JPH05189046A - アクチェータ - Google Patents
アクチェータInfo
- Publication number
- JPH05189046A JPH05189046A JP4002038A JP203892A JPH05189046A JP H05189046 A JPH05189046 A JP H05189046A JP 4002038 A JP4002038 A JP 4002038A JP 203892 A JP203892 A JP 203892A JP H05189046 A JPH05189046 A JP H05189046A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- actuator
- piezoelectric body
- end surface
- thin plate
- lever
- Prior art date
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- Granted
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- Control Of Position Or Direction (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 円柱形状駆動素子の軸方向変位を同一の方向
に効率よく拡大する。 【構成】 駆動電圧の印加により軸方向に伸長する円柱
圧電体２を金属製の有底支持円筒に同軸に遊嵌して、そ
の一端面を固定する。圧電体の自由端には拡開する向き
に延びる６個の金属製挺子杵１７を等角度間隔に配置し
て、これら挺子杵の力点を圧電体の自由端面に結合す
る。また、これら挺子杵の作用点を金属製可動薄板２１
で連結する。この際、可動薄板は圧電体の自由端に向か
って撓んだ状態となっている。可動薄板が重なり合う部
分（撓みの最大部分）に作動子が設けられる。 【効果】 上述の構成では作動子は駆動素子（圧電体）
の変位の５倍以上にしかもエネルギー伝達効率６０％以
上で変位する。また、気密構造にし易い。
に効率よく拡大する。 【構成】 駆動電圧の印加により軸方向に伸長する円柱
圧電体２を金属製の有底支持円筒に同軸に遊嵌して、そ
の一端面を固定する。圧電体の自由端には拡開する向き
に延びる６個の金属製挺子杵１７を等角度間隔に配置し
て、これら挺子杵の力点を圧電体の自由端面に結合す
る。また、これら挺子杵の作用点を金属製可動薄板２１
で連結する。この際、可動薄板は圧電体の自由端に向か
って撓んだ状態となっている。可動薄板が重なり合う部
分（撓みの最大部分）に作動子が設けられる。 【効果】 上述の構成では作動子は駆動素子（圧電体）
の変位の５倍以上にしかもエネルギー伝達効率６０％以
上で変位する。また、気密構造にし易い。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電体等の駆動素子を
用いたアクチェータに関し、特に、柱状駆動素子の軸方
向変位を拡大する機構を備えるアクチェータに関する。
用いたアクチェータに関し、特に、柱状駆動素子の軸方
向変位を拡大する機構を備えるアクチェータに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、この種のアクチェータとして図
６に示すものが知られている。図６を参照して、Ｕ形の
金属取付台１の凹部に角棒状の圧電体２が挿入され、金
属取付台１に固定されている。取付台１及び圧電体２の
上側には２個の金属可動部材３及び４が取付台１及び２
に跨るようにして配置され、金属可動部材３及び４には
結合部材５及び６が一体に形成されている。結合部材５
には圧電体２の上端に固定した金属接続台７と結合さ
れ、結合部材６は取付台１の上端と結合されている。可
動部材３，４は、可動部材３及び４に平行に配置された
第３の金属可動部材８に金属結合部材９及び１０で結合
されている。なお、この結合はろう接による。
６に示すものが知られている。図６を参照して、Ｕ形の
金属取付台１の凹部に角棒状の圧電体２が挿入され、金
属取付台１に固定されている。取付台１及び圧電体２の
上側には２個の金属可動部材３及び４が取付台１及び２
に跨るようにして配置され、金属可動部材３及び４には
結合部材５及び６が一体に形成されている。結合部材５
