JPH0110472Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0110472Y2 JPH0110472Y2 JP1984031133U JP3113384U JPH0110472Y2 JP H0110472 Y2 JPH0110472 Y2 JP H0110472Y2 JP 1984031133 U JP1984031133 U JP 1984031133U JP 3113384 U JP3113384 U JP 3113384U JP H0110472 Y2 JPH0110472 Y2 JP H0110472Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blade
- disk
- blades
- rotor
- stator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
- F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
- F04D29/54—Fluid-guiding means, e.g. diffusers
- F04D29/541—Specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/542—Bladed diffusers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
《産業上の利用分野》
本考案は、ターボ分子ポンプの翼形状の改良に
関する。
関する。
《従来技術》
ターボ分子ポンプの基本形状は、ロータハウジ
ングと、このロータハウジングの下部に気密に一
体化されたベースとを備え、その内部中心にはロ
ータケースが位置し、ロータケース上に突出した
ロータ軸の周縁にロータ翼を一体化したロータを
多段に積層配置している。
ングと、このロータハウジングの下部に気密に一
体化されたベースとを備え、その内部中心にはロ
ータケースが位置し、ロータケース上に突出した
ロータ軸の周縁にロータ翼を一体化したロータを
多段に積層配置している。
一方、各ロータ翼間にはステータ翼がスペーサ
リングを介して積層配置される。ステータ翼は半
円板状をなしており、ロータの組立て後に、その
下部から順次ステータ翼をロータ翼の間に嵌め込
み、その周縁にリングを嵌合することで組上げ、
次いでロータハウジングをスペーサリングの外周
に嵌め付けることによつて組立を完了する。
リングを介して積層配置される。ステータ翼は半
円板状をなしており、ロータの組立て後に、その
下部から順次ステータ翼をロータ翼の間に嵌め込
み、その周縁にリングを嵌合することで組上げ、
次いでロータハウジングをスペーサリングの外周
に嵌め付けることによつて組立を完了する。
このうち、ステータ翼は大別して２種のものが
ある。
ある。
そのひとつは第１図ａ，ｂに示すように、リン
グ状半円板体からなるデイスク１ａの中心から外
周に向けて多数の翼１ｂ，１ｂ…を形成したも
の、他のものは第２図ａ，ｂに示すように、半円
形のリング状デイスク１′ａの内側に中心部に向
けて放射状に一体化された多数の翼１′ｂとから
なるものである。
グ状半円板体からなるデイスク１ａの中心から外
周に向けて多数の翼１ｂ，１ｂ…を形成したも
の、他のものは第２図ａ，ｂに示すように、半円
形のリング状デイスク１′ａの内側に中心部に向
けて放射状に一体化された多数の翼１′ｂとから
なるものである。
前者の構造のステータ翼を作る場合には、外周
側から任意仰角となるように放射状のスリツトを
形成し、翼形状に切削加工したもので、各翼１ｂ
の厚みはデイスク１ａの厚みと等しい。
側から任意仰角となるように放射状のスリツトを
形成し、翼形状に切削加工したもので、各翼１ｂ
の厚みはデイスク１ａの厚みと等しい。
また、後者の場合には半円形のリングの内側に
放射状に多数のスリツトを入れ、その片持ち支持
の付け根の部分を所要の仰角に捩じることで、翼
に形成するものである。
放射状に多数のスリツトを入れ、その片持ち支持
の付け根の部分を所要の仰角に捩じることで、翼
に形成するものである。
しかし、このようなステータ翼には以下に述べ
るような一長一短がある。
るような一長一短がある。
まず前者の場合には、機械加工が難しく単価が
極めて高い。
極めて高い。
また後者の場合は、薄板をプレス加工により打
