JP7588941B2 - 研削ホイール収容ケース - Google Patents

Description

本発明は、中央部に形成された開口部を有するホイール基台と、該ホイール基台に環状に配設された砥石と、を備える研削ホイールを収容する研削ホイール収容ケースに関する。

半導体ウェーハ等の被加工物を一方の面側から研削して該被加工物を所望の厚さに薄化する研削装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。研削装置は、概ね鉛直方向に沿ったスピンドルと、スピンドルの下端に固定されたホイールマウントと、スピンドルの上端に接続された回転駆動源と、を備える。このホイールマウントには、研削ホイールが装着される。

研削ホイールは、アルミニウムで形成された円環状のホイール基台と、ホイール基台の底面に環状に配設された砥石と、により構成される。ホイールマウントの底面にホイール基台の上面を接触させて該ホイールマウントに該ホイール基台を固定させると、研削ホイールが研削装置に固定される。研削装置では、回転駆動源を作動させてスピンドルを回転させることで研削ホイールを回転させ、環状軌道上を移動する研削砥石を被加工物の被加工面に接触させることで該被加工物の研削が実施される。

研削ホイールには複数の種別が存在し、研削装置では被加工物や加工条件に合う種別の研削ホイールがホイールマウントに装着される。研削ホイールは、ホイールマウントに装着されていないときには、研削ホイール収容ケースに収容される（例えば、特許文献２参照）。研削ホイール収容ケースは、収容される研削ホイールの砥石を破損しないように、ポリプロピレン等の合成樹脂により形成される。

特開２００８－８４９３０号公報 特開２００１－１５８４９２号公報

研削装置で被加工物を研削する間、研削中に発生する研削屑や加工熱を取り除くために、研削ホイールや被加工物に純水等の研削水が供給される。そのため、研削装置から取り外された研削ホイールは、研削水で濡れている。濡れた研削ホイールを十分に乾燥させずに研削ホイール収容ケースに収容すると、研削水によるホイール基台の腐食が進行する。

研削ホイール収容ケースの内部で腐食が進行した研削ホイールを再び研削装置に装着しようとすると、腐食による研削ホイールの膨張、収縮、及び変質により取り付け不良が生じることがある。また、被加工物を研削している間に腐食部が研削ホイールから脱落して砥石と被加工物の間に入り込み、スクラッチが生じて被加工物が破損することもある。しかしながら、濡れた研削ホイールを十分乾燥させてから研削ホイール収容ケースに収容するのでは、待機時間が生じるとともに手間が増えるため問題がある。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、収容された研削ホイールを乾燥させて付着していた水分を除去できる研削ホイール収容ケースを提供することである。

本発明の一態様によれば、中央部に形成された開口部を有する環状のホイール基台と、該ホイール基台の一方の面に環状に配設された砥石と、を備えた研削ホイールを収容する研削ホイール収容ケースであって、本体と、蓋体と、を有し、該本体は、該ホイール基台の他方の面が載置される底板部と、該底板部の外周に立設された筒状の本体外壁部と、該本体外壁部の上部に形成された係止部と、を備え、該蓋体は、該係止部に係止する被係止部が下端に形成された筒状の蓋体外壁部と、エアーが通る連通口が中央に設けられ、筒状の該蓋体外壁部の上端を塞ぐ蓋部と、を備え、該本体外壁部と、該蓋体外壁部と、該蓋部と、のうち一つ以上に、該連通口を通るエアーの通過経路となる開口が形成され、該係止部と、該被係止部と、を係止することで、該本体及び該蓋体に囲まれたホイール収容空間を内部に形成できることを特徴とする研削ホイール収容ケースが提供される。

好ましくは、該蓋部の該連通口には、エアー供給源またはエアー吸引源を接続可能である。

また、好ましくは、該連通口を通るエアーの進行経路を該本体外壁部及び該蓋体外壁部に向かって放射状に分散させる分散部を更に備える。

また、好ましくは、該本体の該底板部の中央に、開閉可能な開閉口を更に備え、他の研削ホイール収容ケースの上に重ね置かれたときに該開閉口が開き、該開閉口が該他の研削ホイール収容ケースの連通口と連通し、他の研削ホイール収容ケースの上に重ね置かれないときに該開閉口が少なくとも部分的に閉塞される。

本発明の一態様にかかる研削ホイール収容ケースは、本体と、蓋体と、を有する。そして、本体は、該ホイール基台の他方の面が載置される底板部と、該底面の外周に立設された筒状の本体外壁部と、該本体外壁部の上部に形成された係止部と、を備える。該蓋体は、該係止部に係止する被係止部が下端に形成された筒状の蓋体外壁部と、エアーが通る連通口が中央に設けられ、筒状の該蓋体外壁部の上端を塞ぐ蓋部と、を備える。

