JPS5990796A - タ−ボ分子ポンプ - Google Patents

タ−ボ分子ポンプ

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JPS5990796A
JPS5990796A JP57199599A JP19959982A JPS5990796A JP S5990796 A JPS5990796 A JP S5990796A JP 57199599 A JP57199599 A JP 57199599A JP 19959982 A JP19959982 A JP 19959982A JP S5990796 A JPS5990796 A JP S5990796A
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JP
Japan
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stator
molecular pump
spacer
turbo
turbo molecular
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Application number
JP57199599A
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English (en)
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JPH0119080B2 (ja
Inventor
Kiyoshi Narita
潔 成田
Juichi Kawaguchi
川口　重一
Jiro Okamura
岡村　治郎
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Shimadzu Corp
Shimazu Seisakusho KK
Original Assignee
Shimadzu Corp
Shimazu Seisakusho KK
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Publication date
Application filed by Shimadzu Corp, Shimazu Seisakusho KK filed Critical Shimadzu Corp
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Publication of JPS5990796A publication Critical patent/JPS5990796A/ja
Publication of JPH0119080B2 publication Critical patent/JPH0119080B2/ja
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/08—Sealings
    • F04D29/083—Sealings especially adapted for elastic fluid pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/40—Casings; Connections of working fluid
    • F04D29/52—Casings; Connections of working fluid for axial pumps
    • F04D29/54—Fluid-guiding means, e.g. diffusers
    • F04D29/541—Specially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/542—Bladed diffusers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
    • F05D2230/00—Manufacture
    • F05D2230/50—Building or constructing in particular ways
    • F05D2230/54—Building or constructing in particular ways by sheet metal manufacturing

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 不発１ｉｌｌＩまターボ分子ポンプの改良に関し、特に
静間を有する固定子の（・Ｎ造に関する。
従来、ターボ分子ポンプの静翼は、アルミニウム製薄板
円環の内周から半径方向クト方へ切ｆｆ／ｉスリットの
多数を等間隔に設け、２つのスリット間に残された部分
を捩り曲げて製作されていた。そのため、加工応力によ
り固定子全体がよじれて髪形する詐りでなく、加工が雌
かしい。スリット巾を広くすると気体が要易に逆流し、
そのため、ポンプ自体の到達しうる真空圧力が悪くなり
圧縮性能が低下し、品質の安定性を欠く原因となってい
た。
しかも、この欠点は特に小型ポンプにおいて顕著であっ
た。
水弁り１は上記欠点を除き、製作が容易で、変形の少な
い固定子を用いることにより気体分子の逆流を防ぎもっ
て安定性と圧縮性能の高いターボ分子ポンプ）提供する
ことを目的とする。
以下本発明を図面に示す一実施例にもとづき説明する。
第１図ないし第８図において、ターボ分子ポンプは円周
方向に多数の動翼１１をもつ回転子１の複数段が同心に
配列され、各段の中間に円周方向へ多数の静翼２２をも
つ固定子２がスペーサ４を介して配置されている。前記
固定子２は、８ＵＳ（不銹鋼）の薄板用ｔｉ、ｌ　２０
の同一１１１周上の等間隔位ｔｆＫ１字状のスリット２
１が設けられる。そして、隣接スリツ１−２１間に位１
４する各部分が０ｉ］記回転子ｌの！１ｔＩＩ夾１１の
傾斜角度に沿う一定傾斜角度を形成する如く捩られ、静
ν４２２とされる。従って、静間２２は隣接する１字状
スリツ］・２１の１１辺２ｉａ、下辺２１ｂに挾まれる
部分がくびれ部２３となる。また、ｔｆｉＪ　ｇ己１頁
辺２１ａのスリット＋１１ｈｔ　ｔによって生ずるギャ
ップを覆うため、スペーサ４の内周面から半径方向内方
に突出する円周突条４１が設けられるこれてより、ＮＵ
　ｉスリン１幅ｔにもとづくギャップをｊｌｌｊ　Ｉ、
て逆流する気体分子の爪カー大幅に減少した。実験によ
ると本発明ポンプの水素圧縮性能ｔよ約４倍に増強でき
た。
スペーサ４はリング状の短筒４０を合しやく９状に排気
側より１１１１記固定子２０円環部２（）を挾む姿勢で
順次重ね合せられる。
なお、１ＩｉＩ記突条４１に代替して、スリット部２１
ａを覆うように第３図示の如くスペーサ４の内縁角部分
に１「１１取り而４２を設けてもよく、また、第４図示
の如く、スペーサ４に挾持された円環邪魔板５を設けて
もよい。更に、０１１紀突条４１９面取９向４２および
邪魔板５は０煽２２の排気側または吸排気両１ｌｌｌｌ
に設けられてもよい。
本づこ！ＩＩＨ：ま以−ヒのように１涛成されるので、
固定イおよび静関の製作が（′値めて容易で夏形も少な
く、この固定子を装着されたターボ分子ポンプは気体分
子の逆流が防止芒れ、これにより品質の安定性と圧沼１
１性能が一段と高められることとなり、特に小！、１Ｍ
ポンプにおいでその効果が大きい。
４．１顯而の簡単な睨り４ 第１図り２［本発明のターボ分子ボンデの固定子の一実
６１１−ｉ例における製造過程を示す要部平面図、第２
１♀１ｔ：１本発明のポンプの要部拡大断面図、第３図
第４図は夫々、他の実鴇例を示す要部縦断面図である。
ｌ・回転子、２・・・固定子、２１・・スリット、２２
・・・０夾、２３・・・くびれ部、４・・・スペーサ、
４１・・・円周焚条、４２・・・而取りｌ四、５・・・
邪１魔板代理人　弁理士犬飼新平

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 円周方向に多数の動部を持つ回転子の複数段が同心に配
    列され、各段の中間に円周方向へ多数の静岡ヲもつ固定
    子がスペーサを介して配置されてなるターボ分子ポンプ
    において、前記固定子は薄板円環の同一円周上の等間隔
    位置に１字状スリットが設けられ、該スリットに挾まれ
    た部分が板曲されて静翼が形成され、前記スリットの固
    定子半径方向外囲の部分を覆うようにスペーサまたはス
    ペーサとともに円ｉＪ４邪魔板が配置されたことを特徴
    とするターボ分子ポンプ。
JP57199599A 1982-11-12 1982-11-12 タ−ボ分子ポンプ Granted JPS5990796A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57199599A JPS5990796A (ja) 1982-11-12 1982-11-12 タ−ボ分子ポンプ

Applications Claiming Priority (1)

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JP57199599A JPS5990796A (ja) 1982-11-12 1982-11-12 タ−ボ分子ポンプ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5990796A true JPS5990796A (ja) 1984-05-25
JPH0119080B2 JPH0119080B2 (ja) 1989-04-10

Family

ID=16410530

Family Applications (1)

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JP57199599A Granted JPS5990796A (ja) 1982-11-12 1982-11-12 タ−ボ分子ポンプ

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JPH0119080B2 (ja) 1989-04-10

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