抜き、次いで曲げ加工することでできるためにス
テータ翼自体は安価に量産できる反面、各翼１
a′の前縁と後縁がデイスク１′ａの上下面に突出
するために、例えば第３図に示すようにロータ翼
６間にスペーサリング８を介してステータ翼を積
み上げる場合に、ロータ翼間の距離Ｅとし、翼
１′ｂの厚みをＣとし、スペーサリング８と上段
側のロータ翼６との間の間隙をＤに設定すると、
Ｄ≧Ｃの関係でなければ、翼１′ｂをロータ翼６
間に挿入することができず、従つてロータ翼６と
翼１′ｂとの間隙；（Ｅ−Ｃ）／２の値を充分に大きく 取る必要がある。
抜き、次いで曲げ加工することでできるためにス
テータ翼自体は安価に量産できる反面、各翼１
a′の前縁と後縁がデイスク１′ａの上下面に突出
するために、例えば第３図に示すようにロータ翼
６間にスペーサリング８を介してステータ翼を積
み上げる場合に、ロータ翼間の距離Ｅとし、翼
１′ｂの厚みをＣとし、スペーサリング８と上段
側のロータ翼６との間の間隙をＤに設定すると、
Ｄ≧Ｃの関係でなければ、翼１′ｂをロータ翼６
間に挿入することができず、従つてロータ翼６と
翼１′ｂとの間隙；（Ｅ−Ｃ）／２の値を充分に大きく 取る必要がある。
したがつて、この構造では、ロータ翼６の上下
間隔が長くなり、全体的に大型化するか、あるい
はその逆に翼段数を減らす必要があり、価格の点
および性能の面で好ましいとは言えない。
間隔が長くなり、全体的に大型化するか、あるい
はその逆に翼段数を減らす必要があり、価格の点
および性能の面で好ましいとは言えない。
《考案の目的》
この考案はプレス成形によつて構成される翼特
有の欠点であるロータ翼とステータ翼との間の間
隙を従来よりより小さくし、これによつて小形
で、高性能、しかも安価に量産性に富むターボ分
子ポンプを得ることを目的とする。
有の欠点であるロータ翼とステータ翼との間の間
隙を従来よりより小さくし、これによつて小形
で、高性能、しかも安価に量産性に富むターボ分
子ポンプを得ることを目的とする。
《考案の構成》
前記目的を達成するために、本考案は、翼の基
部がデイスクの板面上に突出した状態で一定仰角
に捩じられ、かつ翼の後縁がデイスクの下面より
上方に位置していることを特徴とする。翼形状を
提供するものである。
部がデイスクの板面上に突出した状態で一定仰角
に捩じられ、かつ翼の後縁がデイスクの下面より
上方に位置していることを特徴とする。翼形状を
提供するものである。
《実施例》
第４図はこの考案に係るステータ翼を示し、第
５図ａ，ｂはその製造工程を示し、第６図はその
ステータ翼をロータ翼間に組込んだ状態を示す。
５図ａ，ｂはその製造工程を示し、第６図はその
ステータ翼をロータ翼間に組込んだ状態を示す。
なお、各図において従来と同一箇所には同一符
号を付して説明を行なう。
号を付して説明を行なう。
このステータ翼１０は、半円形リング状デイス
ク１１と、このデイスク１１の内周部にその中心
側に向けて放射状に一体化された多数の翼１２，
１２…とからなつている。
ク１１と、このデイスク１１の内周部にその中心
側に向けて放射状に一体化された多数の翼１２，
１２…とからなつている。
翼１２の基部１２ａはデイスク１１の板面上に
突出した状態で一定仰角に捩じられ、これによつ
て、翼１２の後縁はデイスク１１の下面に突出す
ることなく、デイスク１１の板面において平行か
つ中心側に向けて一体化されている。
突出した状態で一定仰角に捩じられ、これによつ
て、翼１２の後縁はデイスク１１の下面に突出す
ることなく、デイスク１１の板面において平行か
つ中心側に向けて一体化されている。
このステータ翼１０の成形方法としては、アル
ミニウムなどの薄板を第５図ａに示すように半円
形のリング状に打抜き、次いでｂに示すように中
心方向に向けて多数のスリツトを打抜き形成し、
次いで各翼１２の基部１２ａがデイスク１１の板
面より上方に位置するようにプレス加工すること
でステータ翼１０を完成する。
ミニウムなどの薄板を第５図ａに示すように半円
形のリング状に打抜き、次いでｂに示すように中
心方向に向けて多数のスリツトを打抜き形成し、
次いで各翼１２の基部１２ａがデイスク１１の板
面より上方に位置するようにプレス加工すること
でステータ翼１０を完成する。
このように構成されたステータ翼１０をロータ
翼６間に積み上げた場合には、翼１２は第６図に
示すように真横からロータ翼６間に挿通すること
ができるために、（Ｅ−Ｃ）／２で示されるロータ翼 ６とステータ翼１０の間隙を極めて小さくするこ
とができることになる。
翼６間に積み上げた場合には、翼１２は第６図に
示すように真横からロータ翼６間に挿通すること
ができるために、（Ｅ−Ｃ）／２で示されるロータ翼 ６とステータ翼１０の間隙を極めて小さくするこ
とができることになる。
《考案の効果》
この考案に係る翼形状は以上のように構成され
ているので、プレス打抜きによつて形成されるス
テータ翼とロータ翼間の隙間を小さく設定できる
ため、従来の同一容量のターボ分子ポンプの性能
を大幅に向上でき、またその性能向上分を小形化
にふりむけることができる。
ているので、プレス打抜きによつて形成されるス
テータ翼とロータ翼間の隙間を小さく設定できる
ため、従来の同一容量のターボ分子ポンプの性能
を大幅に向上でき、またその性能向上分を小形化
にふりむけることができる。
第１図ａ，ｂは従来の切削加工によるステータ
翼の説明図、第２図ａ，ｂは従来のプレス成形に
よるステータ翼の説明図、第３図は同ステータ翼
をロータ翼間に組込んだ状態を示す説明図、第４
図はこの考案に係るステータ翼の斜視図、第５図
ａ，ｂは同ステータ翼の製造工程を示す説明図、
第６図は同ステータ翼をロータ翼間に組込んだ状
態を示す部分拡大図である。 １０……ステータ翼、１１……デイスク、１２
……翼、１２ａ……基部。
翼の説明図、第２図ａ，ｂは従来のプレス成形に
よるステータ翼の説明図、第３図は同ステータ翼
をロータ翼間に組込んだ状態を示す説明図、第４
図はこの考案に係るステータ翼の斜視図、第５図
ａ，ｂは同ステータ翼の製造工程を示す説明図、
第６図は同ステータ翼をロータ翼間に組込んだ状
態を示す部分拡大図である。 １０……ステータ翼、１１……デイスク、１２
……翼、１２ａ……基部。
Claims (1)
- リング状デイスクの中心部に対し、放射状に一
体化された多数の板体の基部を、所要角度に捩じ
ることで、一定の仰角で、かつデイスクの板面に
平行な多数の翼を一体に形成したものにおいて、
翼の基部がデイスクの板面上に突出した状態で一
定仰角に捩じられ、かつ翼の後縁がデイスクの下
面より上方に位置していることを特徴とするター
ボ分子ポンプの翼形状。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3113384U JPS60143192U (ja) | 1984-03-02 | 1984-03-02 | タ−ボ分子ポンプの翼形状 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3113384U JPS60143192U (ja) | 1984-03-02 | 1984-03-02 | タ−ボ分子ポンプの翼形状 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60143192U JPS60143192U (ja) | 1985-09-21 |
| JPH0110472Y2 true JPH0110472Y2 (ja) | 1989-03-24 |
Family
ID=30531460
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3113384U Granted JPS60143192U (ja) | 1984-03-02 | 1984-03-02 | タ−ボ分子ポンプの翼形状 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60143192U (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5743384U (ja) * | 1980-08-26 | 1982-03-09 | ||
| JPS5898696A (ja) * | 1981-12-09 | 1983-06-11 | Hitachi Ltd | 分子ポンプのステ−タ |
-
1984
- 1984-03-02 JP JP3113384U patent/JPS60143192U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60143192U (ja) | 1985-09-21 |
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