JPH01117038A - 半導体装置の樹脂封止装置 - Google Patents
半導体装置の樹脂封止装置Info
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- JPH01117038A JPH01117038A JP27508987A JP27508987A JPH01117038A JP H01117038 A JPH01117038 A JP H01117038A JP 27508987 A JP27508987 A JP 27508987A JP 27508987 A JP27508987 A JP 27508987A JP H01117038 A JPH01117038 A JP H01117038A
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 8
- 238000007789 sealing Methods 0.000 title claims description 12
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 19
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 19
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 12
- 238000000465 moulding Methods 0.000 abstract description 5
- 230000003068 static effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/02—Transfer moulding, i.e. transferring the required volume of moulding material by a plunger from a "shot" cavity into a mould cavity
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体素子等を樹脂によってその全体を封止
するための装置に関する。
するための装置に関する。
従来から、半導体素子の表面を樹脂によって封止するた
め、上型及び下型を用いた樹脂封止装置が利用されてい
る。この樹脂封止装置の従来の典型的な例を第5図に示
す。
め、上型及び下型を用いた樹脂封止装置が利用されてい
る。この樹脂封止装置の従来の典型的な例を第5図に示
す。
図において、下型は水平姿勢を保つ定盤1を基体として
構成され、定盤1の上にチェイスブロック2及びランナ
ブロック3を搭載している。ランナブロック3の上面に
は、樹脂タブレットが装填されるカル3aを凹設すると
共に、溝状に形成したランナ3bをチェイスブロック2
の上面に複数形成したキャビティ2aへの樹脂供給路と
して設けている。また、定盤1の下側にはリテーナプレ
ート4が昇降可能に配置されている。
構成され、定盤1の上にチェイスブロック2及びランナ
ブロック3を搭載している。ランナブロック3の上面に
は、樹脂タブレットが装填されるカル3aを凹設すると
共に、溝状に形成したランナ3bをチェイスブロック2
の上面に複数形成したキャビティ2aへの樹脂供給路と
して設けている。また、定盤1の下側にはリテーナプレ
ート4が昇降可能に配置されている。
このリテーナプレート4は、上型との衝合状態を保持す
る機能を持つと共に、型製作された製品をキャビティ2
aから排出させるためのエジェクタピン5を備えている
。エジェクタピン5は、定盤1を鉛直方向に貫通し、更
にキャビティ2a内の製品を突き出せるようにチェイス
ブロック2も貫通可能な長さを持つ。
る機能を持つと共に、型製作された製品をキャビティ2
aから排出させるためのエジェクタピン5を備えている
。エジェクタピン5は、定盤1を鉛直方向に貫通し、更
にキャビティ2a内の製品を突き出せるようにチェイス
ブロック2も貫通可能な長さを持つ。
一方、上型も下型と同様な構造であり、チェイスブロッ
ク2を水平姿勢に保持するフレーム6をシリンダ6aに
よって鉛直方向に昇降自在に備え、下型のカル3aに対
向する部分には樹脂タブレットを圧下するプランジャ6
bを設けている。そして、フレーム6に対して昇降可能
なリテーナプレート4には、キャビティ2aまで突き出
るストロークを持つエジェクタピン5を取り付けている
。
ク2を水平姿勢に保持するフレーム6をシリンダ6aに
よって鉛直方向に昇降自在に備え、下型のカル3aに対
向する部分には樹脂タブレットを圧下するプランジャ6
bを設けている。そして、フレーム6に対して昇降可能
なリテーナプレート4には、キャビティ2aまで突き出
るストロークを持つエジェクタピン5を取り付けている
。
このような樹脂封止装置においては、下型と上型とを衝
合することによってキャビティ2aを閉じた空間とし、
カル3aからランナ3bを経て樹脂をこのキャビティ2
aに供給することによって型製作が可能である。そして
