JPH01121194A - 芯合せ装置 - Google Patents
芯合せ装置Info
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- JPH01121194A JPH01121194A JP27934887A JP27934887A JPH01121194A JP H01121194 A JPH01121194 A JP H01121194A JP 27934887 A JP27934887 A JP 27934887A JP 27934887 A JP27934887 A JP 27934887A JP H01121194 A JPH01121194 A JP H01121194A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野コ
この発明は、例えば、自動組立装置において、部材な嵌
合穴へ嵌入させる際に、嵌合穴に対する芯合せを自動的
に実行することの出来る芯合せ装置に関する。
合穴へ嵌入させる際に、嵌合穴に対する芯合せを自動的
に実行することの出来る芯合せ装置に関する。
[従来の技術]
一般に、自動組立装置においては、部材を所定の嵌合穴
内へ加入させるためには、この部材と嵌合穴とが、互い
に整合された状態、換言すれば、互いの中心軸が同一直
線上に位置するように芯合せを行なう必要が有る。
内へ加入させるためには、この部材と嵌合穴とが、互い
に整合された状態、換言すれば、互いの中心軸が同一直
線上に位置するように芯合せを行なう必要が有る。
このように、部材と嵌合穴とを互いに整合するように芯
合せを行なわせるために、従来においては、第7A図乃
至第7C図に示すように、コンプライアンス機構が採用
されている。このコンプライアンス機構においては、ピ
ンaを被取付部材すに形成された嵌合穴Cに、多少互い
の中心軸がずれていたとしても、確実に嵌入することが
出来るようにするものである。
合せを行なわせるために、従来においては、第7A図乃
至第7C図に示すように、コンプライアンス機構が採用
されている。このコンプライアンス機構においては、ピ
ンaを被取付部材すに形成された嵌合穴Cに、多少互い
の中心軸がずれていたとしても、確実に嵌入することが
出来るようにするものである。
ここで、従来のコンプライアンス機構は、図示するよう
に、ピンaは、保持具dに穿設された挿入穴eに挿通さ
れた状態で、図示しない真空ポンプに接続された吸引パ
イプfにより吸引されて、保持具dに保持されている。
に、ピンaは、保持具dに穿設された挿入穴eに挿通さ
れた状態で、図示しない真空ポンプに接続された吸引パ
イプfにより吸引されて、保持具dに保持されている。
この保持具dは、可動プレートgに固定されている。こ
の可動プレートgには、2枚の弾性を有する板ばねhが
互いに平行な状態になるようにして、押え板j及びねじ
jを介して固着されている。
の可動プレートgには、2枚の弾性を有する板ばねhが
互いに平行な状態になるようにして、押え板j及びねじ
jを介して固着されている。
また、上述した板ばねhの他端には、中間プレートkか
押え板℃とねじjとにより固着されている。更に、この
中間プレートkには、上述した2枚の板ばねhと直交す
る方向に沿って延出した状態で、他の2枚の互いに平行
な板ばねmが、押え板n及びねじjを介した固着されて
いる。
押え板℃とねじjとにより固着されている。更に、この
中間プレートkには、上述した2枚の板ばねhと直交す
る方向に沿って延出した状態で、他の2枚の互いに平行
な板ばねmが、押え板n及びねじjを介した固着されて
いる。
これら他方の2枚の板ばねmの他端には、取付ベース0
が、押え板n及びねじjにより固着され、更に、この取
付ベース0は、ねじpによりアームqに固着されている
。ここで、アームqは、自動組立装置におけるロボット
等の可動アーム(図示せず)に取り付けられている。
が、押え板n及びねじjにより固着され、更に、この取
付ベース0は、ねじpによりアームqに固着されている
。ここで、アームqは、自動組立装置におけるロボット
等の可動アーム(図示せず)に取り付けられている。
このように構成された従来のコンプライアンス機構にお
いては、可動プレートgは、板ばねhの撓みにより、第
7A図において、左右方向(X軸方向)に沿って8勤し
易い状態となり、また、中間プレートには、板ばねmの
撓みにより、紙面に直交する方向(X軸方向)に沿って
移動し易い状態となる。このようにして、可動プレート
gに固定されている保持具dは、水平面(x−y平面)
内で夫々の方向に沿って移動することが出来るようにな
る。
いては、可動プレートgは、板ばねhの撓みにより、第
7A図において、左右方向(X軸方向)に沿って8勤し
易い状態となり、また、中間プレートには、板ばねmの
撓みにより、紙面に直交する方向(X軸方向)に沿って
移動し易い状態となる。このようにして、可動プレート
gに固定されている保持具dは、水平面(x−y平面)
内で夫々の方向に沿って移動することが出来るようにな
る。
ここで、このようなコンプライアンス機構は、自動組立
装置のロボットハンドに取り付けられており、保持具d
により吸引保持したピンaを、ロボットハンドの移動に
より所定の位置まで移送し、被取付部材すに形成しであ
る嵌合穴C内に嵌入させようと作動する。ここで、嵌入
しようとするピンaの中心軸と、嵌入される嵌合穴Cの
中心軸とが、僅かにずれている場合には、第7B図に示
すように、嵌合穴Cの開口端縁に面取り加工しである面
取り部rに、ピンaの下端縁が当接することになる。
装置のロボットハンドに取り付けられており、保持具d
により吸引保持したピンaを、ロボットハンドの移動に
より所定の位置まで移送し、被取付部材すに形成しであ
る嵌合穴C内に嵌入させようと作動する。ここで、嵌入
しようとするピンaの中心軸と、嵌入される嵌合穴Cの
中心軸とが、僅かにずれている場合には、第7B図に示
すように、嵌合穴Cの開口端縁に面取り加工しである面
取り部rに、ピンaの下端縁が当接することになる。
この当接状態から、ロボットアーム9が更に下降するこ
とにより、このロボットアームqにょる下向きの力は、
ビンaの下端縁と面取り部rとの当接部において分力さ
れ、ビンaに図中横方向の分力が作用することになる。
とにより、このロボットアームqにょる下向きの力は、
ビンaの下端縁と面取り部rとの当接部において分力さ
