は、リアフレーム２００ｂを（１）基板を挟持する位置と（２）基板を基板ホルダから取り出す位置の少なくとも２つの位置に位置させる機能を有していればよい。その場合、ステージ４３１を第１ベース、押し付けユニットを第２ベースと読み替えてもよい。その場合、押付部４３０は「基板着脱部」または「フィキシング部」と読み替えられる。
なおこれまで、四角形状の開口を有するフレームを有する基板ホルダを例にして説明したが、開口の例はこれに限られない。例えば、四角形状の基板に対して電解めっきを行うための基板ホルダの場合、対向する１組の辺のみに沿って給電電極を配置する場合がある。その場合、基板の外周に沿って給電電極を配置するための基板ホルダの部位は対向する１組の辺のみに沿って存在し得る。したがって、基板の給電されない一組の辺は露出されている場合がある。対向する１組の辺のみに沿って基板ホルダの部位が存在する基板ホルダの場合、その部位の間の領域が基板を露出するための開口となる。
本発明において、基板を保持した基板ホルダが押圧部（基板着脱部）４３０に搬送された時点において、下部基板サポータ８５１はフロントフレーム２００ａよりも低い位置にあり、上部基板サポータ８５３はリアフレーム２００ｂよりも高い位置にある。そのため、基板サポーティングユニット８５０は基板ホルダの搬送を邪魔することはない。さらに下部基板サポータ８５１が開口２６０ａを通り、上部基板サポータ８５３が開口２６０ｂを通って基板を第１の位置で基板を挟持する。さらに、基板サポーティングユニット８５０は基板を第２の位置に移動させることができる。第２の位置は、基板を基板着脱装置に受け渡しあるいは基板着脱装置から受け取るために適した位置である。以上に述べたように、下部基板サポータ８５１は開口２６０ａを通過する必要があり、上部基板サポータ８５３は開口２６０ｂを通過する必要がある。そこで、たとえば、下部基板サポータ８５１は開口２６０ａよりも小さく、上部基板サポータ８５３は開口２６０ｂよりも小さくなるよう構成される。
＜縦型の押付部（基板着脱部）について＞
これまで、基板着脱装置は、基板を水平姿勢で基板ホルダに着脱させる形態で説明した。しかし、当業者であれば本発明は水平姿勢以外の基板に対しても適用できることは理解できるであろう。図１５は基板を垂直姿勢で基板ホルダへの着脱を行う実施例を示す。
第１フレーム２００ａ－１は、水平姿勢の実施例のフロントフレーム２００ａに相当し、基板の一方の面Ｓ１に対向する。第２フレーム２００ｂ－１はリアフレーム２００ｂに相当し、基板の他方の面Ｓ２に対向する。第１フレーム２００ａ－１および／または第２フレーム２００ｂ－１は、基板Ｗの落下を防止するための部材を有してよい。第１ベース４３１－１は、ステージ４３１に相当し、基板の一方の面Ｓ１に対向するように配置される。第２ベース４３２－１は、押付ユニット４３２に相当し、基板の他方の面Ｓ２に対向するように配置される。第１基板サポータ８５１－１は下部基板サポータ８５１に相当し、基板の一方の面Ｓ１に対向するように配置される。第１基板サポータ移動機構８５２－１は下部基板サポータ上下動機構８５２に相当し、第１基板サポータ８５１－１を基板Ｗに近づけるようにまたは基板Ｗから離れさせるように移動させる。第２基板サポータ８５３－１は上部基板サポータ８５３に相当し、基板の他方の面Ｓ２に対向するように配置される。第２基板サポータ移動機構８５４－１は上部基板サポータ上下動機構８５４に相当し、第２基板サポータ８５３－１を基板Ｗに近づけるようにまたは基板Ｗから離れさせるように移動させる。当接部８２０－１は載置部８２０に相当し、第１ベース４３１－１に設けられている。当接部８２０－１は第１フレーム２００ａ－１に当接する。クロー８８
０－１はフレームリフティングクロー８８０に相当し、第２ベース４３２－１に設けられている。クロー８８０－１は、クランパ２９０が解除された後に第２フレーム２００ｂ－１が落下することを防ぐため、第２フレーム２００ｂの下端部を支持し、さらに第２フレーム２００ｂを基板から離れる方向にスライドさせることができる。そこで好ましくは、クロー８８０－１は、図１５の上下左右の方向に沿って移動可能であるように構成される。第１ベース４３１－１は、第１フレーム２００ａ－１を固定するための固定クランプ（図示せず）などを有する。図１５に示されたその他の部位は、水平姿勢の実施例と同等の機能を有する。
