JPH01109302A - カラーフイルターの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ＣＣＩ）（チャージカップルドデバイス）、
ＢＢＤ（バリッドブリケートデバイス］、ＣＩＤ（チャ
ージインジェクションデバイス、ＢＡＳＩＳ（ベースス
トアタイプイメージセンサ−）等のカラー個体撮像素子
、密着型メメージセンサーおよびカラーデイスプレィ用
等に用いられるカラーフィルターの製造方法に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種の素子に用いられる力２−フィルターとし
ては、干渉フィルター又は染色フィルターが知られてい
る。

干渉フィルターは多層構成で所定の分光特性に合わせた
膜設計をなす上で使用する材料（屈折率）によって決ま
る膜厚の調整やその膜を積層で保持するなどの製造上の
問題が多い。特に微細なパターンユングに際してはこれ
らの抑制が困難な場合が多い。また、コストが高いとい
う欠点を有していた。

一方、染色フィルターは、例えば透明基板上にゼラチン
、カゼイン、グリニーあるいはポリビニルアルコールな
どの天然または合成高分子物質からなる媒染層を設け、
その媒染層を所定のパターンに合わせて着色する方法が
知られている。着色する方法としては適当な色素を溶解
した染色浴中に浸漬処理する染色法が挙げられる。

この方法によると使用可能な色素が非常に多く、フィル
ターとして要求される分光特性をどのようにも対応でき
るという利点を有しているが、染色工程が色素を溶解し
た染色浴中に浸漬するというコントｃｒ−ルの難しい湿
式１程を採用しており、しかも所定のパターン通りに各
色を染め分ける１輻において、各色の染色工程毎にホト
レジストによる耐染マスクの作成および剥離の工程を必
要とするために歩滞りが低く、廉価なカラーフィルター
を製造するには適切な方法とはいえない。さらにフィル
ターとしての性能においてもパターンユング境界部での
色の「にじみ」、「ボケ」などの混色が生じるので高精
度が要求される分野の使用には適したものではない。

さらに、色素を用いる場合は、有機溶剤に可溶モ吸収が
シャープで色相がよく、シかも耐久性のよい色素がなか
った。

〔発明が解決しようとする問題点Ｊ 本発明は、上述の従来技術の有する欠点をもたない新規
の製造方法を提供するもので、本流により高精度で分光
特性が優れ、耐久性、透明性が優れかつ経済価値の大き
いカラーフィルターの製造が可能になった。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は基板上に着色層が形成されたカラーフィルター
の製造方法において、感光性組成物中に、下記一般式（
１）で表わされるアゾ金属キレート化合物を溶解または
分散させたのち、該基板上に塗布し、該組成物をパター
ンユングすることを特徴とするカラーフィルターの製造
方法である。

一般式（１） 式中、２は最低１個のＩ〜７員の芳香環又は複素環を完
成するのに必要な複数個の原子な表わ丁。

これらの環上の水素原子は１つ以上のアルキル基、アル
コキシ基、アリールオキク基、アラルキル基、−アリー
ル基、ハロゲン原子、シアノ墓、ニトロ基、エステル基
、カルバモイル基、アシル晟、アシルアミノ基、スルホ
ニル晶、スルファそイル基、スルホンアミド基、アミノ
基、アルキルアミノ愚、２′は最低１個のよ一一員の芳
香環又は複素環を表わし、その際この２′はアゾ結合に
対する結合個所に隣接する位置において、（１）キレー
ト化層として働く窒素原子を当誼核の環内に有するか、
さもなけれは、（Ｕ）キレート化層として働く窒素厘子
が直接的に結合している炭素原子を当該核の環内に有す
る。２′の芳香環又は複素環上の水素原子は、１つ以上
の置換基で置換されてもよく、置換基としては２と同じ
置換基である。Ｇは金属キレート化墓を表わす。ＭＦｉ
Ｊ価のｔ座配位金属イオンを表わす。