そして、該本体外壁部と、該蓋体外壁部と、該蓋部と、のうち一つ以上に、該連通口を通るエアーの通過経路となる開口が形成され、該係止部と、該被係止部と、を係止することで、該本体及び該蓋体に囲まれたホイール収容空間を内部に形成できる。本発明の一態様に係る研削ホイール収容ケースでは、内部の収容空間に研削ホイールを収容できる。

そして、連通口にエアー吸引源またはエアー供給源を接続すると、この収容空間にエアーが流れる。すなわち、連通口と、収容空間と、開口と、を通過経路とするエアーの流れが形成され、このエアーの流れにより研削ホイールに付着した水分が除去され該研削ホイールが乾燥される。そのため、収容された該研削ホイールは、水分により腐食しない。

したがって、本発明の一態様によると、収容された研削ホイールを乾燥させて付着していた水分を除去できる研削ホイール収容ケースが提供される。

研削ホイールで被加工物を研削する様子を模式的に示す斜視図である。 研削ホイール収容ケースを模式的に示す斜視図である。 図３（Ａ）は、研削ホイール収容ケースの蓋体を模式的に示す斜視図であり、図３（Ｂ）は、研削ホイール収容ケースの本体を模式的に示す斜視図である。 図４（Ａ）は、蓋体を模式的に示す断面図であり、図４（Ｂ）は、本体を模式的に示す断面図であり、図４（Ｃ）は、研削ホイールを収容する研削ホイール収容ケースを模式的に示す断面図である。 ２つの研削ホイール収容ケースを重ねる様子を模式的に示す断面図である。 ４つの重ねられた研削ホイール収容ケースを模式的に示す断面図である。

添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。まず、本実施形態に係る研削ホイール収容ケースに収容される研削ホイールについて説明する。図１は、研削ホイール１４で被加工物１を研削する様子を模式的に示す斜視図である。研削ホイール１４は、研削装置に装着されて使用される。

研削装置２で研削される被加工物１は、例えば、Ｓｉ（シリコン）、ＳｉＣ（シリコンカーバイド）、ＧａＮ（ガリウムナイトライド）、ＧａＡｓ（ヒ化ガリウム）、若しくは、その他の半導体材料から形成される略円板状のウェーハである。または、被加工物１は、サファイア、石英、ガラス、セラミックス等の材料からなる板状の基板等である。該ガラスは、例えば、アルカリガラス、無アルカリガラス、ソーダ石灰ガラス、鉛ガラス、ホウケイ酸ガラス、石英ガラス等である。

例えば、被加工物１の表面には、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ(Large Scale Integration)等の複数のデバイスが形成されている。該被加工物１には、デバイス間に分割予定ラインが設定される。そして、研削装置２で被加工物１を裏面側から研削して該被加工物１を薄化し、被加工物１を分割予定ラインに沿って分割すると、個々のデバイスチップを形成できる。

研削装置２は、保持面４ａ上に載せられた被加工物１を吸引保持するチャックテーブル４と、該チャックテーブル４の上方に昇降可能に設けられた研削ユニット６と、を備える。チャックテーブル４は、被加工物１と同等の径の多孔質部材を有する。該多孔質部材は、チャックテーブル４の上面の中央に形成された凹部に収容されており、この多孔質部材の上面が保持面４ａとなる。

チャックテーブル４は、一端が多孔質部材の底面に達する吸引路を内部に有し、この吸引路の他端に吸引源が接続されている。そして、被加工物１を保持面４ａ上に載せ、該吸引源を作動させて吸引路及び多孔質部材を介して負圧を被加工物１に作用させると、被加工物１がチャックテーブル４で吸引保持される。

研削ユニット６は、チャックテーブル４の保持面４ａに概ね垂直なスピンドル８を備え、スピンドル８の下端に円板状のホイールマウント１０が固定されている。スピンドル８の上端には図示しないモーター等の回転駆動源が接続されており、この回転駆動源を作動させると、スピンドル８が回転する。

研削ホイール１４は、ホイールマウント１０の底面に固定される。研削ホイール１４は、中央部に形成された開口部を有する環状のホイール基台１６と、ホイール基台１６の一方の面（底面）に環状に配設された砥石１８と、を備える。ホイール基台１６は、アルミニウム等の金属材料で形成されている。研削ホイール１４がホイールマウント１０に装着される際、ホイール基台１６の他方の面（上面）がホイールマウント１０の底面に対面する。