には圧電体２の上端に固定した金属接続台７と結合さ
れ、結合部材６は取付台１の上端と結合されている。可
動部材３，４は、可動部材３及び４に平行に配置された
第３の金属可動部材８に金属結合部材９及び１０で結合
されている。なお、この結合はろう接による。
【０００３】圧電体２に駆動電圧（電極、リード線は図
示せず）を印加すると、圧電体２が伸長して接続部材７
を実線矢印Ａで示す方向に押し上げる。この変位は結合
部材５を介して可動部材３及び４に伝えられ、実線矢印
Ａ方向の機械的変位を可動部材３及び４に与える。可動
部材３及び４は結合部材６で支持台１と結合されている
ため、実線矢印Ａ方向の変位によって可動部材３及び４
に回転モーメントを生じる。その結果、可動部材４及び
３にそれぞれ実線矢印Ｂ及びＣで示す向きの拡大された
変位（拡大変位）を生ずることになる。この拡大変位が
結合部材９及び１０によって第３の可動部材８に伝達さ
れて、可動部材８の自由端（下端）に実線矢印Ｄで示す
方向の変位が生じる。
示せず）を印加すると、圧電体２が伸長して接続部材７
を実線矢印Ａで示す方向に押し上げる。この変位は結合
部材５を介して可動部材３及び４に伝えられ、実線矢印
Ａ方向の機械的変位を可動部材３及び４に与える。可動
部材３及び４は結合部材６で支持台１と結合されている
ため、実線矢印Ａ方向の変位によって可動部材３及び４
に回転モーメントを生じる。その結果、可動部材４及び
３にそれぞれ実線矢印Ｂ及びＣで示す向きの拡大された
変位（拡大変位）を生ずることになる。この拡大変位が
結合部材９及び１０によって第３の可動部材８に伝達さ
れて、可動部材８の自由端（下端）に実線矢印Ｄで示す
方向の変位が生じる。
【０００４】そして、この変位が機器（図示せず）の可
動部へ伝達されて機器に所要の動作を行わせている。
動部へ伝達されて機器に所要の動作を行わせている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のアク
チェータでは、実線矢印Ｄで示す変位方向は回転中心点
を符号Ｏで示す点とする円弧上にある。つまり、圧電体
（駆動素子）２の伸長方向（直線上の方向）とはまった
く関係のない向きである。このため、アクチェータを機
器に配置する際、配置及び取付けに工夫を要し、使用し
づらいという問題点がある。
チェータでは、実線矢印Ｄで示す変位方向は回転中心点
を符号Ｏで示す点とする円弧上にある。つまり、圧電体
（駆動素子）２の伸長方向（直線上の方向）とはまった
く関係のない向きである。このため、アクチェータを機
器に配置する際、配置及び取付けに工夫を要し、使用し
づらいという問題点がある。
【０００６】本発明の目的は、柱状駆動素子の軸方向変
位に平行な向きに変位に拡大する機構を備えたアクチェ
ータを提供することにある。
位に平行な向きに変位に拡大する機構を備えたアクチェ
ータを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のアクチェータで
は、柱状駆動素子を有低支持円筒に遊嵌して同軸に配置
して、駆動素子の片端面をその内底に固着する。支持円
筒の軸に関して対称に複数個の挺子杵が配置され、これ
ら挺子杵は拡開する向きに延びている。駆動素子の他端
面には挺子杵の力点が結合され、挺子杵の支点を支持円
筒の端面に結合し、挺子杵の作用点を駆動素子の端面に
向って、または逆向きに撓ませた可動薄板で差し渡して
連結する。そして、可動薄板の中央部に作動子を設け
る。
は、柱状駆動素子を有低支持円筒に遊嵌して同軸に配置
して、駆動素子の片端面をその内底に固着する。支持円
筒の軸に関して対称に複数個の挺子杵が配置され、これ
ら挺子杵は拡開する向きに延びている。駆動素子の他端
面には挺子杵の力点が結合され、挺子杵の支点を支持円
筒の端面に結合し、挺子杵の作用点を駆動素子の端面に
向って、または逆向きに撓ませた可動薄板で差し渡して
連結する。そして、可動薄板の中央部に作動子を設け
る。
【０００８】また、可動薄板の中間部において作動子に
関して対称に剛体を設けてもよい。
関して対称に剛体を設けてもよい。
【０００９】ここでは、支持円筒と挺子杵と可動薄板と
を導電材で形成して駆動素子の他端面に接続してコール
ド端子とし、駆動素子の片端面が支持円筒の底を貫いて
引き出したホット端子に接続される。そして、支持円筒
の他端部側を少なくとも作動子の一部を露出させてハー
