JPH01100065A - 炭化珪素ウィスカー強化窒化珪素質焼結体およびその製造方法 - Google Patents

炭化珪素ウィスカー強化窒化珪素質焼結体およびその製造方法

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JPH01100065A
JPH01100065A JP62258106A JP25810687A JPH01100065A JP H01100065 A JPH01100065 A JP H01100065A JP 62258106 A JP62258106 A JP 62258106A JP 25810687 A JP25810687 A JP 25810687A JP H01100065 A JPH01100065 A JP H01100065A
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優 松原
Akiyasu Okuno
奥野 晃康
Shoichi Watanabe
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    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/584Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野) 本発明は炭化珪素ウィスカーを用いて強化した窒化珪素
系複合材料に関し、特に高温での強度および耐クリープ
性に優れた窒化珪素質焼結体とその製造方法に関し、セ
ラミックロータやセラミックバルブ等の自動車エンジン
部材やガスタービンロータ等の高温構造部材に広く有用
な複合材料とその製造方法を提供するのである。 (従来の技術) 炭化珪素焼結体や窒化珪素(SiJ*)を主成分とする
窒化珪素系焼結体は、原子の結合様式が共有結合を主体
としており、機械的強度、耐酸化性、耐摩耗性、耐衝撃
性、耐食性等の特性に優れているため、特に自動車エン
ジン部品やガスタービンロータ等の高温構造部材や切削
工具材料として実用化が始まっている。 しかしこのような優れた特徴をもっているにもかかわら
ず、金属と比較すると品質安定性や均質性に乏しく、信
顛性の向上や高特性という視点から、窒化珪素系セラミ
ックスに於いても一層の高靭性化が望まれている。 ところで、窒化珪素や炭化珪素はともに共有結合を主体
とした化合物であって難焼結材とされている。従って、
窒化珪素や炭化珪素はそれ単独に焼結させるのではなく
、通常焼結助剤を数%乃至数十%添加することにより、
低融点化合物を形成させ焼結を促進しており、添加した
焼結助剤は粒界のガラス相あるいは結晶相として焼結後
に残存するか、窒化珪素の結晶中に固溶し残存する。 しかしながら、このようにして得られる焼結体は、焼結
助剤として添加したA1tO3+YzO++LazOa
。 MgO,Ca(L希土類元素酸化物などが、前記したよ
うに低融点化合物を形成して焼結を促進せしめるという
利点がある反面、この低融点化合物が原因となり焼結体
の高温における機械的強度が低下するという欠点がある
ことから、焼結助剤の種類の検討やその量を出来るだけ
少なくするなどの検討がなされているが、高温時の機械
的強度低下の欠点は未だ解決されていないのが現状であ
る。 この対策としてセラミックスにSiCウィスカーを複合
化して改良されたセラミックス焼結体を得る各種の試み
が行われている。 例えば特公昭58−51911号はSi3NaとSiC
ウィスカー混合物のペーストを用いて板状に成形したも
のを積層し、加圧焼結する製造方法であり、粉末状態で
焼結する方法を示唆していない。 特公昭60−35316号は5isNa中に導電性のあ
る繊維状SiCを分散させることにより高い電気伝導性
を与え、放電加工可能なSi3N、焼結体を提供するも
のであるが、SiC繊維は10〜500μm程度の比較
的長繊維のものを均一に分散させる必要のあるところか
ら、混合技術上SiC繊維の集塊に留意しなければなら
ず、集塊に基づく焼結不良、延いては信顛性の低下のお
それがあり、かつ又、室温強度、高温強度に一層の改善
が求められるところである。 又、特開昭59−102862号は前記した特公昭60
−35316号の延長線上の発明で、Si3Na中に導
電性のある繊維状SiCとともに特定の導電性を有する
無機粉末を分散させ、電気伝導性を高めるものであるが
、特公昭60−35316号同様な問題を有し、特に高
温強度は改善の余地のあるものと考えられる。 特開昭60−200863号はSiCウィスカーと、4