ホイールマウント１０には、ボルト等の固定具１２がスピンドル８に沿った方向に通される複数の貫通孔が設けられており、ホイール基台１６の上面にはホイールマウント１０に形成された貫通孔に対応する配置で固定穴（不図示）が形成されている。ホイール基台１６の上面をホイールマウント１０の底面に当て、固定具１２をホイールマウント１０の貫通孔に通してホイール基台１６の固定穴に締め込むと、研削ホイール１４を研削ユニット６に固定できる。

研削装置２で被加工物１を研削する際には、チャックテーブル４を保持面４ａに略垂直な回転軸の周りに回転させるとともに、研削ユニット６のスピンドル８の上端に接続された回転駆動源を作動させてスピンドル８を回転させる。すると、研削ホイール１４の砥石１８が環状軌道に沿って回転移動する。その後、研削ユニット６を下降させると、砥石１８の底面が被加工物１の上面に接触し、被加工物１が研削される。

砥石１８は、樹脂材料等で形成された結合材と、該結合材中に分散固定されたダイヤモンド等の砥粒と、により構成される。被加工物１の研削が進行する間、結合材が適度に消耗し、新しい砥粒が次々に砥石１８の底面に露出するため、研削ホイール１４の研削能力が維持される。そして、砥石１８の消耗量が所定の程度に達すると、研削ホイール１４が交換される。

研削ホイール１４には様々な種別が存在し、研削装置２では被加工物１の研削に適した種別の研削ホイール１４が選択されホイールマウント１０に固定される。研削装置２で新たな種別の被加工物１の研削を開始する際には、それまでホイールマウント１０に固定されていた研削ホイール１４が取り外され、その後に実施される研削に適した種別の研削ホイール１４がホイールマウント１０に固定される。このとき、古い研削ホイール１４の砥石１８が完全に消耗していない場合、再使用に備えて該研削ホイール１４が保管される。

ホイールマウント１０から取り外された研削ホイール１４は、研削ホイール収容ケースに収容される。研削ホイール収容ケースは、収容される研削ホイール１４の砥石１８を破損しないように、ポリプロピレン等の合成樹脂により形成される。

ここで、研削装置２で被加工物１を研削する際には、研削中に発生する研削屑や加工熱を取り除くために、研削ホイール１４や被加工物１に純水等の研削水が供給される。そのため、研削装置２から取り外された研削ホイール１４は、研削水で濡れている。濡れた研削ホイール１４を十分に乾燥させずに従来の研削ホイール収容ケースに収容すると、研削水によるホイール基台１６の腐食が進行する。

研削ホイール収容ケースの内部で腐食が進行した研削ホイール１４を再び研削装置２に装着しようとすると、腐食による研削ホイール１４の膨張、収縮、及び変質により取り付け不良が生じることがある。また、被加工物１を研削している間に腐食部が研削ホイール１４から脱落して砥石１８と被加工物１の間に入り込み、スクラッチが生じて被加工物１が破損することもある。

そこで、本実施形態に係る研削ホイール収容ケースでは、内部の収容空間に収容された研削ホイール１４の乾燥が可能であり、研削ホイール１４に付着した水分の除去を可能にした。以下、本実施形態に係るブレード収容ケースについて説明する。図２は、本実施形態に係る研削ホイール収容ケース２０を模式的に示す斜視図である。研削ホイール収容ケース２０は、主に本体２２と、蓋体４２と、により構成され、本体２２及び蓋体４２は互いに分離可能である。

図３（Ａ）は、蓋体４２を模式的に示す斜視図であり、図３（Ｂ）は、本体２２を模式的に示す斜視図である。図４（Ａ）は、蓋体４２を模式的に示す断面図であり、図４（Ｂ）は、本体２２を模式的に示す断面図である。図４（Ｃ）は、研削ホイール１４を収容する研削ホイール収容ケース２０を模式的に示す断面図である。

図３（Ｂ）等に示す通り、本体２２は、底板部２４と、底板部２４の外周に立設された筒状の本体外壁部２８と、本体外壁部２８の上部に形成された係止部３２と、を備える。図４（Ｃ）等に示す通り、底板部２４には、研削ホイール収容ケース２０に収容される研削ホイール１４のホイール基台１６の砥石１８が配設された一方の面（底面）１６ｂとは反対側の他方の面（上面）１６ａが接触する。

