JPH01116074A - 走行基板の真空シール装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分計〕 本発明は、プラスチックフィルム、紙等の連続真空蒸着
装置等に適用される走行基板の真空シール装置に関する
。

〔従来の技術〕

従来はプラスチックフィルム、紙等に対する真空蒸着は
バッチ方式で行なわれており、連続して走行するフィル
ム、紙等の真空シール装置はない。また、鋼板を対象と
した従来の真空シール製電を第４図に示す。

第参図において、１は走行基板（鋼板）、２ａ、２ｂ、
２ｃ・・・・・・・・・は互いに間隔をおいて配置さＫ
た入側シールロール装置、３ａ。

３ｂ、３ａ・・・・・・・・・は互いに間隔をおいて配
置され九出側シールロール装置、４ａ、４ｂ。

４Ｃ・・・・・・・・・は真空ポンプ、５は蒸着装置、
６ａ。

６ｂ、６ｅ・・・・・・・・・は圧力室、７は蒸着室、
８はデフレクタ−ロール、９は巻付四−ルである。

走行基板１は一対のピンチロールで構成すれたシールロ
ール装置、２ａ、２ｂ、２ｃ・・・・・・・・・で仕切
られそれぞれ真空ポンプ４ａ、４ｂ。

４ｃＫ連絡されている圧力室６ａ、６ｂ、６ｃ・・・・
・・・・・を経て所定の真空度に保たれ念蒸着室７に達
し、該蒸着室内で蒸着装置５によって蒸着めっきされる
。走行基板１は蒸着室７内で入口側の走行方向と１８０
度その走行方向が変換されて逆方向に走行し、出側シー
ルロール装置、ａａ、ａｂ、３ｃ・・・・・・・・・を
経て大気中へ搬出される。

各シールロール装置の詳細を第５図及び第６図に示す。

第１図において、１１．１２はその間に走行基板１を挾
むニップを形成し図示の方向九回転する１対のピンチロ
ール、１６はケーシング、１４はケーシング１６からピ
ンチローｔｖ　１１　＃１２の面に近接する位ｔまで延
びているシールパー、１７は上流側圧力室、１８は下流
側圧力室、１９ａ、１９ｂ、１９ｃはｏ−／ｌ／１１゜
１２のまわりに図示のように形成されるリークすきまで
ある。上流側圧力室１７と下流側圧力室１８とはピンチ
ロール１１，１２及びシールパー１４とで仕切られ、わ
ずかなリークすきま１９ａ、１９ｂ、１９ｃを通って下
流側から下流側へガスが流れる。

なお、１９ａはピンチロール１１とシールパー１４との
すきま、１９ｂはピンチロール１１の軸端とケーシング
１６とのすきｔ、１９ｃはピンチロール１１及び１２の
間で走行基板工のない部分のすきまである。

基板の真空シール装置では、リークすきま面積を小さく
して上流側から下流側へ流れるガス流量を小さくするこ
とが、真空ポンプ容ｉｔ小さく抑える丸めに必要である
。

しかしながら、回転す名ビンチロールと固定されたシー
ルパーあるいはケーシングとの間のすきまは接触防止の
ためある一定値以上小さくすることができず、リークす
きま面積を小さくするには限界があつ之。

本発明は、この問題点を解決しようとするものである。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、上流側シール四−ル、下流側シールロールを
一本化して、３本−組のピンチロールを構成するように
したシールロール装置を採用した。

即ち、本発明の走行基板の真空シール装置は、連続的に
大気中から真空室に導かれ同真空室内で１８０度その走
行方向が変換されて逆行して再び大気中に導かれる走行
基板の真空シール装置において、上記走行基板の互に逆
方向に走行する部分間に位置して真空室（向って走行す
る部分の走行基板の一方の面と大気中に向って走行する
部分の走行基板の一方の面にそれぞれ接する第一のロー
ル、上記第一のロールとニップを形成して真空室に向っ
て走行する走行基板のｉも面に接する第二のロール、及
び上記第一のロールとニップを形成して大気中に向って
走行する走行基板のＪの面に接する第三のロールで形成
されるシールロール装置を複数個間隔をおいて配設し、
隣接するシールロール装置間に圧力室を形成した。

〔作用〕

本発明においては、上記３個の四−ルによって大気中か
ら真空室に向う走行基板の部分と真空室から大気中に向
う走行基板に向う走行基板の部分の双方をシールするシ
ールロール装置が形成される。

