JPH01118218A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPH01118218A JPH01118218A JP62276132A JP27613287A JPH01118218A JP H01118218 A JPH01118218 A JP H01118218A JP 62276132 A JP62276132 A JP 62276132A JP 27613287 A JP27613287 A JP 27613287A JP H01118218 A JPH01118218 A JP H01118218A
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- JP
- Japan
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- film
- vapor source
- magnetic recording
- evaporation
- alloy
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- Granted
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は高密度磁気記録に適する強磁性金属薄膜を磁気
記録層とする磁気記録媒体の製造方法に関するものであ
る。
記録層とする磁気記録媒体の製造方法に関するものであ
る。
従来の技術
近年磁気記録の高密度化は目覚しいものがあり、蒸着テ
ープ等の強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒
体が望まれている〔アイイーイーイー トランザクショ
ンズ オン マグネティクス（Ｉ Ｅ Ｅ ＨＴｒａｎ
ｓａｃｔｉｏｎｓ ｏｎ Ｍａｇｎｅｔｉｃｓ）Ｖｏｌ
、ＭＡＧ−２１，Ｎｏ−３，Ｐ、Ｐ、 １２１７〜１
２２０ （１９８５））。かかる磁気記録媒体は、円筒
キャン等の回転支持体に基材フィルムを沿わせて、フィ
ルムを移動させながら、連続的に入射角の変化する蒸着
を行って得るのが一般的で〔電子通信学会、磁気記録研
究会、ＭＲ，８１−２（１９８１））、電子ビーム蒸着
を基本にしている（特公昭５７−１９４９３公報）。
ープ等の強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒
体が望まれている〔アイイーイーイー トランザクショ
ンズ オン マグネティクス（Ｉ Ｅ Ｅ ＨＴｒａｎ
ｓａｃｔｉｏｎｓ ｏｎ Ｍａｇｎｅｔｉｃｓ）Ｖｏｌ
、ＭＡＧ−２１，Ｎｏ−３，Ｐ、Ｐ、 １２１７〜１
２２０ （１９８５））。かかる磁気記録媒体は、円筒
キャン等の回転支持体に基材フィルムを沿わせて、フィ
ルムを移動させながら、連続的に入射角の変化する蒸着
を行って得るのが一般的で〔電子通信学会、磁気記録研
究会、ＭＲ，８１−２（１９８１））、電子ビーム蒸着
を基本にしている（特公昭５７−１９４９３公報）。
現状では、Ｑｏ−Ｎｉ合金を単一蒸発源より電子ビーム
にて加熱蒸発させ、雰囲気を酸素等の酸化性のものとし
て、部分酸化された強磁性金属薄膜を形成したものがｃ
／Ｎ、耐久性に優れていることが知られている（特開昭
５３−４２０１０号公報）が、更に短波長化が予測され
るため、Ｃｏ−Ｎｉ−０膜以外にも、Ｃｏ−Ｃｒ等の垂
直磁化膜（特公昭６Ｂ−９１号公報）をはじめ、Ｃｏ−
Ｃｒ−Ｗｂ （特開昭６１−７７１２８号公報）、Ｃｏ
−Ｎｉ−Ｗｂ−０（特開昭５７−１９８５０８号公報）
、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｕ−Ｐｒ−０（特開昭６２−３４１９
号公報）等数多くの提案がなされ、各方面で検討が進め
られている。
にて加熱蒸発させ、雰囲気を酸素等の酸化性のものとし
て、部分酸化された強磁性金属薄膜を形成したものがｃ
／Ｎ、耐久性に優れていることが知られている（特開昭
５３−４２０１０号公報）が、更に短波長化が予測され
るため、Ｃｏ−Ｎｉ−０膜以外にも、Ｃｏ−Ｃｒ等の垂
直磁化膜（特公昭６Ｂ−９１号公報）をはじめ、Ｃｏ−
Ｃｒ−Ｗｂ （特開昭６１−７７１２８号公報）、Ｃｏ
−Ｎｉ−Ｗｂ−０（特開昭５７−１９８５０８号公報）
、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｕ−Ｐｒ−０（特開昭６２−３４１９
号公報）等数多くの提案がなされ、各方面で検討が進め
られている。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら上記した各種の薄膜の組成コントロールは
、高周波スパッタリング法に於ては十分可能で、実験室
規模での基礎データをとるには不足はないが、実用化す
るには、量産性のある製造方法による必要があり改善が
望まれていた。
、高周波スパッタリング法に於ては十分可能で、実験室
規模での基礎データをとるには不足はないが、実用化す
るには、量産性のある製造方法による必要があり改善が