底板部２４の上面には、ホイール基台１６の他方の面１６ａの形状に対応した形状の環状凹部２６が形成されていてもよい。この場合、研削ホイール１４が研削ホイール収容ケース２０に収容される際に環状凹部２６にホイール基台１６が収められるため、運搬される研削ホイール収容ケース２０の内部で研削ホイール１４が大きく動かない。なお、環状凹部２６は、ホイール基台１６の他方の面１６ａ側の内径以下の内径を有し、他方の面１６ａ側の外径以上の外径を有し、ホイール基台１６の厚みよりも小さい深さを有することが好ましい。

底板部２４の上面の中央部には、円筒状の支持体３４が立設されている。支持体３４は、研削ホイール収容ケース２０の内部の空間の高さに対応する高さを有し、上面に開口４０が露出した中空構造である。支持体３４の側面３６には、該支持体３４の内部空間に通じた複数の貫通孔３８が設けられている。この支持体３４の機能については後述する。

本体外壁部２８の上部には、係止部３２が形成される。係止部３２は、本体２２の上に載せられた蓋体４２の後述の被係止部４６と係合して蓋体４２を係止する構造を有する。この係止部３２の構造及び機能について、詳細は後述する。

蓋体４２は、本体２２の係止部３２に係止する被係止部４６が下端に形成された筒状の蓋体外壁部４４と、筒状の蓋体外壁部４４の上端を塞ぐ蓋部５０と、を備える。

筒状の蓋体外壁部４４は、本体２２の本体外壁部２８と同じ形状及び大きさの平面形状を備える。例えば、本体２２の本体外壁部２８と、蓋体４２の蓋体外壁部４４と、の平面形状は、同じ大きさの正六角形状である。ただし、これらの平面形状はこれに限定されない。研削ホイール収容ケース２０の内部空間に必要な高さが確保されるように、蓋体外壁部４４の高さ及び本体外壁部２８の高さは、それぞれ、両者を足し合わせたときに該内部空間の高さに相当するように決定される。

筒状の蓋体外壁部４４の下端に設けられた被係止部４６は、本体２２の本体外壁部２８の上端に設けられた係止部３２に係止される構造を有する。係止部３２と、被係止部４６と、を係止することで、本体２２及び蓋体４２に囲まれたホイール収容空間６０（図４（Ｃ）参照）を内部に形成できる。次に、係止部３２及び被係止部４６の構造の一例を説明する。

本体２２の係止部３２は、本体外壁部２８の上端に全周にわたり設けられた第１の突出部３２ａと、該本体外壁部２８の上端において第１の突出部３２ａに隣接して該第１の突出部３２ａを外側から囲む第１の陥没部３２ｂと、により構成される。蓋体４２の被係止部４６は、蓋体外壁部４４の全周にわたり下端に設けられた第２の陥没部４６ａと、蓋体外壁部４４の下端において第２の陥没部４６ａに隣接して第２の陥没部４６ａを外側から囲む第２の突出部４６ｂと、により構成される。

ここで、第１の突出部３２ａの幅と、第２の陥没部４６ａと、の幅は略同一であり、第１の陥没部３２ｂの幅と、第２の突出部４６ｂと、の幅は略同一である。蓋体４２を本体２２に重ねたとき、第１の突出部３２ａに第２の陥没部４６ａが接触し、第１の陥没部３２ｂに第２の突出部４６ｂが接触する。

このとき、蓋体４２に横方向に向いた力を印加すると、蓋体４２の被係止部４６の第２の陥没部４６ａ及び第２の突出部４６ｂを接続する壁面が、本体２２の係止部３２の第１の突出部３２ａ及び第１の陥没部３２ｂを接続する壁面に衝突する。そのため、蓋体４２の横方向への移動が制限され、蓋体４２が本体２２からずれ落ちることがない。このように、本体２２に蓋体４２を載せると係止部３２と、被係止部４６と、が係止され本体２２及び蓋体４２が一体化される。

ここで、係止部３２と、被係止部４６と、の構造及び機能に制限はなく、互いの構造が入れ替えられてもよい。説明の便宜のために係止部３２及び被係止部４６で呼称を区別しているが、係止に関わる力をどちらがどちらに作用させるかについて区別はなく、両者が互いに該力を作用させてもよい。

本体２２の本体外壁部２８には、本体２２の内外に連通する単数または複数の通気口３０が形成されている。また、蓋体４２の蓋体外壁部４４には、蓋体４２の内外に連通する単数または複数の通気口４８が形成されている。本体２２が蓋体４２と係止され、研削ホイール収容ケース２０が閉じられたとき、この通気口３０，４８を通して研削ホイール収容ケース２０の内外にエアーが移動できる。すなわち、通気口３０，４８は、エアーの通過経路となる。