以下、本発萌の方法の一例を詳細に説明する。

まず、ガラス、樹脂等からなる基板上に、一般式（１）
で表わされるアゾ金属キレート化合物を溶解または分散
させた感光性組成物、たとえばネガ型フォトレジストを
塗布等の方法により積層する。このレジスト層を所望の
パターンを有するフ。

オドマスクを介して公知の方法で露光し、現像液によっ
て現像し、色素を含む樹脂からなる色素／セターンを得
ることができる。

さらに異なる色素／４１ターンを同一基板上に形成する
場合には、パターンに応じてフォトマスクの位置をずら
しながら、上記の工程をくり返して行なえばよい。

色の種類の数だけこれらの工程をくり返すことによって
、複数の色素、ｅターンを有するものが製造できる。

一色のフィルタ一部分のみを本発明の一般式（Ｉ）のア
ゾ金属キレート化合物を含み、他は公知の色素、顔料を
用いてもよい。顔料を用いるものとしては特開昭４７−
１０１１０ｊ号公報に開示されている。

次に、本発明のアゾ金属キレート化合物について説明す
る。

一般式（１７のｚ、ｚ’により形成される環の中で好ま
しいものはベンゼン環、ナフタレン環、ピリジン環、キ
ノリン環、ピラゾール環、チオフェン環、インドール環
、又はピラゾロトリアゾール環である。またこれらの環
上の置換基のうち好ましいものはＣｌ＝　Ｃ２Ｂの置換
してもよいアルキル基、０８〜Ｃ２５の置換してもよい
アルコキシ基、ハロゲン原子、シアノ晟、ニトロ基、Ｃ
ｌ−Ｃ２５の置換してもよいアルキルスルファモイル基
、Ｃ６〜Ｃ３ｏの置換してもよいフェニルスルファモイ
ル基、Ｃｌ−Ｃ２５のエステル基、Ｃｌ−Ｃ２５のカル
バモイル基、Ｃ１〜Ｃ２！ｉのアシル基、Ｃ１〜Ｃ２５
のアシルアミノ基、ｃ８〜Ｃ２Ｂのスルホニル（Ｒ１、
Ｒ２は水素原子、Ｃｌ−Ｃ２５の置換されてもよいアル
キル基又はフェニル基を表わす、Ｒ，とＲ２は一緒にな
って！又はｔ員環を形成してもよい。ンで表わされるア
ルキルアミノ基もしくはアリールアミツル、水酸基であ
る。

ＧＯ中で好ましいものは水酸イオン、カルボキシレート
、スルホンアミドイオン、スルファモイルイオン、アミ
ノ基、又はアルキルチオ基であり、特に好ましいものは
水酸イオンである。

Ｍの中で好ましいものはニッケル（［３４鉛（■入コバ
ルト（１１７、であり、特に好ましいものはニッケル（
Ｕ）である。

一般式（Ｉ）で表わされる本発明に用いられる化合物は
、油溶性を増すため油溶化基を少なくと′％１個は持っ
ていることが好ましい。

油溶化基とは色素を非水溶媒に溶けや丁くするため色素
部本体と結合している炭素数！〜３０の無置換又は置換
（置換基としてはアルキル基、アルコキシ基、アリール
オキシ基、アラルキル蒸、アリール基、ハロゲン原子、
７７）晟、ニトロ基、エステル基、カルバモイル基、ア
シル基、アシル、アミノ基、スルホニル基、スルファモ
イル基、スルホンアミド基、アミノ基、アルキルアミノ
基、アリールアミノ基又は水酸基が挙げられる】されて
もよいアルキル基、又は炭素数ｉｏ〜３！の置換（置換
基は同上）されたアリール基を表わす。

これらのアルキル基又はアリール基は色素部本体と直接
結合してもよいし、エステル基、カルバモイル基、アシ
ル基、アシルアミノ基、スルファモイル基、スルホンア
ミド基、アミノ基、アルキルアミノ基を介して結合して
もよい。