、成型後には、上型及び下型を離型するよりも前にエジ
ェクタピン5をキャビティ2a内に突き出すことによっ
て、得られた製品が上下の型から速やかに離脱させるこ
とが可能である。
合することによってキャビティ2aを閉じた空間とし、
カル3aからランナ3bを経て樹脂をこのキャビティ2
aに供給することによって型製作が可能である。そして
、成型後には、上型及び下型を離型するよりも前にエジ
ェクタピン5をキャビティ2a内に突き出すことによっ
て、得られた製品が上下の型から速やかに離脱させるこ
とが可能である。
ところが、エジェクタピン5は、定盤1を貫通し更にチ
ェイスブロック2をも突き抜ける配置である。このため
、成型する製品の仕様が変更になったときのライン作業
としては、型が異なるチェイスブロック2のみだけでは
なく、定盤1及びリテーナプレート4を含む型全体を組
み換える必要がある。また、異なる製品形状のものを製
作しようとするとき、キャビティ2aの大きさや位置も
変更するので、定盤1をそのまま使用するとエジェクタ
ピン5がキャビティ2aに適正に対応しない。
ェイスブロック2をも突き抜ける配置である。このため
、成型する製品の仕様が変更になったときのライン作業
としては、型が異なるチェイスブロック2のみだけでは
なく、定盤1及びリテーナプレート4を含む型全体を組
み換える必要がある。また、異なる製品形状のものを製
作しようとするとき、キャビティ2aの大きさや位置も
変更するので、定盤1をそのまま使用するとエジェクタ
ピン5がキャビティ2aに適正に対応しない。
したがって、チェイスブロック2のみの交換だけでなく
、新たに定盤1及びエジェクタピン5の位置を変更した
リテーナプレート4を必要とする。
、新たに定盤1及びエジェクタピン5の位置を変更した
リテーナプレート4を必要とする。
このように、異なる製品を製作するときには、型全体の
設備を交換することが必須となり、ラインの停止時間が
長くなり、生産性の低下を余儀なくされる。また、この
ように頻繁に型の交換や組み替えを行うのでは、多品種
少量生産には不適であり、コスト上昇という問題も避け
られない現状である。
設備を交換することが必須となり、ラインの停止時間が
長くなり、生産性の低下を余儀なくされる。また、この
ように頻繁に型の交換や組み替えを行うのでは、多品種
少量生産には不適であり、コスト上昇という問題も避け
られない現状である。
そこで、本発明は、仕様の異なる製品の型製作にも即応
でき、生産効率の高い製造を可能とすることを目的とす
る。
でき、生産効率の高い製造を可能とすることを目的とす
る。
本発明は、以上の目的を達成するために、半導体素子を
収納するキャビティを形成した上型及び下型用のチェイ
スブロックを昇降可能に備え、該チェイスブロックを鉛
直方向に貫通し前記キャビティ内の製品を押し出すエジ
ェクタピンを備えた樹脂封止装置であって、前記エジェ
クタピンを前記チェイスブロック内に封入し、更に該エ
ジェクタピンを前記上型及び下型間の製品創成面方向へ
昇降させる駆動系を前記チェイスブロックの外部に配置
し、これらエジェクタピン及び駆動系の連接を着脱自在
としたことを特徴とする。
収納するキャビティを形成した上型及び下型用のチェイ
スブロックを昇降可能に備え、該チェイスブロックを鉛
直方向に貫通し前記キャビティ内の製品を押し出すエジ
ェクタピンを備えた樹脂封止装置であって、前記エジェ
クタピンを前記チェイスブロック内に封入し、更に該エ
ジェクタピンを前記上型及び下型間の製品創成面方向へ
昇降させる駆動系を前記チェイスブロックの外部に配置
し、これらエジェクタピン及び駆動系の連接を着脱自在
としたことを特徴とする。
以下、図面に示す実施例により本発明の特徴を具体的に
説明する。
説明する。
第1図は本発明の樹脂封止装置の縦断面図であり、第5
図の従来例で示したものと対応する部材については共通
の符番で指示し、その詳細な説明を省略した。
図の従来例で示したものと対応する部材については共通
の符番で指示し、その詳細な説明を省略した。
図において、チェイスブロック2は、キャビテイ2aを
一面に形成した静止ブロック20及びこれに対して鉛直
方向に昇降可能な可動ブロック21のペアによって構成
されている。つまり、下型においては静止ブロック20
と定盤1との間に、及び上型においては静止ブロック2
0とフレーム6との間にそれぞれ可動ブロック21が配
置されている。これらの可動ブロック21には、静止ブ
ロック20を鉛直方向に貫通してキャビティ2aの内部
に達するエジェクタピン22を一体化している。
一面に形成した静止ブロック20及びこれに対して鉛直
方向に昇降可能な可動ブロック21のペアによって構成
されている。つまり、下型においては静止ブロック20
と定盤1との間に、及び上型においては静止ブロック2
0とフレーム6との間にそれぞれ可動ブロック21が配
置されている。これらの可動ブロック21には、静止ブ
ロック20を鉛直方向に貫通してキャビティ2aの内部
に達するエジェクタピン22を一体化している。
一方、上下のリテーナプレート4には、その上下動を可
動ブロック21に伝達するためのロッド23が設けられ