研削ホイール収容ケース２０の内部空間を換気しやすくするためには通気口３０，４８の総面積が大きいことが好ましいが、この総面積が大きくなりすぎると研削ホイール収容ケース２０の機械的強度が低下してしまう。そのため、研削ホイール収容ケース２０の必要な機械的強度を確保できる範囲で通気口３０，４８の数、大きさ、形状、及び配置等が決定されるとよい。

なお、蓋体４２の蓋部５０にも通気口が設けられてもよい。例えば、本体外壁部２８と、蓋体外壁部４４と、蓋部５０と、のうち一つ以上に、エアーの通過経路となる通気口が形成されるとよい。また、蓋体４２の蓋部５０の中央には、エアーが通る連通口５２が設けられる。エアーは、連通口５２を通じて蓋体４２の内外に移動できる。

蓋体４２の中央には該蓋体４２を上下に貫通する連通口５２が形成されている。そして、蓋体４２を本体２２に載せて研削ホイール収容ケース２０が形成されたとき、蓋体４２の底面の中央部は支持体３４の上面に接触し、該蓋体４２が支持体３４に支持される。このとき、連通口５２と、本体２２の支持体３４の開口４０と、が接続される。これにより、連通口５２を一端とし、通気口３０，４８を他端とし、支持体３４の開口４０、貫通孔３８、及びホイール収容空間６０を経路とする通気路が形成される。

図４（Ｃ）は、研削ホイール１４を収容した研削ホイール収容ケース２０を模式的に示す断面図である。研削ホイール収容ケース２０に研削ホイール１４を収容する際には、まず、蓋体４２を持ち上げて本体２２から分離する。そして、ホイール基台１６の砥石１８が配設された一方の面（底面）１６ｂを上方に向け、他方の面（上面）１６ａを下方に向けた状態で研削ホイール１４を本体２２の内部に降ろし、環状凹部２６にホイール基台１６を収容する。

その後、蓋体４２を本体２２に重ね、係止部３２及び被係止部４６を係止させ、蓋体４２及び本体２２を一体化させる。すると、本体２２及び蓋体４２に囲まれたホイール収容空間６０が研削ホイール収容ケース２０の内部に形成され、研削ホイール収容ケース２０のホイール収容空間６０に研削ホイール１４が収容される。

このとき、蓋体４２の蓋部５０の連通口５２には、可撓性のチューブ等を介してエアー供給源（不図示）またはエアー吸引源（不図示）を接続可能である。例えば、連通口５２にエアー供給源を接続して作動させると、連通口５２から研削ホイール収容ケース２０の内部にエアーが供給され、ホイール収容空間６０をエアーが通過する。

より詳細には、エアー供給源から連通口５２に供給されたエアーは、支持体３４の開口４０を通じて支持体３４の内部空間に進み、その後、支持体３４の側面３６に形成された貫通孔３８を通じてホイール収容空間６０に進む。そして、エアーが研削ホイール１４に接触しながら本体外壁部２８及び蓋体外壁部４４に向かい、通気口３０，４８を通して研削ホイール収容ケース２０の外部に進む。

この過程でエアーが研削ホイール１４を乾燥させ、研削ホイール１４に付着した水を除去する。また、蓋体４２の蓋部５０の連通口５２にエアー吸引源が接続される場合、エアーの進行経路が逆となるが、研削ホイール１４は同様に乾燥される。連通口５２にエアー吸引源が接続される場合、研削ホイール１４に付着していた水分を取り込んだエアーが研削ホイール収容ケース２０の外部に放出されない。そのため、研削ホイール収容ケース２０の置かれた環境に予期せぬ影響を与えることもない。

このように、本実施形態に係る研削ホイール収容ケース２０によると、研削ホイール１４を収容させつつ該研削ホイール１４を乾燥できる。そのため、研削ホイール１４の腐食や該研削ホイール１４に付着した水の腐食等を抑制できる。

ここで、例えば、研削ホイール収容ケース２０が各図に示すように正六角柱形状である場合、研削ホイール収容ケース２０の各側面にそれぞれ対向するように複数の貫通孔３８が支持体３４に形成されているとよい。この場合、連通口５２を通るエアーの進行経路が本体外壁部２８及び蓋体外壁部４４に向かって放射状に分散される。

このとき、支持体３４がエアーの進行経路を分散させる分散部として機能する。なお、分散部はこれに限定されず、他の形態で研削ホイール収容ケース２０に実装されてもよい。研削ホイール収容ケース２０に分散部が設けられていると、研削ホイール収容ケース２０に収容された研削ホイール１４がエアーにより偏りなく乾燥される。