れ、ビンaに図中横方向の分力が作用することになる。
この結果、可動プレートgは、中間プレートにと平行状
態を維持したままで、横方向に偏倚し、このようにして
、ビンaは、初期状態の姿勢と平行状態を維持したまま
で、第7C図に示すように、嵌合穴C内に嵌入されるこ
とになる。
態を維持したままで、横方向に偏倚し、このようにして
、ビンaは、初期状態の姿勢と平行状態を維持したまま
で、第7C図に示すように、嵌合穴C内に嵌入されるこ
とになる。
[発明が解決しようとする問題点]
しかしながら、従来のコンプライアンス機構においては
、簡単な構成で芯合せ動作を実行することが出来るもの
であるが、以下に述べるような問題点を有しているもの
である。
、簡単な構成で芯合せ動作を実行することが出来るもの
であるが、以下に述べるような問題点を有しているもの
である。
即ち、この従来の芯合せ装置においては、ピンaの中心
軸と嵌合穴Cの中心軸とが、互いに平行な状態で、単に
、水平方向にずれている場合には、確実にコンプライア
ンスを発揮して、このずれを吸収した上で、ピンaの嵌
合穴Cへの嵌入を許容することが出来るものである。し
かしながら、ピンaの中心軸と、嵌合穴Cの中心軸とが
斜めにずれている場合には、この従来の芯合せ装置では
対応できず、保持具dが破壊されてしまうとか、嵌入動
作が途中で停止してしまう問題点が発生することになる
。
軸と嵌合穴Cの中心軸とが、互いに平行な状態で、単に
、水平方向にずれている場合には、確実にコンプライア
ンスを発揮して、このずれを吸収した上で、ピンaの嵌
合穴Cへの嵌入を許容することが出来るものである。し
かしながら、ピンaの中心軸と、嵌合穴Cの中心軸とが
斜めにずれている場合には、この従来の芯合せ装置では
対応できず、保持具dが破壊されてしまうとか、嵌入動
作が途中で停止してしまう問題点が発生することになる
。
この発明は上述した問題点に鑑みてなされたもので、こ
の発明の目的は、嵌入部材と嵌合部とが斜め方向にずれ
ている場合であっても、確実に嵌入部材な嵌合部へ嵌入
させることのできるコンプライアンスを有した芯合せ装
置を提供することである。
の発明の目的は、嵌入部材と嵌合部とが斜め方向にずれ
ている場合であっても、確実に嵌入部材な嵌合部へ嵌入
させることのできるコンプライアンスを有した芯合せ装
置を提供することである。
[問題点を解決するための手段]
上述した問題点を解決し、目的を達成するため、この発
明に係わる芯合せ装置は、移送体の先端に保持具を介し
て嵌入部材を保持して、移送体を移動することにより、
被嵌入部材の嵌合部に嵌入部材を嵌入させる際に、嵌入
部材の中心軸と、嵌合部の中心軸とを互いに整合するよ
うに、芯合せするための芯合せ装置において、前記移送
体の先端に取り付けられる取付本体と、前記保持具が取
り付けられる保持具取付体と、これら取付本体と保持具
取付体との間に配設され、嵌入部材の中心軸に直交する
面内でのずれに対するコンプライアンスと、嵌入部材の
中心軸に沿うずれに対するコンプライアンスと、嵌入部
材の中心軸を中心とした回転方向のずれに対するコンプ
ライアンスと、嵌入部材の中心軸に対する傾きのずれに
対するコンプライアンスとを有するコンプライアンス機
構を具備する事を特徴としている。
明に係わる芯合せ装置は、移送体の先端に保持具を介し
て嵌入部材を保持して、移送体を移動することにより、
被嵌入部材の嵌合部に嵌入部材を嵌入させる際に、嵌入
部材の中心軸と、嵌合部の中心軸とを互いに整合するよ
うに、芯合せするための芯合せ装置において、前記移送
体の先端に取り付けられる取付本体と、前記保持具が取
り付けられる保持具取付体と、これら取付本体と保持具
取付体との間に配設され、嵌入部材の中心軸に直交する
面内でのずれに対するコンプライアンスと、嵌入部材の
中心軸に沿うずれに対するコンプライアンスと、嵌入部
材の中心軸を中心とした回転方向のずれに対するコンプ
ライアンスと、嵌入部材の中心軸に対する傾きのずれに
対するコンプライアンスとを有するコンプライアンス機
構を具備する事を特徴としている。
[作用]
以上のように構成される芯合せ装置においては、これに
備えられたコンプライアンス機構が、嵌入部材の中心軸
に直交する面内でのずれに対するコンプライアンスと、
嵌入部材の中心軸に沿うずれに対するコンプライアンス
と、嵌入部材の中心軸を中心とした回転方向のずれに対
するコンプライアンスと、嵌入部材の中心軸に対する傾
きのずれに対するコンプライアンスとを有しているので
、斜め方向のずれが嵌入部材と嵌合部との間に発生した
としても、確実に嵌入部材と嵌合部とを整合した状態に
コンプライアンスすることが出来ることになる。
備えられたコンプライアンス機構が、嵌入部材の中心軸
に直交する面内でのずれに対するコンプライアンスと、
嵌入部材の中心軸に沿うずれに対するコンプライアンス
と、嵌入部材の中心軸を中心とした回転方向のずれに対
するコンプライアンスと、嵌入部材の中心軸に対する傾
きのずれに対するコンプライアンスとを有しているので
、斜め方向のずれが嵌入部材と嵌合部との間に発生した
としても、確実に嵌入部材と嵌合部とを整合した状態に
コンプライアンスすることが出来ることになる。
[実施例]
以下に、この発明に係わる芯合せ装置の一実施例の構成
を添付図面の第1図乃至第4B図を参照して、詳細に説
明する。
を添付図面の第1図乃至第4B図を参照して、詳細に説
明する。
第1図には、自動組立装置の一部を構成するロボットア
ーム1oの先端に、この一実施例の芯合せ装置12を介
してハンド部14が取り付けられている状態が示されて
いる。このロボットアーム10は、図示しない駆動機構
により、図中左右方向(X軸方向)、紙面に直交する方
向(X軸方向)、そして、上下方向(X軸方向)に沿っ
て自由に8動駆動されるものである。
ーム1oの先端に、この一実施例の芯合せ装置12を介
してハンド部14が取り付けられている状態が示されて
いる。このロボットアーム10は、図示しない駆動機構
により、図中左右方向(X軸方向)、紙面に直交する方
向(X軸方向)、そして、上下方向(X軸方向)に沿っ
て自由に8動駆動されるものである。
一方、ハント部14は、円板状のハント本体16と、こ
のハンド本体16の下面にボルト18を介して固定され
た保持具2oとを備えている。
のハンド本体16の下面にボルト18を介して固定され
た保持具2oとを備えている。
この保持具20の下部には、垂直方向に沿って延出し、
下面において開口して、嵌入部材としてのピン22が挿