る。このロッド23は、定盤1及びフレーム6を鉛直方
向へ貫通する軸線方向の姿勢を持って可動ブロック21
に連結されている。
動ブロック21に伝達するためのロッド23が設けられ
る。このロッド23は、定盤1及びフレーム6を鉛直方
向へ貫通する軸線方向の姿勢を持って可動ブロック21
に連結されている。
第2図は下型の全体を概略的に示す斜視図であり、4個
のチェイスブロック2及び1個のランナブロック3を定
盤1の上面に配列している。そして、従来技術の項でも
既に述べたように、カル3aからランナ3bを経由して
チェイスブロック2のキャビティ2aまでの樹脂の流路
が形成されている。
のチェイスブロック2及び1個のランナブロック3を定
盤1の上面に配列している。そして、従来技術の項でも
既に述べたように、カル3aからランナ3bを経由して
チェイスブロック2のキャビティ2aまでの樹脂の流路
が形成されている。
また、第3図は第2図と同様に下型の全体を示すもので
、チェイスブロック2の交換を説明するためのものであ
る。同図において、定盤1には、複数のチェイスブロッ
ク2を装着するための凹部1aを設けると共に、チェイ
スブロック2の上端を拘束するロックプレート1bを備
えている。また、凹部1a内に挿入したチェイスブロッ
ク2の端面を拘束して位置決めするロックブロックIC
を着脱可能に配置している。
、チェイスブロック2の交換を説明するためのものであ
る。同図において、定盤1には、複数のチェイスブロッ
ク2を装着するための凹部1aを設けると共に、チェイ
スブロック2の上端を拘束するロックプレート1bを備
えている。また、凹部1a内に挿入したチェイスブロッ
ク2の端面を拘束して位置決めするロックブロックIC
を着脱可能に配置している。
一方、チェイスブロック2は、前記のように定盤1に対
して定位置に保持される静止ブロック20を外郭として
形成し、その内部に可動ブロック21を収納した構成で
ある。そして、この可動ブロック21には第1図に示し
たようなエジェクタピン22が一体化され、更に静止ブ
ロック20の底壁を貫通するロッド23が可動ブロック
21とリテーナプレート4とを連結している。
して定位置に保持される静止ブロック20を外郭として
形成し、その内部に可動ブロック21を収納した構成で
ある。そして、この可動ブロック21には第1図に示し
たようなエジェクタピン22が一体化され、更に静止ブ
ロック20の底壁を貫通するロッド23が可動ブロック
21とリテーナプレート4とを連結している。
以上の構成に声いて、上下のチェイスブロック2を衝合
させる作動を行えば、キャビティ2a内にセットした半
導体素子の全体を樹脂によって封止できる。そして、上
下の型を離型する前に、上下のリテーナプレート4をそ
れぞれ成型面方向へ移動させると、ロッド23によって
可動ブロック21が同様に成型面方向へ移動する。その
結果、エジェクタピン22がキャビティ2a内に入り込
み、成型後の製品をチェイスブロック2から押し出すこ
とができる。
させる作動を行えば、キャビティ2a内にセットした半
導体素子の全体を樹脂によって封止できる。そして、上
下の型を離型する前に、上下のリテーナプレート4をそ
れぞれ成型面方向へ移動させると、ロッド23によって
可動ブロック21が同様に成型面方向へ移動する。その
結果、エジェクタピン22がキャビティ2a内に入り込
み、成型後の製品をチェイスブロック2から押し出すこ
とができる。
ここで、製品の仕様が変更になったときには、第3図に
示したように、チエイスプロッタ2のみを交換すればよ
い。つまり、製品の仕様はキャビティ2aの形状によっ
て決定されるので、チェイスブロック2を交換すれば即
時に製造を開始することができる。そして、チェイスブ
ロック2は、キャビティ2aの位置に対応したエジェク
タピン22を設けており、またリテーナプレート4に連
動する可動ブロック21を備えているので、定盤1やそ
の他の設備を交換する必要は全くない。このため、製品
仕様の変更に対しても、チェイスブロック2の交換のみ
の作業で再操業可能なので、ライン停止時間の短縮が可
能となり、生産効率の向上が達成される。
示したように、チエイスプロッタ2のみを交換すればよ
い。つまり、製品の仕様はキャビティ2aの形状によっ
て決定されるので、チェイスブロック2を交換すれば即
時に製造を開始することができる。そして、チェイスブ
ロック2は、キャビティ2aの位置に対応したエジェク
タピン22を設けており、またリテーナプレート4に連
動する可動ブロック21を備えているので、定盤1やそ
の他の設備を交換する必要は全くない。このため、製品
仕様の変更に対しても、チェイスブロック2の交換のみ
の作業で再操業可能なので、ライン停止時間の短縮が可
能となり、生産効率の向上が達成される。
また、製品仕様の変更があっても、定盤1やフレーム6
及びリテーナプレート4はそのまま使用できるので、設
備費の低減も可能となり、コスト面でもきわめて有利で
ある。そして、実際の作業に必要なのは、比較的軽量な
チェイスブロック2の交換のみなので、作業負担も小さ
く、安全な交換作業が確保される。