なお、本実施形態に係る研削ホイール収容ケースは、縦方向に他の研削ホイール収容ケースが重ね合わせられてもよく、複数の研削ホイール収容ケースの重ね合わせを実現する機構が設けられてもよい。次に、変形例に係る研削ホイール収容ケースについて説明する。図５は、変形例に係る研削ホイール収容ケース２０ａ，２０ｂを模式的に示す断面図である。なお、上述の研削ホイール収容ケース２０から変更のない部分については、説明を省略する。

変形例に係る研削ホイール収容ケース２０ａ，２０ｂは、本体２２ａ，２２ｂと、蓋体４２ａ，４２ｂを有する。本体２２ａ，２２ｂの底板部２４ａ，２４ｂの中央には、開閉可能な開閉口５６ａ，５６ｂが形成されている。支持体３４ａ，３４ｂは、開閉口５６ａ，５６ｂの周囲で、底板部２４ａ，２４ｂから立設している。また、蓋体４２ａ，４２ｂの蓋部５０ａ，５０ｂの中央に形成された連通口５２ａ，５２ｂの周囲には、上方に突出した突出部５４ａ，５４ｂが設けられている。

例えば、底板部２４ａ，２４ｂの開閉口５６ａ，５６ｂは円形状であり、蓋部５０ａ，５０ｂの突出部５４ａ，５４ｂは円筒形状である。そして、開閉口５６ａ，５６ｂの内径は、突出部５４ａ，５４ｂの外径に対応した大きさである。この場合、第１の研削ホイール収容ケース２０ａに第２の研削ホイール収容ケース２０ｂを重ね合わせることができる。

より詳細には、第１の研削ホイール収容ケース２０ａの蓋部５０ａの突出部５４ａを第２の研削ホイール収容ケース２０ｂの本体２２ｂの開閉口５６ｂに挿入することで両研削ホイール収容ケース２０ａ，２０ｂを重ね合わせられる。突出部５４ａが開閉口５６ｂに挿入されていると、両研削ホイール収容ケース２０ａ，２０ｂが互いに横方向にずれることがなく、上に載る研削ホイール収容ケース２０ｂが下方に位置する研削ホイール収容ケース２０ａからずれて落ちることがない。

そして、両研削ホイール収容ケース２０ａ，２０ｂを重ね合わせたとき、それぞれの支持体３４ａ，３４ｂの内部空間が接続され、エアーの移動経路が形成される。ここで、研削ホイール収容ケース２０ａ，２０ｂの開閉口５６ａ，５６ｂには、他の研削ホイール収容ケース２０ａ，２０ｂの突出部５４ａ，５４ｂが挿入されていないときに該開閉口５６ａ，５６ｂを閉じる遮蔽部材５８ａ，５８ｂが設けられていてもよい。

遮蔽部材５８ａ，５８ｂは、例えば、可撓性を有する樹脂材料やゴムで形成された複数の板状片で構成される。そして、遮蔽部材５８ａ，５８ｂは、開閉口５６ａ，５６ｂに進入する突出部５４ａ，５４ｂにより押されて開かれるとよく、突出部５４ａ，５４ｂが開閉口５６ａ，５６ｂから抜き出されるときに元の形状に戻り開閉口５６ａ，５６ｂを塞ぐとよい。

なお、遮蔽部材５８ａ，５８ｂは、開閉口５６ａ，５６ｂを完全に閉塞してエアーの通過を完全に止める必要はなく、遮蔽部材５８ａ，５８ｂを構成する複数の板状片の間に隙間が形成されていてもよい。また、遮蔽部材は、蓋体４２ａ，４２ｂの蓋部５０ａ，５０ｂの連通口５２ａ，５２ｂにも設けられてもよい。

変形例に係る研削ホイール収容ケース２０ａ，２０ｂは、２以上の数で互いに重ね合わされてもよい。図６は、重ね合わされた４つの研削ホイール収容ケース２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄを模式的に示す断面図である。それぞれには、研削ホイール１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄが収容されている。図６では、第１の研削ホイール収容ケース２０ａの遮蔽部材５８ａ以外の遮蔽部材を省略している。

第１の研削ホイール収容ケース２０ａの蓋体４２ａの上に第２の研削ホイール収容ケース２０ｂの本体２２ｂが載せられ突出部５４ａが開閉口５６ｂに挿入されたとき、支持体３４ａの内部空間と支持体３４ｂの内部空間が接続される。第２の研削ホイール収容ケース２０ｂの蓋体４２ｂの上に第３の研削ホイール収容ケース２０ｃの本体２２ｃが載せられ突出部５４ｂが本体２２ｃの開閉口に挿入されたとき、支持体３４ｂの内部空間と支持体３４ｃの内部空間が接続される。