一般式（１）で表わされる本発明に用いられる化合物中
には化合物の安定性を損なうレドックス反応や加水分解
反応を起しやすい基を含まないことが好ましい。

本発明の化合物のうち特に好ましいものは、次の一般式
（…）または（ＵＮで表わされる。

式中、Ｒ３は水素原子又は低級アルキル基を表わす。Ｒ
４、Ｒ６は水素原子、Ｃ１−Ｃ２５１Ｄｌｌ換してもよ
いアルキル基％Ｃ６〜Ｃ３ｏの置換してもよいフェニル
基を表わす。但し、Ｒ４とＲ５の合計の炭素数は１個以
上、好ましくはｌ個以上、特に好ましくは１０個以上と
する。

本発明に用いられる化合物の具体例を以下に示す。

なお、具体例を一般式（ＩＶ）〜（Ｖｌ）で表わす場合
は、それぞれの一般式の具体例な置換基を第７表〜第３
表に示す。（ベンゼン環上の数字は置換位置を示す） 一般式（ＩＶ） ３　！ 一般式（■） ＣＨ３に１３ 第３表 以下に本発明に用いられる化合物の合成例を示す。

合成例１ 化合！１４／の合成 １−／　　中間体１−／クロスルホニル−２−（コーピ
リジルアゾ）−／−ｆフトールの合成特開昭１３−３１
１１３号公報の方法により合成した弘−ヒドロキシ−３
−（２−ピリジルアゾン−／−７フタレンスルホン酸／
　０１／％スルホラン／ＤＯ−およびオキシ塩化リン／
１８１を内温！！〜６！０Ｃで３時間卯温攪拌した。反
応混合物を室温まで冷却した後、ｌｌの氷水中へ注いで
得られる結晶を戸数し水洗した。風乾して得られた目的
物の収ｆｉｔはｉｏ、ｉｇであった。

１−２　中間体参−〔３−（コ９μｍジーｔｅｒｔ−ア
ミルフェノキシ］フロビルスルファそイルｊ−Ｊ−（Ｊ
−ピリジルアゾ）−／−ナフトールの合成 ３−（コ、ｊ−ジーｔｅｒｔ−アミルフエノキシンプロ
ピルアミンコＯＩおよびＮ、Ｆ４−ジメチルアセトアミ
ド７０−へ室温下、攪拌しながら１−７で得られた中間
体７ｇを徐々に添加した。１時間攪拌した後、反応混合
物を濃塩酸３ｍｌおよびメタノール１ｒｏｎｔの混合物
中へ注いだ。こレヘ水／！コな徐々に注ぐと結晶が析出
した。戸数し、メタノール水１０：／で洗った後風乾し
て、得られた目的物の収量は１０．／ｌ／であった。

１−３　化合ｖＲ／ｌ６１）合成・ 塩化ニッケルを水和物ぶＩおよびＮ、Ｎ−ジメチルアセ
トアミドｌコＯ−からなる溶液へ合成例１−２で得た中
間体ｔｇおよびＮ、Ｎ−ジメチルホルムアミド１００１
１１からなる溶液を室温下、攪拌しながら注加した。１
時間攪拌した後、氷酢酸２００８１−水２！へ注加し、
析出した結晶な戸数、水洗した。この結晶をクロロホル
ム−酢エチｌＯ：ｌを展開溶媒とするシリカゲルクロマ
トグラフィーにより精製して目的物、５．３ｇを得た。

ｍ−ｐ、ｒｉ／　７０−／　７％　’（’であった。

本発明に用いる色素としては一般式（Ｉ）のアゾ金属キ
レート化合物を単体あるいは、これと他の色素の混合物
として適宜選択して用いられる。

カラーフィルターの一色のフィルタ一部分のみを一般式
（Ｉ）のアゾ金属キレート化合物を含む場合は、他の色
は例えば特開昭６１−コタｘｉ。

１号、特開昭４７−コＩｆ−ＰＩ３号、特開昭４０−７
り２り０３号などの公報に記載されている染料や顔料を
用いることが出来る。

各色素パターンの形成に先だち、透明樹脂からなる中間
層を形成することも可能である。

本発明に用いる感光性を組ｒｆＪｃ物としてはカゼイン
、ゼラチン、フイシュグリエー等に感光剤として惠クロ
ム酸アンモニウムを添加した樹脂、ポリビニルアルコー
ルおよびポリビニルピロリドン等の高分子母材にジアゾ
化合物を添加した樹脂および各種レジスト材料を挙げる
ことができる。