・族、5・晶化物並びに窒化物を含有し、残りがSi3
N、からなる組成のセラミックスであって、鉄との親和
性を低下し、鉄との摩擦を生じる用途での摩耗の進行を
防止できるものであるが、高温1200℃の抗折力は5
0kg/mm”内外に留まるために、なお−層の向上が
求められるものである。 特公昭60−55469号は窒化珪素粉末の分散液と繊
維状炭化珪素結晶の分散液とを、それぞれフィルターを
通過させた後、前者に対し後者が5〜50重量%となる
ように混合し、成形、焼結する方法であり、粉末を成形
焼結するのに比して手数がかかり面倒である。 特開昭60−246268号および特開昭61−291
463号はサイアロン系母材に SiCウィスカー等を
加えたもので前者はβ−サイアロン、後者はグーサイア
ロンであり窒化珪素系母材にSiCウィスカーを加えた
焼結体に関するものではない。 (発明が解決すべき問題点) 上記の如(Si3N4系のセラミックスにSiCウィス
カーを分散した複合材は未だ十分に実用化できるまでに
至らず、なお−層の高靭性化が期待されるとともに10
00℃以上の高温下での使用にはいまだ不十分なもので
あった。即ち、上記においてサイアロン基セラミックは
高靭性であるものの、1000℃以上の高温では強度劣
化や耐酸化性が悪く、又窒化珪素(サイアロンを除く)
基セラミックは高温特性がサイアロン基セラミックに比
べて優れているものの靭性が低い等高温構造材料として
使用するには問題があった。 (問題点を解決するための手段) 本発明者らはこの点について鋭意検討の結果窒化珪素質
焼結体の高温時における機械的特性が、その結晶相、粒
界相の形態によることが大きく、特に靭性や高温におけ
る強度を高めるには特定のSiCウィスカーが焼結体の
中で相当の長さを有したま\、均一に分散することと、
Si3N4中のα−Si3Nnの割合即ちα率がある値
以下である場合に好ましい特性の焼結体が得られるとの
知見に基いたものであり、その概要は以下のとおりであ
る。 即ち第1の発明は平均長さ5〜30μmのSiCウィス
カー5〜40重量%、希土類元素酸化物の1種以上5〜
30重量%、残部が窒化珪素からなる配合組成物を成形
し焼結された窒化珪素質焼結体であって、焼結後のSi
Jmのα率が40重重量以下であることを特徴とする炭
化珪素ウィスカー強化窒化珪素質焼結体にして、第2の
発明は上記焼結体を製造するために平均長さが30μm
以下のSiCウィスカー5〜40重量%と、希土類元素
酸化物の1種以上の粉末5〜30重量%、残部がα率9
0重量%以上の5isNa粉末とを該SiCウィスカー
の平均長さが5〜30μmの範囲で均一に分散するよう
に粉砕混合し成形した後、非酸化性雰囲気下で1650
〜1850℃の温度で、SiJ、の冴率が40重量%以
下になるまで焼結することを特徴とする炭化珪素ウィス
カー強化窒化珪素質焼結体の製造方法である。なお成形
焼結にあたっては所定の配合q組成物を必要に応じ金型
成形、静水圧成形および射出成形した後還元または不活
性ガス雰囲気中でホットプレス、常圧焼結、ガス圧焼結
及び熱間静水圧焼結することによって行うことができる
。 なお本発明で用いられるSiCウィスカーはそれ自体常
温から高温まで硬度や強度が高(、焼結後もウィスカー
の形状のままで組織内に均一に分散していることよって
セラミックスの高温強度を向上し、破壊靭性を大きくし
、かつ、硬くするものである。 本発明で用いられる出発原料としてのSiCウィスカー
としては平均直径0.2〜5μm1平均長さ5〜30μ
mでアスペクト比2〜150のものが望ましい。又、こ
のウィスカーは、A 1 *  Ca 、 Mg+Ni
 +  Fe、Mn、Coo  Cr等のカチオン不純
物やSi0g含有量が 1.0重量%以下で、クビレや
枝分れおよび面欠陥等が少ないヒゲ状結晶のものが高靭
性の緻密な焼結体を得る上で好ましい。 SiCウィスカーの添加量を5〜40重量%とする理由
は、SiCウィスカーが5重量%より少ない場合はセラ
ミック焼結体にウィスカー添加の効果が殆どないため、
強度、靭性の向上が見られず、逆に40重量%を越える
場合はウィスカーの異方性によって均一分散性が低下し
焼結性も著しく低下するためであり、より好ましくは1
0〜30重量%添加するのがよい、なお、本発明で使用
するSiCウィスカーは焼結後もウィスカー形状で焼結
体中に残留するものである。 又SiCウィスカーは粉砕、混合、成形、焼結後も平均
長さが5〜30μmであることが必要であり、その理由
は、平均長さが5μmより短い場合はウィスカーの添加
効果が見られず、強度や靭性の向上が認められないため
であり、30μmより長い場合は、焼結性の低下やウィ
