JPH01102640U - - Google Patents

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JPH01102640U
JPH01102640U JP20123587U JP20123587U JPH01102640U JP H01102640 U JPH01102640 U JP H01102640U JP 20123587 U JP20123587 U JP 20123587U JP 20123587 U JP20123587 U JP 20123587U JP H01102640 U JPH01102640 U JP H01102640U
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JP
Japan
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chamber
clean room
exhaust chamber
air conditioner
ceiling
Prior art date
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JP20123587U
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Landscapes

  • Ventilation (AREA)
  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の実施例を模式的に表わした説
明図、第2図はその天井枠材とフアンフイルタユ
ニツトとの関係を示した説明図、第3図及び第4
図はそのフアンフイルタユニツトの詳細を示した
平面図及び側面図、第5図はその清浄室とフアン
フイルタユニツトとの関係を示した斜視図、第6
図はそのフアンフイルタユニツトの電気配線を示
した説明図、第7図及び第8図は従来装置を模式
的に表わした説明図である。 1…清浄室、2…天井枠材、2a…小枠、3…
フアンフイルタユニツト、4a…排気、5a…吹
出口、6…フイルタ、7…フアン、10…空気調
和機、11…ダクト、19…制御用コンピユータ
。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 清浄室の天井上面に吹出チヤンバを、床下面に
    排気チヤンバを夫々設け、該吹出チヤンバと排気
    チヤンバとを空気調和機を介在させたダクトによ
    り連通し、該空気調和機から送気された調和空気
    を高性能フイルタを介して清浄空気として該吹出
    チヤンバから該排気チヤンバに向つて該清浄室に
    吹き出すようにしたものにおいて、該空気調和機
    と並列に該吹出チヤンバと排気チヤンバとを連通
    するバイパスダクトを設け、該清浄室の天井面を
    多数の小枠を有した天井枠材と、該小枠の開口面
    積を塞ぐ大きさを有し全ての小枠に夫々着脱自在
    に設けられるフアンフイルタユニツトとで形成し
    、全てのフアンフイルタユニツトの駆動制御を行
    なう制御用コンピユータを設けたことを特徴とす
    る清浄室装置。
JP20123587U 1987-12-28 1987-12-28 Pending JPH01102640U (ja)

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JPH01102640U true JPH01102640U (ja) 1989-07-11

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6176836A (ja) * 1984-09-19 1986-04-19 Hitachi Ltd 空気調和室

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6176836A (ja) * 1984-09-19 1986-04-19 Hitachi Ltd 空気調和室

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