JPH01104773A - 被覆切削工具 - Google Patents
被覆切削工具Info
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- JPH01104773A JPH01104773A JP25869087A JP25869087A JPH01104773A JP H01104773 A JPH01104773 A JP H01104773A JP 25869087 A JP25869087 A JP 25869087A JP 25869087 A JP25869087 A JP 25869087A JP H01104773 A JPH01104773 A JP H01104773A
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Landscapes
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、耐摩耗性・耐欠損性に優れた被覆切削工具に
関するものであり、主として耐欠損性が必要とされるフ
ライス切削に適する被覆切削工具に関するものである。
関するものであり、主として耐欠損性が必要とされるフ
ライス切削に適する被覆切削工具に関するものである。
[従来の技術]
従来、たとえば、フライス用被覆切削工具として、CV
D (化学蒸着)被覆工具やPVD (物理蒸着)被覆
工具などが用いられている。しかし、両者とも、十分な
性能を発揮するに至っていないのが現状である。これは
、主として次の理由によるとされている。すなわち、前
者では被覆直下に脆弱な脱炭相(η相)が生成され、後
者では被覆と基材との密着強度不足のため被覆が剥離し
やすいのである。
D (化学蒸着)被覆工具やPVD (物理蒸着)被覆
工具などが用いられている。しかし、両者とも、十分な
性能を発揮するに至っていないのが現状である。これは
、主として次の理由によるとされている。すなわち、前
者では被覆直下に脆弱な脱炭相(η相)が生成され、後
者では被覆と基材との密着強度不足のため被覆が剥離し
やすいのである。
上記問題を解決するため、最近、高温で行なう従来のH
T−CVD法に比べて被覆温度を低下させたMT−CV
D法が用いられるようになった。
T−CVD法に比べて被覆温度を低下させたMT−CV
D法が用いられるようになった。
これにより、脆弱な脱炭相が存在せず強固な密着強度を
有する被覆切削工具が得られるようになった。
有する被覆切削工具が得られるようになった。
[発明が解決しようとする問題点]
しかしながら、MT−CVD法によって作製された被覆
切削工具であっても、フライス切削において相変わらず
工具刃先の欠損が目立ち、HT−CVD法と比較した場
合に耐欠損性はほとんど向上していない。
切削工具であっても、フライス切削において相変わらず
工具刃先の欠損が目立ち、HT−CVD法と比較した場
合に耐欠損性はほとんど向上していない。
発明者等は、この原因が、皮膜中に残存する塩素(CO
−”)量に起因すると推察した。すなわち、被覆温度と
残留塩素量とは密接に関連しており、被覆温度の低下と
ともに残留塩素量は著しく増大する。このため被覆強度
が著しく低下し、断続切削時において被覆にクラックが
発生しやすくなる。
−”)量に起因すると推察した。すなわち、被覆温度と
残留塩素量とは密接に関連しており、被覆温度の低下と
ともに残留塩素量は著しく増大する。このため被覆強度
が著しく低下し、断続切削時において被覆にクラックが
発生しやすくなる。
これが基材に伝播して欠損に至ることになり、上記MT
−CVD法の利点を相殺するのではないかという結論を
、発明者等は得たのである。
−CVD法の利点を相殺するのではないかという結論を
、発明者等は得たのである。
そこで、本発明は、残留塩素量の少ない被覆層を得て、
強靭で優れた耐欠損性を有する被覆切削工具を提供する
ことを目的とする。
強靭で優れた耐欠損性を有する被覆切削工具を提供する
ことを目的とする。
[問題点を解決するための手段]
本発明に係る被覆切削工具は、超硬合金またはサーメッ
トからなる基体に、IVa族金属の炭化物、窒化物およ
び炭窒化物の一群から選ばれた少なくとも1種の被覆層
を被覆した被覆切削工具である。
トからなる基体に、IVa族金属の炭化物、窒化物およ
び炭窒化物の一群から選ばれた少なくとも1種の被覆層
を被覆した被覆切削工具である。
さらに、本発明に係る被覆切削工具は、前記被覆層が、
■a族金属の金属源としてのIVa族金属塩化物と、炭
素、窒素源としてのCH,およびN2または何機窒素化
合物とを、N2をキャリアガスとし化学蒸着法で700
〜900℃で反応させて、基体表面に未処理被覆層を形
成し、さらに500〜b 熱処理を10分〜10時間行なうことによって得られた
、塩素含有量の少ない被覆層であることを特徴としてい
る。
■a族金属の金属源としてのIVa族金属塩化物と、炭
素、窒素源としてのCH,およびN2または何機窒素化
合物とを、N2をキャリアガスとし化学蒸着法で700
〜900℃で反応させて、基体表面に未処理被覆層を形
成し、さらに500〜b 熱処理を10分〜10時間行なうことによって得られた
、塩素含有量の少ない被覆層であることを特徴としてい
る。
なお、好ましくは、炭素、窒素源としてアセトニトリル
(CH3CN)を用いる。
(CH3CN)を用いる。
[作用]
本発明に係る被覆切削工具では、被覆層は700〜90
0℃という比較的低い温度で化学蒸着法によって形成さ
れるので、被覆層の下には脆弱な脱炭相が存在せず、し
かも被覆層は強固に基材に密着している。
0℃という比較的低い温度で化学蒸着法によって形成さ
れるので、被覆層の下には脆弱な脱炭相が存在せず、し