スカー同士の凝集が著しくなり、焼結体中に生成する凝
集部分が欠陥となって強度の低下をもたらすためであり
、更に好ましくは5〜20μ−であることがより高靭性
、高°  強度を保持する点で好ましい。 希土類元素の酸化物は焼結助剤として働くとともに、焼
結体中でガラス相を形成し、緻密体を構成する添加量は
5〜30重量%である。 希土類元素の酸化物が5重量%未満では生成するガラス
相(液相)が少な過ぎるため、焼結助剤としての効果が
なく緻密化されず、又、30重量%を超える場合は過度
に窒化珪素が粒成長して却って焼結性が阻害され強度劣
化を招いたり、ガラス相の生成量の増大に伴い、高温で
の機械的強度や耐酸化性等の高温特性が劣化するため上
記範囲が好ましい、より好ましくは10〜25重量%で
ある。 焼結体中の5isNaのα率を40重量%以下とする理
由は、α率が40重量%より多い焼結体は強度や靭性が
低い為であり、高強度、高靭性な焼結体を得るためには
α率が40重量%以下が好ましく、更に好ましくはα率
が20重重景以下の焼結体である。 (実施例) 以下、本発明の実施例について説明する。 実施例1 平均粒径0.Bttm  ex率90重量%の5ixN
a粉末64重景%と、平均粒径1.2.crmのYzO
z粉末6.4重量%と、平均粒径2μmmのLaz03
粉末9.6重量%に、平均直径0.5μmで平均長さの
異なる市販のSiCウィスカー20重量%を加え、エタ
ノール溶媒中でスターラーで攪拌しながら1時間超音波
照射して混合した後、乾燥し、造粒して素地粉末を得た
。 次にこの素地粉末を黒鉛型中で焼結温度1800℃。 圧力200kg/aJ、  1時間ホットプレスし焼結
体を得た。 得られた焼結体は4 w X 3 vnr x 4 Q
 Hの寸法の試験片に研磨加工した後、密度およびJI
S−R1601により抗折強度を測定した。 また、焼結体を鏡面研磨し、光学顕微鏡で観察すること
により、すべての配合組成物において添加したSiCウ
ィスカーは配合時の形状が変わることなく存在している
ことを確認した。一方得られ・た焼結体のX線回折や、
化学分析及びカーボン定7量を行うことによりSiCウ
ィスカーは殆ど配合組成のまま存在していることも確認
した。 本実施例によって得られた焼結体の結果を第1表に示す
が、添加するSiCウィスカーの平均長さが30μmよ
り長いとウィスカー同士の凝集が著しくなり焼結体中で
の均一分散性が悪化して焼結性の低下および凝集部分が
欠陥となるため強度の低下を招くことが判った。また第
1表には得られた焼結体の比抵抗を測定した結果も併記
した。 実施例2 平均長さ30μmのSiCウィスカーをあらかじめ粉砕
して、平均長さを第2表に示す様に変えたウィスカーを
用いる以外は実施例1と同様にして素地粉末を得た。 次にこの素地粉末を黒鉛型中で焼結温度1800℃。 200 kg / aJの圧力で、1時間ホットプレス
して十分に緻密な焼結体を得た。 得られた焼結体については実施例1と同様にして抗折強
度を測定し、さらに押し込み荷重30kgでのインデン
ティジョン・マイクロッラフチャー法(1M法)により
破壊靭性値を測定した。 本実施例によって得られた焼結体の結果を第3表に示す
が、得られた焼結体中に分散して存在するウィスカーの
平均長さは5μm以上でないとその添加効果はなく、強
度および破壊靭性は向上しないことが判った。 実施例1および2の結果より焼結体に存在すべきウィス
カーの平均長さは5〜30μmの範囲でなければその添
加効果がないことが判る。 実施例3 平均長さ30μmのSiCウィス・カーと、平均粒径0
.6μmのSi3N4粉末と、平均粒径2μm以下の 
YzOx  、 Lag’s 、 CeO,%dlOx
 、 SmzOzから選ばれた1種以上の希土類元素酸
化物及び比較実験として平均粒径1μmのα−^120
3と平均粒径0.5μmのAl1Nを第4表に示す様な
組成に配合したものを各々エタノール溶媒中で16時間
ボールミルで粉砕し混合した後、乾燥、造粒して素地粉
末を得た。 次にこの素地粉末を黒鉛型中で第4表に示すような焼結
条件でホットプレスして焼結体を得た。 得られた焼結体は実施例2と同様にして室温での抗折強
度と破壊靭性値を測定した。さらに、1300℃大気中
における抗折強度と1300℃大気中で100時間酸化
させた時の重量変化から耐酸化性を評価した。また焼結
体中のα−5i3L含有量については便宜的にX線回折
による回折ピーク高さ(α相ピーク高さIα、β相ビー
ク高さIβ)から以下の式によって求めた。 Iα(16り+Iα(冨Il+)
【名工試:鈴木、菅野; Si3N、中のα分率簡易定
