JPH0519455A - カラーフイルタ製造用フオトレジストのミキシング方法及びその装置 - Google Patents
カラーフイルタ製造用フオトレジストのミキシング方法及びその装置Info
- Publication number
- JPH0519455A JPH0519455A JP3180965A JP18096591A JPH0519455A JP H0519455 A JPH0519455 A JP H0519455A JP 3180965 A JP3180965 A JP 3180965A JP 18096591 A JP18096591 A JP 18096591A JP H0519455 A JPH0519455 A JP H0519455A
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- JP
- Japan
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- photoresist
- mixing
- tank
- color filter
- mixing tank
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F23/00—Mixing according to the phases to be mixed, e.g. dispersing or emulsifying
- B01F23/50—Mixing liquids with solids
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 本発明は、カラーフィルタ製造工程中に基板
上に染色層を形成することに使用されるフォトレジスト
のミキシング方法及びその装置に関する。窒素ガスを使
用してガス圧力によりフォトレジストの供給を行なうと
共に、真空状態にされたミキシング槽を利用してミキシ
ングすることにより、微粒子及び気泡の発生を最小限に
押えることができるので、安定された分光特性が得られ
る。 【効果】 歩留りの向上及びプロセスの安定化により安
定されたカラーフィルタを製造することができるほか、
製造原価の節減が可能である。
上に染色層を形成することに使用されるフォトレジスト
のミキシング方法及びその装置に関する。窒素ガスを使
用してガス圧力によりフォトレジストの供給を行なうと
共に、真空状態にされたミキシング槽を利用してミキシ
ングすることにより、微粒子及び気泡の発生を最小限に
押えることができるので、安定された分光特性が得られ
る。 【効果】 歩留りの向上及びプロセスの安定化により安
定されたカラーフィルタを製造することができるほか、
製造原価の節減が可能である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラーフィルタの製造
工程中基板上に染色層を形成することに使用されるフォ
トレジストのミキシング方法及びその装置に関し、特に
密閉された容器と窒素ガスを利用してフォトレジストを
ミキシングすることにより微粒子（Ｐａｒｔｉｃｌｅ）
及び気泡（Ｂｕｂｂｌｅ）の発生を最小限に押えること
ができるフォトレジストのミキシング方法及びその装置
に関する。
工程中基板上に染色層を形成することに使用されるフォ
トレジストのミキシング方法及びその装置に関し、特に
密閉された容器と窒素ガスを利用してフォトレジストを
ミキシングすることにより微粒子（Ｐａｒｔｉｃｌｅ）
及び気泡（Ｂｕｂｂｌｅ）の発生を最小限に押えること
ができるフォトレジストのミキシング方法及びその装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のフォトレジストのミキシング方法
及びその装置としては、ポンプを利用したポンプ循環式
によりミキシングする方法及び装置が使用されていた。
図１は、上記従来のポンプ循環式装置を示している。即
ち、このポンプ循環式装置は、フォトレジストの主成分
であるカゼイン（Ｃａｓｅｉｎ）やゼラチン（Ｇｅｌａ
ｔｉｎ）を貯蔵するタンク１と、感光剤（Ｓｅｎｓｉｔ
ｉｚｅｒ）の役目をする重クローム酸アンモニウムを貯
蔵するタンク２と、上記フォトレジストと重クローム酸
アンモニウムをミキシングするミキシング槽５と、ポン
プ３，４，６等で構成されている。このように構成され
たポンプ循環式装置を利用してフォトレジストをミキシ
ングする方法を簡単に説明する。
及びその装置としては、ポンプを利用したポンプ循環式
によりミキシングする方法及び装置が使用されていた。