そして、第３の研削ホイール収容ケース２０ｃの蓋体４２ｃの上に第４の研削ホイール収容ケース２０ｄの本体２２ｄが載せられ蓋体４２ｃの突出部が本体２２ｄの開閉口に挿入されたとき、支持体３４ｃの内部空間と支持体３４ｄの内部空間が接続される。

その後、蓋体４２ｄの突出部５４ｄの内側の連通口５２ｄには、例えば、一端がエアー供給源６４に接続されたチューブ状のエアー供給路６２が接続される。この状態でエアー供給源６４を作動させると、エアーがエアー供給路６２を介して連通口５２ｄに供給され、第４の研削ホイール収容ケース２０ｄの支持体３４ｄの内部空間にエアーが進む。

そして、支持体３４ｄの内部空間に進むエアーの一部が支持体３４ｄの貫通孔３８ｄからホイール収容空間６０ｄに進み、第４の研削ホイール収容ケース２０ｄの側面からエアーが外部に抜ける。また、ホイール収容空間６０ｄに進まないエアーは、第３の研削ホイール収容ケース２０ｃの支持体３４ｃの内部空間に進む。

そして、支持体３４ｃの内部空間に進むエアーの一部が支持体３４ｃの貫通孔３８ｃからホイール収容空間６０ｃに進み、第３の研削ホイール収容ケース２０ｃの側面からエアーが外部に抜ける。また、ホイール収容空間６０ｃに進まないエアーは、第２の研削ホイール収容ケース２０ｂの支持体３４ｂの内部空間に進む。

そして、支持体３４ｂの内部空間に進むエアーの一部が支持体３４ｂの貫通孔３８ｂからホイール収容空間６０ｂに進み、第２の研削ホイール収容ケース２０ｂの側面からエアーが外部に抜ける。また、ホイール収容空間６０ｂに進まないエアーは、第１の研削ホイール収容ケース２０ａの支持体３４ａの内部空間に進み、支持体３４ａの貫通孔３８ａからホイール収容空間６０ａに進み、第１の研削ホイール収容ケース２０ａの側面からエアーが外部に抜ける。

このように、複数の研削ホイール収容ケース２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄを重ねると、これらを横に並べるよりも小さい占有床面積で研削ホイール１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄを保管できる。また、一つのエアー供給源６４を使用してすべてのホイール収容空間６０ａ，６０ｂ，６０ｃ，６０ｄにエアーを供給できる。そして、収容されたすべての研削ホイール１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄを乾燥できる。

なお、エアー供給路６２には、エアー供給源６４に代えてエアー吸引源が接続されてもよい。この場合、エアーの進行経路が逆となり、各研削ホイール１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄに付着していた水分を含むエアーが外部に放出されない。また、エアー供給路６２は、第４の研削ホイール収容ケース２０ｄの連通口５２ｄに代えて第１の研削ホイール収容ケース２０ａの開閉口５６ａに接続されてもよい。これらの場合においても、各研削ホイール１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄをエアーで乾燥できる。

例えば、蓋体４２ａの蓋部５０ａの突出部５４ａと同様の形状の突起を研削ホイールの保管場所の床面に設け、この突起の中央に給排気口を設けてもよい。この場合、この突起に第１の研削ホイール収容ケース２０ａの本体２２ａの開閉口５６ａを挿し入れる。すると、研削ホイール１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄの所定の位置への載置と、ホイール収容空間６０ａ，６０ｂ，６０ｃ，６０ｄへのエアー供給源等の接続と、を同時に実施できて作業効率がよい。

以上に説明する通り、本実施形態に係る研削ホイール収容ケース２０によると、収容された研削ホイール１４を乾燥させて付着していた水分を除去しつつ該研削ホイール１４を保管できる。そのため、研削ホイール収容ケース２０の内部で研削ホイール１４の腐食の進行が抑制される。

なお、上記実施形態では、水分が付着した再使用可能な研削ホイール１４が研削ホイール収容ケース２０に収容される場合について説明したが、本発明の一態様はこれに限定されない。例えば、研削ホイール収容ケース２０には、水分が付着していない研削ホイール１４が収容されてもよく、新品の研削ホイール１４が収容されてもよく、寿命を迎えた再使用不能な研削ホイール１４が収容されてもよい。