メチックシールで覆い気密構造とする。
を導電材で形成して駆動素子の他端面に接続してコール
ド端子とし、駆動素子の片端面が支持円筒の底を貫いて
引き出したホット端子に接続される。そして、支持円筒
の他端部側を少なくとも作動子の一部を露出させてハー
メチックシールで覆い気密構造とする。
【００１０】
【作用】本発明では、挺子杵が、駆動素子の変位を拡大
して作用点に変位を生じ、その変位を可動薄板に伝達す
る。可動薄板は、挺子杵の変位により緊張して変位を拡
大するとともに作動子に伝達する。
して作用点に変位を生じ、その変位を可動薄板に伝達す
る。可動薄板は、挺子杵の変位により緊張して変位を拡
大するとともに作動子に伝達する。
【００１１】剛体は、作動子への変位の伝達を増進する
ように働く。
ように働く。
【００１２】
【実施例】以下本発明について、実施例によって説明す
る。
る。
【００１３】まず、図１を参照して、本発明によるアク
チェータは支持円筒１１を備えている。支持円筒１１に
は、その下端部の外周面にねじが形成されている。この
ねじに帽体形の底板１２が螺合され、支持円筒１１の底
部は塞れる。つまり、支持円筒１１は有底状である。な
お、この支持円筒１１はインバーで形成されている。支
持円筒１１中には、支持円筒１１の内径より小さな外径
を有する円柱形圧電体１３が支持円筒１１と同心に挿入
され、底板１２に固定されている。
チェータは支持円筒１１を備えている。支持円筒１１に
は、その下端部の外周面にねじが形成されている。この
ねじに帽体形の底板１２が螺合され、支持円筒１１の底
部は塞れる。つまり、支持円筒１１は有底状である。な
お、この支持円筒１１はインバーで形成されている。支
持円筒１１中には、支持円筒１１の内径より小さな外径
を有する円柱形圧電体１３が支持円筒１１と同心に挿入
され、底板１２に固定されている。
【００１４】圧電体１３は、両端面に電極（図示せず）
が設けられており、電極に電圧を印加すると、圧電体１
３は軸方向に伸びる。圧電体１３の片端面（つまり、下
端電極側）にはアルミナ製の円形絶縁台１５が固着さ
れ、円形絶縁台１５によって圧電体１３は底板１２に固
着されている。下端電極にはホット端子１４が接続さ
れ、ホット端子１４は絶縁台１５と底板１２とを貫いて
真下に引き出されている。圧電体１３の他端面（つま
り、上端電極側）には円形の金属接続台１６が固着さ
れ、金属接続台１６の上面と支持円筒１１の上端面は同
一平面上にある。接続台１６の上面及び支持円筒１１の
上面上側には、軸対称に複数個（例えば４個）の挺子杵
１７が配設されている。ここでは、奇数個（３個以上）
の挺子杵１７の配列は、等角度間隔であり、後述のよう
に、可動薄板２１は支持円筒１１の軸を中心として放射
形状（例えば３個の場合はＹ形）に配設されている。な
お、図３に示すように、挺子杵１７は、逆さにした傘の
親骨に近似する配列となっている。なお、４個の挺子杵
１７の配列は等角度（９０度）間隔に限る必要はなく、
扁平なＸ字形に配置してもよい。
が設けられており、電極に電圧を印加すると、圧電体１
３は軸方向に伸びる。圧電体１３の片端面（つまり、下
端電極側）にはアルミナ製の円形絶縁台１５が固着さ
れ、円形絶縁台１５によって圧電体１３は底板１２に固
着されている。下端電極にはホット端子１４が接続さ
れ、ホット端子１４は絶縁台１５と底板１２とを貫いて
真下に引き出されている。圧電体１３の他端面（つま
り、上端電極側）には円形の金属接続台１６が固着さ
れ、金属接続台１６の上面と支持円筒１１の上端面は同
一平面上にある。接続台１６の上面及び支持円筒１１の
上面上側には、軸対称に複数個（例えば４個）の挺子杵
１７が配設されている。ここでは、奇数個（３個以上）
の挺子杵１７の配列は、等角度間隔であり、後述のよう
に、可動薄板２１は支持円筒１１の軸を中心として放射
形状（例えば３個の場合はＹ形）に配設されている。な
お、図３に示すように、挺子杵１７は、逆さにした傘の
親骨に近似する配列となっている。なお、４個の挺子杵
１７の配列は等角度（９０度）間隔に限る必要はなく、
扁平なＸ字形に配置してもよい。
【００１５】上記の挺子杵１７は、マルエージ鋼製であ
り、この挺子杵１７は正方形板を直立させた状態で上側
に位置する頂点の一つと一方の直立辺とを結ぶ線分で切
り落として緩勾配辺１８とし、さらに、他方の直立辺と
下側に位置する水平辺とを結ぶ線分で切り落して緩勾配
辺１８よりも急勾配の辺を形成することによって作製さ
れる。この挺子杵１７にはその水平辺に一体に力点接合
片１９と支点接合片２０とが設けられ、力点接合片１９
と支点接合片２０との間隔は圧電体１３と支持円筒１１
との間隙よりも若干大きい。上記の挺子杵１７は、緩勾
配辺１８側の力点接合片１９を接続台１６にろう接によ
って接合され、さらに、支点接合片２０が支持円筒１１
に接合されている。これによって、挺子杵１７は緩勾配
辺１８が上方に拡開する向きに配置されることになる。
さらに、挺子杵１７の作用点（自由端の任意の個所、図
では緩勾配辺１８の上側端部）を接続台１６（圧電体１
３の他端面）に向って撓ませた幅狭の金属の可動薄板
（板ばね）２１で連結し、可動薄板２１の中央部に丸棒
状の作動子２２の下端を固着する。
り、この挺子杵１７は正方形板を直立させた状態で上側
に位置する頂点の一つと一方の直立辺とを結ぶ線分で切
り落として緩勾配辺１８とし、さらに、他方の直立辺と
下側に位置する水平辺とを結ぶ線分で切り落して緩勾配
辺１８よりも急勾配の辺を形成することによって作製さ
れる。この挺子杵１７にはその水平辺に一体に力点接合
片１９と支点接合片２０とが設けられ、力点接合片１９
と支点接合片２０との間隔は圧電体１３と支持円筒１１
との間隙よりも若干大きい。上記の挺子杵１７は、緩勾
配辺１８側の力点接合片１９を接続台１６にろう接によ
って接合され、さらに、支点接合片２０が支持円筒１１
に接合されている。これによって、挺子杵１７は緩勾配
辺１８が上方に拡開する向きに配置されることになる。
さらに、挺子杵１７の作用点（自由端の任意の個所、図
では緩勾配辺１８の上側端部）を接続台１６（圧電体１
３の他端面）に向って撓ませた幅狭の金属の可動薄板
（板ばね）２１で連結し、可動薄板２１の中央部に丸棒
状の作動子２２の下端を固着する。
【００１６】上述の構造のアクチェータでは、圧電体１
３に駆動電圧を印加（支持円筒１１がホット端子１４に
対するコールド端子である）すると、圧電体１３が実線
矢印Ｕ向きに接続台１６および力点接合片１９を押し上
げて、挺子杵１７に支点接合片２０を中心とする回転モ
ーメントが生ずる。これによって、挺子杵１７の作用点
に実線矢印Ｗで示す向きの拡大された変位を生ずる。こ
の変位によって、可動薄板２１が緊張し、作動子２２を
実線矢印Ｕの向きに真直ぐに変位させる。このようにし
て、圧電体１３の変位の向きと全く同じ向きに真直な拡
大した変位が生じることになる。
３に駆動電圧を印加（支持円筒１１がホット端子１４に
対するコールド端子である）すると、圧電体１３が実線
矢印Ｕ向きに接続台１６および力点接合片１９を押し上
げて、挺子杵１７に支点接合片２０を中心とする回転モ
ーメントが生ずる。これによって、挺子杵１７の作用点
に実線矢印Ｗで示す向きの拡大された変位を生ずる。こ
の変位によって、可動薄板２１が緊張し、作動子２２を
実線矢印Ｕの向きに真直ぐに変位させる。このようにし
て、圧電体１３の変位の向きと全く同じ向きに真直な拡
大した変位が生じることになる。
【００１７】図１に示す二点鎖線は、ハーメチックシー
ル２３を示し、蛇腹面の中心に作動子２２を貫設するこ
とによってアクチェータが構成される。
ル２３を示し、蛇腹面の中心に作動子２２を貫設するこ
とによってアクチェータが構成される。
【００１８】図１には、作動子２２が機器の可動部を押
す場合が示されており、図１において、可動薄板２１を
接続台１６から遠ざかる向きに撓ませた（図示せず）場
合、圧電体１３が実線矢印Ｕ向きに接続台１６及び力点
接続片１９を押し上げて挺子杵１７の作用点に生ずる実
線矢印Ｗ向きに拡大された変位によって、作動子２２が
実線矢印Ｕと逆向きに真直ぐにさらに拡大されて変位す
る。これによって、作動子２２は機器の可動部を引くこ
とができる。
す場合が示されており、図１において、可動薄板２１を
接続台１６から遠ざかる向きに撓ませた（図示せず）場
合、圧電体１３が実線矢印Ｕ向きに接続台１６及び力点
接続片１９を押し上げて挺子杵１７の作用点に生ずる実
線矢印Ｗ向きに拡大された変位によって、作動子２２が
実線矢印Ｕと逆向きに真直ぐにさらに拡大されて変位す
る。これによって、作動子２２は機器の可動部を引くこ
とができる。
【００１９】図２に、本発明によるアクチェータの他の
基本構造を示す。
基本構造を示す。
【００２０】図２において、図１に示すアクチェータと
異なる点は、可動薄板２１の中間に剛体２４を作動子２
２に関して対称に設けたことである。図２では破線で変
位が生じる状態が示されており、作動子２２が剛体２４
を支点とする煽りを受けて変位の伝達の効率が向上す
る。
異なる点は、可動薄板２１の中間に剛体２４を作動子２
２に関して対称に設けたことである。図２では破線で変
位が生じる状態が示されており、作動子２２が剛体２４
を支点とする煽りを受けて変位の伝達の効率が向上す
る。
【００２１】ここで、図３に図２に示すアクチェータの
外観図（斜視図）を示す。図３に示すように、このアク
チェータでは、６個の挺子杵１７挺と、２個の二等辺三
角形をその先端で繋いだ形状の可動薄板２１、円板形状
の作動子２２、及び梯形状の剛体２４を備えている。図
示の例では支持円筒１１の外径ｄ1 と挺子杵１７の自由
端の外接円の直径ｄo との比ｄ1 ／ｄo （図４参照）
が、図２と同様にほぼ２．０である。直径比ｄ1 ／ｄo
を変えて変位の最大拡大倍率を変えることができる。
外観図（斜視図）を示す。図３に示すように、このアク
チェータでは、６個の挺子杵１７挺と、２個の二等辺三
角形をその先端で繋いだ形状の可動薄板２１、円板形状
の作動子２２、及び梯形状の剛体２４を備えている。図
示の例では支持円筒１１の外径ｄ1 と挺子杵１７の自由
端の外接円の直径ｄo との比ｄ1 ／ｄo （図４参照）
が、図２と同様にほぼ２．０である。直径比ｄ1 ／ｄo
を変えて変位の最大拡大倍率を変えることができる。
【００２２】図４及び図５はそれぞれ本発明の第２の実
施例及び第３の実施例の概略図であり、図４及び図５に
示すアクチェータでは直径比ｄ1 ／ｄo が、それぞれ
１．５および３．０となっている。
施例及び第３の実施例の概略図であり、図４及び図５に
示すアクチェータでは直径比ｄ1 ／ｄo が、それぞれ
１．５および３．０となっている。
【００２３】次に、６個の挺子杵１７を備えたアクチェ
ータの性能を表１に示す。
ータの性能を表１に示す。
【００２４】
【表１】
【００２５】表１に示すようにいずれの場合おいてもエ
ネルギー伝達効率が６０％以上であることがわかる。
ネルギー伝達効率が６０％以上であることがわかる。
【００２６】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明では、円
柱形駆動素子の軸方向の伸びを同じ向き、または逆向き
の真直ぐな変位に、極めて効率よく拡大でき、軸対称の
構造であるからハーメチックシールを適用でき、したが
って使い易く、粉塵や液体を伴う分野に適用できる。
柱形駆動素子の軸方向の伸びを同じ向き、または逆向き
の真直ぐな変位に、極めて効率よく拡大でき、軸対称の
構造であるからハーメチックシールを適用でき、したが
って使い易く、粉塵や液体を伴う分野に適用できる。
【図１】本発明によるアクチェータの基本構造を示す要
部縦断正面図である。
部縦断正面図である。
【図２】本発明によるアクチェータの他の基本構造と動
作を示す概略図である。
作を示す概略図である。
【図３】図２に示す基本構造による一実施例を示す斜視
図である。
図である。
【図４】本発明の他の実施例を示す概略図である。
【図５】本発明のさらに他の実施例を示す概略図であ
る。
る。
【図６】圧電体を用いたアクチェータの従来例を示す正
面図である。
面図である。
１ 金属取付台 ２ 圧電体 ３，４，８ 金属可動部材 ５，６，９，１０ 結合部材 ７，１６ 金属接続台 １１ 支持円筒 １２ 底板 １３ 円柱形圧電体 １４ ホット端子 １５ 円形絶縁台 １７ 挺子杵 １８ 緩勾配辺 １９ 力点接合片 ２０ 支点接合片 ２１ 可動薄板 ２２ 作動子 ２３ ハーメチックシール ２４ 剛体
Claims (4)
- 【請求項１】 軸方向に伸縮する駆動素子と、該駆動素
子が同軸に挿入配置され前記駆動素子の一端面を支持す
る支持円筒と、拡開方向に延び支点が前記支持円筒の一
端面に結合されるとともに前記支持円筒の軸に関して対
称に配置された複数個の挺子杵と、前記挺子杵の作用点
を橋絡する可動薄板と、該可動薄板に設けられた作動子
とを有し、前記可動薄板は前記駆動素子の他端面に対す
る方向に撓ませられ、前記挺子杵の力点が前記駆動素子
の他端面に結合されていることを特徴とするアクチェー
タ。 - 【請求項２】 請求項１に記載されたアクチェータにお
いて、前記可動薄板には前記作動子に対して対称に剛体