かも被覆層は強固に基材に密着している。
また、上述の条件で真空熱処理を被覆層に施すことによ
って、被覆層の塩素含有量は従来に比べて少なくなって
いる。このため、被覆層中に含有される残留塩素に起因
する被覆層の強度低下が、低減あるいは防止できる。そ
の結果、断続切削時に被覆層に生じるクラックの数が減
少して、被覆切削工具の耐欠損性が向上する。
って、被覆層の塩素含有量は従来に比べて少なくなって
いる。このため、被覆層中に含有される残留塩素に起因
する被覆層の強度低下が、低減あるいは防止できる。そ
の結果、断続切削時に被覆層に生じるクラックの数が減
少して、被覆切削工具の耐欠損性が向上する。
さらに、本発明に係る被覆切削工具の耐欠損性の向上は
、次のような作用によってももたらされると発明者等は
考えている。すなわち、真空熱処理において被覆層中よ
り塩素が外部に除去されるときに、−被覆層中に微小な
ピ′ンホールが生じる。
、次のような作用によってももたらされると発明者等は
考えている。すなわち、真空熱処理において被覆層中よ
り塩素が外部に除去されるときに、−被覆層中に微小な
ピ′ンホールが生じる。
これにより、熱処理後に室温まで冷却する際に被覆層中
に生じる引張り応力が緩和される。故に、被覆層中のク
ラ゛・シフ数が減少して、工具の耐欠損性がさらに向上
するものと考えられる。
に生じる引張り応力が緩和される。故に、被覆層中のク
ラ゛・シフ数が減少して、工具の耐欠損性がさらに向上
するものと考えられる。
[実施例]
実施例1
超硬合金製の基体に、TiCQ、4.N2.CH、CN
を原料とし、850℃でTi (CN)を3μm被覆し
て被覆切削工具を得た。次に、850℃、0.1tor
r、2時間の条件で真空熱処理を施した。
を原料とし、850℃でTi (CN)を3μm被覆し
て被覆切削工具を得た。次に、850℃、0.1tor
r、2時間の条件で真空熱処理を施した。
得られた試料および真空熱処理を行なわなかった同膜厚
の試料について、E、 P、 M、 A、 (X線
マイクロアナライザー)により、被覆層中のC髪濃度を
測定した。その結果、真空熱処理した試料のC銃濃度は
非熱処理試料の約1/2に減少していた。
の試料について、E、 P、 M、 A、 (X線
マイクロアナライザー)により、被覆層中のC髪濃度を
測定した。その結果、真空熱処理した試料のC銃濃度は
非熱処理試料の約1/2に減少していた。
なお、熱処理温度が500℃以下では被覆層中の塩素含
有量を減少させるに十分な効果がなく、900℃以上で
は皮膜粒子の粒成長が生じて工具の切削性能に悪影響を
与えた。また、熱処理時の気圧が50torr以上とな
れば、被覆層中の塩素含有量を減少させるに十分な効果
が生じなかった。真空度は、現実の真空装置の性能によ
って左右されるのではあるが、高い方がより望ましい。
有量を減少させるに十分な効果がなく、900℃以上で
は皮膜粒子の粒成長が生じて工具の切削性能に悪影響を
与えた。また、熱処理時の気圧が50torr以上とな
れば、被覆層中の塩素含有量を減少させるに十分な効果
が生じなかった。真空度は、現実の真空装置の性能によ
って左右されるのではあるが、高い方がより望ましい。
真空熱処理時間は、10分間以下では十分な効果が認め
られず、10時間以上では効果が飽和した。
られず、10時間以上では効果が飽和した。
上記真空熱処理によって被覆層中の残留塩素量が減少す
る現象は、被覆時に被覆層中に大量の塩素が含有されて
しまうMT−CVD法において特に顕著である。但し、
従来のHT−CVD法においても、比較的低温域で処理
した試料については十分効果があった。したがって、特
に効果が顕著な被覆温度は、900℃以下である。また
、被覆温度が700℃以下では、切削工具として実用に
耐える被覆層の接着強度が得られなかった。
る現象は、被覆時に被覆層中に大量の塩素が含有されて
しまうMT−CVD法において特に顕著である。但し、
従来のHT−CVD法においても、比較的低温域で処理
した試料については十分効果があった。したがって、特
に効果が顕著な被覆温度は、900℃以下である。また
、被覆温度が700℃以下では、切削工具として実用に
耐える被覆層の接着強度が得られなかった。
実施例2
出発原料としてTiC止、、H2,CH3CNを用い、
超硬合金(材質A30N;型番SPMN422)上にT
i(CN)を850℃で2μm被覆した試料と、同条件
で被覆後、第1表に示すような温度および圧力で2時間
真空熱処理した試料とを、次の条件で断続切削したとこ
ろ、第1表に示す結果が得られた。
超硬合金(材質A30N;型番SPMN422)上にT
i(CN)を850℃で2μm被覆した試料と、同条件
で被覆後、第1表に示すような温度および圧力で2時間
真空熱処理した試料とを、次の条件で断続切削したとこ
ろ、第1表に示す結果が得られた。
カッタ:DPG4160R
速度:220m/min
送り:0.14mm/刃
切削油:なし
被削材:50M435
(以下余白)
第1表から明らかなように、本発明に係る切削工具では
、欠損に至るまでの切削時間および逃げ面摩耗幅に関し
、従来の被覆切削工具よりも優れた性能を発揮すること
がわかる。
、欠損に至るまでの切削時間および逃げ面摩耗幅に関し
、従来の被覆切削工具よりも優れた性能を発揮すること
がわかる。
実施例3
出発原料としてTiC麩、、HfC之、、H2゜CHs
CN、CHs (NH) 2 CHsを用い、サー
メット(型番5NG432)上にTi(CN)。
CN、CHs (NH) 2 CHsを用い、サー
メット(型番5NG432)上にTi(CN)。
Hf (CN)を750℃で2pm被覆した試料と、同
条件で被覆した後、第2表に示す温度および圧力の条件
で4時間真空熱処理を施した試料とを、次の条件で断続