入される挿入孔24が形成されている。
下面において開口して、嵌入部材としてのピン22が挿
入される挿入孔24が形成されている。
ここで、この挿入孔24の上部には、図示しない吸引ポ
ンプに接続された吸引管26が連通するように接続され
ている。そして、この吸引ポンプが駆動することにより
、挿入孔24内は負圧状態に維持され、この負圧により
、ピン22は挿入孔24内に吸引保持されることになる
。
ンプに接続された吸引管26が連通するように接続され
ている。そして、この吸引ポンプが駆動することにより
、挿入孔24内は負圧状態に維持され、この負圧により
、ピン22は挿入孔24内に吸引保持されることになる
。
また、このピン22が嵌入される嵌合穴28が、被嵌入
部材としての基板30に形成されている。この基板30
は、図示しない基台上に、水平状態に取着されており、
この状態において、嵌合穴28は、垂直方向に延出する
よう設定されている。尚、この嵌合穴28の上端縁には
、ピン22の嵌入を容易ならしめるために、水平面に対
して所定の傾斜を有したテーパ面32が形成されている
。
部材としての基板30に形成されている。この基板30
は、図示しない基台上に、水平状態に取着されており、
この状態において、嵌合穴28は、垂直方向に延出する
よう設定されている。尚、この嵌合穴28の上端縁には
、ピン22の嵌入を容易ならしめるために、水平面に対
して所定の傾斜を有したテーパ面32が形成されている
。
ここで、上述した一実施例の芯合せ装置12は、ロボッ
トアーム1oの中心軸と同軸の中心軸を有するように配
設されたコンプライアンス機構34を備えている。この
芯合せ装置12は、ロボットアーム10の下端にボルト
38を介して固着された円板状の取付本体4oを備えて
いる。
トアーム1oの中心軸と同軸の中心軸を有するように配
設されたコンプライアンス機構34を備えている。この
芯合せ装置12は、ロボットアーム10の下端にボルト
38を介して固着された円板状の取付本体4oを備えて
いる。
ここで、前述したコンプライアンス機構34は、通常状
態において、保持具2oに何等外力が作用していない場
合に、ロボットアーム1oの中心軸と、保持具20の中
心軸とが、互いに、垂直方向に沿って整合された状態に
弾性的に維持すると共に、保持具20に水平面内におけ
る外力が作用した場合に、この外力に応じて、所定範囲
で水平面内で柔らかく偏倚することを許容することが出
来るように設定されている。
態において、保持具2oに何等外力が作用していない場
合に、ロボットアーム1oの中心軸と、保持具20の中
心軸とが、互いに、垂直方向に沿って整合された状態に
弾性的に維持すると共に、保持具20に水平面内におけ
る外力が作用した場合に、この外力に応じて、所定範囲
で水平面内で柔らかく偏倚することを許容することが出
来るように設定されている。
尚、以下に、この一実施例を特徴付けるコンプライアン
ス機構34の構成を説明する。
ス機構34の構成を説明する。
即ち、このコンプライアンス機構34は、ロボットアー
ム10の下端に固着される取付本体4゜の下面に、ロボ
ットアーム1oの中心軸と同軸に設定され、下方に突出
するように一体に形成された第1の軸部材34aを備え
ている。一方、ハンド本体16の上面には、保持具2o
の中心軸と同軸に設定され、上方に突出するように、第
2の軸部材34bがボルト38を介して固着されている
。これら第1及び第2の軸部材34a、34bの互いの
対向端部は、所定間隔だけ離間するように対向している
。
ム10の下端に固着される取付本体4゜の下面に、ロボ
ットアーム1oの中心軸と同軸に設定され、下方に突出
するように一体に形成された第1の軸部材34aを備え
ている。一方、ハンド本体16の上面には、保持具2o
の中心軸と同軸に設定され、上方に突出するように、第
2の軸部材34bがボルト38を介して固着されている
。これら第1及び第2の軸部材34a、34bの互いの
対向端部は、所定間隔だけ離間するように対向している
。
ここで、第1の軸部材34aの下端、及び、第2の軸部
材34bの上端には、夫々外方フランジ部34c、34
dが一体に形成されている。
材34bの上端には、夫々外方フランジ部34c、34
dが一体に形成されている。
また、このコンプライアンス機構34は、第1及び第2
の軸部材34a、34bの互いの対向端部の周囲を同時
に取り囲むようにして配設された複数の支持ピン34e
を備えている。
の軸部材34a、34bの互いの対向端部の周囲を同時
に取り囲むようにして配設された複数の支持ピン34e
を備えている。
そして、各支持ビン34dは、上端部及び下端部に、夫
々外方フランジ34f、34gを一体に備えている。詳
細には、これらの支持ビン34dの各外方フランジ部3
4f、34gは、上述した第1及び第2の軸部材34a
、34bの半径よりかなり小さい半径を有した円柱体か
ら形成されており、その数は6本に設定されている。
々外方フランジ34f、34gを一体に備えている。詳
細には、これらの支持ビン34dの各外方フランジ部3
4f、34gは、上述した第1及び第2の軸部材34a
、34bの半径よりかなり小さい半径を有した円柱体か
ら形成されており、その数は6本に設定されている。
また、第1及び第2の軸部材34a、34bの夫々の端
部の外方フランジ部34c、34dの外周には、第2図
に示すように、支持ピン34eの配設個数に対応して、
等間隔に複数のV溝34mが上下方向に沿って延出する
よう形成されている。そして、各■溝34m内には、対
応する支持ビン34eが嵌合する状態で支持されている
。このようにして、第2の軸部材34bの第1の軸部材
34aに対する相対位置は、弾性的に規定されることに
なる。また、各支持ピン34dの外方フランジ34f、
34gを除く部分の外周面には、環状の切り溝34hが
夫々形成されている。
部の外方フランジ部34c、34dの外周には、第2図
に示すように、支持ピン34eの配設個数に対応して、
等間隔に複数のV溝34mが上下方向に沿って延出する
よう形成されている。そして、各■溝34m内には、対
応する支持ビン34eが嵌合する状態で支持されている
。このようにして、第2の軸部材34bの第1の軸部材
34aに対する相対位置は、弾性的に規定されることに
なる。また、各支持ピン34dの外方フランジ34f、
34gを除く部分の外周面には、環状の切り溝34hが
夫々形成されている。
