JPH01100971U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図はそれぞれ油圧サーボ弁に適
用された本考案による圧電式アクチユエータの一
つの実施例を示す解図的縦断面図及び平断面図、
第３図乃至第５図はそれぞれ第１図の線―、
第２図の線―、線―に沿う断面図、第６
図は第１図乃至第５図に示された実施例の第二の
変位拡大機構を示す斜視図、第７図は第１図乃至
第６図に示されたアクチユエータの修正例の要部
を示す解図的部分平断面図、第８図及び第９図は
それぞれ本考案によるアクチユエータの他の一つ
の実施例を示す解図的縦断面図及び平断面図であ
る。 １０……アクチユエータ、１２……弁、１４…
…弁ハウジング、１６……スリーブ、２４，２６
……リターン油路、３６……スプール、４２，４
４……通路、４６……センサ、５０……圧電素子
、５２……リテーナ、８０……ヨーク形部材、８
６……ベース部、９２……シヤフト、９６，９８
……弾性ヒンジ、１００，１０２……出力アーム
、１０４，１０６……弾性ヒンジ、１０８……支
持部、１１０，１１２……リンク、１２０……出
力部材、１２４……接続部材、１２８，１３０…
…第一の変位拡大機構、１３２……第二の変位拡
大機構、１３６……キヤツプ部材、１３６ａ……
ナツト、１３８……プレート、１４０，１４２…
…スリーブ、１４８……ナツト、１５２，１５４
……リード線、１５６……シール、１５８……グ
ロメツト、１６２……フローセパレータ、１６６
，１６８，１７０……窓、１７２……本体、１７
６……プレート、１７８，１８０……シム。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 軸線に沿つて往復動する被駆動部材に連結され
   るよう構成された出力部材と、実質的に前記軸線
   に沿つて配設された圧電素子と、前記圧電素子の
   一端を支持し前記圧電素子の一端より他端の方向
   へ延在する一対のアーム部を有する第一のリテー
   ナと、前記一対のアーム部の先端に連結された第
   二のリテーナと、前記第二のリテーナにより支持
   された弾性ヒンジにより枢支された一対の入力ア
   ーム及び一対の出力アームを有し前記入力アーム
   は前記圧電素子の他端に当接する第一の変位拡大
   機構と、一端にて前記出力アームの先端に枢着さ
   れ他端にて互いに枢着されると共に前記出力部材
   に枢動連結された一対のリンクを有する第二の変
   位拡大機構とを含み、前記出力アームは前記圧電
   素子の他端より一端の方向へ延在し、前記軸線の
   周りに前記アーム部より角方向に偏位されている
   圧電式アクチユエータ。