図１は、上記従来のポンプ循環式装置を示している。即
ち、このポンプ循環式装置は、フォトレジストの主成分
であるカゼイン（Ｃａｓｅｉｎ）やゼラチン（Ｇｅｌａ
ｔｉｎ）を貯蔵するタンク１と、感光剤（Ｓｅｎｓｉｔ
ｉｚｅｒ）の役目をする重クローム酸アンモニウムを貯
蔵するタンク２と、上記フォトレジストと重クローム酸
アンモニウムをミキシングするミキシング槽５と、ポン
プ３，４，６等で構成されている。このように構成され
たポンプ循環式装置を利用してフォトレジストをミキシ
ングする方法を簡単に説明する。
【０００３】先ず、フォトレジストの主成分であるカゼ
インやゼラチンと重クローム酸アンモニウムを各々のタ
ンク１，２に必要量を入れる。次に、これらのタンク
１，２に装着されたポンプ３，４により、各々のタンク
１，２に入れられているフォトレジストと重クローム酸
アンモニウムとを、自動的にミキシング槽５にオーバー
フロー（Ｏｖｅｒｆｌｏｗ）されるまで供給する。
インやゼラチンと重クローム酸アンモニウムを各々のタ
ンク１，２に必要量を入れる。次に、これらのタンク
１，２に装着されたポンプ３，４により、各々のタンク
１，２に入れられているフォトレジストと重クローム酸
アンモニウムとを、自動的にミキシング槽５にオーバー
フロー（Ｏｖｅｒｆｌｏｗ）されるまで供給する。
【０００４】次に、上記ミキシング槽５の下部に設けた
ポンプ６により、フォトレジストと重クローム酸アンモ
ニウムとが循環通路７に沿って循環し、所定時間だけミ
キシング槽５内でフォトレジストと重クローム酸アンモ
ニウムとがミキシングされる。このような方法によりミ
キシングされたフォトレジストは、ミキシング時間が了
されると自動的にポンプ６により別の容器８に入れられ
た後、その次の工程で使用されることができるように保
管される。上記のようなポンプ循環式ミキシング装置に
よりフォトレジストをミキシングすると、フォトレジス
トと重クローム酸アンモニウムの供給とミキシング等が
ポンプにより行なわれるので、ポンプを作動する時ごと
に物理的な力が加えられる。従って、このような物理的
な力により、フォトレジストが空気と接触するようにな
り、微粒子及び気泡等が生じる原因となる。
ポンプ６により、フォトレジストと重クローム酸アンモ
ニウムとが循環通路７に沿って循環し、所定時間だけミ
キシング槽５内でフォトレジストと重クローム酸アンモ
ニウムとがミキシングされる。このような方法によりミ
キシングされたフォトレジストは、ミキシング時間が了
されると自動的にポンプ６により別の容器８に入れられ
た後、その次の工程で使用されることができるように保
管される。上記のようなポンプ循環式ミキシング装置に
よりフォトレジストをミキシングすると、フォトレジス
トと重クローム酸アンモニウムの供給とミキシング等が
ポンプにより行なわれるので、ポンプを作動する時ごと
に物理的な力が加えられる。従って、このような物理的
な力により、フォトレジストが空気と接触するようにな
り、微粒子及び気泡等が生じる原因となる。
【０００５】上記のような微粒子と気泡等が含まれたフ
ォトレジストを塗布すると、微粒子や気泡等により均一
に塗布することができない。そのため塗布膜が均一に形
成されずに塗布膜の厚さが異って、安定された分光特性
を得ることができないという問題があった。また、ミキ
シング槽に供給されるフォトレジスト及び重クローム酸
アンモニウムの供給量がオーバフローされた場合にのみ
ミキシングが行なわれるため、必要とする量だけフォト
レジストをミキシングすることが難しいという問題があ
った。さらに、ミキシングされたフォトレジストを後に
使用することができるように別の容器に入れておく過程
でも、ポンプの使用により微粒子及び気泡等が発生する
問題点があった。
ォトレジストを塗布すると、微粒子や気泡等により均一
に塗布することができない。そのため塗布膜が均一に形
成されずに塗布膜の厚さが異って、安定された分光特性
を得ることができないという問題があった。また、ミキ
シング槽に供給されるフォトレジスト及び重クローム酸
アンモニウムの供給量がオーバフローされた場合にのみ
ミキシングが行なわれるため、必要とする量だけフォト
レジストをミキシングすることが難しいという問題があ
った。さらに、ミキシングされたフォトレジストを後に
使用することができるように別の容器に入れておく過程
でも、ポンプの使用により微粒子及び気泡等が発生する
問題点があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の問題点
を解決するためのもので、この発明の目的は、窒素ガス