量法(窯業製会誌;92 (8)1984)参照】また
得られた焼結体を鏡面研磨し、光学顕微鏡で観察した結
果、すべての焼結体中に存在するSiCウィスカーの平
均長さは5〜15μmであることが判った。 本実施例によって得られた焼結体の結果を第4表に示す
が、これらの結果から焼結体中のα−5i3N4が40
重量%以下でSiCウィスカーを5〜40重量%含有し
た炭化珪素ウィスカー強化窒化珪素質焼結体は靭性が高
く、かつ1300℃の高温においてもサイアロンを母材
とする焼結体に比べて強度や耐酸化性に優れた材料であ
り、高温構造材料として十分に満足できる特性を有して
いることが判った。 第1表 (発明の効果) 本発明は前記実施例の内容から明らかなとおり抗折強度
(常温、高温)、破壊靭性および耐酸化性、硬度などの
特性に優れた焼結体とその製造方法を提供するものであ
り、自動車エンジン部材や高温構造部材に広く有用な材
料を提供するものである。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)平均長さ5〜30μmのSiCウィスカー5〜40
    重量%と、希土類元素酸化物の1種以上5〜30重量%
    と、残部が窒化珪素とからなる配合組成物を成形し焼結
    された窒化珪素質焼結体であって、焼結体中のSi_3
    N_4のα率が40重量%以下であることを特徴とする
    炭化珪素ウィスカー強化窒化珪素質焼結体。 2)平均長さ5〜20μmのSiCウィスカーが10〜
    30重量%であることを特徴とする特許請求の範囲第1
    項記載の炭化珪素ウィスカー強化窒化珪素質焼結体。 3)希土類元素酸化物の1種以上が10〜25重量%で
    あることを特徴とする特許請求の範囲第1項または第2
    項記載の炭化珪素ウィスカー強化窒化珪素質焼結体。 4)焼結体中のSi_3N_4のα率が20重量%以下
    であることを特徴とする特許請求の範囲第1項または第
    3項記載の炭化珪素ウィスカー強化窒化珪素質焼結体。 5)平均長さが30μm以下のSiCウィスカー5〜4
    0重量%と、希土類元素酸化物の1種以上の粉末5〜3
    0重量%と、残部がα率90重量%以上のSi_3N_
    4粉末とを、該SiCウィスカーの平均長さが5〜30
    μmの範囲で均一に分散するまで粉砕混合し、成形した
    後、非酸化性雰囲気下で1650℃〜1850℃の温度
    でSi_3N_4のα率が40重量%以下になるまで焼
    結することを特徴とする炭化珪素ウィスカー強化窒化珪
    素質焼結体の製造方法。 6)平均長さが30μm以下のSiCウィスカー10〜
    30重量%と、希土類元素酸化物の1種以上の粉末10
    〜25重量%と、残部がα率90重量%以上のSi_3
    N_4粉末とを、該SiCウィスカーの平均長さが5〜
    20μmの範囲で均一に分散するまで粉砕混合すること
    を特徴とする特許請求の範囲第5項記載の炭化珪素ウィ
    スカー強化窒化珪素質焼結体の製造方法。 7)焼結体中のSi_3N_4のα率が20重量%以下
    になるまで焼結することを特徴とする特許請求の範囲第
    5項または第6項記載の炭化珪素ウィスカー強化窒化珪
    素質焼結体の製造方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61289054A (ja) * 1985-05-10 1986-12-19 ドラゴコ・ゲルベルデインク・アンド・コムパニ−・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング 3,5,5―トリナチル―4―(2―ブテン―1―イリデン)―2―シクロヘキセン―1―オンとの混合物の形で4,4,7―トリナチル―3,4,7,8―テトラヒドロ―2(6h)―ナフタレン―オンを製造する方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61289054A (ja) * 1985-05-10 1986-12-19 ドラゴコ・ゲルベルデインク・アンド・コムパニ−・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング 3,5,5―トリナチル―4―(2―ブテン―1―イリデン)―2―シクロヘキセン―1―オンとの混合物の形で4,4,7―トリナチル―3,4,7,8―テトラヒドロ―2(6h)―ナフタレン―オンを製造する方法

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