JPH01122964A - イツトリウムで安定化されたジルコニア及びその製造方法 - Google Patents
イツトリウムで安定化されたジルコニア及びその製造方法Info
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- JPH01122964A JPH01122964A JP63241180A JP24118088A JPH01122964A JP H01122964 A JPH01122964 A JP H01122964A JP 63241180 A JP63241180 A JP 63241180A JP 24118088 A JP24118088 A JP 24118088A JP H01122964 A JPH01122964 A JP H01122964A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、イツトリウムで安定化されたジルコニア微粉
末の改良製造方法に関する。
末の改良製造方法に関する。
また、本発明は、新規工業製品とqての、前記の方法で
得られた安定化されたジルコニア微粉末に関する。
得られた安定化されたジルコニア微粉末に関する。
安定化されたジルコニア、特にイツトリウムで安定化さ
れたジルコニアは、特に高い機械的、熱力学的及び電気
的性質を得るためのセラミック材料の製造に非常にしば
しば使用される材料である。
れたジルコニアは、特に高い機械的、熱力学的及び電気
的性質を得るためのセラミック材料の製造に非常にしば
しば使用される材料である。
その良好な機械的及び熱機械的性質は、ジルコニア網状
構造内に所定量の酸化イツトリウムを組み入れることに
よって得られる串安定正方晶系粒子よりなる単一相ジル
フエアからもたらされることが知られている。
構造内に所定量の酸化イツトリウムを組み入れることに
よって得られる串安定正方晶系粒子よりなる単一相ジル
フエアからもたらされることが知られている。
安定化されたジルコニア製の高密度物品は相当する組成
物の7リフト化によって得られるので、それらの性質を
向上させるにはまずそれら自体の粉末の製造レベルで特
別の努力を払わねばならないことが容易、に理解される
。事実、劣った粉末から良質のセラミックを製造するこ
とは、今日までどのセラミストも取り上げることができ
なかった挑戦である。
物の7リフト化によって得られるので、それらの性質を
向上させるにはまずそれら自体の粉末の製造レベルで特
別の努力を払わねばならないことが容易、に理解される
。事実、劣った粉末から良質のセラミックを製造するこ
とは、今日までどのセラミストも取り上げることができ
なかった挑戦である。
さらに詳しくいえば、原料粉末は、非常に微細であり、
即ち非常に反応性であり、高純度であり、そしてジルフ
ェア中に酸化イツトリウムが完全に均一に分布していて
、正方晶系で存在しなければならない。
即ち非常に反応性であり、高純度であり、そしてジルフ
ェア中に酸化イツトリウムが完全に均一に分布していて
、正方晶系で存在しなければならない。
後者の要件は、フリツF化後に多相型の安定化されたり
ルコニア、即ち、所望の正方晶系の相に対して無視でき
ない量の寄生相、特に単斜晶系の相を示すジルコニアに
至らせないために必須であるO 他方、工業的観点からすれば、これらの粉末の合成は、
容易であり、そしてできるだけ低い温度でかつ受は入れ
られるコストで実施できることが重要である。
ルコニア、即ち、所望の正方晶系の相に対して無視でき
ない量の寄生相、特に単斜晶系の相を示すジルコニアに
至らせないために必須であるO 他方、工業的観点からすれば、これらの粉末の合成は、
容易であり、そしてできるだけ低い温度でかつ受は入れ
られるコストで実施できることが重要である。
現在、安定化されたジルコニア微粉末の製造を目的とし
て各種の方法が知られている。
て各種の方法が知られている。
最も古い方法の一つは、酸化ジルコニウムと安定化用元
素の酸化物、例えばY、0.の微粉末の緊密な混合物を