と密閉されたミキシング槽を利用してミキシングするこ
とにより、微粒子及び気泡発生を最小限に押え、それに
よって塗布時における均一性を向上させることができ、
かつ安定された分光特性を得ることのできるカラーフィ
ルタ製造用のフォトレジストのミキシング方法を提供す
ることにある。また、本発明の他の目的は、フォトレジ
ストをミキシングすることのできるミキシング装置を提
供することにある。
を解決するためのもので、この発明の目的は、窒素ガス
と密閉されたミキシング槽を利用してミキシングするこ
とにより、微粒子及び気泡発生を最小限に押え、それに
よって塗布時における均一性を向上させることができ、
かつ安定された分光特性を得ることのできるカラーフィ
ルタ製造用のフォトレジストのミキシング方法を提供す
ることにある。また、本発明の他の目的は、フォトレジ
ストをミキシングすることのできるミキシング装置を提
供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記のような目的を達成
するために、本発明に係るカラーフィルタの製造工程中
染色層の形成時に使用されるフォトレジストのミキシン
グ方法は、フォトレジストと重クローム酸アンモニウム
をミキシング槽に供給する工程と、上記ミキシング槽内
部を真空状態にする工程と、上記ミキシング槽内でフォ
トレジストと重クローム酸アンモニウムとをミキシング
する工程とから成ることを特徴とする。
するために、本発明に係るカラーフィルタの製造工程中
染色層の形成時に使用されるフォトレジストのミキシン
グ方法は、フォトレジストと重クローム酸アンモニウム
をミキシング槽に供給する工程と、上記ミキシング槽内
部を真空状態にする工程と、上記ミキシング槽内でフォ
トレジストと重クローム酸アンモニウムとをミキシング
する工程とから成ることを特徴とする。
【０００８】上記の他の目的を達成するために、本発明
に係るカラーフィルタ製造工程中染色層の形成時に使用
されるフォトレジストをミキシングするためのミキシン
グ装置は、窒素ガスが貯蔵されたタンクと、フォトレジ
スト及び重クローム酸アンモニウムを入れておくタンク
と、上記タンク内部へガスを注入するガス供給ライン
と、モーターにより回転する供給されたフォトレジスト
と重クローム酸アンモニウムとをミキシングするための
ミキシング槽と、上記フォトレジストと重クローム酸ア
ンモニウムが入れられるタンクとミキシング槽を連結す
る供給ラインと、上記ミキシング槽内部に存在する空気
を排出させる空気排出ラインと、上記ミキシング槽下部
に設けられミキシング槽内でミキシングされたフォトレ
ジストを送出する送出ラインと、各々のラインに設けた
バルブとを有することを特徴とする。
に係るカラーフィルタ製造工程中染色層の形成時に使用
されるフォトレジストをミキシングするためのミキシン
グ装置は、窒素ガスが貯蔵されたタンクと、フォトレジ
スト及び重クローム酸アンモニウムを入れておくタンク
と、上記タンク内部へガスを注入するガス供給ライン
と、モーターにより回転する供給されたフォトレジスト
と重クローム酸アンモニウムとをミキシングするための
ミキシング槽と、上記フォトレジストと重クローム酸ア
ンモニウムが入れられるタンクとミキシング槽を連結す
る供給ラインと、上記ミキシング槽内部に存在する空気
を排出させる空気排出ラインと、上記ミキシング槽下部
に設けられミキシング槽内でミキシングされたフォトレ
ジストを送出する送出ラインと、各々のラインに設けた
バルブとを有することを特徴とする。
【０００９】
【実施例】以下、添付した図面を参照して本発明の実施
例について詳細に説明する。
例について詳細に説明する。
【００１０】図２は、本発明によるフォトレジストのミ
キシング装置を示す構成図である。この装置は、窒素ガ
ス（Ｎ2 ）が貯蔵されているタンク２１，２２と、フォ
トレジストの主成分であるカゼインやゼラチンを入れて
おく密閉されたタンク２３と、感光剤の役目をする重ク
ローム酸アンモニウムを入れておく密閉されたタンク２
４とを備えている。上記窒素ガスタンク２１，２２とフ
ォトレジスト及び重クローム酸アンモニウムが貯蔵され
ているタンク２３，２４とは、窒素ガスを供給するガス
供給ライン２１ａ，２２ａにより各々連結されている。
また上記タンク２３，２４とミキシング槽２７とは、供
給ライン２５，２６で各々連結されており、この供給ラ
イン２５，２６には、バルブ３１，３２が装着されてい
る。
キシング装置を示す構成図である。この装置は、窒素ガ
ス（Ｎ2 ）が貯蔵されているタンク２１，２２と、フォ
トレジストの主成分であるカゼインやゼラチンを入れて