及びリテーナプレート4はそのまま使用できるので、設
備費の低減も可能となり、コスト面でもきわめて有利で
ある。そして、実際の作業に必要なのは、比較的軽量な
チェイスブロック2の交換のみなので、作業負担も小さ
く、安全な交換作業が確保される。
第4図は他の実施例を示すものであり、これはロッド2
3を定盤1及びフレーム6のそれぞれにロッド23を摺
動可能に設け、定盤1及びフレーム6の相対的な昇降運
動によってこれらのロッド23により可動ブロック21
を作動させる構造としてものである。そして、可動ブロ
ック21はエジェクタピン22の端部を固定するため2
枚組であり、エジェクタピン22は前記実施例の場合と
同様にチェイスブロック2を貫通してキャビテイ2a部
分に達する長さを持っている。
3を定盤1及びフレーム6のそれぞれにロッド23を摺
動可能に設け、定盤1及びフレーム6の相対的な昇降運
動によってこれらのロッド23により可動ブロック21
を作動させる構造としてものである。そして、可動ブロ
ック21はエジェクタピン22の端部を固定するため2
枚組であり、エジェクタピン22は前記実施例の場合と
同様にチェイスブロック2を貫通してキャビテイ2a部
分に達する長さを持っている。
また、定盤1はリテーナプレート4にスプリング4aに
よって連接した構造とし、これらの定盤1及びリテーナ
プレート4は前記実施例の場合と同様に相対的な昇降運
動が可能である。そして、定盤1がフレーム6から離れ
る方向に移動するときには、つまり定盤1が離型のため
に下降するときはロッド23が可動ブロック21を突き
上げるように上に移動する。
よって連接した構造とし、これらの定盤1及びリテーナ
プレート4は前記実施例の場合と同様に相対的な昇降運
動が可能である。そして、定盤1がフレーム6から離れ
る方向に移動するときには、つまり定盤1が離型のため
に下降するときはロッド23が可動ブロック21を突き
上げるように上に移動する。
一方、フレーム6は上方のリテーナプレート4に対して
スプリング4b及びポル)4Cによって連接され、ンリ
ンダ6aによってフレーム6が下降したときには、この
スプリング4bが収縮して衝合力を負荷する。そして、
型製作後にンリンダ6aによって定盤1からフレーム6
を離す方向へ移動させると、スプリング4bの付勢力に
よってフレームを下方に押す作用力を与え、その結果ロ
ッド23が可動ブロック21′を下側に移動させる。
スプリング4b及びポル)4Cによって連接され、ンリ
ンダ6aによってフレーム6が下降したときには、この
スプリング4bが収縮して衝合力を負荷する。そして、
型製作後にンリンダ6aによって定盤1からフレーム6
を離す方向へ移動させると、スプリング4bの付勢力に
よってフレームを下方に押す作用力を与え、その結果ロ
ッド23が可動ブロック21′を下側に移動させる。
このように、定盤1とフレーム6とを引き離して離型す
るときには、上下のロッド23がそれぞれの可動ブロッ
ク21をキャビティ2a方向に移動させる。したがって
、前記の実施例と同様に、製品の離型が良好に行えると
共に、製品の仕様が変更になっでもチェイスブロック2
のみを交換すればよく、生産性の向上が可能となる。
るときには、上下のロッド23がそれぞれの可動ブロッ
ク21をキャビティ2a方向に移動させる。したがって
、前記の実施例と同様に、製品の離型が良好に行えると
共に、製品の仕様が変更になっでもチェイスブロック2
のみを交換すればよく、生産性の向上が可能となる。
以上に説明したように、本発明の樹脂封止装置において
は、キャビティを一面に形成したチェイスブロックを二
つのブロックに分割し、その一方を昇降動作するリテー
ナプレートに連動させると共にキャビティ内の製品を押
し出すエジェクタピンを設けている。このため、定盤等
を貫通するようにエジェクタピンを配置していた従来構
造に比べて、製品仕様が変更になったときには、チェイ
スブロックのみを交換すればよい。したがって、型全体
の交換作業が不要となり、ライン停止時間の短縮によっ
て生産効率の向上が可能となる。また、製品仕様の変更
に際しては、定盤等を新たに製作し直す必要もないので
、設備費の低減によって、コスト面でも有利となる。
は、キャビティを一面に形成したチェイスブロックを二
つのブロックに分割し、その一方を昇降動作するリテー
ナプレートに連動させると共にキャビティ内の製品を押
し出すエジェクタピンを設けている。このため、定盤等
を貫通するようにエジェクタピンを配置していた従来構
造に比べて、製品仕様が変更になったときには、チェイ
スブロックのみを交換すればよい。したがって、型全体
の交換作業が不要となり、ライン停止時間の短縮によっ
て生産効率の向上が可能となる。また、製品仕様の変更
に際しては、定盤等を新たに製作し直す必要もないので
、設備費の低減によって、コスト面でも有利となる。
第1図は本発明の一実施例を示す樹脂封止装置の縦断面
図、第2図は下型の概略を示す斜視図、第3図はチェイ
スブロックの交換を説明するための斜視図、第4図は他
の実施例を示す概略図、第5図は従来の樹脂封止装置を
示すものである。 1:定盤 2:チェイスブロック2a;キャ