そして、これら支持ビン34eが両軸部材34a、34
bを取り囲んだ状態において、支持ビン34eの上端に
一体に形成された外方フランジ34fが、第1の軸部材
34aの外方フランジ部34cに上方から係合し、また
、支持ピン34eの下端に一体に形成された外方フラン
ジ34gに、第2の軸部材34bの外方フランジ部34
dが上方から係合する。このようにして、ハンド本体1
6は、このコンプライアンス機構34の取付本体40に
、中心軸回りに揺動自在に吊持されることになる。
bを取り囲んだ状態において、支持ビン34eの上端に
一体に形成された外方フランジ34fが、第1の軸部材
34aの外方フランジ部34cに上方から係合し、また
、支持ピン34eの下端に一体に形成された外方フラン
ジ34gに、第2の軸部材34bの外方フランジ部34
dが上方から係合する。このようにして、ハンド本体1
6は、このコンプライアンス機構34の取付本体40に
、中心軸回りに揺動自在に吊持されることになる。
また、第2図に示すように、これら支持ビン34eが両
軸部材34a、34bを取り囲んだ状態において、上述
した一実施例と同様に、これら支持ピン34aを一括し
て取り囲むようにして、各切り溝34hには、これら支
持ピン34eが第1及び第2の軸部材34a、34bの
、互いに対向する端部の周面に弾性的に圧接するように
付勢するリング状の付勢部材34iが夫々収納されてい
る。尚、この一実施例においては、この付勢部材34i
は、細かく捲回されたリング状のコイルスプリングから
形成されている。
軸部材34a、34bを取り囲んだ状態において、上述
した一実施例と同様に、これら支持ピン34aを一括し
て取り囲むようにして、各切り溝34hには、これら支
持ピン34eが第1及び第2の軸部材34a、34bの
、互いに対向する端部の周面に弾性的に圧接するように
付勢するリング状の付勢部材34iが夫々収納されてい
る。尚、この一実施例においては、この付勢部材34i
は、細かく捲回されたリング状のコイルスプリングから
形成されている。
一方、第1図に示すように、第1の軸部材34aの下面
と、第2の軸部材34bの上面とには、互いに対向する
状態で、凹所34j、34kが夫々形成されている。こ
れら凹所34j。
と、第2の軸部材34bの上面とには、互いに対向する
状態で、凹所34j、34kが夫々形成されている。こ
れら凹所34j。
34kに上端及び下端を夫々収納された状態で、コイル
スプリング34℃が配設されている。このコイルスプリ
ング341は、第1及び第2の軸部材34a、34bが
互いに離間する方向に付勢するために設けられている。
スプリング34℃が配設されている。このコイルスプリ
ング341は、第1及び第2の軸部材34a、34bが
互いに離間する方向に付勢するために設けられている。
また、第1図に示すように、この芯合せ装置12には、
ロボットアーム10が横方向に高速で移動した際に、そ
の慣性により第2の軸部材34bが第1の軸部材34a
に対して横方向に偏倚することを防止するため、ロック
機構38が設けられている。このロック機構38は、第
1の軸部材34a内において、間に凹所34jを置いた
状態で、互いに対称な位置に形成された、一対のシリン
ダ室38aを備えている。
ロボットアーム10が横方向に高速で移動した際に、そ
の慣性により第2の軸部材34bが第1の軸部材34a
に対して横方向に偏倚することを防止するため、ロック
機構38が設けられている。このロック機構38は、第
1の軸部材34a内において、間に凹所34jを置いた
状態で、互いに対称な位置に形成された、一対のシリン
ダ室38aを備えている。
各シリンダ室38a内には、下方に突出可能にピストン
部材38bが収納されている。ここで、各ピストン部材
38bは、コイルスプリング38cにより上方に付勢さ
れており、このコイルスプリング38cの付勢力により
、ピストン部材38bの上端に上方に突出されるように
一体に38aの上面に当接して停止した位置において、
ピストン部材38bの引き込み位置が規定されている。
部材38bが収納されている。ここで、各ピストン部材
38bは、コイルスプリング38cにより上方に付勢さ
れており、このコイルスプリング38cの付勢力により
、ピストン部材38bの上端に上方に突出されるように
一体に38aの上面に当接して停止した位置において、
ピストン部材38bの引き込み位置が規定されている。
また、第2の軸部材34bの上面には、各ピストン部材
38bの先端に対向した位置に、対応するピストン部材
38bの先端が嵌入されるロック穴38eが形成されて
いる。ここで、上述した各シリンダ室38aの、ピスト
ン部材38bの上端より上方部分には、図示しない加圧
ポンプ機構に連結された連結管38fが接続されている
。
38bの先端に対向した位置に、対応するピストン部材
38bの先端が嵌入されるロック穴38eが形成されて
いる。ここで、上述した各シリンダ室38aの、ピスト
ン部材38bの上端より上方部分には、図示しない加圧
ポンプ機構に連結された連結管38fが接続されている
。
そして、この加圧ポンプ機構から圧縮空気(加圧空気)
が連結管38fを介してシリンダ室38a内に導入され
ることにより、各ピストン部材38bは、対応するコイ
ルスプリング38cの付勢力に抗して、引き込み位置か
ら下方に押し下げられて、ロック位置に偏倚される。尚
、このロック位置において、各ピストン部材38bの下
端は、対応するロック穴38eに嵌入することになる。
が連結管38fを介してシリンダ室38a内に導入され
ることにより、各ピストン部材38bは、対応するコイ
ルスプリング38cの付勢力に抗して、引き込み位置か
ら下方に押し下げられて、ロック位置に偏倚される。尚
、このロック位置において、各ピストン部材38bの下
端は、対応するロック穴38eに嵌入することになる。
このようにして、このロック機構38が起動することに
より、第1及び第2の軸部材34a。
より、第1及び第2の軸部材34a。
34bは互いに横方向に関してロックされ、一体的に横
移動することになる。
移動することになる。
以上のように構成されるコンプライアンス機構34を有
する芯合せ装置12を介してロボットアーム10の先端
にハンド部14が装着されている場合において、基板3
0に形成された1木の嵌合穴28に、1木のビン22を
嵌入させる嵌入動作を以下に説明する。
する芯合せ装置12を介してロボットアーム10の先端
にハンド部14が装着されている場合において、基板3
