JPH01109650A - ２次荷電粒子像の高速表示 - Google Patents
２次荷電粒子像の高速表示Info
- Publication number
- JPH01109650A JPH01109650A JP62267140A JP26714087A JPH01109650A JP H01109650 A JPH01109650 A JP H01109650A JP 62267140 A JP62267140 A JP 62267140A JP 26714087 A JP26714087 A JP 26714087A JP H01109650 A JPH01109650 A JP H01109650A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- secondary charged
- charged particle
- microcomputer
- scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は荷電粒子を試料に照射することによって得られ
る２次荷電粒子の像をマイクロコンピュータの処理によ
って表示器に高速に表示することにより移動中の試料の
位置決めを容易にする方法に関する。
る２次荷電粒子の像をマイクロコンピュータの処理によ
って表示器に高速に表示することにより移動中の試料の
位置決めを容易にする方法に関する。
本発明は荷電粒子を走査しながら試料に照射し検出器か
ら得られる試料の２次荷電粒子の像をマイクロコンピュ
ータ処理により表示器に表示する方法として高分解能走
査モードと低分解能走査モードを有し、試料の位置決め
をするために試料を移動しているときは低分解能走査モ
ードを実行して２次荷電粒子像の高速表示を行い、また
目的位置に到達して試料が停止しているときは高分解能
走査モードを実行することにより移動中の試料の位置決
めを容易にし走査性を向上させるものである。
ら得られる試料の２次荷電粒子の像をマイクロコンピュ
ータ処理により表示器に表示する方法として高分解能走
査モードと低分解能走査モードを有し、試料の位置決め
をするために試料を移動しているときは低分解能走査モ
ードを実行して２次荷電粒子像の高速表示を行い、また
目的位置に到達して試料が停止しているときは高分解能
走査モードを実行することにより移動中の試料の位置決
めを容易にし走査性を向上させるものである。
従来、マイクロコンピュータの処理による移動中の試料
の２次荷電粒子像の表示は表示速度が試料の移動速度に
比べて低速なために表示される像は移動方向に流れたも
のとなり試料の位置決めが困難であった。
の２次荷電粒子像の表示は表示速度が試料の移動速度に
比べて低速なために表示される像は移動方向に流れたも
のとなり試料の位置決めが困難であった。
従来の方法では移動中の試料の２次荷電粒子像は流れた
画像であり位置決めが困難であった。そして位置決めが
できる位に移動速度を低速にすると操作性が悪くなり、
また高速画像表示機能を実現するには高価で複雑なシス
テムになる等の問題点がある。
画像であり位置決めが困難であった。そして位置決めが
できる位に移動速度を低速にすると操作性が悪くなり、
また高速画像表示機能を実現するには高価で複雑なシス
テムになる等の問題点がある。
本発明は上記問題点を解決するために第２図（Ａ）に示
す高分解能走査モードと第２図（Ｂ）に示す低分解能走
査モードをマイクロコンピュータにより実行できるよう
にしておき２次荷電粒子像の表示中は常時、ＸＹステー
ジの移動を監視して、移動中は低分解能走査モードを実
行し、停止中は高分解能走査モードを実行するようにし
た。
す高分解能走査モードと第２図（Ｂ）に示す低分解能走
査モードをマイクロコンピュータにより実行できるよう
にしておき２次荷電粒子像の表示中は常時、ＸＹステー
ジの移動を監視して、移動中は低分解能走査モードを実
行し、停止中は高分解能走査モードを実行するようにし
た。
本発明によれば試料が移動しているときは粗い２次荷電
粒子像ではあるが高速な表示により試料の位置決めがで
きるので操作性を向上させる。
粒子像ではあるが高速な表示により試料の位置決めがで
きるので操作性を向上させる。
以下図面に基づいて本発明の実施例を詳細に説明する。
第１図は本発明にかかる２次荷電粒子像の高速表示を実
施した集束イオンビーム加工装置の全体構成図である。
施した集束イオンビーム加工装置の全体構成図である。
９のマイクロコンピュータは７の走査回路を制御して１
のイオンビームを３の試料表面上にラスタースキャンす
る。６は検出器であって１のイオンビームにより３の試
料からたたき出された２次イオン又は２次電子の２次荷
電粒子４の強度を検出する。９のマイクロコンピュータ
は６の検出器の出力をＡ／Ｄ変換しラスタースキャンの
位置に対応した記憶メモリーに拡納し１０の表示器に表
示する。８はＸＹステージを制御する回路で９のマイク
ロコンピュータの命令で３の試料をＸ軸方向およびＹ軸
方向に移動させることができる。１１はＸＹステージの
状態を検出する回路である。９のマイクロコンピュータ
は１のイオンビームをラスタースキャンして１フレーム
の２次荷電粒子像を表示した後１１のステージ移動検出
回路を調べて次のラスタースキャンのモードを決定する
。すなわち５のＸＹステージが移動中ならば低分解能走
査モードを実行し、停止していれば高分解能走査モード
を実行する。
のイオンビームを３の試料表面上にラスタースキャンす
る。６は検出器であって１のイオンビームにより３の試
料からたたき出された２次イオン又は２次電子の２次荷
電粒子４の強度を検出する。９のマイクロコンピュータ
は６の検出器の出力をＡ／Ｄ変換しラスタースキャンの
位置に対応した記憶メモリーに拡納し１０の表示器に表
示する。８はＸＹステージを制御する回路で９のマイク
ロコンピュータの命令で３の試料をＸ軸方向およびＹ軸
方向に移動させることができる。１１はＸＹステージの
状態を検出する回路である。９のマイクロコンピュータ
は１のイオンビームをラスタースキャンして１フレーム
の２次荷電粒子像を表示した後１１のステージ移動検出
回路を調べて次のラスタースキャンのモードを決定する
。すなわち５のＸＹステージが移動中ならば低分解能走