レジスト材料を用いる場合は、ポジ型レジストでも良い
が好ましく拡ネガ型レジストが良い。ネガ型レジストと
して線光重合性レジスト、光架橋性レジスト、などがあ
る。その代表的なもの（商品名）を挙げるとフォトレジ
ストとしては「ＯＭＲ−ｘｉ、ｒｉ、ｔ！、１７Ｊ、「
Ｏ８Ｒ」および「ＴＰＳ」以上東京応化製、「ｗａｙｃ
ｅａｔ−ＨＮＲ。

）ｉｌｌｌツタ、Ｎｅｇａｔｉｖｅ）ｔＲ，Ｉｃ、Ｔｙ
ｐｅ　　ＪＩＧ。

、　　　Ｓに、Ｖ）ｉＲＪ以上ハント裏、「Ｍｉｃｒｏ
ｒｅｓｉｓｔ−７３２，７４’７．７！２」以上Ｋｏｄ
ａｋ社製、「フオトレツクＲＷ−１０／％ＲＦ　−ＧＪ
以上積水ファインケミカル製、ｒＪｓＲＣＩＲシリーズ
」以上日本合成ゴム製、「５ｅｌｅｃｔｉｌｕｘＮ」以
上メルク製、紫外用レジストとしてはｒＯＤＵＲ−ｔｏ
ｏ％／２０．ｌｌｏＷＲＪ以上東京応化製、電子ビーム
用レジストとしては１”０ＥＢＲ１ｏｏＪ以上東京応化
製などが挙げられる。

感光性樹脂としてはポジ型のものでもよいが、一般にネ
ガ型の方が好ましく、その具体例としては下記のものが
挙げられる。

１）重クロム酸塩とアルブミン、カゼイン、Ｋかわ、ゼ
ラチン、アラビアゴム、セラック、ＰｖＡ等の水溶性高
分子物質との混合系。

２）ジアゾ樹脂（ｐ−ジアゾジフェニルアミンとホルム
アルデヒドとの縮合物ンとＰＶＡ、ＰＶＡ＋ポリ酢酸ビ
ニル等の樹脂との混合系。

３）ｐ−７二二レンビスアジド、係、参′−ジアジドベ
ンゾフェノン、＃、ｌ−ジアジドジフェニルメタン、＃
、参’−ジアジドスチルベン、４ｃ、参′−ジアジドカ
ルコン、コ、ｔ−ジー（４ｃ′−アジドベンザルンシク
ロヘキサン、コ、ぶ−ジ（ｕ　Ｉ−アジドベンザル）−
参−メチルシクロヘキサノン、４Ｃ，ｌ−ジアジドスチ
ルベン−２゜２１−ジスルホン酸ナトリウム、１．！−
ジアジドナフタレンー３．７−ジスルホン酸ナトリウム
等のアジド化合物と天然ゴム、合成ゴム、弗化ゴム、Ｐ
ＶＡ、ポリビニルピロリドン、ジアセトンアクリルアミ
ド、メチルセルロース、ビニルアルコール−マレイン酸
共重合体等の樹脂との混合系。

４）ポリアジド安息香酸ビニル、ポリアジド７タル酸ビ
ニル、ポリビニルアジドベンザルアセタール等のアジド
基含有ポリマー。

５）ポリビニルシンナメート、ポリビニルシンナメート
７タレート、ポリビニルシンナミリデンアセテート、ポ
リビニルアセテートシンナミリデンアセテート等の珪皮
酸基含有ポリマー。