図１５において「＊＊＊－１」というように、末尾番号を付した部品の名称は、図１５以外の図において末尾番号が付されていない部品の一般的な名称となっている。したがって、たとえば、図１５以外に示された「ステージ４３１」は「第１ベース４３１」と呼ばれてもよい。
以上、いくつかの本発明の実施形態について説明してきたが、上記した発明の実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその等価物が含まれることは勿論である。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、特許請求の範囲および明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、または、省略が可能である。
ここまででは、基板ホルダ２００は両面ホルダであるとして説明した。しかし、基板ホルダ２００は両面ホルダに限られず、片面ホルダであってもよい。また、前述のとおり、基板着脱装置１４０はホルダ受け部４００、ホルダ傾動部４１０およびホルダ搬送部４２０を備えなくともよい。換言すると、基板着脱装置１４０は押付部４３０のみを備える場合がある。したがって、矛盾のない限り、押付部４３０は基板着脱装置１４０と同視されてよく、押付部４３０は基板着脱装置１４０と言い換えられてよい。たとえば、「押付部４３０が部品Ａを備える」という記載は「基板着脱装置１４０が部品Ａを備える」と言い換えられることができる。
本願は、一実施形態として、基板ホルダに基板を保持させるためおよび／又は基板ホルダによる基板の保持を解除するための装置であって、基板ホルダは基板を挟持するための第１のフレームおよび第２のフレームを備え、第１のフレームおよび第２のフレームのそれぞれは、基板を露出するための開口を有し、装置は、第１のフレームおよび第２のフレームの間で基板を挟持するための基板サポーティングユニットを備え、基板サポーティングユニットは、基板を下部から支持する下部基板サポータと、基板を上部から支持する上部基板サポータと、を備え、下部基板サポータは第１のフレームおよび第２のフレームのうち下方に位置するフレームの開口を通じて基板と接触するよう構成されており、上部基板サポータは第１のフレームおよび第２のフレームのうち上方に位置するフレームの開口を通じて基板と接触するよう構成されている、装置を開示する。
さらに本願は、一実施形態として、前記基板サポーティングユニットは、前記下部基板サポータを上下動させるための下部基板サポータ上下動機構と、前記上部基板サポータを上下動させるための上部基板サポータ上下動機構と、を備え、前記基板サポーティングユニットは、基板を、前記第１のフレームと前記第２のフレームによって基板を挟持することが可能な第１の位置と、前記第１の位置より高い位置であって、基板を前記装置からアンロードすることが可能な位置である第２の位置と、の間で移動させることができるように構成されている、装置を開示する。
さらに本願は、一実施形態として、前記装置は、前記基板ホルダが水平に置かれる第１
ベースと、前記第１ベースの上方に配置された第２ベースであって、上下動可能に構成されている、第２ベースと、を備え、前記第２ベースは、第１のフレームおよび第２のフレームで基板を挟持できるように、第１のフレームおよび第２のフレームのうち上方に位置するフレームを位置させるとともに、前記第２ベースは前記第１のフレームおよび前記第２のフレームのうち上方に位置するフレームを持ち上げることが可能に構成されている、装置を開示する。
さらに本願は、一実施形態として、前記第２ベースは、前記第１ベースに置かれた前記基板ホルダを前記第１ベースに向かって押し付けるように構成されている、装置を開示する。
さらに本願は、一実施形態として、前記第２ベースは、前記第１のフレームおよび前記第２のフレームのうち上方に位置するフレームを持ち上げるためのフレームリフティングクローを備え、前記第１ベースは、前記第１のフレームおよび前記第２のフレームのうち上方に位置するフレームを持ち上げるためのフレームプッシャを備え、前記フレームプッシャは、前記フレームリフティングクローを差し込むためのギャップを前記第１のフレームと前記第２のフレームの間に生じさせる、装置を開示する。