反応させることからなる。しかしながら、この技術は、
結晶化した固体の間の遅くかつ困難な同時拡散反応に基
いており、温度を非常に高くする必要があり、また一方
では不均質な固溶体の形成の恐れを、そして他方では焼
成611(一般に必要な後続粉砕工程のときに厄介な不
純物の導入の恐れを伴なうという不都合を有する。
素の酸化物、例えばY、0.の微粉末の緊密な混合物を
反応させることからなる。しかしながら、この技術は、
結晶化した固体の間の遅くかつ困難な同時拡散反応に基
いており、温度を非常に高くする必要があり、また一方
では不均質な固溶体の形成の恐れを、そして他方では焼
成611(一般に必要な後続粉砕工程のときに厄介な不
純物の導入の恐れを伴なうという不都合を有する。
最近、液相で行われる各種の反応により得られる先駆物
質の熱分解によって実施することが考えられることが見
出された。
質の熱分解によって実施することが考えられることが見
出された。
この原理に基いている文献に一般的に記載された方法は
、ジルコニウム塩又はジルフェル塩と安定化用の化合物
塩(硫酸塩、塩化物、硝酸塩など)を水溶液の形で混合
し、次いでアンモニア又はアルカリ性塩基を添加するこ
とにより二つの金属をその水酸化物の形で共沈させ、共
沈物を反応媒体から分離し、次いでそれを熱分解するこ
とからなる。
、ジルコニウム塩又はジルフェル塩と安定化用の化合物
塩(硫酸塩、塩化物、硝酸塩など)を水溶液の形で混合
し、次いでアンモニア又はアルカリ性塩基を添加するこ
とにより二つの金属をその水酸化物の形で共沈させ、共
沈物を反応媒体から分離し、次いでそれを熱分解するこ
とからなる。
水酸化物の沈殿は、一般に非晶質ゲル又は不完全に結晶
化した微細結晶の凝集体の形を呈する。
化した微細結晶の凝集体の形を呈する。
しかしながら、このような方法は、いくつかの欠点を有
する。即ち、一方で、水酸化物ゲルは、イオンを多量に
収着し得るものであって、これらの不純物は、沈殿の洗
浄時に決して完全に除去されないので、もちろん十分に
理発性の物質棟は除いて、脱水のための熱処理後に酸化
物中に留まることになるが、このことは非常に厄介なこ
とである。
する。即ち、一方で、水酸化物ゲルは、イオンを多量に
収着し得るものであって、これらの不純物は、沈殿の洗
浄時に決して完全に除去されないので、もちろん十分に
理発性の物質棟は除いて、脱水のための熱処理後に酸化
物中に留まることになるが、このことは非常に厄介なこ
とである。
他方、水酸化物の脱水時での水の存在は、水酸化物の結
晶化を促進させるので、その反応性は低下し、固溶体は
1000℃以上の温度でしか完全に形成されない。
晶化を促進させるので、その反応性は低下し、固溶体は
1000℃以上の温度でしか完全に形成されない。
さらに、この技術によって沈殿のサイズを調節すること
ができないので、その沈殿の熱分解では、一般に、サイ
ズの分布が比較的不均一である粒子が得られることにな
る。
ができないので、その沈殿の熱分解では、一般に、サイ
ズの分布が比較的不均一である粒子が得られることにな
る。
さらに興味のある他の方法は、ジルコニウムのカルボン
酸塩(酢酸塩、ぎ酸塩、くえん酸塩など)型の有機錯体
と安定化用化合物との均質混合物よりなる固体先部物質
であって相当する塩の水性混合物を蒸発させることによ
って得られるものを熱解することからなる。
酸塩(酢酸塩、ぎ酸塩、くえん酸塩など)型の有機錯体
と安定化用化合物との均質混合物よりなる固体先部物質
であって相当する塩の水性混合物を蒸発させることによ
って得られるものを熱解することからなる。
仏国特許第1,558.466号に記載されたこの方法
は、比較的低い温度でかつ直接的に固溶体を微粉末の形
で得るのを可能にするという利点を有する。
は、比較的低い温度でかつ直接的に固溶体を微粉末の形
で得るのを可能にするという利点を有する。
しかしながら、本発明者は、イツトリウムで安定化され
たジルコニア粉末を製造するため前記の仏国特許第1,