望まれていた。
本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、量産性の
ある磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とす
るものである。
ある磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とす
るものである。
問題点を解決するための手段
上記した問題点を解決するため本発明の磁気記録媒体の
製造方法は、回転支持体に沿って移動する高分子フィル
ムにＣｏ−Ｍ合金を蒸着する際、長手方向にくし形に組
み合わせられたｃｏ蒸発源とＭ蒸発源を単一走査ビーム
にて加熱蒸発せしめるようにするものである。
製造方法は、回転支持体に沿って移動する高分子フィル
ムにＣｏ−Ｍ合金を蒸着する際、長手方向にくし形に組
み合わせられたｃｏ蒸発源とＭ蒸発源を単一走査ビーム
にて加熱蒸発せしめるようにするものである。
作用
上記製造方法により、合金蒸気流の入射角が同じ状態で
成膜できることになり、膜厚方向で成分比も均一に構成
され、また２種の合金の加熱蒸発も短時間にできること
から、結晶の性質も良好になり、磁気特性が微視的に均
一化するため、磁気特性並びに量産性に優れた磁気記録
媒体を製造できるようになるのである。
成膜できることになり、膜厚方向で成分比も均一に構成
され、また２種の合金の加熱蒸発も短時間にできること
から、結晶の性質も良好になり、磁気特性が微視的に均
一化するため、磁気特性並びに量産性に優れた磁気記録
媒体を製造できるようになるのである。
実施例
以下、図面を参照しながら本発明の一実施例について詳
しく説明する。第１図は、本発明を実施するのに用いた
蒸着装置の要部構成図である。第１図において、１はポ
リエチレンテレフタレートフィルム、ホリフェニレンサ
ルファイドフィルム等の高分子フィルム、２は巻出し軸
、３は巻取り軸、４は円筒キャン等の回転支持体、６は
耐火性の水冷銅ハース等の容器を組み合わせた蒸発源容
器、６は電子ビーム発生器、７は電子ビーム、８は最小
入射角を決めるためのマスク、９は真空槽、１０は真空
排気系である。
しく説明する。第１図は、本発明を実施するのに用いた
蒸着装置の要部構成図である。第１図において、１はポ
リエチレンテレフタレートフィルム、ホリフェニレンサ
ルファイドフィルム等の高分子フィルム、２は巻出し軸
、３は巻取り軸、４は円筒キャン等の回転支持体、６は
耐火性の水冷銅ハース等の容器を組み合わせた蒸発源容
器、６は電子ビーム発生器、７は電子ビーム、８は最小
入射角を決めるためのマスク、９は真空槽、１０は真空
排気系である。
第２図は、本実施例の蒸発源の説明図で、第２図におい
て、１１は容器ムで、容器Ｂ１２と長手方向にくし形に
組み合わされていて、蒸発用の電子ビーム１３により、
フィルム上で幅方向に均一に合金膜が形成されるよう走
査される。溶解用の電子ビーム１４．１５により加熱さ
れるようにしてもよい。この蒸発源はその長手方向がフ
ィルムの移動方向と直交するように配置され、高分子フ
ィルムの移動方向に対しては蒸発源が単一であるものと
して作用することになり、従来の２つの蒸発源を別個に
用いる二元蒸発源方式の欠点を解消できることになる。
て、１１は容器ムで、容器Ｂ１２と長手方向にくし形に
組み合わされていて、蒸発用の電子ビーム１３により、
フィルム上で幅方向に均一に合金膜が形成されるよう走
査される。溶解用の電子ビーム１４．１５により加熱さ
れるようにしてもよい。この蒸発源はその長手方向がフ
ィルムの移動方向と直交するように配置され、高分子フ
ィルムの移動方向に対しては蒸発源が単一であるものと
して作用することになり、従来の２つの蒸発源を別個に
用いる二元蒸発源方式の欠点を解消できることになる。
なお、蒸発源ＡはＣｏ又はＣｏ−Ｎｉ、、蒸発源ＢはＯ
ｒ、Ｂ、Ｔｉ、Ｐｒ、Ｍｏ。
ｒ、Ｂ、Ｔｉ、Ｐｒ、Ｍｏ。
Ｔａ、Ｗ、Ｒｕ、Ｓｎ、Ａｅ等で、蒸発源容器ＡはＭｇ
Ｏ、ＺｒＯ２等の耐火物容器で、蒸発源容器Ｂは水冷銅
ハース又は、Ｃａｂ、ＺｒＯ，、、ＭｇＯ等から適宜選
択するものとする。
Ｏ、ＺｒＯ２等の耐火物容器で、蒸発源容器Ｂは水冷銅
ハース又は、Ｃａｂ、ＺｒＯ，、、ＭｇＯ等から適宜選
択するものとする。
以下、更に具体的に本実施例により得られた磁気記録媒
体を従来法で得られた比較例との対比で説明する。
体を従来法で得られた比較例との対比で説明する。
直径１ｍの円筒キャンの直下４０備に蒸発源を配し、最
小入射角４０度、３ Ｘ １０−５（Ｔｏｒｒ）ノ酸素
中でＣｏ−Ｎ１−Ｂをｏ、ｉμｍ蒸着した。
小入射角４０度、３ Ｘ １０−５（Ｔｏｒｒ）ノ酸素
中でＣｏ−Ｎ１−Ｂをｏ、ｉμｍ蒸着した。
Ｃｏ ：Ｎｉ ： Ｂ＝７ｅ： １８ ： ｅ （ｗｔ
％）とした。
％）とした。
実施例は、幅８０ｃＭでお互いにくし形に５ケ所で、か
み合わせたＭｇＯるつぼと水冷銅ハースで、３゜ＫＶ
、１２０ＫＷの電子ビームを幅方向に単一走査ビームと
して用いたものである。
み合わせたＭｇＯるつぼと水冷銅ハースで、３゜ＫＶ