ビティ 3:ランナブリンク3a:カル
3b;ランナ 4:リテーナプレート 6:フレーム 6aニジリンダ 6b=プランジヤ 20:静止ブロック 21:可動ブロック22;エジ
ェクタピン 23:ロッド 特許出願人 株式会社 三井ハイチック代 理
人 小 堀 益(ほか2名)第4図 第5図
図、第2図は下型の概略を示す斜視図、第3図はチェイ
スブロックの交換を説明するための斜視図、第4図は他
の実施例を示す概略図、第5図は従来の樹脂封止装置を
示すものである。 1:定盤 2:チェイスブロック2a;キャ
ビティ 3:ランナブリンク3a:カル
3b;ランナ 4:リテーナプレート 6:フレーム 6aニジリンダ 6b=プランジヤ 20:静止ブロック 21:可動ブロック22;エジ
ェクタピン 23:ロッド 特許出願人 株式会社 三井ハイチック代 理
人 小 堀 益(ほか2名)第4図 第5図
Claims (1)
- 1、半導体素子を収納するキャビティを形成した上型及
び下型用のチェイスブロックを昇降可能に備え、該チェ
イスブロックを鉛直方向に貫通し前記キャビティ内の製
品を押し出すエジェクタピンを備えた樹脂封止装置であ
って、前記エジェクタピンを前記チェイスブロック内に
封入し、更に該エジェクタピンを前記上型及び下型間の
製品創成面方向へ昇降させる駆動系を前記チェイスブロ
ックの外部に配置し、これらエジェクタピン及び駆動系
の連接を着脱自在としたことを特徴とする半導体装置の
樹脂封止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27508987A JPH01117038A (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 | 半導体装置の樹脂封止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27508987A JPH01117038A (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 | 半導体装置の樹脂封止装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01117038A true JPH01117038A (ja) | 1989-05-09 |
Family
ID=17550642
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27508987A Pending JPH01117038A (ja) | 1987-10-29 | 1987-10-29 | 半導体装置の樹脂封止装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01117038A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5480296A (en) * | 1992-02-15 | 1996-01-02 | Goldstar Electron Co., Ltd. | Transfer molding apparatus for encapsulating an electrical element in resin |
| US5871782A (en) * | 1995-12-30 | 1999-02-16 | Lg Semicon Co. Ltd. | Transfer molding apparatus having laminated chase block |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6192818A (ja) * | 1985-09-06 | 1986-05-10 | Hitachi Ltd | モ−ルド型 |
-
1987
- 1987-10-29 JP JP27508987A patent/JPH01117038A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6192818A (ja) * | 1985-09-06 | 1986-05-10 | Hitachi Ltd | モ−ルド型 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5480296A (en) * | 1992-02-15 | 1996-01-02 | Goldstar Electron Co., Ltd. | Transfer molding apparatus for encapsulating an electrical element in resin |
| US5871782A (en) * | 1995-12-30 | 1999-02-16 | Lg Semicon Co. Ltd. | Transfer molding apparatus having laminated chase block |
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