JPH01102640U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01102640U JPH01102640U JP20123587U JP20123587U JPH01102640U JP H01102640 U JPH01102640 U JP H01102640U JP 20123587 U JP20123587 U JP 20123587U JP 20123587 U JP20123587 U JP 20123587U JP H01102640 U JPH01102640 U JP H01102640U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- clean room
- exhaust chamber
- air conditioner
- ceiling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001143 conditioned effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
第1図は本考案の実施例を模式的に表わした説
明図、第2図はその天井枠材とフアンフイルタユ
ニツトとの関係を示した説明図、第3図及び第4
図はそのフアンフイルタユニツトの詳細を示した
平面図及び側面図、第5図はその清浄室とフアン
フイルタユニツトとの関係を示した斜視図、第6
図はそのフアンフイルタユニツトの電気配線を示
した説明図、第7図及び第8図は従来装置を模式
的に表わした説明図である。 1…清浄室、2…天井枠材、2a…小枠、3…
フアンフイルタユニツト、4a…排気、5a…吹
出口、6…フイルタ、7…フアン、10…空気調
和機、11…ダクト、19…制御用コンピユータ
。
明図、第2図はその天井枠材とフアンフイルタユ
ニツトとの関係を示した説明図、第3図及び第4
図はそのフアンフイルタユニツトの詳細を示した
平面図及び側面図、第5図はその清浄室とフアン
フイルタユニツトとの関係を示した斜視図、第6
図はそのフアンフイルタユニツトの電気配線を示
した説明図、第7図及び第8図は従来装置を模式
的に表わした説明図である。 1…清浄室、2…天井枠材、2a…小枠、3…
フアンフイルタユニツト、4a…排気、5a…吹
出口、6…フイルタ、7…フアン、10…空気調
和機、11…ダクト、19…制御用コンピユータ
。
Claims (1)
- 清浄室の天井上面に吹出チヤンバを、床下面に
排気チヤンバを夫々設け、該吹出チヤンバと排気
チヤンバとを空気調和機を介在させたダクトによ
り連通し、該空気調和機から送気された調和空気
を高性能フイルタを介して清浄空気として該吹出
チヤンバから該排気チヤンバに向つて該清浄室に
吹き出すようにしたものにおいて、該空気調和機
と並列に該吹出チヤンバと排気チヤンバとを連通
するバイパスダクトを設け、該清浄室の天井面を
多数の小枠を有した天井枠材と、該小枠の開口面
積を塞ぐ大きさを有し全ての小枠に夫々着脱自在
に設けられるフアンフイルタユニツトとで形成し
、全てのフアンフイルタユニツトの駆動制御を行
なう制御用コンピユータを設けたことを特徴とす
る清浄室装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20123587U JPH01102640U (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20123587U JPH01102640U (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01102640U true JPH01102640U (ja) | 1989-07-11 |
Family
ID=31491605
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20123587U Pending JPH01102640U (ja) | 1987-12-28 | 1987-12-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01102640U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6176836A (ja) * | 1984-09-19 | 1986-04-19 | Hitachi Ltd | 空気調和室 |
-
1987
- 1987-12-28 JP JP20123587U patent/JPH01102640U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6176836A (ja) * | 1984-09-19 | 1986-04-19 | Hitachi Ltd | 空気調和室 |