JPH05144399A - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH05144399A JPH05144399A JP3304496A JP30449691A JPH05144399A JP H05144399 A JPH05144399 A JP H05144399A JP 3304496 A JP3304496 A JP 3304496A JP 30449691 A JP30449691 A JP 30449691A JP H05144399 A JPH05144399 A JP H05144399A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movement
- sample
- visual field
- image
- field
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】試料上の電子線の走査位置と機械的視野移動と
電磁的視野移動におけるそれぞれの座標軸系の関係を三
次元的な画像として表示することにより、観察視野の移
動を円滑に行なえる。 【構成】操作卓１６から入力した試料台の形状と機械的
視野の移動量を電気信号に変換する試料ステージポジシ
ョナー１２および電磁的視野の移動量を電気信号に変換
できる制御部１５からの信号を用いて、演算処理部１７
で処理することにより、試料台の状態と電子線の走査位
置を、機械的視野移動および電磁的視野移動の方向を示
す座標軸系と共に三次元的なグラフィックで表わす画像
２０を得る。該画像と観察像２１を見ることにより、観
察視野の移動操作を円滑に行なう。
電磁的視野移動におけるそれぞれの座標軸系の関係を三
次元的な画像として表示することにより、観察視野の移
動を円滑に行なえる。 【構成】操作卓１６から入力した試料台の形状と機械的
視野の移動量を電気信号に変換する試料ステージポジシ
ョナー１２および電磁的視野の移動量を電気信号に変換
できる制御部１５からの信号を用いて、演算処理部１７
で処理することにより、試料台の状態と電子線の走査位
置を、機械的視野移動および電磁的視野移動の方向を示
す座標軸系と共に三次元的なグラフィックで表わす画像
２０を得る。該画像と観察像２１を見ることにより、観
察視野の移動操作を円滑に行なう。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、走査電子顕微鏡に係
り、特に試料の移動操作に関するものである。
り、特に試料の移動操作に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】走査電子顕微鏡における観察視野の移動
方法には、機械的視野移動と電磁的視野移動があり、そ
れぞれに座標軸系をもつ。そのため、視野移動して観察
したい部分を表示させるときに試料移動におけるＸ−Ｙ
軸と偏向走査のＸ−Ｙ方向が異なっていると、試料上の
電子線の走査位置と試料台の機械的構造を意識するため
の操作をした後に、視野移動しなければならず、使い易
さの点で配慮されていなかった。
方法には、機械的視野移動と電磁的視野移動があり、そ
れぞれに座標軸系をもつ。そのため、視野移動して観察
したい部分を表示させるときに試料移動におけるＸ−Ｙ
軸と偏向走査のＸ−Ｙ方向が異なっていると、試料上の
電子線の走査位置と試料台の機械的構造を意識するため
の操作をした後に、視野移動しなければならず、使い易
さの点で配慮されていなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、試料
移動におけるＸ−Ｙ軸と偏向走査におけるＸ−Ｙ方向が
異なっていると、他の所望の部分に観察視野を移動する
とき、試料上の電子線の走査位置と試料台の機械的構造
を認識するための操作として、拡大倍率を下げたり視野
移動をしてみる必要があり、多くの時間を費やすことに
なる。
移動におけるＸ−Ｙ軸と偏向走査におけるＸ−Ｙ方向が
異なっていると、他の所望の部分に観察視野を移動する
とき、試料上の電子線の走査位置と試料台の機械的構造
を認識するための操作として、拡大倍率を下げたり視野
移動をしてみる必要があり、多くの時間を費やすことに
なる。
【０００４】本発明の目的は、試料台の状態と電子線の
走査位置を座標軸表示と共に、三次元的にグラフィック
画像として表示することにより、観察視野の移動操作を
円滑に行なえる走査電子顕微鏡を提供することである。
走査位置を座標軸表示と共に、三次元的にグラフィック
画像として表示することにより、観察視野の移動操作を
円滑に行なえる走査電子顕微鏡を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記の問題を解決するた
めに、本発明では以下のような手段を講じた。
めに、本発明では以下のような手段を講じた。
【０００６】（１）試料上の電子線の走査位置を試料に
照射している電子線の軌道と試料をのせている試料台の
輪郭および該輪郭によってつくられる面を用いて表わ
し、これらに機械的視野移動におけるＸ−Ｙ−Ｚ軸と電
磁的視野移動におけるＸ−Ｙ軸を加え、三次元的にグラ
フィック画像として表示する手段。
照射している電子線の軌道と試料をのせている試料台の
輪郭および該輪郭によってつくられる面を用いて表わ
し、これらに機械的視野移動におけるＸ−Ｙ−Ｚ軸と電
磁的視野移動におけるＸ−Ｙ軸を加え、三次元的にグラ
フィック画像として表示する手段。
【０００７】（２）（１）の該画像を観察視野の移動に