このために、従来の装置に比して所要ロール数が減少し
、リールすき間の合計値が低減しシール性能が向上する
。

また所要ロール数が減少することによって、装置のコス
トが低減する。

〔実施例〕

本発明の一実施例を第１図ないし第３図によって説明す
る。

本実施例は以下説明する点を除いては、第４図なめし第
６図に示された従来の装着と同様であるので対応する部
分は同一の符号を付しその説明を省略する。

本実施例では、走行基板１は下方に向って大気中より蒸
発室７に走行して同室内で蒸着され、同蒸発室７内で１
８０度方向を変換さ゛れ上方に向って大気中へ走行する
。

２ａ、２ｂ、２ｃ・・・・・・・・・はシールロール装
置で後記するように３本−組でピンチロールを構成して
いて、各シールロール装置は、入側及び出側シールロー
ル装置を兼ねている。

シールロール装置２ａ、２ｂ、２ｃの各々は第２図及び
第３図に示すように、大気中から蒸着室７に向う走行基
板１の部分Ａとこれに平行して蒸着室７から大気中に逆
行して向う走行基板１０部分Ｂとの中に配設され、同部
分Ａ、Ｂにある走行基板１の一面に接する第一のロール
１２、同ロール１２と走行基板１を挟むニップを形成し
てそれぞれ部分Ａ、ＢＫある走行基板１の他の面に接す
る第二、第三のロール１１゜１３を備え、ケーシング１
６から同第二、第三ノロール１１，１３の走行基板１に
向ってロール１１．１３の面に近接した位置まで延びる
シールパー１４．１４が設けられている。第２図の矢印
はそれぞれ走行基板１０走行方向及びロール１１．１２
．１３の回転方向を示す。

また、上記のように構成されたシールロール装置２ａ　
、２ｂ　、２０の間に形成される圧力室６ａ、６ｂ、６
ｃは第１図に示されるようにケーシング１６に連接され
た真空ポンプ４ａ。

４ｂ、４ｅによって所定の真空度に保たれるようになっ
ている。

本実施例は以上のように構成されていて、シー　＃　ロ
ー　ル装置２ａ　、２ｂ　、２ｃはピンチマールを構成
する３個のロー、／Ｉ／１１，１２．１３を備え、その
各々が従来装置における入口側及び出口側のシールロー
ル装置の機能を兼ねているために、所要のロール数が減
少する。

このために合計のリークすき間の個所が従来の装置にく
らべて減少すること＼なシ、リークすき開面積の合計値
を低減させることができ、シール性能が向上する。また
、所要のロール数が減少することによって装置のコスト
が低減される。

〔発明の効果〕

本発明は、以上の通りシールロール装置の所要ロール数
を減少させることができるので、リークすき間がそれだ
け少なくな夛シール性能が向上する。また所要ロール数
の減少によって装置のコストを低減させることができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の構成図、第２図は上記実施
例のシールロール装置部分の拡大断面図、第３図は第２
図のＡ−Ａ線に沿う断面図、第４図は従来の鋼板用の真
空シール装置の構成図、第５図は上記従来の真空シール
装置のシールロール装置部分の拡大断面図、第６図は第
５図のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。 １・・・走行基板、２ａ、２ｂ、２ｃ・・・シールロー
ル装置、４ａ、４ｂ、４ｃ・・・真空ポンプ、５・・・
蒸着装置、６ａ、６ｂ、６ｃ・・・圧力室、７・・・蒸
着室、８・・・デフレクタ四−ル、９・・・巻付ロール
、１１，１２．１３・・・ロール、１４川シールバー、
１６・・・ケーシング。 代理人　弁理士　坂　間　　暁　　外２名垢２図 ８４図 １泪　　　　　　　鵬６門 →Ｂ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 連続的に大気中から真空室に導かれ同真空内で１８０度
   その走行方向が変換されて逆行して再び大気中に導かれ
   る走行基板の真空シール装置において、上記走行基板の
   互に逆方向に走行する部分間に位置して真空室に向つて
   走行する部分の走行基板の一方の面と大気中に向つて走
   行する部分の走行基板の一方の面にそれぞれ接する第一
   のロール、上記第一のロールとニップを形成して真空室
   に向つて走行する走行基板の他方の面に接する第二のロ
   ール、及び上記第一のロールとニップを形成して大気中
   に向つて走行する走行基板の他方の面に接する第三のロ
   ールで形成されるシールロール装置を複数個間隔をおい
   て配設し、隣接するシールロール装置間に圧力室を形成
   したことを特徴とする走行基板の真空シール装置。