JPH0255036U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第６図は本考案の実施例を示し、
第１図は第１実施例の断面図、第２図はそのレタ
ンチヤンバ内平面図、第３図は第２実施例の側面
図、第４図はそのレタンチヤンバ内平面図、第５
図は第３実施例の側面図、第６図はそのレタンチ
ヤンバ内平面図、第７図及び第８図は従来のクリ
ーンルーム装置を示す断面図である。 １……フイルタ、２……フアン、３……清浄室
、４……プレナムチヤンバ、５……清浄室、６…
…レタンチヤンバ、７……空調空気供給口、８…
…還流空気取り入れ口、９……空調機、１０……
温度センサ部、１１……コントローラ、１２……
循環ダクト。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) フイルタ１の上部にフアン２を一体に設け
   てなるフアンフイルタユニツト３の複数個をプレ
   ナムチヤンバ４と清浄室５との間に配置し、プレ
   ナムチヤンバ４側から前記フイルタ１を介して清
   浄室５へ空気を吹き出し、さらに循環ダクト１３
   を介してレタンチヤンバ６側から吹き出し空気を
   吸引してプレナムチヤンバ４側へ空気を循環させ
   るダウンフロー式クリーンルーム装置において、 レタンチヤンバ６側に空調空気供給口７を設け
   る一方、プレナムチヤンバ４側に前記循環空気の
   一部を取り入れる空気取り入れ口８を設け、空調
   空気供給口７と還流空気取り入れ口８とをダクト
   ９ａで連結して前記空気の循環経路から独立した
   空気経路を形成し、ダクト９ａの途中に空調機９
   を設けたことを特徴とするクリーンルーム装置。 (2) 前記空調空気供給口７が、前記レタンチヤ
   ンバ６内に複数個配設されたノズルであることを
   特徴とする請求項１記載のクリーンルーム装置。 (3) 前記レタンチヤンバ６に空調空気供給口７
   を複数個配列するとともに、各空調空気供給口７
   に至る空気経路に自動開閉弁１０を設け、一方、
   各空調空気供給口７の近傍に夫々温度センサ１１
   を設け、この温度センサ１１の検出温度に基づい
   て前記自動開閉弁１０の開度を制御するためのコ
   ントローラ１２を設けたことを特徴とする請求項
   １記載のクリーンルーム装置。