応じて、順次変化させる手段。
応じて、順次変化させる手段。
【０００８】
【作用】試料台の状態と電子線の走査位置を、機械的視
野移動と電磁的視野移動におけるそれぞれの座標軸系の
関係を瞬時に認識可能となり、観察視野の移動が円滑に
行なえる。
野移動と電磁的視野移動におけるそれぞれの座標軸系の
関係を瞬時に認識可能となり、観察視野の移動が円滑に
行なえる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づき詳述
する。
する。
【００１０】図１は本発明を適用した走査電子顕微鏡の
一般的構成であり、図中１は電子銃、２は電子ビーム、
３は電子ビーム２を収束するための収束レンズ、４は電
子ビーム２をＸ方向およびＹ方向に偏向するための偏向
コイル、５は視野移動用電磁コイル、６は対物レンズ、
７は試料、８〜１１は機械的に視野を移動するための試
料移動装置である。８〜１１を操作し試料を移動するこ
とにより１２の試料ステージ・ポジショナーからは、試
料台の位置に関する情報をもつ信号が出力される。１３
は偏向コイル電源、１４は視野移動用コイル電源で、そ
れぞれ制御部１５に接続され、制御信号が供給される。
１６は操作卓で試料台の形状の入力および制御部１５を
介して電磁的視野移動をさせることができる。操作卓１
６で電磁的に視野を移動したことにより制御部１５から
はコイル電源１３，１４に制御信号が供給されるだけで
なく、視野移動に関する情報をもつ信号が出力される。
試料台の形状と、１２および１５からの信号を用いて、
演算処理部１７で処理することにより試料台の状態と電
子線の走査位置を機械的視野移動および電磁的視野移動
の方向を示す座標軸系と共に、三次元的なグラフィック
で表わす画像２０を得る。また、１８は２次電子や反射
電子等の検出器であり、Ａ／Ｄコンバータ１９を介して
観察像２１を得る。２２はこれらの画像の表示部であ
る。
一般的構成であり、図中１は電子銃、２は電子ビーム、
３は電子ビーム２を収束するための収束レンズ、４は電
子ビーム２をＸ方向およびＹ方向に偏向するための偏向
コイル、５は視野移動用電磁コイル、６は対物レンズ、
７は試料、８〜１１は機械的に視野を移動するための試
料移動装置である。８〜１１を操作し試料を移動するこ
とにより１２の試料ステージ・ポジショナーからは、試
料台の位置に関する情報をもつ信号が出力される。１３
は偏向コイル電源、１４は視野移動用コイル電源で、そ
れぞれ制御部１５に接続され、制御信号が供給される。
１６は操作卓で試料台の形状の入力および制御部１５を
介して電磁的視野移動をさせることができる。操作卓１
６で電磁的に視野を移動したことにより制御部１５から
はコイル電源１３，１４に制御信号が供給されるだけで
なく、視野移動に関する情報をもつ信号が出力される。
試料台の形状と、１２および１５からの信号を用いて、
演算処理部１７で処理することにより試料台の状態と電
子線の走査位置を機械的視野移動および電磁的視野移動
の方向を示す座標軸系と共に、三次元的なグラフィック
で表わす画像２０を得る。また、１８は２次電子や反射
電子等の検出器であり、Ａ／Ｄコンバータ１９を介して
観察像２１を得る。２２はこれらの画像の表示部であ
る。
【００１１】１２，１７，２０のない走査電子顕微鏡に
おいて、試料移動装置８〜１１により試料の平行移動，
回転移動，傾斜移動等を行ない、且つ、電磁的に視野を
回転させたときの観察像からは、試料上の電子線の走査
位置および機械的視野移動におけるＸ−Ｙ−Ｚ方向を認
識することができない。したがって、視野移動して他の
所望部を観察する等の場合、目的の視野を選択するのに
多くの時間を費やすようになる。
おいて、試料移動装置８〜１１により試料の平行移動，
回転移動，傾斜移動等を行ない、且つ、電磁的に視野を
回転させたときの観察像からは、試料上の電子線の走査
位置および機械的視野移動におけるＸ−Ｙ−Ｚ方向を認
識することができない。したがって、視野移動して他の
所望部を観察する等の場合、目的の視野を選択するのに
多くの時間を費やすようになる。
【００１２】本装置では、１２，１７，２０を具備した
ことにより、画像２０上で試料上の電子線の走査位置を
三次元的なグラフィック画像として見ることができ、該
画像中に機械的視野移動におけるＸ−Ｙ−Ｚ軸と電磁的
視野移動におけるＸ−Ｙ軸を認識することができる。
ことにより、画像２０上で試料上の電子線の走査位置を
三次元的なグラフィック画像として見ることができ、該
画像中に機械的視野移動におけるＸ−Ｙ−Ｚ軸と電磁的
視野移動におけるＸ−Ｙ軸を認識することができる。
【００１３】次に、図２により本発明における画像２０
の表示例を示す。図中２３は試料に照射している電子線
の軌道であり、２４は試料台を示す。２５は機械的視野
移動におけるＸ−Ｙ−Ｚ軸であり、２６は電磁的視野移
動におけるＸ−Ｙ軸である。２７は機械的回転移動を示
すための印である。
の表示例を示す。図中２３は試料に照射している電子線
の軌道であり、２４は試料台を示す。２５は機械的視野
移動におけるＸ−Ｙ−Ｚ軸であり、２６は電磁的視野移
動におけるＸ−Ｙ軸である。２７は機械的回転移動を示
すための印である。
【００１４】図２の表示例からは、現在の観察像が、Ｘ
−Ｙ平面上のある転を走査しているときの画像であるこ
とがわかる。また、２５および２６の座標軸のＸ−Ｙ方
向が一致していることから、Ｘ−Ｙステージ１０で試料
をＸ方向に移動すると、観察像は、水平方向に移動する
ことがわかる。次に回転ステージ８で、試料を右回りに