切削し、耐欠損性を明らかにするための4溝靭性テスト
を行なった。その結果を第2表に示す。
条件で被覆した後、第2表に示す温度および圧力の条件
で4時間真空熱処理を施した試料とを、次の条件で断続
切削し、耐欠損性を明らかにするための4溝靭性テスト
を行なった。その結果を第2表に示す。
速度:150m/min
送り:0.18〜0.25mm/刃
被削材:50M435
切削時間:30sec
繰返し数二8回
切削油:なし
この第2表から明らかなように、比較品に比べて本発明
に係る被覆切削工具は、優れた耐欠損特性を有している
ことがわかる。
に係る被覆切削工具は、優れた耐欠損特性を有している
ことがわかる。
[発明の効果]
以上説明したように、本発明によれば、被覆層中の残留
塩素量を減少させることにより、比較的低温で化学蒸着
法を採用した場合の利点である被覆切削工具の耐欠損性
および耐摩耗性を最大限に発揮することができ、強靭で
優れた耐欠損性を有する被覆切削工具が得られる。
塩素量を減少させることにより、比較的低温で化学蒸着
法を採用した場合の利点である被覆切削工具の耐欠損性
および耐摩耗性を最大限に発揮することができ、強靭で
優れた耐欠損性を有する被覆切削工具が得られる。
Claims (2)
- (1)超硬合金またはサーメットからなる基体に、IVa
族金属の炭化物、窒化物および炭窒化物の一群から選ば
れた少なくとも1種の被覆層を被覆した被覆切削工具に
おいて、 前記被覆層は、 前記IVa族金属の金属源としてのIVa族金属塩化物と、
炭素、窒素源としてのCH_4、N_2または有機窒素
化合物とを、H_2をキャリアガスとし化学蒸着法で7
00〜900℃で反応させて、前記基体表面に未処理被
覆層を形成し、 さらに500〜900℃、50torr以下の条件で、
真空熱処理を10分〜10時間行なうことによって得ら
れた、 塩素含有量の少ない被覆層であることを特徴とする被覆
切削工具。 - (2)特許請求の範囲第1項において、炭素、窒素源と
してアセトニトリル(CH_3CN)を用いた被覆切削
工具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25869087A JP2590139B2 (ja) | 1987-10-14 | 1987-10-14 | 被覆切削工具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25869087A JP2590139B2 (ja) | 1987-10-14 | 1987-10-14 | 被覆切削工具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01104773A true JPH01104773A (ja) | 1989-04-21 |
| JP2590139B2 JP2590139B2 (ja) | 1997-03-12 |
Family
ID=17323742
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25869087A Expired - Lifetime JP2590139B2 (ja) | 1987-10-14 | 1987-10-14 | 被覆切削工具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2590139B2 (ja) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0386403A (ja) * | 1989-08-29 | 1991-04-11 | Hitachi Tool Eng Ltd | 表面被覆スローアウェイチップ |
| JPH0418658U (ja) * | 1990-06-06 | 1992-02-17 | ||
| WO1992005296A1 (en) * | 1990-09-17 | 1992-04-02 | Kennametal Inc. | Cvd and pvd coated cutting tools |
| US5223337A (en) * | 1988-12-10 | 1993-06-29 | Fried. Krupp Gmbh | Tool produced by a plasma-activated CVD process |
| US5232318A (en) * | 1990-09-17 | 1993-08-03 | Kennametal Inc. | Coated cutting tools |
| US5250367A (en) * | 1990-09-17 | 1993-10-05 | Kennametal Inc. | Binder enriched CVD and PVD coated cutting tool |
| US5266388A (en) * | 1990-09-17 | 1993-11-30 | Kennametal Inc. | Binder enriched coated cutting tool |
| US5325747A (en) * | 1990-09-17 | 1994-07-05 | Kennametal Inc. | Method of machining using coated cutting tools |
| US5589223A (en) * | 1990-01-31 | 1996-12-31 | Mitsubishi Material Corp. | Process for producing cermet cutting tools having both longitudinal and granular crystal structures |