0に形成された1木の嵌合穴28に、1木のビン22を
嵌入させる嵌入動作を以下に説明する。
先ず、保持具20にビン22を吸引保持した状態で、ロ
ボットアーム10は、このビン22を基板30に形成さ
れた嵌合穴28内に嵌入するよう、図示しない制御機構
により移動制御される。
ボットアーム10は、このビン22を基板30に形成さ
れた嵌合穴28内に嵌入するよう、図示しない制御機構
により移動制御される。
即ち、この制御機構においては、予め、嵌合穴28のx
−y平面上における位置情報と、ロボットアーム10
の立体位置、即ち、嵌入しようとするビン22の位置情
報とが、入力されており、このロボットアーム10は、
これら位置情報に基づく制御機構の制御動作により、移
動制御されるものである。
−y平面上における位置情報と、ロボットアーム10
の立体位置、即ち、嵌入しようとするビン22の位置情
報とが、入力されており、このロボットアーム10は、
これら位置情報に基づく制御機構の制御動作により、移
動制御されるものである。
ここで、これら位置情報が正確であり、制御機構の制御
内容通りにロボットアーム10が移動駆動され、また、
設定値通りに嵌合穴28は位置決めされている場合には
、この嵌合穴28の直上方にビン22が8動され、その
後、垂直下方に下されることにより、ビン22は、良好
に嵌合穴28内に嵌入することになる。
内容通りにロボットアーム10が移動駆動され、また、
設定値通りに嵌合穴28は位置決めされている場合には
、この嵌合穴28の直上方にビン22が8動され、その
後、垂直下方に下されることにより、ビン22は、良好
に嵌合穴28内に嵌入することになる。
しかしながら、嵌合穴28の位置決めが正確でなく、x
−y平面内で設定値より僅かにずれていたり、ロボッ
トアーム10の位置が、駆動系の誤差、例えば、ギヤに
おけるバックラッシュ等により、制御機構により規定し
た姿勢から僅かにずれている場合には、所謂、斜め方向
にずれが発生する。
−y平面内で設定値より僅かにずれていたり、ロボッ
トアーム10の位置が、駆動系の誤差、例えば、ギヤに
おけるバックラッシュ等により、制御機構により規定し
た姿勢から僅かにずれている場合には、所謂、斜め方向
にずれが発生する。
ここで、ロボットアーム10側においては、正確に設定
されているものの、嵌合穴28が斜めにずれて形成され
ている場合には、ロボットアーム10の下降により垂直
下方に下されてきたビン22は、第1図及び第3図に示
すように、その下端縁が嵌合穴28のテーパ面32に当
接することになる。そして、ロボットアーム10が更に
下降することにより、ピン22の下端縁は、テーパ面3
2に沿って水平方向に向かう分力Fを受けることになる
。
されているものの、嵌合穴28が斜めにずれて形成され
ている場合には、ロボットアーム10の下降により垂直
下方に下されてきたビン22は、第1図及び第3図に示
すように、その下端縁が嵌合穴28のテーパ面32に当
接することになる。そして、ロボットアーム10が更に
下降することにより、ピン22の下端縁は、テーパ面3
2に沿って水平方向に向かう分力Fを受けることになる
。
ここで、このような水平方向の分力Fをピン22が受け
ることにより、この分力Fは、保持具20、ハンド本体
16を介して、コンプライアンス機構34の夫々の第2
の軸部材34bに作用することになる。このため、この
分力Fが作用していない状態においては、第4A図に示
すように、上下一対の付勢部材34iにより、弾性的に
第1及び第2の軸部材34a;34bが互いに垂直軸方
向に整合されていた状態から、第4B図に示すように、
これら付勢部材34iの付勢力に抗して、支持ピン34
eは斜めに傾くことにより、第2の軸部材34bが、水
平方向にずれるように移動することになる。
ることにより、この分力Fは、保持具20、ハンド本体
16を介して、コンプライアンス機構34の夫々の第2
の軸部材34bに作用することになる。このため、この
分力Fが作用していない状態においては、第4A図に示
すように、上下一対の付勢部材34iにより、弾性的に
第1及び第2の軸部材34a;34bが互いに垂直軸方
向に整合されていた状態から、第4B図に示すように、
これら付勢部材34iの付勢力に抗して、支持ピン34
eは斜めに傾くことにより、第2の軸部材34bが、水
平方向にずれるように移動することになる。
また、このコンプライアンス機構34においては、第1
及び第2の軸部材34a、34bは、相対的に中心軸回
りに揺動可能な状態に設定されており、この結果、この
ような嵌合穴28やビン22の中心軸(Z軸)からの傾
き(α)に対して、コンプライアンスを有して一旦柔ら
かく、第2の軸部材34bは第1の軸部材34aに対し
て傾くことが出来るものである。このようにして、この
コンプライアンス機構34においては、嵌合穴28やビ
ン22の中心軸からの傾き(ずれ)が良好に吸収されて
、ビン22は嵌合穴28内に確実に嵌入されることにな
る。
及び第2の軸部材34a、34bは、相対的に中心軸回
りに揺動可能な状態に設定されており、この結果、この
ような嵌合穴28やビン22の中心軸(Z軸)からの傾
き(α)に対して、コンプライアンスを有して一旦柔ら
かく、第2の軸部材34bは第1の軸部材34aに対し
て傾くことが出来るものである。このようにして、この
コンプライアンス機構34においては、嵌合穴28やビ
ン22の中心軸からの傾き(ずれ)が良好に吸収されて
、ビン22は嵌合穴28内に確実に嵌入されることにな
る。
このようにして、ピン22と嵌合穴28との斜めのずれ
が、コンプライアンス機構34における第1及び第2の
軸部材34a;34bのずれ及び傾きにより弾性的に吸
収され、ピン22は嵌合穴28内に、互いの軸が整合さ
れた状態にもたらされ、ロボットアーム10の下降に伴
ない、ピン22は嵌合穴28内に良好に嵌入されること
になる。
が、コンプライアンス機構34における第1及び第2の
軸部材34a;34bのずれ及び傾きにより弾性的に吸
収され、ピン22は嵌合穴28内に、互いの軸が整合さ
れた状態にもたらされ、ロボットアーム10の下降に伴
ない、ピン22は嵌合穴28内に良好に嵌入されること
になる。
そして、ピン22の嵌合穴28への嵌入動作が終了した
後、図示しない吸引ポンプの駆動が停止され、ロボット
アーム10が上昇駆動されると、保持具20におけるピ
ン22の保持状態が解除され、ハンド部14がビン22
を離した状態で、単独で上昇する。そして、ビン22が