回転移動すると、それに伴いマーク２７が移動し、観察
像は、右上から左下に移動する。傾斜ステージ９で試料
を傾けるとマーク２７と原点を結ぶ直線を軸として傾
く。
−Ｙ平面上のある転を走査しているときの画像であるこ
とがわかる。また、２５および２６の座標軸のＸ−Ｙ方
向が一致していることから、Ｘ−Ｙステージ１０で試料
をＸ方向に移動すると、観察像は、水平方向に移動する
ことがわかる。次に回転ステージ８で、試料を右回りに
回転移動すると、それに伴いマーク２７が移動し、観察
像は、右上から左下に移動する。傾斜ステージ９で試料
を傾けるとマーク２７と原点を結ぶ直線を軸として傾
く。
【００１５】図３の表示例からは、２５および２６の座
標軸のＸ−Ｙ方向が異なっているため、Ｘ−Ｙステージ
１０で試料をＸ方向に移動しても観察像では、ほぼ垂直
方向に移動することがわかる。
標軸のＸ−Ｙ方向が異なっているため、Ｘ−Ｙステージ
１０で試料をＸ方向に移動しても観察像では、ほぼ垂直
方向に移動することがわかる。
【００１６】以上のようにグラフィック像２０から試料
移動装置８〜１１を操作したときに観察像がどのように
移動するかが認識可能であることから、観察視野を所望
の位置に円滑に移動することにより操作性が向上する。
移動装置８〜１１を操作したときに観察像がどのように
移動するかが認識可能であることから、観察視野を所望
の位置に円滑に移動することにより操作性が向上する。
【００１７】
【発明の効果】以上の説明から明らかになるように、本
発明によれば次のような効果が達成される。すなわち、
試料上の電子線の走査位置と試料台の機械的構造を装置
の操作をすることなく認識可能となり、視野捜しの操作
性の良い走査電子顕微鏡を提供できる。
発明によれば次のような効果が達成される。すなわち、
試料上の電子線の走査位置と試料台の機械的構造を装置
の操作をすることなく認識可能となり、視野捜しの操作
性の良い走査電子顕微鏡を提供できる。
【図１】本発明を適用した走査電子顕微鏡の一般的構成
図である。
図である。
【図２】図１中のグラフィック画像２０の表示例を示す
図である。
図である。
【図３】同じく表示例を示す図である。
１…電子銃、２…電子ビーム、３…収束レンズ、４…偏
向コイル、５…視野移動用電磁コイル、６…対物レン
ズ、７…試料、８…回転ステージ、９…傾斜ステージ、
１０…Ｘ−Ｙステージ、１１…Ｚステージ、１２…試料
ステージポジショナー、１３…偏向コイル電源、１４…
電磁コイル電源、１５…制御部、１６…操作卓、１７…
演算処理部、１８…検出器、１９…Ａ／Ｄコンバータ、
２０…グラフィック画像、２１…観察像、２２…画像表
示部、２３…電子線の軌道、２４…試料台、２５…機械
的視野移動における座標軸、２６…電磁的視野移動にお
ける座標軸、２７…回転位置表示マーク。
向コイル、５…視野移動用電磁コイル、６…対物レン
ズ、７…試料、８…回転ステージ、９…傾斜ステージ、
１０…Ｘ−Ｙステージ、１１…Ｚステージ、１２…試料
ステージポジショナー、１３…偏向コイル電源、１４…
電磁コイル電源、１５…制御部、１６…操作卓、１７…
演算処理部、１８…検出器、１９…Ａ／Ｄコンバータ、
２０…グラフィック画像、２１…観察像、２２…画像表
示部、２３…電子線の軌道、２４…試料台、２５…機械
的視野移動における座標軸、２６…電磁的視野移動にお
ける座標軸、２７…回転位置表示マーク。
Claims (2)
- 【請求項１】試料台の状態と電子線の走査位置を、三次
元的にグラフィック画像として表示する手段と、該画像
の中に機械的視野移動におけるＸ−Ｙ−Ｚ軸と電磁的視
野移動におけるＸ−Ｙ軸を表示する手段を具備したこと
を特徴とする走査電子顕微鏡。 - 【請求項２】請求項１における手段により得られたグラ
フィック画像を、試料移動に応じて順次変化させる手段
を具備したことを特徴とする走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3304496A JPH05144399A (ja) | 1991-11-20 | 1991-11-20 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3304496A JPH05144399A (ja) | 1991-11-20 | 1991-11-20 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05144399A true JPH05144399A (ja) | 1993-06-11 |
Family
ID=17933736
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3304496A Pending JPH05144399A (ja) | 1991-11-20 | 1991-11-20 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05144399A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010016504A1 (ja) * | 2008-08-08 | 2010-02-11 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 検査装置 |
| WO2013183573A1 (ja) * | 2012-06-08 | 2013-12-12 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
-
1991
- 1991-11-20 JP JP3304496A patent/JPH05144399A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010016504A1 (ja) * | 2008-08-08 | 2010-02-11 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 検査装置 |
| US8816712B2 (en) | 2008-08-08 | 2014-08-26 | Hitachi High-Technologies Corporation | Inspection device |
| WO2013183573A1 (ja) * | 2012-06-08 | 2013-12-12 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
| JP5537737B2 (ja) * | 2012-06-08 | 2014-07-02 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
| US9129773B2 (en) | 2012-06-08 | 2015-09-08 | Hitachi High-Technologies Corporation | Charged particle beam apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5081353A (en) | Combined scanning electron and scanning tunnelling microscope apparatus and method | |
| JP2760786B2 (ja) | 走査電子顕微鏡およびその試料台移動方法 | |
| JPH05503652A (ja) | 多軌道断層撮影システム | |
| US20150144804A1 (en) | Charged Particle Beam Apparatus | |
| JP6659290B2 (ja) | 試料位置合わせ方法および荷電粒子ビーム装置 | |
| JP3293739B2 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| EP1061551B1 (en) | Scanning charged-particle beam instrument and method of observing specimen image therewith | |
| JP3672970B2 (ja) | 非接触画像計測システム | |
| TWI847205B (zh) | 帶電粒子線裝置 | |
| JPH09197287A (ja) | 電動顕微鏡 | |
| JP4758526B2 (ja) | 微細作業用マイクロマニピュレーション装置 | |
| US6727911B1 (en) | Method and apparatus for observing specimen image on scanning charged-particle beam instrument | |
| JP4456962B2 (ja) | 試料表示装置、試料表示装置の操作方法、試料表示装置操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体又は記録した機器 | |
| KR102814453B1 (ko) | 집속 이온 빔 장치 | |
| JP2001015058A (ja) | 走査型荷電粒子ビーム装置における試料像観察方法及び装置 | |
| JPS6240815B2 (ja) | ||
| JPH0393140A (ja) | 走査電子顕微鏡像と光学顕微鏡像の対応装置 | |
| JP2005158338A (ja) | 試料の観察装置及び加工装置 | |
| JPH0619970B2 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPH09320503A (ja) | 走査電子顕微鏡の試料位置制御装置 | |
| JPH0460298B2 (ja) | ||
| JPH0479140A (ja) | 荷電粒子ビーム装置及びその画像処理方法 | |
| JPH1083782A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPH0782827B2 (ja) | 荷電粒子を用いた顕微鏡の試料位置調整装置 | |
| JPH0441464B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040720 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20040921 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20041130 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20041202 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101210 Year of fee payment: 6 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |