JPH0444496U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0444496U JPH0444496U JP8624490U JP8624490U JPH0444496U JP H0444496 U JPH0444496 U JP H0444496U JP 8624490 U JP8624490 U JP 8624490U JP 8624490 U JP8624490 U JP 8624490U JP H0444496 U JPH0444496 U JP H0444496U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blade
- vacuum pump
- gas molecules
- rotary blade
- fixed blade
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第１図および第２図は本考案による真空ポンプ
の第１実施例を示す図であり、第１図はロータ翼
とステータ翼の断面図、第２図はステータ翼の平
面図、第３図ないし第７図はそれぞれ本考案の第
２ないし第６実施例を示すロータ翼とステータ翼
の断面図、第８図ないし第１０図は従来の真空ポ
ンプを示す図であり、第８図はその全体断面図、
第９図はロータ翼とステータ翼の断面図、第１０
図はステータ翼の平面図である。 ５……ロータ翼（回転翼）、６……ステータ翼
（固定翼）、５ａ，５ｂ，５ｃ……渦巻溝、６ａ
，６ｃ，６ｄ……渦巻溝。
の第１実施例を示す図であり、第１図はロータ翼
とステータ翼の断面図、第２図はステータ翼の平
面図、第３図ないし第７図はそれぞれ本考案の第
２ないし第６実施例を示すロータ翼とステータ翼
の断面図、第８図ないし第１０図は従来の真空ポ
ンプを示す図であり、第８図はその全体断面図、
第９図はロータ翼とステータ翼の断面図、第１０
図はステータ翼の平面図である。 ５……ロータ翼（回転翼）、６……ステータ翼
（固定翼）、５ａ，５ｂ，５ｃ……渦巻溝、６ａ
，６ｃ，６ｄ……渦巻溝。
Claims (1)
- 回転翼と固定翼との相対回転により気体分子を
加速して目的空間を真空にする真空ポンプにおい
て、前記回転翼と固定翼との互に対向するいずれ
か一方の、あるいは両方の面に、前記回転翼の回
転により半径外方への気体分子の流れを作るよう
な渦巻溝を形成することを特徴とする真空ポンプ
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8624490U JPH0444496U (ja) | 1990-08-16 | 1990-08-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8624490U JPH0444496U (ja) | 1990-08-16 | 1990-08-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0444496U true JPH0444496U (ja) | 1992-04-15 |
Family
ID=31817815
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8624490U Pending JPH0444496U (ja) | 1990-08-16 | 1990-08-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0444496U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006509951A (ja) * | 2002-12-17 | 2006-03-23 | ザ ビーオーシー グループ ピーエルシー | 真空ポンプ排出装置 |
| EP2863063A3 (de) * | 2013-10-15 | 2015-08-26 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
| JP2016142156A (ja) * | 2015-01-30 | 2016-08-08 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
-
1990
- 1990-08-16 JP JP8624490U patent/JPH0444496U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006509951A (ja) * | 2002-12-17 | 2006-03-23 | ザ ビーオーシー グループ ピーエルシー | 真空ポンプ排出装置 |
| EP2863063A3 (de) * | 2013-10-15 | 2015-08-26 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
| JP2016142156A (ja) * | 2015-01-30 | 2016-08-08 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |