JPH01113936A - 情報の記録用部材 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光・電子線などのエネルギービーム照射によ
って情報の書き換えが可能な情報の記録用部材に係り、
特に、非晶質または結晶性の悪い状態の結晶間の相変化
による反射率変化を利用した記録部材に関する。

〔従来の技術〕

これまでの相変化型光デイスク媒体における記録・再生
方法は、特開昭５９−７１１４０号に示されているよう
に、記録はビームスポットを十分収束させて短時間照射
し、急熱急冷によって記録膜を完全に非晶質状態にする
ことにより行い、記録の消去は、トラック方向に長い長
円スポットなどを用いて徐熱によって非晶質状態である
記録部分を完全な結晶状態に戻すことにより行っていた
。このように、記録用と消去用では異なる二つのビーム
スポットを用いていた。これは、消去に要する時間が記
録に要する時間よりも長いことに起因している。すなわ
ち記録部分の結晶化時間が長いのである。ところが、最
近になって、アプライド・フイジクス・レターズ第５０
巻１１号、　１９１１１７年第６６７頁から第６６９頁
（Ａｐｐｌ、Ｐｈｙｓ、Ｌｅｔｔ、５０（１１）１９８
７、ＰＰ６６７〜６６９）に示されているように記録時
に要するレーザ照射時間とほぼ同じ程度の時間で結晶化
が行える高速消去が可能な記録膜が開発された。この膜
を用いることにより、レーザパワーを変化させるだけで
光デイスク基板が１回転する間に単一のビームスポット
で情報の書き換えが可能となった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

−上記従来の記＠膜を用いれば、単一レーザ、′単一光
スポヅトによるオーバーライドが可能であるが、さらに
ディスクの回転速度を大きくして線速度を高め、高い情
報転送レートを実現するためには、結晶化時間を更に短
縮する必要がある。

本発明の目的は、結晶化時間を従来よりも更に短くする
ことにある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は、記録膜と接して多結晶膜を設けることによ
り、達成される。

この多結晶膜としては、ＺｎＯやＺｎＳのような、レー
ザ光照射等により蒸発・融解・変形などが起こらず、ま
た記ＳＳの膨張や収縮などによる影響を受けない膜、す
なわち、融点が高くかつ硬度が高い膜を用いる。そして
、多結晶膜の結晶サイズの好ましい範囲は、５ｎｍ以上
１１００ｎ以下、より好ましくは５ｎｍ以上５０ｎｍ以
下である。また、多結晶膜の膜厚は１０ｎｍ〜１μｍと
することが好ましく、さらに、１１００ｎ〜４００ｎｍ
の範囲とすることがより好ましい、なお多結晶膜は透明
である方が好ましい。

また本発明に用いる記録膜としては、レーザ光照射時の
最短結晶化時間が１μｓ以下で結晶化温度が２００℃以
上と高いことが望ましい、また。

多結晶膜と同じ膜構造であれば結晶化時間を更に短くす
ることができる。

【作用〕

結晶化している記録膜に高パワーのレーザ光照射等によ
り情報を記録するとその部分は非晶質または結晶性が悪
い状態となる０次にこの記録部分を低パワーのレーザ光
照射等で消去すると元の結晶状態に戻る。この時記録膜
と接して多結晶膜があると、記録膜が多結晶膜の影響を
受けて結晶化しやすくなる。すなわち非晶質または結晶
性が悪い状態から結晶状態に移る時間が短くなる。

この多結晶膜は結晶化時間を短縮するとともに反射層や
保護層としての効果もあるため有効である。

〔実施例〕

以下、本発明を実施例により詳細に説明する。

第１図は、本実施例における光ディスクの構造断面図で
ある。

まず直径５インチのガラス基板１上に、紫外線硬化樹脂
を用いてトラッキング用の溝を有する下地膜２を形成し
た。そしてこの上にイオンビームスパッタによりＺｎＯ
膜３を１１００ｎの厚さに形成した。このＺｎＯ膜３は
融点が１８００℃と高く、また透明に近く結晶サイズが
小さいため１本発明に用いる多結晶膜としては最適であ
る。このＺｎ０ｗＡｓ上に光記Ｉ＃ｃ膜として５ｎ−Ｔ
ｏ−８ｓ系記録膜４を１１００ｎの厚さに蒸着した。最
後に保護膜５として厚さ約１００μｍの紫外線硬化樹脂
層を設けた。このような構造のディスク媒体において、
基板１側から絞り込みレンズ６で十分収束させた半導体
レーザ光をトラッキング用の溝上に保持し、自動焦点合
わせをしながら記録膜４に直径１μｍ程度の記録部分を
形成した。消去は、この記録部分を半導体レーザ光によ
り融点より少し低い温度まで加熱することにより行った
。この時。

ＺｎＯ膜３がない従来のディスクに比べて消去時間が１
ケタ以上（〜１μｓ以下）短かくなることがわかった。

また第２図のように光記録膜４とＺｎＯ膜３とを逆の順
序で形成したディスク構造や、第３図のように光記録膜
４をＺｎＯ膜３ではさんだ構造においても消去時間を短
縮することができた。

本実施例では多結晶膜としてｚｎＯ膜３のような透明膜
を用いたが、Ｐｄやｐｔのような不透明膜を用いても同
様の効果があった。またこれらの不透明膜は反射層とし
ての効果もあるので、記録感度向上や消去時間短縮にも
役立つ。

これらに用いる結晶粒の大きさとしては小さい方が電気
的ノイズが小さくなるため好ましいが。

５ｎｍ以下になると消去時間を短かくする効果が弱くな
る。

〔発明の効果〕

本発明によれば、非晶質（記録）状態から結晶（消去）
状態に移る時間、すなわち結晶化（消去）時間を短かく
することができるので、情報転送レートを高くできる効
果がある。また、この多結晶膜は反射層や保護層として
の効果もあるため、信頼性向上に役立つ。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図、第３図は１本発明の実施例における光
ディスクの縦断面図である。 ｌ・・・ガラス基板、２・・・下地膜、３・・・多結晶
膜、４・・・光記録膜、５・・・保護膜、６・・・絞り
込みレンズ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、エネルギービームの照射によつて情報の書き換えが
   可能な記録用部材において、記録膜に接して多結晶膜を
   設けたことを特徴とする情報の記録用部材。 ２、上記多結晶膜の結晶粒径が５ｎｍ以上１００ｎｍ以
   下であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
   情報の記録用部材。