６）アクリル酸、メタクリル酸、メチルメタクリレート
、コーエチルへキシルアクリレート、２°−ヒドロキシ
エチルアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリ
レート、トリメチロールプロパントリメタクリレート等
のエチレン性不飽和結合を有するモノマー、オリゴマー
又はポリマーとベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル
、ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、チオキサントン、
アントラキノンスルホン酸塩等の光重合開始剤との混合
系。なお感光層中の感光性樹脂とアゾ金属キレート化合
物の割合はｏ、ｏｒ−１ｍＯｗｔＴｏ　程度が適当であ
る。また感光性樹脂層の厚さはＱ。

参〜１０μ程度が適当である。

感光性樹脂の溶媒に一般式（Ｉ）のアゾ金属キレート化
合物が溶けにくい場合は、感光性樹脂とアゾ金属キレー
ト化合物をボールミル、ロールミル等に入れ混線しアゾ
金属キレート化合物を微分散させる。

本発明で用いられる基板は樹脂の塗布が可能であればそ
の使用目的により種々のものが使用でき、特に限定され
るものではない。具体的には以下のものが使用できる。

例えばガラス板；光学用樹脂板；ゼラチン；ポリビニル
アルコール、ヒドロキシエチルセルロース、ポリメチル
メタクリレート、ポリエステル、ポリビニルブチラール
、ボリアばドなどの樹脂フィルム。またノターン状の色
累層をカラーフィルターとして適用できる機材を基板と
して一体に形成することも可能である。その場合の基板
の一例としては、ブラウン管表示面、撮像管の受光面、
ＣＣＤ、ＢＢＤ％ＣＩＤ％ＢＡＳＩＳ等の固体撮像素子
が形成されたウニＪＳ−１薄膜半導体を用いた密着型イ
メージセンサ−１液晶デイスプレー面、カラー電子写真
用感光体等が挙げられる。

〔発明の効果」 本発明のアゾ金属キレート化合物を含むカラーフィルタ
ーは吸収がシャープで、色が鮮明である。

また有機溶剤に溶けるため、感光性組成物に溶解状態で
あるか、極めて分散性が良好であり、カラーフィルター
の各画素中の光学濃度の分布や、画素間のバラツキが少
く、撮像素子に装置したときにノイズが少く信号が多い
、即ちＳ／Ｎが大きい、あるいにデイスプレィ素子に装
着したときにも光の画素間、画素内のバラツキが少く、
デイスプレィされた画像が鮮明である。

さらに本発明のアゾ金属キレート化合物は耐光性、耐熱
性、耐水性、高湿下における耐光性、耐熱性が優れ、ま
た空気酸化に対しても強いため、アゾ金属キレート化合
物を含むカラーフィルターは経時劣化が殆んどない。

さらに本発明のアゾ金属キレート化合物の有機溶剤に対
する溶解性が優れているので各種の感光性樹脂を広く選
択しうる利点を有する。

さらに、本発明のアゾ金属キレート化合物は中性であり
、分子量が比較的大ぎいため、カラーフィルターの各画
素より移動して各画素がボケたり、各画素の周辺ににじ
んだり、混色などの好ましくない現象を起こさない。さ
らに本発明の方法は製造法が簡便であるので、製品の歩
留りが向上する。

「実施例」 以下、実施例で集体的に説明するが、実施例中の「部」
は「重量部」を示す。

実施例　１ 感光性を有する樹脂として遠紫外光用ネガ型レジスト０
ＤＵＲ１ｔｏＶｉＲ（東京応化製）を用いた。赤色を出
すためには本発明のＪＩＪ４の黄色色ｇｏ、ｏｉ部と、
肩りのマゼンタ色１ｇＯ，ｏｔ部を上記感光性樹脂２０
０部に溶解し、ガラス板上にスピンナーを用いて塗布し
、乾燥膜厚０．６μ扉の−様な被膜を得た。ｔＯ°Ｃ％
コＯ分間プリベークを行い、所定のパターンユングマス
クで２秒間露光し、専用現像液で７分４４０秒現像し、
１分間リンスし、その後／ｒ夕０Ｃで２ｊ分間ポストベ
ークした。

緑色を出丁ためには本発明の４３６の黄色色素０．０／
部と、特願昭６２−７７参弘？７号明細書に記した次の
フタロシアニンＩｆ色累０．０１１部を上の赤色を出す
色素の代りに用いた。

式（■） なお、Ｐｃはフタロクアニン骨格を表わす。

青色を出すためには式（■）の７タロシアニン系色素０
．０／１部と、本発明の腐りのマゼンタ色素０．０／部
を上の赤色の代りに用いた。

赤色フィルター層作成の方法と同様な工程を緑色色素パ
ターン及び、青色色素、ｅターン、と繰返丁ことにより
、赤、緑、青よりなる３色のカラーフィルターを作成し
た。これは従来染色法で作成されていたカラーフィルタ
ーに比較して、高精度化が要求される分野で充分満足な
ものであった。

カラーフィルターは本発明の色素及び特願昭≦２−７７
参参Ｆ７号明細書に記載した色素を用いているために、
耐光性、水分存在下での耐光性に優れ、フェードメータ
テスト１０万ルクスａｔ時間照射によっても、ピーク透
過率変化７１以内、ピーク波長シフト１１以内であった
。

本例の緑色フィルター層は後述する実施例４の緑色フィ
ルター層よりも透明性がよく、本発明のアゾ金属キレー
ト化合物がカラーフィルター用に適しているのが分る。

実施例　２ 実施例１と同様な作成工程で、基板としてガラスの代り
に固体撮像素子（例えば電荷移送素子（ＣＣＤ））が形
成されたウェハーを用い、その表面上にＲ％Ｇ、Ｂの順
で直接カラーフィルターを作成した。こうして作成した
カラー固体撮像素子は良好な色再現性を示した。

なお、ＣＣＤのウェハー表面に凸凹のある場合はポリメ
チルメタアクリレート樹脂を平坦層として、初めに塗設
すると、よりカラーフィルターの画素のパターンはシャ
ープになった。

実施例　３ 液晶カラー表示素子の作成を例を挙げて述べる。

第１図は本発明の方法により薄膜トランジスタアレイ上
にカラーフィルターを作成する実施例を説明するための
断面概略図である。

先ず、ガラス基板（コーニング社製＃７０１タンｌの上
に１００ＤＡ厚さのＩＴＯ画素電極！を７オトリンエ程
により所望の）（ターンに形成した。

次に、ＡＩを１００ＯＡ厚さ真空蒸着しフォトリン工程
により所望のパターンのゲート電極ぶを形成した。

次に感光性ポリイミド／／を１００ＤＡ厚さ塗布し、露
光・現像処理によりドレイン電極１３とのコンタクトを
する為のスルーホールを形成した。

次ＫＨｚで希釈された５ｉｔｉ４を真空中でグロー放電
法によって堆積させることにより、ａ−８ｉ層からなる
１ｔｏｏｈ厚さの光電導層り（イントリンシック層＝　
ｔ　ＩＩ　）を形成した後、その上に同様な工程により
１０００λ厚さａｔ層１０を形成した。その後ドライエ
ツチング法により所望の形状にエツチングした。

次にＡＪを１ｏｏｏＡ厚さに真空蒸着しフォトリソ工程
により所望の／Ｒターンのソース電極ｌコ及びドレイン
電極１３を形成した。

この上に実施例１と同様の方法により赤色色素パターン
／４！を作成し、次いで実施例１と全く同様に緑色色素
パターン、青色色素パターンを形成し、赤、緑、青より
成る３色のカラーフィルターを形成した。