保持具20から完全に離れた状態で、上述いた分力Fが
、保持具20に作用しなくなる。この結果、コンプライ
アンス機構34において第2の軸部材34bに作用して
いた分力が解消されることになり、上下−対の付勢部材
34iの付勢力により、第2の軸部材34bは、第4B
図に示す偏倚状態から、第4A図に示す整合状態に良好
に復帰することになる。
後、図示しない吸引ポンプの駆動が停止され、ロボット
アーム10が上昇駆動されると、保持具20におけるピ
ン22の保持状態が解除され、ハンド部14がビン22
を離した状態で、単独で上昇する。そして、ビン22が
保持具20から完全に離れた状態で、上述いた分力Fが
、保持具20に作用しなくなる。この結果、コンプライ
アンス機構34において第2の軸部材34bに作用して
いた分力が解消されることになり、上下−対の付勢部材
34iの付勢力により、第2の軸部材34bは、第4B
図に示す偏倚状態から、第4A図に示す整合状態に良好
に復帰することになる。
このようにして、この芯合せ装置12における芯合せ動
作、換言すれば、コンプライアンス機構34における弾
性的な偏倚・復帰動作が終了する。
作、換言すれば、コンプライアンス機構34における弾
性的な偏倚・復帰動作が終了する。
一方、上述したコイルスプリング34℃が設けられてい
るので、このコンプライアンス機構34は、垂直方向(
2軸)に関するコンプライアンスを有することになる。
るので、このコンプライアンス機構34は、垂直方向(
2軸)に関するコンプライアンスを有することになる。
このため、ビン22を嵌合穴28の最奥部にまで嵌入さ
せる場合において、嵌合穴28の深さが設定値より短い
場合やビン22の長さが長い場合であっても、このコイ
ルスプリング34Ilの弾性的な縮みに基づき、これら
設定値からのずれは確実に吸収され、所謂Z軸に関する
コンプライアンスによりロボットアーム10に衝撃が加
わらずに良好に嵌入されることになる。
せる場合において、嵌合穴28の深さが設定値より短い
場合やビン22の長さが長い場合であっても、このコイ
ルスプリング34Ilの弾性的な縮みに基づき、これら
設定値からのずれは確実に吸収され、所謂Z軸に関する
コンプライアンスによりロボットアーム10に衝撃が加
わらずに良好に嵌入されることになる。
また、上述したように、第1及び第2の軸部材34a、
34bは、夫々に形成されたV溝34mに嵌合されるよ
うに支持ピン34eが支持されているため、第1及び第
2の軸部材34a、34bにおける相対角度位置が弾性
的に規定されることになる。この結果、水平面(x−y
平面)における角度がずれるように偏倚した場合におけ
るコンプライアンスが生じることになる。このようにし
て、Z軸回りにずれ(θ)が発生した場合でも、このず
れ(θ)に対応したコンプライアンスを、このコンプラ
イアンス機構34は発揮することが出来るものである。
34bは、夫々に形成されたV溝34mに嵌合されるよ
うに支持ピン34eが支持されているため、第1及び第
2の軸部材34a、34bにおける相対角度位置が弾性
的に規定されることになる。この結果、水平面(x−y
平面)における角度がずれるように偏倚した場合におけ
るコンプライアンスが生じることになる。このようにし
て、Z軸回りにずれ(θ)が発生した場合でも、このず
れ(θ)に対応したコンプライアンスを、このコンプラ
イアンス機構34は発揮することが出来るものである。
以上詳述したように、一実施例における芯合せ装置12
においては、y軸、y軸、X軸方向のずれに加えて、Z
軸回りの回転方向のずれ(θ)、y軸に対する傾き(α
)対して、コンプライアンスを有して対応して、偏倚す
ると共に、これら斜め方向のずれに基づく分力が解除さ
れた場合には、確実に、元の整合した状態に復帰するこ
とが出来るものである。
においては、y軸、y軸、X軸方向のずれに加えて、Z
軸回りの回転方向のずれ(θ)、y軸に対する傾き(α
)対して、コンプライアンスを有して対応して、偏倚す
ると共に、これら斜め方向のずれに基づく分力が解除さ
れた場合には、確実に、元の整合した状態に復帰するこ
とが出来るものである。
この発明は、上述した一実施例の構成に限定されること
なく、この発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形可能
であることは言うまでもない。
なく、この発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形可能
であることは言うまでもない。
例えば、上述した一実施例においては、ピン22は、保
持具22に形成された挿入孔24に真空吸引された状態
で保持されるように説明したが、これに限られることな
く、マグネットを用いた磁気吸引であっても良いし、メ
カニカルフィンガにより機械的に係止する機構であって
も良い。
持具22に形成された挿入孔24に真空吸引された状態
で保持されるように説明したが、これに限られることな
く、マグネットを用いた磁気吸引であっても良いし、メ
カニカルフィンガにより機械的に係止する機構であって
も良い。
更に、上述した一実施例のコンプライアンス機構34に
おいては、付勢部材34iとして、リング状のコイルス
プリングを用いるように説明したが、このような構成に
限定されることなく、第5A図に第1の変形例として示
すように、リング状の弾性ゴム帯34nを用いるように
しても良い。この場合、リング状のコイルスプリングを
用いる場合と比較して、各支持ピン34cに切り溝34
dを形成する必要は無くなる。
おいては、付勢部材34iとして、リング状のコイルス
プリングを用いるように説明したが、このような構成に
限定されることなく、第5A図に第1の変形例として示
すように、リング状の弾性ゴム帯34nを用いるように
しても良い。この場合、リング状のコイルスプリングを
用いる場合と比較して、各支持ピン34cに切り溝34
dを形成する必要は無くなる。
また、第5B図に第2の変形例として示すように、この
リング状の弾性ゴム帯34nの幅を広く取ることにより
、上下一対では無く、1木の弾性ゴム帯340で済ます
ことも可能となる。
リング状の弾性ゴム帯34nの幅を広く取ることにより
、上下一対では無く、1木の弾性ゴム帯340で済ます
ことも可能となる。
ここで、上述した一実施例においては、基板30には、
1木の嵌合穴28が形成され、保持具20には、1本の
ピン22が挿入・保持されており、このピン22を嵌合
穴28に嵌入する1軸の場合について説明したが、この
一実施例の芯合せ装置12は、このような態様において
のみ適用できるものでなく、基板30に形成された2木
の嵌合穴28に、保持具20に挿入・保持された2木の
ピン22を嵌入する2軸の場合にも、適用し得るもので
ある。
1木の嵌合穴28が形成され、保持具20には、1本の
ピン22が挿入・保持されており、このピン22を嵌合
穴28に嵌入する1軸の場合について説明したが、この
一実施例の芯合せ装置12は、このような態様において
のみ適用できるものでなく、基板30に形成された2木
の嵌合穴28に、保持具20に挿入・保持された2木の
ピン22を嵌入する2軸の場合にも、適用し得るもので
ある。
即ち、このような2軸の場合において、第6A図に示す
ように、2本のピン22の中心を結ぶ線分℃1と、2本
の嵌合穴28の中心を結ぶ線分J12とが、互いに平行
状態を維持してずれている場合には、従来技術と同様に
、X軸方向に沿うずれ量ΔXと、y軸方向に沿うずれ量
Δyとが、それぞれのピン22と嵌合穴28のテーパ面
32との当接部において、同様な値となり、ハンド本体
16のロボットアーム10に対する回転を伴なうことな
く、確実に対応できるものである。
ように、2本のピン22の中心を結ぶ線分℃1と、2本
の嵌合穴28の中心を結ぶ線分J12とが、互いに平行
状態を維持してずれている場合には、従来技術と同様に
、X軸方向に沿うずれ量ΔXと、y軸方向に沿うずれ量
Δyとが、それぞれのピン22と嵌合穴28のテーパ面
32との当接部において、同様な値となり、ハンド本体
16のロボットアーム10に対する回転を伴なうことな
く、確実に対応できるものである。
一方、第6B図に示すように、2木のピン22の中心を
結ぶ線分℃1と、2本の嵌合穴28の中心を結ぶ線分1
t2とが、所定角度Δθを有して交わるようにずれてい
る場合には、X軸方向に沿うずれ量ΔXと、X軸方向に
沿うずれ量Δyとが、それぞれのピン22と嵌合穴28
のテーパ面32との当接部において、異なる値となり、
ハンド本体16のロボットアーム10に対する回転を伴
なうことになる。このような場合においても、この一実
施例の芯合せ装置12におけるコンプライアンス機構3
4.36は、ハンド本体16のロボットアーム10に対
する回転を所定範囲で許容するものであるから、このよ
うな回転方向における角度のずれに対して、確実に対応
できるものである。
結ぶ線分℃1と、2本の嵌合穴28の中心を結ぶ線分1
t2とが、所定角度Δθを有して交わるようにずれてい
る場合には、X軸方向に沿うずれ量ΔXと、X軸方向に
沿うずれ量Δyとが、それぞれのピン22と嵌合穴28
のテーパ面32との当接部において、異なる値となり、
ハンド本体16のロボットアーム10に対する回転を伴
なうことになる。このような場合においても、この一実
施例の芯合せ装置12におけるコンプライアンス機構3
4.36は、ハンド本体16のロボットアーム10に対
する回転を所定範囲で許容するものであるから、このよ
うな回転方向における角度のずれに対して、確実に対応
できるものである。
また、この一実施例の芯合せ装置12においては、上述
した2軸の嵌合動作においてのみに適用されるもので無
く、多軸の嵌合動作にも適用できるものである。
した2軸の嵌合動作においてのみに適用されるもので無
く、多軸の嵌合動作にも適用できるものである。
以上詳述したように、この一実施例においては、この芯
合せ装置12は、X軸、y軸、Z軸方向に夫々沿うずれ
、Z軸を中心とした回転方向のずれ(θ)、ならびに、
Z軸に対する傾きのずれ(α)に夫々コンプライアンス
を有しており、斜め方向のずれ対応して、柔らかく偏倚
すると共に、この斜めのずれに基づくずれ力が解除され
た場合には、確実に、元の、整合した状態に復帰するこ
とが出来るものである。
合せ装置12は、X軸、y軸、Z軸方向に夫々沿うずれ
、Z軸を中心とした回転方向のずれ(θ)、ならびに、
Z軸に対する傾きのずれ(α)に夫々コンプライアンス
を有しており、斜め方向のずれ対応して、柔らかく偏倚
すると共に、この斜めのずれに基づくずれ力が解除され
た場合には、確実に、元の、整合した状態に復帰するこ
とが出来るものである。
[発明の効果]
以上詳述したように、この発明に係わる芯合せ装置は、
移送体の先端に保持具を介して嵌入部材を保持して、移
送体を移動することにより、被嵌入部材の嵌合部に嵌入
部材を嵌入させる際に、嵌入部材の中心軸と、嵌合部の
中心軸とを互いに整合するように、芯合せするための芯
合せ装置において、前記移送体の先端に取り付けられる
取付本体と、前記保持具が取り付けられる保持具取付体
と、これら取付本体と保持具取付体との間に配設され、
嵌入部材の中心軸に直交する面内でのずれに対するコン
プライアンスと、嵌入部材の中心軸に沿うずれに対する
コンプライアンスと、嵌入部材の中心軸を中心とした回
転方向のずれに対するコンプライアンスと、嵌入部材の
中心軸に対する傾きのずれに対するコンプライアンスと
を有するコンプライアンス機構を具備する事を特徴とし
ている。
移送体の先端に保持具を介して嵌入部材を保持して、移
送体を移動することにより、被嵌入部材の嵌合部に嵌入
部材を嵌入させる際に、嵌入部材の中心軸と、嵌合部の
中心軸とを互いに整合するように、芯合せするための芯
合せ装置において、前記移送体の先端に取り付けられる
取付本体と、前記保持具が取り付けられる保持具取付体
と、これら取付本体と保持具取付体との間に配設され、
嵌入部材の中心軸に直交する面内でのずれに対するコン
プライアンスと、嵌入部材の中心軸に沿うずれに対する
コンプライアンスと、嵌入部材の中心軸を中心とした回
転方向のずれに対するコンプライアンスと、嵌入部材の
中心軸に対する傾きのずれに対するコンプライアンスと
を有するコンプライアンス機構を具備する事を特徴とし
ている。
従って、この発明によれば、嵌入部材と嵌合部とが斜め
方向にずれていな場合であっても、確実に嵌入部材を嵌
合部へ嵌入させることのてきるコンプライアンスを有し
た芯合せ装置が提供されることになる。
方向にずれていな場合であっても、確実に嵌入部材を嵌
合部へ嵌入させることのてきるコンプライアンスを有し
た芯合せ装置が提供されることになる。
第1図はこの発明に係わる芯合せ装置の一実施例の構成
を一部断面を取って示す正面図;第2図は第1図におけ
るII−II線に沿って切断して示す断面図; 第3図はx −y軸平面におけるずれ状態を示す平面図
; 第4A図は第1及び第2の軸部材が互いに整合された状
態を部分的に示す正面図; 第4B図はピンと嵌合穴とのずれを吸収するため、第1
及び第2の軸部材が互いにずれた状態を部分的に示す正
面図; 第5A図は、一実施例の第1の変形例の構成を部分的に
示す正面図; 第5B図は一実施例の第2の変形例の構成を部分的に示
す正面図: 第6A図は2軸の場合のずれが平行状態である場合を示
す上面図; 第6B図は2軸の場合のずれが回転状態である場合を示
す上面図;そして、 第7A図乃至第7C図は、従来の芯合せ装置の構成及び
動作を示す正面図である。 図中、10・・・ロボットアーム、12・・・芯合せ装
置、14・・・ハンド部、16・・・ハンド本体、18
・・・ボルト、20・・・保持具、22・・・ピン、2
4・・・挿入孔、26・・・吸引管、28・・・嵌合穴
、30・・・基板、32・・・テーパ面、34・・・コ
ンプライアンス機構、34a・・・第1の軸部材、34
b・・・第2の軸部材、34c;34d・・・外方フラ
ンジ部、34e・・・支持ピン、34f 、34g・・
・外方フランジ部、34h・・・切り溝、34i・・・
付勢部材、34j;34k・・・凹所、34jl!・・
・コイルスプリング、34m・・・V溝、34n;34
o・・・弾性ゴム帯、36・・・ボルト、38・・・ロ
ック機構、38a・・・シリンダ室、38b・・・ピス
トン部材、38c・・・コイルスプリング、38d・・
・ストッパ部材、38e・・・ロック穴、38f・・・
連結管である。 ↓ 第2図 第4A図 第5A図
を一部断面を取って示す正面図;第2図は第1図におけ
るII−II線に沿って切断して示す断面図; 第3図はx −y軸平面におけるずれ状態を示す平面図
; 第4A図は第1及び第2の軸部材が互いに整合された状
態を部分的に示す正面図; 第4B図はピンと嵌合穴とのずれを吸収するため、第1
及び第2の軸部材が互いにずれた状態を部分的に示す正
面図; 第5A図は、一実施例の第1の変形例の構成を部分的に
示す正面図; 第5B図は一実施例の第2の変形例の構成を部分的に示
す正面図: 第6A図は2軸の場合のずれが平行状態である場合を示
す上面図; 第6B図は2軸の場合のずれが回転状態である場合を示
す上面図;そして、 第7A図乃至第7C図は、従来の芯合せ装置の構成及び
動作を示す正面図である。 図中、10・・・ロボットアーム、12・・・芯合せ装
置、14・・・ハンド部、16・・・ハンド本体、18
・・・ボルト、20・・・保持具、22・・・ピン、2
4・・・挿入孔、26・・・吸引管、28・・・嵌合穴
、30・・・基板、32・・・テーパ面、34・・・コ
ンプライアンス機構、34a・・・第1の軸部材、34
b・・・第2の軸部材、34c;34d・・・外方フラ
ンジ部、34e・・・支持ピン、34f 、34g・・
・外方フランジ部、34h・・・切り溝、34i・・・
付勢部材、34j;34k・・・凹所、34jl!・・
・コイルスプリング、34m・・・V溝、34n;34
o・・・弾性ゴム帯、36・・・ボルト、38・・・ロ
ック機構、38a・・・シリンダ室、38b・・・ピス
トン部材、38c・・・コイルスプリング、38d・・
・ストッパ部材、38e・・・ロック穴、38f・・・
連結管である。 ↓ 第2図 第4A図 第5A図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 移送体の先端に保持具を介して嵌入部材を保持して、移
送体を移動することにより、被嵌入部材の嵌合部に嵌入
部材を嵌入させる際に、嵌入部材の中心軸と、嵌合部の
中心軸とを互いに整合するように、芯合せするための芯
合せ装置において、前記移送体の先端に取り付けられる
取付本体と、 前記保持具が取り付けられる保持具取付体と、これら取
付本体と保持具取付体との間に配設され、嵌入部材の中
心軸に直交する面内でのずれに対するコンプライアンス
と、嵌入部材の中心軸に沿うずれに対するコンプライア
ンスと、嵌入部材の中心軸を中心とした回転方向のずれ
に対するコンプライアンスと、嵌入部材の中心軸に対す
る傾きのずれに対するコンプライアンスとを有するコン
プライアンス機構を具備する事を特徴とする芯合せ装置
。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27934887A JPH01121194A (ja) | 1987-11-06 | 1987-11-06 | 芯合せ装置 |
| US07/266,071 US4896431A (en) | 1987-11-06 | 1988-11-02 | Alignment apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27934887A JPH01121194A (ja) | 1987-11-06 | 1987-11-06 | 芯合せ装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22136091A Division JPH0755412B2 (ja) | 1991-09-02 | 1991-09-02 | 芯合せ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01121194A true JPH01121194A (ja) | 1989-05-12 |
| JPH0379136B2 JPH0379136B2 (ja) | 1991-12-17 |
Family
ID=17609917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27934887A Granted JPH01121194A (ja) | 1987-11-06 | 1987-11-06 | 芯合せ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01121194A (ja) |
-
1987
- 1987-11-06 JP JP27934887A patent/JPH01121194A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0379136B2 (ja) | 1991-12-17 |
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