さらに本願は、一実施形態として、前記フレームプッシャは、前記基板ホルダをセミロックすることが可能な位置まで、第１のフレームまたは第２のフレームを持ち上げる、装置を開示する。
さらに本願は、一実施形態として、前記基板ホルダは、前記第１のフレームと前記第２のフレームをクランプするためのクランパを備え、前記装置は、前記クランパを開くためのクランパオープナを備える、装置を開示する。
さらに本願は、一実施形態として、前記基板サポーティングユニットが基板を挟持する前に基板の位置および／または角度を算出するための基板位置検出部を備える、装置を開示する。
さらに本願は、一実施形態として、前記基板位置検出部は、少なくとも１組の光源とカメラであり、前記光源は、基板の着脱を阻害しない位置である光源待機位置と、基板の角部に光を照射可能な照射位置と、の間で移動可能に構成されており、前記カメラは、基板の着脱を阻害しない位置であって、前記第１のフレームと前記第２のフレームのうち上方に位置するフレームの前記開口の内側にある、カメラ待機位置と、基板の、前記光源により照射されている、基板の位置および／または角度の検出の基準となる部位を撮像可能な撮像位置と、の間で移動可能に構成されている、装置を開示する。
さらに本願は、一実施形態として、基板ホルダに基板を保持させるためおよび／又は基板ホルダによる基板の保持を解除するための装置であって、前記基板ホルダは、基板の第１面に対向し、基板を挟持するための第１のフレームおよび基板の第２面に対向し、基板を挟持するための第２のフレームを備え、前記第１のフレームおよび前記第２のフレームのそれぞれは、基板を露出するための開口を有し、前記装置は、前記第１のフレームおよび前記第２のフレームの間で基板を挟持するための基板サポーティングユニットを備え、前記基板サポーティングユニットは、基板の第１面を支持する第１基板サポータと、基板の第２面を支持する第２基板サポータと、を備え、前記第１基板サポータは前記第１のフレームの前記開口を通じて基板と接触するよう構成されており、前記第２基板サポータは前記第２のフレームの前記開口を通じて基板と接触するよう構成されている、装置を開示する。
これらの装置は、両面ホルダに適合し得るという効果を一例として奏する。
さらに本願は、一実施形態として、基板ホルダに保持された基板をめっきするためのめっき処理部と、基板ホルダに基板を保持させるためおよび／又は基板ホルダによる基板の保持を解除するための装置と、前記めっき処理部と前記装置の間で基板ホルダを搬送するトランスポータと、前記装置から基板を受け取り、かつ、前記装置へ基板を受け渡す基板搬送ロボットと、を備える、めっき装置を開示する。
さらに本願は、一実施形態として、基板ホルダに保持された基板をめっきするためのめっき処理部と、基板ホルダに基板を保持させるためおよび／又は基板ホルダによる基板の保持を解除するための装置であって、基板位置検出部を備える装置と、前記めっき処理部と前記装置の間で基板ホルダを搬送するトランスポータと、前記装置から基板を受け取り、かつ、前記装置へ基板を受け渡す基板搬送ロボットと、を備える、めっき装置であって、前記基板搬送ロボットは、前記基板位置検出部により算出された基板の位置および／または角度に基づいて、前記装置へ基板を受け渡す際の基板の位置および／または角度を調整可能である、めっき装置を開示する。
これらの開示により、基板ホルダに基板を保持させるためおよび／又は基板ホルダによる基板の保持を解除するための装置を備えるめっき装置の詳細が明らかにされる。
１００…めっき装置
１１０…ロードポート
１２０…基板搬送ロボット
１３０…ドライヤ
１４０…基板着脱装置
１５０…処理部
１５１…前水洗槽
１５２…前処理槽
１５３…第１のリンス槽
１５４…第１のめっき槽
１５５…第２のリンス槽
１５６…第２のめっき槽
１５７…第３のリンス槽
１５８…ブロー槽
１６０…トランスポータ
１６１…トランスポータアーム
１６２…アーム上下動機構
１６３…水平移動機構
１７０…ストッカ
１８０…制御部
２００…基板ホルダ
２００ａ…フロントフレーム（第１フレーム）
２００ｂ…リアフレーム（第２フレーム）
２１０ａ…ホルダアーム
２１０ｂ…ホルダアーム
２２０…肩部電極
２３０ａ…配線格納部
２３０ｂ…配線格納部
２４０ａ…フレームボディ
２４０ｂ…フレームボディ
２４１ａ…ポート
２４１ｂ…ポート
２５０、２５０ＳＬ…フック部
２５１…フックベース
２５２…フック本体
２５３…シャフト
２５４…レバー
２６０ａ…開口
２６０ｂ…開口
２７０、２７０ＳＬ…プレート
２７１…クロー
２７１ａ…ロック用クロー
２７１ｂ…セミロック用クロー
２９０…クランパ
３００…アウタシール
３１０…インナシール
３２０…基板用電極
４００…ホルダ受け部
４０１…ホルダ受け本体
４０２…直動機構
４１０…ホルダ傾動部
４１１…ホルダ傾動部アーム
４２０…ホルダ搬送部
４２１…ホルダキャリア
４２２…キャリア上下動機構
４２３…搬送部直動機構
４３０…押付部（基板着脱部、フィキシング部）
４３１…ステージ（第１ベース）
４３２…押付ユニット（第２ベース）
４３２ｏｐ…押付ユニット開口
５００…ピン
８００…ハウジング
８１０…押付ユニット上下動機構
８１１…直動ガイド
８１２…ブレーキ
８２０…載置部（当接部）
８３０…位置決め機構
８３１…固定クランプ
８４０…フレームプッシャ
８５０…基板サポーティングユニット
８５１…下部基板サポータ（第１基板サポータ）
８５２…下部基板サポータ上下動機構（第１基板サポータ移動機構）
８５３…上部基板サポータ（第２基板サポータ）
８５４…上部基板サポータ上下動機構（第２基板サポータ移動機構）
８６０…クランパオープナ
８７０…押付機構
８８０…フレームリフティングクロー（クロー）
８９０…光源
８９１…カメラ
８９２…通電センサ
８９３…光源用アクチュエータ
８９４…カメラ用アクチュエータ
Ｗ…基板
Ｓ１…基板の一方の面
Ｓ２…基板の他方の面

Claims (12)

  1. 基板ホルダに基板を保持させるためおよび／又は基板ホルダによる基板の保持を解除するための装置であって、
    前記基板ホルダは基板を挟持するための第１のフレームおよび第２のフレームを備え、
    前記第１のフレームおよび前記第２のフレームのそれぞれは、基板を露出するための開口を有し、
    前記装置は、前記第１のフレームおよび前記第２のフレームの間で基板を挟持するための基板サポーティングユニットを備え、
    前記基板サポーティングユニットは、
    基板を下部から支持する下部基板サポータと、
    基板を上部から支持する上部基板サポータと、
    を備え、
    前記下部基板サポータは前記第１のフレームおよび前記第２のフレームのうち下方に位置するフレームの前記開口を通じて基板と接触するよう構成されており、
    前記上部基板サポータは前記第１のフレームおよび前記第２のフレームのうち上方に位置するフレームの前記開口を通じて基板と接触するよう構成されている、
    装置。
  2. 前記基板サポーティングユニットは、
    前記下部基板サポータを上下動させるための下部基板サポータ上下動機構と、
    前記上部基板サポータを上下動させるための上部基板サポータ上下動機構と、
    を備え、
    前記基板サポーティングユニットは、基板を、
    前記第１のフレームと前記第２のフレームによって基板を挟持することが可能な第１の位置と、
    前記第１の位置より高い位置であって、基板を前記装置からアンロードすることが可能な位置である第２の位置と、
    の間で移動させることができるように構成されている、
    請求項１に記載の装置。
  3. 前記装置は、
    前記基板ホルダが水平に置かれる第１ベースと、
    前記第１ベースの上方に配置された第２ベースであって、上下動可能に構成されている、第２ベースと、を備え、
    前記第２ベースは、第１のフレームおよび第２のフレームで基板を挟持できるように、第１のフレームおよび第２のフレームのうち上方に位置するフレームを位置させるとともに、
    前記第２ベースは前記第１のフレームおよび前記第２のフレームのうち上方に位置するフレームを持ち上げることが可能に構成されている、請求項１または２に記載の装置。
  4. 前記第２ベースは、前記第１ベースに置かれた前記基板ホルダを前記第１ベースに向かって押し付けるように構成されている、請求項３に記載の装置。