おく密閉されたタンク２３と、感光剤の役目をする重ク
ローム酸アンモニウムを入れておく密閉されたタンク２
４とを備えている。上記窒素ガスタンク２１，２２とフ
ォトレジスト及び重クローム酸アンモニウムが貯蔵され
ているタンク２３，２４とは、窒素ガスを供給するガス
供給ライン２１ａ，２２ａにより各々連結されている。
また上記タンク２３，２４とミキシング槽２７とは、供
給ライン２５，２６で各々連結されており、この供給ラ
イン２５，２６には、バルブ３１，３２が装着されてい
る。
【００１１】上記ミキシング槽２７は、下部に設けたモ
ーター３５により左右回転可能に構成されている。ま
た、ミキシング槽２７の上部には、ミキシング槽２７を
真空状態にするためにミキシング槽２７内部に存在する
空気を排出させる空気排出ライン２９が連結されてお
り、この空気排出ライン２９にもバルブ３３が装着され
ている。一方、上記ミキシング槽２７の下部に連結され
た送出ライン３７によりミキシング槽２７と別の容器３
９が連通する。上記送出ライン３７にもバルブ３４が装
着されている。
ーター３５により左右回転可能に構成されている。ま
た、ミキシング槽２７の上部には、ミキシング槽２７を
真空状態にするためにミキシング槽２７内部に存在する
空気を排出させる空気排出ライン２９が連結されてお
り、この空気排出ライン２９にもバルブ３３が装着され
ている。一方、上記ミキシング槽２７の下部に連結され
た送出ライン３７によりミキシング槽２７と別の容器３
９が連通する。上記送出ライン３７にもバルブ３４が装
着されている。
【００１２】このように構成されたフォトレジストミキ
シング装置を利用してフォトレジストをミキシングする
方法を詳細に説明する。先ず、フォトレジストの主成分
であるカゼインやゼラチンと重クローム酸アンモニウム
を各々のタンク２３，２４に必要量ほど入れた後、これ
らのタンク２３，２４を密閉する。この時上記タンク２
３，２４と窒素ガスが入れられているタンク２１，２２
とは、ガス供給ライン２１ａ，２２ａで連通している。
上記タンク２３，２４に入れられているフォトレジスト
と重クローム酸アンモニウムは、窒素ガスの圧力により
供給ライン２５，２６を通って必要量ほどミキシング槽
２７へ供給される。上記フォトレジストの主成分である
カゼインやゼラチン等は、その成分を動物性蛋白質から
抽出しているため、パターンの形成に必要な感光剤が含
まれていない。従って、上記フォトレジストに感光剤の
役割をする重クローム酸アンモニウムを適宜な比率でミ
キシングして使用する。また、上記カゼインやゼラチン
フォトレジストは、物理的な力が加えられると空気と接
触して多くの微粒子や気泡が発生する特性を持ってい
る。従って、本発明では、従来使用したポンプの代りに
窒素ガスを使用し、この窒素ガスで加圧してフォトレジ
ストと重クローム酸アンモニウムを供給するようにして
いる。この窒素ガスは、異なるどの物質とも反応しない
不活性ガスであるので、酸化反応を防止して微粒子及び
気泡発生を最小限に押える。その後、上記フォトレジス
トと空気との接触を防止するために、ミキシング槽２７
の上部に設けた排出ライン２９を介して、ミキシング槽
２７内部に存在する空気を完全に排出して真空状態で作
る。その後、ミキシング槽２７の下部に設けたモーター
３５を利用して、上記ミキシング槽２７に供給されたフ
ォトレジストと重クローム酸アンモニウムが完全にミキ
シングされるまでミキシング槽２７を左右に回転させて
ミキシングする。その後、上記のような工程によりミキ
シングされたフォトレジストは、その次の工程で供給さ
れるラインに送られるか、あるいは送出ライン３７を通
って別の容器３９に貯蔵されて保管される。
シング装置を利用してフォトレジストをミキシングする
方法を詳細に説明する。先ず、フォトレジストの主成分
であるカゼインやゼラチンと重クローム酸アンモニウム
を各々のタンク２３，２４に必要量ほど入れた後、これ
らのタンク２３，２４を密閉する。この時上記タンク２
３，２４と窒素ガスが入れられているタンク２１，２２
とは、ガス供給ライン２１ａ，２２ａで連通している。
上記タンク２３，２４に入れられているフォトレジスト
と重クローム酸アンモニウムは、窒素ガスの圧力により
供給ライン２５，２６を通って必要量ほどミキシング槽
２７へ供給される。上記フォトレジストの主成分である
カゼインやゼラチン等は、その成分を動物性蛋白質から
抽出しているため、パターンの形成に必要な感光剤が含
まれていない。従って、上記フォトレジストに感光剤の
役割をする重クローム酸アンモニウムを適宜な比率でミ
キシングして使用する。また、上記カゼインやゼラチン
フォトレジストは、物理的な力が加えられると空気と接
触して多くの微粒子や気泡が発生する特性を持ってい
る。従って、本発明では、従来使用したポンプの代りに
窒素ガスを使用し、この窒素ガスで加圧してフォトレジ
ストと重クローム酸アンモニウムを供給するようにして
いる。この窒素ガスは、異なるどの物質とも反応しない
不活性ガスであるので、酸化反応を防止して微粒子及び
気泡発生を最小限に押える。その後、上記フォトレジス
トと空気との接触を防止するために、ミキシング槽２７
の上部に設けた排出ライン２９を介して、ミキシング槽
２７内部に存在する空気を完全に排出して真空状態で作
る。その後、ミキシング槽２７の下部に設けたモーター
３５を利用して、上記ミキシング槽２７に供給されたフ
ォトレジストと重クローム酸アンモニウムが完全にミキ
シングされるまでミキシング槽２７を左右に回転させて
ミキシングする。その後、上記のような工程によりミキ
シングされたフォトレジストは、その次の工程で供給さ
れるラインに送られるか、あるいは送出ライン３７を通
って別の容器３９に貯蔵されて保管される。
【００１３】
【発明の効果】上述したように、本発明によるフォトレ
ジストミキシング方法及びその装置は窒素ガスと密閉さ
れたミキシング槽とを利用することにより、微粒子及び
気泡発生を最小限に押えることができる。従って、上記
工程により微粒子及び気泡の発生が最小限に押えられた
フォトレジストを使用すると、フォトレジストを均一に
塗布することができるので、スピードボート（Speed bo
at）現像が発生することなく、かつ現像後均一なパター
ンを得ることができ、カラーフィルタの安定された分光
特性が得られる。その結果、歩留りの向上は勿論、原価
節減及びプロセスの安定化を図ることができる利点があ
る。
ジストミキシング方法及びその装置は窒素ガスと密閉さ
れたミキシング槽とを利用することにより、微粒子及び
気泡発生を最小限に押えることができる。従って、上記
工程により微粒子及び気泡の発生が最小限に押えられた
フォトレジストを使用すると、フォトレジストを均一に
塗布することができるので、スピードボート（Speed bo
at）現像が発生することなく、かつ現像後均一なパター
ンを得ることができ、カラーフィルタの安定された分光
特性が得られる。その結果、歩留りの向上は勿論、原価
節減及びプロセスの安定化を図ることができる利点があ
る。
【図１】従来のフォトレジストミキシング装置を示す構
成図である。
成図である。
【図２】本発明の実施例に係るフォトレジストミキシン
グ装置を示す構成図である。
グ装置を示す構成図である。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 パーク、 ハン−スー
大韓民国 キユンキ−ド スオン市 ジヤ
ンガン−ク ユルゴン−ドン 109 ジヤ
ンガン アパートメント ナ−213
Claims (5)
- 【請求項１】 カラーフィルタの製造工程中に染色層形
成時に使用されるフォトレジストミキシング方法におい
て、フォトレジストと重クローム酸アンモニウムをミキ
シング槽に供給する工程と、上記ミキシング槽内部を真
空状態にする工程と、上記ミキシング槽内でフォトレジ
ストと重クローム酸アンモニウムとをミキシングする工
程とから成るカラーフィルタ製造用フォトレジストのミ
キシング方法。 - 【請求項２】 上記フォトレジストと重クローム酸アン
モニウムは、窒素ガス（Ｎ2 ）を利用したガス圧力によ
りミキシング槽に供給されるようになっていることを特
徴とする請求項１記載のカラーフィルタ製造用のフォト
レジストのミキシング方法。 - 【請求項３】 上記ミキシング槽では、モーターを利用
して左右に回転させながら供給されたフォトレジストと
重クローム酸アンモニウムをミキシングすることを特徴
とする請求項１記載のカラーフィルタ製造用のフォトレ
ジストのミキシング方法。 - 【請求項４】 カラーフィルタの製造工程中に染色層形
成時に使用されるフォトレジストをミキシングするため
のミキシング装置であって、Ｎ2 が貯蔵されたタンク
と、フォトレジスト及び重クローム酸アンモニウムを入
れておくタンクと、上記タンク内部へガスを注入するガ
ス供給ラインと、モーターにより回転しながら供給され
るフォトレジストと重クローム酸アンモニウムをミキシ
ングするためのミキシング槽と、上記フォトレジストと
重クローム酸アンモニウムが入れているタンクとミキシ
ング槽を連結する供給ラインと、上記ミキシング槽内部
に存在する空気を排出させる空気排出ラインと、上記ミ