査モードを実行し、停止していれば高分解能走査モード
を実行する。
次に前記の二つの走査モードについて説明する。
第２図（Ａ）に高分解能走査モードの実施例を、第２図
（Ｂ）に低分解能走査モードの実施例を示す。
（Ｂ）に低分解能走査モードの実施例を示す。
高分解能走査モードでは水平方向に４００ポイント垂直
方向に４００ラインの合計１６００００ポイントの走査
を行い低分解能走査モードでは水平方向に２００ポイン
ト垂直方向に２００ラインの合計４００００ポイントの
走査を行う。すなわちこの実施例では低分解能走査モー
ドは粗い２次荷電粒子像ではあるが高分解能走査モード
の約４倍の速度で２次荷電粒子像を表示することができ
る。
方向に４００ラインの合計１６００００ポイントの走査
を行い低分解能走査モードでは水平方向に２００ポイン
ト垂直方向に２００ラインの合計４００００ポイントの
走査を行う。すなわちこの実施例では低分解能走査モー
ドは粗い２次荷電粒子像ではあるが高分解能走査モード
の約４倍の速度で２次荷電粒子像を表示することができ
る。
上記実施例はイオンビームを走査して得られる２次荷電
粒子像について説明したが、他の荷電粒子例えば電子ビ
ームによって得られる２次荷電粒子像についても応用で
きる。
粒子像について説明したが、他の荷電粒子例えば電子ビ
ームによって得られる２次荷電粒子像についても応用で
きる。
以上述べた様に本発明によれば高速画像処理機能を持た
ないマイクロコンピュータでも容易ニｉＫ速画像表示機
能を実現することができるので、これにより装置の操作
性を向上させることができる。
ないマイクロコンピュータでも容易ニｉＫ速画像表示機
能を実現することができるので、これにより装置の操作
性を向上させることができる。
第１図は本発明にかかる２次荷電粒子像の高速表示を実
施したＦＩＢ加工装置の全体構成の説明図、第２図（Ａ
）は高分解能走査モードの説明図、第２図（Ｂ）は低分
解能走査モードの説明図である。 １・・・イオンビーム ２・・・走査電極 ３・・・試料 ４・・・２次荷電粒子 ５・・・ＸＹステージ ６・・・検出器 ７・・・走査回路 ８・・・ＸＹステージ制御回路 ９・・・マイクロコンピュータ １０・・′・表示器 １１・・・ステージ移動検出回路 第 １ 図 第 ２ 図（Ａ） 第 ２ 図
（Ｂン手 続 （甫 正 書（自発）
施したＦＩＢ加工装置の全体構成の説明図、第２図（Ａ
）は高分解能走査モードの説明図、第２図（Ｂ）は低分
解能走査モードの説明図である。 １・・・イオンビーム ２・・・走査電極 ３・・・試料 ４・・・２次荷電粒子 ５・・・ＸＹステージ ６・・・検出器 ７・・・走査回路 ８・・・ＸＹステージ制御回路 ９・・・マイクロコンピュータ １０・・′・表示器 １１・・・ステージ移動検出回路 第 １ 図 第 ２ 図（Ａ） 第 ２ 図
（Ｂン手 続 （甫 正 書（自発）
Claims (1)
- 荷電粒子を走査しながら試料に照射し、検出器から得ら
れる２次荷電粒子像を表示する方法として高分解能走査
モードと低分解能走査モードを有し、試料が移動中は位
置決めを容易にするために低分解能走査モードを実行し
高速に２次荷電粒子像を表示、試料が停止中は２次荷電
粒子像の観察を容易にするために高分解能走査モードを
実行することを特徴とする２次荷電粒子像の高速表示方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62267140A JPH01109650A (ja) | 1987-10-22 | 1987-10-22 | ２次荷電粒子像の高速表示 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62267140A JPH01109650A (ja) | 1987-10-22 | 1987-10-22 | ２次荷電粒子像の高速表示 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01109650A true JPH01109650A (ja) | 1989-04-26 |
Family
ID=17440635
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62267140A Pending JPH01109650A (ja) | 1987-10-22 | 1987-10-22 | ２次荷電粒子像の高速表示 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01109650A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009245953A (ja) * | 2009-07-28 | 2009-10-22 | Hitachi Ltd | 電子ビームを用いた検査方法及び検査装置 |
| JP2012527729A (ja) * | 2009-05-20 | 2012-11-08 | カール ツァイス エヌティーエス エルエルシー | 走査方法 |
| US9123502B2 (en) | 2009-05-20 | 2015-09-01 | Carl Zeiss Microscopy, Llc | Scan method |
-
1987
- 1987-10-22 JP JP62267140A patent/JPH01109650A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012527729A (ja) * | 2009-05-20 | 2012-11-08 | カール ツァイス エヌティーエス エルエルシー | 走査方法 |
| US9123502B2 (en) | 2009-05-20 | 2015-09-01 | Carl Zeiss Microscopy, Llc | Scan method |
| JP2009245953A (ja) * | 2009-07-28 | 2009-10-22 | Hitachi Ltd | 電子ビームを用いた検査方法及び検査装置 |
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