、１２０ＫＷの電子ビームを幅方向に単一走査ビームと
して用いたものである。
比較例は、直下にＭｇＯるっぽを配し、高分子フィルム
の移動方向にＭｇＯるつぼより１２個ずらした位置に水
冷銅ハースを配し、３０ＫＶ、１２０ＫＷの電子ビーム
をジャンピング走査による従来よく知られる二元蒸発源
で試作した。ＭｇＯるつぼにＣｏ−Ｎｉを水冷銅ハース
にＢを配し、いずれも膜中にＣｏ：Ｎｉ；Ｂ＝ｙ６：１
８：ｅ （ｗｔ％）で含まれる条件で蒸着し、潤滑層と
して、パーフルオロステアリン酸を５ＯＡ真空蒸着して
から８ミリ幅の磁気テープとした。
の移動方向にＭｇＯるつぼより１２個ずらした位置に水
冷銅ハースを配し、３０ＫＶ、１２０ＫＷの電子ビーム
をジャンピング走査による従来よく知られる二元蒸発源
で試作した。ＭｇＯるつぼにＣｏ−Ｎｉを水冷銅ハース
にＢを配し、いずれも膜中にＣｏ：Ｎｉ；Ｂ＝ｙ６：１
８：ｅ （ｗｔ％）で含まれる条件で蒸着し、潤滑層と
して、パーフルオロステアリン酸を５ＯＡ真空蒸着して
から８ミリ幅の磁気テープとした。
夫々のテープを８ミリビデオデツキを改造しキャリア周
波数を５ＭＨｚから７．５ＭＨ２にあげ広帯域化シ、ギ
ャップ長ｏ、２ｅμｍのアモルファススパッタ膜とフェ
ライトの複合型の磁気ヘッドにより記録再生し、ガを比
較した。
波数を５ＭＨｚから７．５ＭＨ２にあげ広帯域化シ、ギ
ャップ長ｏ、２ｅμｍのアモルファススパッタ膜とフェ
ライトの複合型の磁気ヘッドにより記録再生し、ガを比
較した。
実施例は、４ｏｃｒｎ幅、長さ２０００７７２より任意
の２０巻（１巻６０ｍ）’ｉ選び測定した平均値で、比
較例に対して１．９ （ｄＢ）良好で、ガの最大と最小
値の差は、比較例が２．８ （ｄＢ）あったのに対し、
実施例ではｏ、５（ｄＢ）と極めて均一であった。
の２０巻（１巻６０ｍ）’ｉ選び測定した平均値で、比
較例に対して１．９ （ｄＢ）良好で、ガの最大と最小
値の差は、比較例が２．８ （ｄＢ）あったのに対し、
実施例ではｏ、５（ｄＢ）と極めて均一であった。
上記実施例には斜め蒸着の場合であるが、垂直蒸着によ
る垂直磁化膜を形成する場合でも効果的であるのは勿論
である。
る垂直磁化膜を形成する場合でも効果的であるのは勿論
である。
発明の効果
以上のように本発明によれば、Ｃｏ−Ｍ合金系で優れた
磁気記録性能を有する合金系を蒸着法により均一に、か
つ高速で得ることができるといったすぐれた効果がある
。
磁気記録性能を有する合金系を蒸着法により均一に、か
つ高速で得ることができるといったすぐれた効果がある
。
第１図は、本発明を実施するのに用いた蒸着装置の要部
構成図、第２図は本発明の蒸発源の構成を示す平面図で
ある。 １・・・・・・高分子フィルム、４・・・・・同筒キャ
ン、５・・・・・・蒸発源容器、７・・・・・・電子ビ
ーム。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名１−
−−吉ｈ／＋与フィルム 第 ２ 図
構成図、第２図は本発明の蒸発源の構成を示す平面図で
ある。 １・・・・・・高分子フィルム、４・・・・・同筒キャ
ン、５・・・・・・蒸発源容器、７・・・・・・電子ビ
ーム。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名１−
−−吉ｈ／＋与フィルム 第 ２ 図
Claims (1)
- 回転支持体に沿って移動する高分子フィルムに、Ｃｏ−
Ｍ合金を蒸着する際、長手方向にくし形に組み合わせら
れたＣｏ蒸発源とＭ蒸発源を単一走査ビームにて加熱蒸
発せしめることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62276132A JP2548239B2 (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62276132A JP2548239B2 (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01118218A true JPH01118218A (ja) | 1989-05-10 |
| JP2548239B2 JP2548239B2 (ja) | 1996-10-30 |
Family
ID=17565233
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62276132A Expired - Lifetime JP2548239B2 (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2548239B2 (ja) |
-
1987
- 1987-10-30 JP JP62276132A patent/JP2548239B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2548239B2 (ja) | 1996-10-30 |
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