また、本発明の一態様に係る研削ホイール収容ケース２０には、エアー供給源６４またはエアー吸引源が常時接続されている必要はなく、収容された研削ホイール１４を十分に乾燥できた後はエアー供給源６４等が切り離されていてもよい。研削ホイール１４の乾燥は、例えば、５分間程度の時間でエアーがホイール収容空間６０に供給されることで実施可能である。

さらに、研削ホイール収容ケース２０には、必ずしもエアー供給源６４等が接続される必要はない。研削ホイール収容ケース２０には通気口３０，４８や連通口５２が形成されており、収容された研削ホイール１４に付着した水が蒸発した水蒸気は研削ホイール収容ケース２０の外部に抜けるため、研削ホイール１４の自然乾燥も可能である。ただし、エアー供給源６４等を接続して能動的にホイール収容空間６０を換気する方が、研削ホイール１４を強力に乾燥できる。

また、上記実施形態では、研削ホイール収容ケース２０の本体２２の底板部２４の中央に支持体３４が立設される場合について説明したが、本発明の一態様はこれに限定されない。支持体３４は、蓋体４２の蓋部５０の中央底面から垂下して設けられてもよい。または、支持体３４は、本体２２の底板部２４から立設した第１の部分と、蓋体４２の蓋部５０から垂下した第２の部分と、により構成されてもよい。

その他、上述した実施形態や変形例等にかかる構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

１ 被加工物
２ 研削装置
４ チャックテーブル
４ａ 保持面
６ 研削ユニット
８ スピンドル
１０ ホイールマウント
１２ 固定具
１４，１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ 研削ホイール
１６ ホイール基台
１６ａ，１６ｂ 面
１８ 砥石
２０，２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ 研削ホイール収容ケース
２２，２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ 本体
２４，２４ａ，２４ｂ 底板部
２６ 環状凹部
２８ 本体外壁部
３０，４８ 通気口
３２ 係止部
３２ａ，４６ｂ 突出部
３２ｂ，４６ａ 陥没部
３４，３４ａ，３４ｂ，３４ｃ，３４ｄ 支持体
３６ 側面
３８，３８ａ，３８ｂ，３８ｃ，３８ｄ 貫通孔
４０ 開口
４２，４２ａ，４２ｂ，４２ｃ，４２ｄ 蓋体
４４ 蓋体外壁部
４６ 被係止部
５０，５０ａ，５０ｂ 蓋部
５２，５２ａ，５２ｂ，５２ｄ 連通口
５４ａ，５４ｂ，５４ｄ 突出部
５６ａ，５６ｂ 開閉口
５８ａ，５８ｂ 遮蔽部材
６０，６０ａ，６０ｂ，６０ｃ，６０ｄ ホイール収容空間
６２ エアー供給路
６４ エアー供給源

Claims (4)

1. 中央部に形成された開口部を有する環状のホイール基台と、該ホイール基台の一方の面に環状に配設された砥石と、を備えた研削ホイールを収容する研削ホイール収容ケースであって、
   本体と、蓋体と、を有し、
   該本体は、
   該ホイール基台の他方の面が載置される底板部と、
   該底板部の外周に立設された筒状の本体外壁部と、
   該本体外壁部の上部に形成された係止部と、を備え、
   該蓋体は、
   該係止部に係止する被係止部が下端に形成された筒状の蓋体外壁部と、
   エアーが通る連通口が中央に設けられ、筒状の該蓋体外壁部の上端を塞ぐ蓋部と、を備え、
   該本体外壁部と、該蓋体外壁部と、該蓋部と、のうち一つ以上に、該連通口を通るエアーの通過経路となる開口が形成され、
   該係止部と、該被係止部と、を係止することで、該本体及び該蓋体に囲まれたホイール収容空間を内部に形成できることを特徴とする研削ホイール収容ケース。
2. 該蓋部の該連通口には、エアー供給源またはエアー吸引源を接続可能であることを特徴とする請求項１に記載の研削ホイール収容ケース。
3. 該連通口を通るエアーの進行経路を該本体外壁部及び該蓋体外壁部に向かって放射状に分散させる分散部を更に備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の研削ホイール収容ケース。
4. 該本体の該底板部の中央に、開閉可能な開閉口を更に備え、
   他の研削ホイール収容ケースの上に重ね置かれたときに該開閉口が開き、該開閉口が該他の研削ホイール収容ケースの連通口と連通し、
   他の研削ホイール収容ケースの上に重ね置かれないときに該開閉口が少なくとも部分的に閉塞されることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の研削ホイール収容ケース。

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