JPH01105451A - 電子顕微鏡における試料汚染除去装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は微少酸素ガスを試料近傍に定量的に導入する事
に係り、特に電子顕微鏡の像ｍ察や微小部元素分析に好
適な試料汚染除去装置に関する。

〔従来の技術〕

イオンによるエツチング現象は周知の事実で、本発明で
は、試料に付着するコンタミネーションをその量に応じ
て除去するものである。

〔発明が解決しようとする問題点〕

電子顕微鏡の試料観察や微小部元素分析では、試料に付
着するコンタミネーションを除去する試みがなされて来
た。そのためにコンタミネーションの主因である炭化水
素系を試料室近傍より除く手段として、焼出しによる超
高真空化や、液体窒素で冷却してトラップする手段を構
しているが、機能構成上困難があり、解決されていない
。

本発明の目的は、試料に付着するコンタミネーションの
量に応じて、微少酸素ガスを導入する事にあり、その結
果、酸素ガスは電子線によりイオン化され、試料表面に
付着するコンタミネーションを除去し、常に清浄な表面
の観察や分析を可能とする事にある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は微少酸素ガスを試料に付着するコンタミネー
ションの量に応じて導入する事により、達成される。

微少酸素ガスはニードルバルブによる直接導入方式でも
真空と界面をなす銀面を加熱して導入する方式でも何等
問題ない。

〔作用〕

観察する試料近傍の真空中に導入される酸素の量は、観
察する試料に付着するコンタミネーションの量に応じて
制御する。それによって酸素は必要量大が真空中に導入
されるので誤動作することがない。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。本発
明では銀薄筒１を加熱する事により、酸素ガスが対物レ
ンズ２に位置する試料３近傍に導入される。銀薄筒１の
加熱による副射熱□はシールドバイブ４で遮蔽され、異
常な試料３の加熱やサーマルドリフトの原因にならない
配慮が施されている。銀薄筒１の加熱には電気的に絶縁
したヒーター５を用い、ここでは省略する電源に接続さ
れる。

酸素ガスは直接ニードルバルブによる導入を用いても何
ら差し支えない。導入された酸素ガスは、電子線６によ
りイオン化し、試料３に衝突して試料３の表面に付着す
るコンタミネーションをエラチング除去する。

本実施例によれば、コンタミネーションが付着しないよ
うな大がかりなシステムにする事なく、付着するコンタ
ミネーションを遂−除去して、常に清浄な面を観察する
事が出来る効果がある。

〔発明の効果〕

本発明によれば、従来のように大形化、超高真空排気シ
ステム等にする事なく、試料に付着するコンタミネーシ
ョンを除去出来るので、新しい機能性能の向上の効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の電子顕微鏡の試料近傍の断
需図である。 １・・・銀製薄筒、２・・・対物レンズ、３・・・観察
する電子顕微鏡の試料、４・・・シールドパイプ、５・
・・加熱ヒーター、６・・・電子線。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、電子顕微鏡の像観察や微小部元素分析において、微
   少酸素ガス導入装置を観察する試料近傍に設ける事によ
   り、酸素ガスをイオン化し、試料表面に付着するコンタ
   ミネーシヨンを除去する事を特徴とする電子顕微鏡にお
   ける試料汚染除去装置。