次に配向機能を付与した絶縁膜（ポリイミド樹脂）を全
面に１０００に厚さに塗布し２ｚｏ（１ｃ１時間の加熱
硬化を行なった。

次に別のガラス基板（コーニング社製＃７０！り）の上
に一面に１０００にのＩＴＯ電極を形成した後、配向機
能を付与した絶縁膜（ポリイきド樹脂ンを全面に／２０
０に厚さに塗布、硬化した基板と第１図のカラーフィル
ターを形成した薄膜トランジスタアレイの間に液晶を注
入し、色再現性のよいカラー用液晶表示素子を作製した
。

実施例　４ 赤色色素層としては、実施例１の／Ｗｈ３６の黄色色素
０．０１部と腐りのマゼンタ色素ｏ、ｏｉ部の混合物を
実施例１の如き工程で赤色フィルター層をガラスの全面
にＩＴＯ電極を形成した基板上に赤用画素電極に対応し
て形成した。この上に、感光性樹脂１００部に緑色の顔
料フタロシアニン鉛１部をポールミル中で２時間混練し
て、緑色顔料を微分散したものをスピンナーで塗布、乾
燥し、０．１μｍの−様な膜を作った。その後実施例１
の如く、プリベーク、パターニング露光、現像、リンス
、ポストベークを行って緑色フィルター層を作成した。

青色色素としては次のメタルフリー７タロシアニン（式
（■））０．０／２部を用い、本例の赤色カラー層作成
の工程と同様にして青色フィルター層を作った。

この上に、配向機能を付与したポリイミド樹脂を全面に
１３００に厚に塗布、硬化させた。この基板と、実施例
３の薄膜トランジスターのみを別の基板に作成したもの
の間に液晶を入れて色再現性の良い明るいカラー液晶表
示素子を作成した。

なお、本例においてガラス基板上にまずカラーフィルタ
ーを作成し、この上にＩＴＯ層を作り、次いでポリイミ
ド配向膜を形成することも可能であった。

本例の青色フィルター層は特開昭４７−ＩＯｒ１０３号
公報の実施例１に示された青色フィルター層に比較して
透明性が優れていた。

【図面の簡単な説明】

第１図（１）〜（８）は本発明の方法による薄膜トラン
ジスタアレイの作成工程な示す断面図である。 なお番号は以下のことを示す。 ／、ガラス基板　　　　ｊ０画像電極 乙、ゲート電極　　　　２．１層 １０、ｎ層　　　　　　／／、絶縁層 ／２．　　ソース電極　　　／１．　　ドレイン電極ｌ
≠０色素パターン　　／！、絶縁層 特許出願人　富士写真フィルム株式会社第１図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 基板上に着色層が形成されたカラーフィルターの製造方
   法において、感光性組成物中に、下記一般式（ I ）で
   表わされるアゾ金属キレート化合物を溶解または分散さ
   せたのち、該基板上に塗布し、該組成物をパターンニン
   グすることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。 一般式（ I ） ▲数式、化学式、表等があります▼ 式中、Ｚは最低１個の５〜７員の芳香環又は複素環を完
   成するのに必要な複数個の原子を表わす。 これらの環上の水素原子は１つ以上のアルキル基、アル
   コキシ基、アリールオキシ基、アラルキル基、アリール
   基、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、エステル基、
   カルバモイル基、アシル基、アシルアミノ基、スルホニ
   ル基、スルファモイル基、スルホンアミド基、アミノ基
   、アルキルアミノ基、アリールアミノ基、又は水酸基で
   置換されてもよい。 Ｚ′は最低１個の５〜７員の芳香環又は複素環を表わし
   、その際このＺ′はアゾ結合に対する結合個所に隣接す
   る位置において、（ｉ）キレート化座として働く窒素原
   子を当該核の環内に有するか、さもなければ、（ｉｉ）
   キレート化座として働く窒素原子が直接的に結合してい
   る炭素原子を当該核の環内に有する。Ｚ′の芳香環又は
   複素環上の水素原子は、１つ以上の置換基で置換されて
   もよく、置換基としてはＺと同じ置換基である。Ｇは金
   属キレート化基を表わす。Ｍは２価の６座配位金属イオ
   ンを表わす。