  5. 前記第２ベースは、前記第１のフレームおよび前記第２のフレームのうち上方に位置するフレームを持ち上げるためのフレームリフティングクローを備え、
    前記第１ベースは、前記第１のフレームおよび前記第２のフレームのうち上方に位置するフレームを持ち上げるためのフレームプッシャを備え、
    前記フレームプッシャは、前記フレームリフティングクローを差し込むためのギャップを前記第１のフレームと前記第２のフレームの間に生じさせる、請求項３または４に記載
    の装置。
  6. 前記フレームプッシャは、前記基板ホルダをセミロックすることが可能な位置まで、第１のフレームまたは第２のフレームを持ち上げる、請求項５に記載の装置。
  7. 前記基板ホルダは、前記第１のフレームと前記第２のフレームをクランプするためのクランパを備え、
    前記装置は、前記クランパを開くためのクランパオープナを備える、
    請求項１から６のいずれか一項に記載の装置。
  8. 前記装置は、前記基板サポーティングユニットが基板を挟持する前に基板の位置および／または角度を算出するための基板位置検出部を備える、請求項１から７のいずれか一項に記載の装置。
  9. 前記基板位置検出部は、少なくとも１組の光源とカメラであり、
    前記光源は、
    基板の着脱を阻害しない位置である光源待機位置と、
    基板の角部に光を照射可能な照射位置と、
    の間で移動可能に構成されており、
    前記カメラは、
    基板の着脱を阻害しない位置であって、前記第１のフレームと前記第２のフレームのうち上方に位置するフレームの前記開口の内側にある、カメラ待機位置と、
    基板の、前記光源により照射されている、基板の位置および／または角度の検出の基準となる部位を撮像可能な撮像位置と、
    の間で移動可能に構成されている、
    請求項８に記載の装置。
  10. 基板ホルダに保持された基板をめっきするためのめっき処理部と、
    請求項１から９のいずれか一項に記載の、基板ホルダに基板を保持させるためおよび／又は基板ホルダによる基板の保持を解除するための装置と、
    前記めっき処理部と前記装置の間で基板ホルダを搬送するトランスポータと、
    前記装置から基板を受け取り、かつ、前記装置へ基板を受け渡す基板搬送ロボットと、
    を備える、めっき装置。
  11. 基板ホルダに保持された基板をめっきするためのめっき処理部と、
    請求項８または９に記載の、基板ホルダに基板を保持させるためおよび／又は基板ホルダによる基板の保持を解除するための装置と、
    前記めっき処理部と前記装置の間で基板ホルダを搬送するトランスポータと、
    前記装置から基板を受け取り、かつ、前記装置へ基板を受け渡す基板搬送ロボットと、
    を備える、めっき装置であって、
    前記基板搬送ロボットは、前記基板位置検出部により算出された基板の位置および／または角度に基づいて、前記装置へ基板を受け渡す際の基板の位置および／または角度を調整可能である、
    めっき装置。
  12. 基板ホルダに基板を保持させるためおよび／又は基板ホルダによる基板の保持を解除するための装置であって、
    前記基板ホルダは、
    基板の第１面に対向し、基板を挟持するための第１のフレームおよび
    基板の第２面に対向し、基板を挟持するための第２のフレーム
    を備え、
    前記第１のフレームおよび前記第２のフレームのそれぞれは、基板を露出するための開口を有し、
    前記装置は、前記第１のフレームおよび前記第２のフレームの間で基板を挟持するための基板サポーティングユニットを備え、
    前記基板サポーティングユニットは、
    基板の第１面を支持する第１基板サポータと、
    基板の第２面を支持する第２基板サポータと、
    を備え、
    前記第１基板サポータは前記第１のフレームの前記開口を通じて基板と接触するよう構成されており、
    前記第２基板サポータは前記第２のフレームの前記開口を通じて基板と接触するよう構成されている、
    装置。
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