が設けられている特徴するアクチェータ。 - 【請求項３】 請求項１又は２に記載されたアクタェー
タにおいて、前記駆動素子は、圧電体と、該圧電体の両
端面に配置された電極とを備えており、該駆動素子はそ
の一端面が絶縁台を介して前記支持円筒に支持され、前
記支持円筒及び前記挺子杵は導電性材料で構成され、該
支持円筒及び前記挺子杵は前記圧電体の他端面上の電極
に接続されコールド端子として用いられ、前記圧電体の
一端面上電極は前記絶縁台を貫通して引き出されたホッ
ト端子に接続されていることを特徴とするアクチェー
タ。 - 【請求項４】 請求項１乃至３のいずれか一つに記載さ
れたアクチェータにおいて、前記支持円筒の一端面側は
少なくとも前記作動子の一部を露出させた状態でハーメ
チックシールで覆われていることを特徴とするアクチェ
ータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4002038A JP2736717B2 (ja) | 1992-01-09 | 1992-01-09 | アクチェータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4002038A JP2736717B2 (ja) | 1992-01-09 | 1992-01-09 | アクチェータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05189046A true JPH05189046A (ja) | 1993-07-30 |
| JP2736717B2 JP2736717B2 (ja) | 1998-04-02 |
Family
ID=11518158
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4002038A Expired - Lifetime JP2736717B2 (ja) | 1992-01-09 | 1992-01-09 | アクチェータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2736717B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013520157A (ja) * | 2010-02-17 | 2013-05-30 | ヴァイキング エーティー，エルエルシー | 取り囲まれた補償器を持つスマート材料アクチュエータ |
| US10276776B2 (en) | 2013-12-24 | 2019-04-30 | Viking At, Llc | Mechanically amplified smart material actuator utilizing layered web assembly |
Citations (4)
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| JPS63135216U (ja) * | 1987-02-27 | 1988-09-05 | ||
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1992
- 1992-01-09 JP JP4002038A patent/JP2736717B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| EP2537246A4 (en) * | 2010-02-17 | 2015-04-08 | Viking At Llc | INTELLIGENT MATERIAL ACTUATOR WITH SWITCHED COMPENSATOR |
| US10276776B2 (en) | 2013-12-24 | 2019-04-30 | Viking At, Llc | Mechanically amplified smart material actuator utilizing layered web assembly |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2736717B2 (ja) | 1998-04-02 |
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