キシング槽の下部に設けられ該ミキシング槽内でミキシ
ングされるフォトレジストを送出する送出ラインと、各
々のラインに設けたバルブとを有することを特徴とする
カラーフィルタ製造用のフォトレジストミキシング装
置。 - 【請求項５】 上記ミキシング槽は、内部に存在する空
気が完全に排出された真空状態であることを特徴とする
請求項４記載のカラーフィルタ製造用のフォトレジスト
ミキシング装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1991-9584 | 1991-06-11 | ||
| KR1019910009584A KR940000192B1 (ko) | 1991-06-11 | 1991-06-11 | 칼라필터 제작용 포토레지스트 믹싱방법 및 장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0519455A true JPH0519455A (ja) | 1993-01-29 |
Family
ID=19315625
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3180965A Pending JPH0519455A (ja) | 1991-06-11 | 1991-07-22 | カラーフイルタ製造用フオトレジストのミキシング方法及びその装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0519455A (ja) |
| KR (1) | KR940000192B1 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100322685B1 (ko) * | 1994-12-06 | 2002-06-24 | 박영구 | 스핀코터 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5972410A (ja) * | 1982-10-18 | 1984-04-24 | Mitsubishi Electric Corp | 色光分解フイルタの製造法 |
| JPS5974513A (ja) * | 1982-10-21 | 1984-04-27 | Mitsubishi Electric Corp | カラ−フイルタ−の製造方法 |
| JPH01109302A (ja) * | 1987-10-23 | 1989-04-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | カラーフイルターの製造方法 |
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| JPH02263613A (ja) * | 1989-04-05 | 1990-10-26 | Teijin Ltd | 反応射出成形法 |
| JPH02297402A (ja) * | 1989-05-12 | 1990-12-07 | Masahiro Abe | 高速撹拌装置 |
| JPH039818A (ja) * | 1989-06-06 | 1991-01-17 | Mitsubishi Electric Corp | 注型装置 |
| JPH04204656A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-27 | Fuji Yakuhin Kogyo Kk | ネガ型感光性組成物及びそれを用いたカラーフィルターの作成方法 |
-
1991
- 1991-06-11 KR KR1019910009584A patent/KR940000192B1/ko not_active Expired - Lifetime
- 1991-07-22 JP JP3180965A patent/JPH0519455A/ja active Pending
Patent Citations (8)
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|---|---|---|---|---|
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR940000192B1 (ko) | 1994-01-12 |
| KR930000150A (ko) | 1993-01-15 |
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