| WO1998015671A1 (de) * | 1996-10-09 | 1998-04-16 | Widia Gmbh | Verbundkörper, verfahren zu seiner herstellung und verwendung des verbundkörpers |
| JP2004197154A (ja) * | 2002-12-18 | 2004-07-15 | Jfe Steel Kk | 一方向性珪素鋼板およびその製造方法ならびにセラミック被膜の被覆装置 |
| JP2012187659A (ja) * | 2011-03-10 | 2012-10-04 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐欠損性を備える表面被覆切削工具 |
| JP2016153518A (ja) * | 2015-02-20 | 2016-08-25 | 東京エレクトロン株式会社 | カーボン膜の成膜方法および成膜装置 |
| EP3620552A1 (en) | 2018-09-04 | 2020-03-11 | Tungaloy Corporation | Coated cutting tool |
-
1987
- 1987-10-14 JP JP25869087A patent/JP2590139B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5223337A (en) * | 1988-12-10 | 1993-06-29 | Fried. Krupp Gmbh | Tool produced by a plasma-activated CVD process |
| JPH0386403A (ja) * | 1989-08-29 | 1991-04-11 | Hitachi Tool Eng Ltd | 表面被覆スローアウェイチップ |
| US5589223A (en) * | 1990-01-31 | 1996-12-31 | Mitsubishi Material Corp. | Process for producing cermet cutting tools having both longitudinal and granular crystal structures |
| JPH0418658U (ja) * | 1990-06-06 | 1992-02-17 | ||
| US5364209A (en) * | 1990-09-17 | 1994-11-15 | Kennametal Inc. | CVD and PVD coated cutting tools |
| US5250367A (en) * | 1990-09-17 | 1993-10-05 | Kennametal Inc. | Binder enriched CVD and PVD coated cutting tool |
| US5266388A (en) * | 1990-09-17 | 1993-11-30 | Kennametal Inc. | Binder enriched coated cutting tool |
| US5325747A (en) * | 1990-09-17 | 1994-07-05 | Kennametal Inc. | Method of machining using coated cutting tools |
| US5232318A (en) * | 1990-09-17 | 1993-08-03 | Kennametal Inc. | Coated cutting tools |
| US5395680A (en) * | 1990-09-17 | 1995-03-07 | Kennametal Inc. | Coated cutting tools |
| WO1992005296A1 (en) * | 1990-09-17 | 1992-04-02 | Kennametal Inc. | Cvd and pvd coated cutting tools |
| WO1998015671A1 (de) * | 1996-10-09 | 1998-04-16 | Widia Gmbh | Verbundkörper, verfahren zu seiner herstellung und verwendung des verbundkörpers |
| US6224968B1 (en) | 1996-10-09 | 2001-05-01 | Widia Gmbh | Composite body, production process and use |
| JP2004197154A (ja) * | 2002-12-18 | 2004-07-15 | Jfe Steel Kk | 一方向性珪素鋼板およびその製造方法ならびにセラミック被膜の被覆装置 |
| JP2012187659A (ja) * | 2011-03-10 | 2012-10-04 | Mitsubishi Materials Corp | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐欠損性を備える表面被覆切削工具 |
| JP2016153518A (ja) * | 2015-02-20 | 2016-08-25 | 東京エレクトロン株式会社 | カーボン膜の成膜方法および成膜装置 |
| EP3620552A1 (en) | 2018-09-04 | 2020-03-11 | Tungaloy Corporation | Coated cutting tool |
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