558,466号の教示の追跡舎したところ、本質的に
単一相でありかつ正方晶系の固溶体を得ることができず
、したがってこの技術を改良するために大きな研究をす
るに至った。
たジルコニア粉末を製造するため前記の仏国特許第1,
558,466号の教示の追跡舎したところ、本質的に
単一相でありかつ正方晶系の固溶体を得ることができず
、したがってこの技術を改良するために大きな研究をす
るに至った。
したがって、本発明は、前記のような従来技術の問題点
を解決するとともに、できるだけ狭い粒度を示しかつ安
定化用元素がジルコニア中に均一に分布している本質的
に正方晶系の、イツトリウムで安定化されたジルコニア
の微細状粉末を信頼性及び再現性のある態様で得るため
の簡単で、効率的でかつ実施が容易な手段を提案するこ
とを目的とする。
を解決するとともに、できるだけ狭い粒度を示しかつ安
定化用元素がジルコニア中に均一に分布している本質的
に正方晶系の、イツトリウムで安定化されたジルコニア
の微細状粉末を信頼性及び再現性のある態様で得るため
の簡単で、効率的でかつ実施が容易な手段を提案するこ
とを目的とする。
なお、ここで、「本質的に正方晶系の」とは、安定化さ
れたジルコニアの少なくとも90モル%がこの相で存在
することを意味する。
れたジルコニアの少なくとも90モル%がこの相で存在
することを意味する。
ここに、これらの目的が本発明の改良製造方法によって
達成できることが見出されたが、この方法は、 a)酢酸ジルコニルと酢酸イツトリウムとの水性混合物
を製造し、 b)この混合物のpHを少なくとも5の値にもたらし、 C)この混合物から溶媒を除去し、 d)工程Cより得られた固体残留物を熱分解する工程よ
りなることを特徴とする。
達成できることが見出されたが、この方法は、 a)酢酸ジルコニルと酢酸イツトリウムとの水性混合物
を製造し、 b)この混合物のpHを少なくとも5の値にもたらし、 C)この混合物から溶媒を除去し、 d)工程Cより得られた固体残留物を熱分解する工程よ
りなることを特徴とする。
総括的にいえば、本発明者は、完全に予期せずにかつ驚
べきことに、酢酸ジルコニルと酢酸イツトリウムを含有
する混合物のpH制御が正方晶系状態で安定化されたジ
ルコニア微粉末を得るのに必須の臨界的パラメータとな
ることを立証した。
べきことに、酢酸ジルコニルと酢酸イツトリウムを含有
する混合物のpH制御が正方晶系状態で安定化されたジ
ルコニア微粉末を得るのに必須の臨界的パラメータとな
ることを立証した。
しかし、本発明のその他の特徴及び利点は、以下の説明
及び実施例から一層明らかとなろう。
及び実施例から一層明らかとなろう。
初期の水性混合物は、固体酢酸ジルコニルと固体酢酸イ
ツトリウムを水に直接導入し、次いで溶解するか、又は
それらの塩の二つの異なった水溶液を混合することによ
って製造することができる。
ツトリウムを水に直接導入し、次いで溶解するか、又は
それらの塩の二つの異なった水溶液を混合することによ
って製造することができる。
固体又は溶液状の酢酸ジルコニル及び酢酸イツトリウム
は典型的な市販製品であって、容易に合成できるもので
ある。
は典型的な市販製品であって、容易に合成できるもので
ある。
反応媒体に導入されるジルコニウム及びイツトリウムの
量は、最終の固溶体に対して望ましい比率の範囲になけ
ればならない。
量は、最終の固溶体に対して望ましい比率の範囲になけ
ればならない。
実際には、初期の水性混合物中に含まれる酢酸ジルコニ
ルと酢酸イツトリウムとの間のモル濃度の比は、安定化
されたジルコニア粉末のイツトリウム含有1 (YzO
sとして表わして)がα001〜10モル%、好ましく
は15〜6モル%、さらに好ましくは2〜4そル%の間
にあるように選ばれる。
ルと酢酸イツトリウムとの間のモル濃度の比は、安定化
されたジルコニア粉末のイツトリウム含有1 (YzO
sとして表わして)がα001〜10モル%、好ましく
は15〜6モル%、さらに好ましくは2〜4そル%の間
にあるように選ばれる。
均質化した後では、混合物のpHは約4.6の値にある
。
。
本発明による方法の必須の特徴によれば、混合物のpH
は次いで少なくとも5の値にもたらされる。
は次いで少なくとも5の値にもたらされる。
この操作は、それ自体知られたどんな方法によっても、
特にガス状アンモニア又はアンモニア溶液のような塩基
の添加によって莢施することができる。
特にガス状アンモニア又はアンモニア溶液のような塩基
の添加によって莢施することができる。
塩基性試剤を添加するときは、反応媒体中でのpHの局
部的でかつ一時的な増大をダ]き起す恐れのある局部的
などんな濃度過剰も回避させることが好ましい。
部的でかつ一時的な増大をダ]き起す恐れのある局部的
などんな濃度過剰も回避させることが好ましい。
この反応媒体中でのpHの均一性の制御は、例えば非常
に希薄なアンモニア溶液又は非常に低いガス状アンモニ
ア供給流量を使用することによって得ることができる。
に希薄なアンモニア溶液又は非常に低いガス状アンモニ
ア供給流量を使用することによって得ることができる。
しかしながら、本発明に従う方法の49に好ましい実施
態様によれば、反応媒体中のその場でアンモニアの生成
が行われ、これは例えば反応媒体中に、熱分解によって
次式 %式%( に従いアンモニアを発生する尿素を尋人することによっ
て行われる。
態様によれば、反応媒体中のその場でアンモニアの生成
が行われ、これは例えば反応媒体中に、熱分解によって
次式 %式%( に従いアンモニアを発生する尿素を尋人することによっ
て行われる。
このようにして、混合物が所望のpH値にもたらされた
ならば、次いで溶媒の除去が行われる。
ならば、次いで溶媒の除去が行われる。
この操作は、それ自体知られたどんな手段によっても行
うことができ、特に加熱に又は真空下での蒸発によって
行うことができる。
うことができ、特に加熱に又は真空下での蒸発によって
行うことができる。
好ましくは、溶媒は、60℃〜90℃の間の温度に保持
された砂浴上で加熱してゆっくりと蒸発させることによ
って除去される。
された砂浴上で加熱してゆっくりと蒸発させることによ
って除去される。
この工程が終了してから、酢酸ジルコニウムの網状構造
内にイツトリウムが均質に分布した真正の混合酢酸ジル
コニウム−イツトリウムに相当するX線回折によって非
晶質である白色の固体残留物が回収される。
内にイツトリウムが均質に分布した真正の混合酢酸ジル
コニウム−イツトリウムに相当するX線回折によって非
晶質である白色の固体残留物が回収される。
本発明を特定の理論に限定したくないが、回収された固
体先部物質の非晶質性及び完全な均質性が正方晶系であ
って完全に均質なZ r O2−Y20B固溶体を得る
ための熱分%に対するその注目すべき挙動の原因である
ように思われる。
体先部物質の非晶質性及び完全な均質性が正方晶系であ
って完全に均質なZ r O2−Y20B固溶体を得る
ための熱分%に対するその注目すべき挙動の原因である
ように思われる。
このようにして回収された固体残留物は、次いで熱分解
される。この熱分解は、好ましくは酸化性雰囲気下で、
例えば空気中で行われ、そしてこれは炭素の除去を促進
する目的で行われる。熱分解の温度は800℃から粒子
間の7リツト化現象の開始に相当する温度までの間であ
る。この上方の限界温度は、一般に約11000℃まで
である。
される。この熱分解は、好ましくは酸化性雰囲気下で、
例えば空気中で行われ、そしてこれは炭素の除去を促進
する目的で行われる。熱分解の温度は800℃から粒子
間の7リツト化現象の開始に相当する温度までの間であ
る。この上方の限界温度は、一般に約11000℃まで
である。
好ましくは、熱分解温度は850℃〜1000℃の間で
ある。
ある。
この熱分解より生ずる粉末の粒度分析から、このものが
、直径がcL5μ常〜10μmの間であって2〜3μ洛
の平均値に中心がある凝集物よりなっていることが示さ
れた。
、直径がcL5μ常〜10μmの間であって2〜3μ洛
の平均値に中心がある凝集物よりなっていることが示さ
れた。
電子顕微鏡による分析では、一方で、これらの凝集物は
、大きさが11〜15μ情の間であって11〜16μ倶
の平均値に中心がある微小凝結体よりなっており、そし
てこれらの展結体はそれ自体は100〜5ooiの大き
さの基本微結晶よりなっていることが示された。
、大きさが11〜15μ情の間であって11〜16μ倶
の平均値に中心がある微小凝結体よりなっており、そし
てこれらの展結体はそれ自体は100〜5ooiの大き
さの基本微結晶よりなっていることが示された。
他方、放射線結晶学的分析により、これらの粉末が本質
的に、実に完全に正方晶系(単斜晶系の相及びY、O,
相の不存在)であることが認められ、そしてX111′
fjII1分析による研究ではジルコニアの網状構造内
にイツトリウムが非常に均質に分布していることが立証
された。
的に、実に完全に正方晶系(単斜晶系の相及びY、O,
相の不存在)であることが認められ、そしてX111′
fjII1分析による研究ではジルコニアの網状構造内
にイツトリウムが非常に均質に分布していることが立証
された。
本発明の方法により得られる粉末は、非常に良好な圧縮
適性を示し、そして1200℃〜1500℃の間の温度
で7リツト化することにより、正方晶系の準安定なイツ
トリウム含有ジルフェアの中実で緻密な物品を得るのに
特に適している。
適性を示し、そして1200℃〜1500℃の間の温度
で7リツト化することにより、正方晶系の準安定なイツ
トリウム含有ジルフェアの中実で緻密な物品を得るのに
特に適している。
ここで、従来技術と本発明を例示する実施例を示す。
A)共通の操作
共通の操作方法は、最終固溶体に対して望ましい比率で
所定量のジルコニウム及びイツトリウムを含有する酢酸
塩の水溶液を蒸発させることからなる。
所定量のジルコニウム及びイツトリウムを含有する酢酸
塩の水溶液を蒸発させることからなる。
まず、酸化イツトリウムを硝酸に溶解し、次いで無水酢
酸の添加により硝酸イオンを除去することによって酢酸
イツトリウム溶液を製造する。次いで、この溶液を22
9/lのZr(hを含む市販の酢酸ジルコニル溶液(リ
ーデル・ド・アニン社製)に混合し、次いでこの混合物
を80〜90°Cの砂浴上で完全に蒸発させる。
酸の添加により硝酸イオンを除去することによって酢酸
イツトリウム溶液を製造する。次いで、この溶液を22
9/lのZr(hを含む市販の酢酸ジルコニル溶液(リ
ーデル・ド・アニン社製)に混合し、次いでこの混合物
を80〜90°Cの砂浴上で完全に蒸発させる。
生じた白色固体を空気中で9000〜1000℃の間の
温度で、温度保持を行い又は行わないので、焼成するこ
とによって分解させる。
温度で、温度保持を行い又は行わないので、焼成するこ
とによって分解させる。
これらの試験は、仏国特許第t558.46tS号に記
載のような製造方法を例示する。これは本発明に最も近
似する技術状態として引用するものである。
載のような製造方法を例示する。これは本発明に最も近
似する技術状態として引用するものである。
混合物の得られたままpHは4.6であった。ある種の
試験については、そのPHは酢酸の添加により2にもた
らした。
試験については、そのPHは酢酸の添加により2にもた
らした。
これらの試験の結果を下記の表Iに要約する。
これらの試験は、従来技術の教示に従えば、本質的に正
方晶系のイツトリウムで安定化されたジルコニア粉末を
得ることが不可能であることを明らかに証明している。
方晶系のイツトリウムで安定化されたジルコニア粉末を
得ることが不可能であることを明らかに証明している。
C)試験8〜13
これらの試験は本発明に従う改良方法を例示する。
初期混合物のpHは、希釈されたアンモニア溶液を添加
することKよって上昇させた。
することKよって上昇させた。
熱分解は950℃とし、そしてこの温度で1時間保持し
て行った。
て行った。
これらの試験結果を下記の表■に要約する。
表 ■
これらの試験は、5以上のpH値については、90%以
上が正方晶系であるイツトリウム含有ジルコニア粉末を
得るのが可能であることを明らかに立証しており、そし
てこの値はある試験については100%までになること
がわかる。
上が正方晶系であるイツトリウム含有ジルコニア粉末を
得るのが可能であることを明らかに立証しており、そし
てこの値はある試験については100%までになること
がわかる。
また、本発明による方法は比較的低い熱分解温度で正方
晶系の固溶体を得ることを可能にさせることがわかる。
晶系の固溶体を得ることを可能にさせることがわかる。
特性
試験13より得られた粉末について測定を行った0
1)形態
この粉末の粒度分析では、このものが(lL6〜9μ惧
の間の直径の凝集物からなり、そして2−opsを中心
とした平均直径を持りことが示された。
の間の直径の凝集物からなり、そして2−opsを中心
とした平均直径を持りことが示された。
他方、電子顕微鏡による解析では、これらの凝集物が(
lL1〜t5μ惰間であって平均が12μ湛の大きさの
凝集体よりなること、これらの凝集体はそれ自体は平均
サイズが約200X程度の基本微結晶からなることが示
された。
lL1〜t5μ惰間であって平均が12μ湛の大きさの
凝集体よりなること、これらの凝集体はそれ自体は平均
サイズが約200X程度の基本微結晶からなることが示
された。
この試験は、40パールで予め圧縮しておいた粉末につ
いて、水銀ポロシメータにより2000バールの圧力ま
で行った。これらの試験から、粉末の開口気孔率につい
て補足的なf#報を得ることができる。
いて、水銀ポロシメータにより2000バールの圧力ま
で行った。これらの試験から、粉末の開口気孔率につい
て補足的なf#報を得ることができる。
細孔容積 α115.5/9
細孔寸法 ス500X
比表面積 t1溝2/り
これらの結果は、75X〜10μ偽の範囲で開口気孔の
単一集団しか存在しないことを示しているO この方法は、X線微量分析により、いくつかの凝集物(
A及びB)Kついてイツトリウム及びジルコニウムの割
合を決定し、次いで各凝集物の異なった区域で同じ測定
を行うことによってジルフェアの網状構造中のイツトリ
ウムの分布の均一性を検査することからなる。
単一集団しか存在しないことを示しているO この方法は、X線微量分析により、いくつかの凝集物(
A及びB)Kついてイツトリウム及びジルコニウムの割
合を決定し、次いで各凝集物の異なった区域で同じ測定
を行うことによってジルフェアの網状構造中のイツトリ
ウムの分布の均一性を検査することからなる。
この微量分析の結果を下記の表■に要約する。
表■
(ロ) 嘱はイツトリウム+ジルコニウムの和に対して
表わされる。
表わされる。
これらの結果は、ジルコニアの網状構造内にイツトリウ
ムが非常に良好に分布していることが明らかに証明して
いる。この粉末レベルでの均一性は、それ自体完全な一
フリット化された安定化ジルコニアを得る証拠となる。
ムが非常に良好に分布していることが明らかに証明して
いる。この粉末レベルでの均一性は、それ自体完全な一
フリット化された安定化ジルコニアを得る証拠となる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)a)酢酸ジルコニルと酢酸イットリウムとの水性混
合物を製造し、 b)この混合物のpHを少なくとも5の値にもたらし、 c)この混合物から溶媒を除去し、 d)工程cより得られた固形残留物を熱分解する 工程よりなることを特徴とするイットリウムで安定化さ
れたジルコニア微粉末の製造方法。 2)安定化されたジルコニア粉末中のイットリウム含有
量がY_2O_3として表わして1.5〜6モル%であ
るような量でイットリウム及びジルコニウムを水性混合
物に導入することを特徴とする請求項1記載の方法。 3)イツトリウム含有量が2〜4モル%であることを特
徴とする請求項2記載の方法。 4)水性混合物のpHの増大が塩基によつて行われるこ
とを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の方法。 5)塩基がアンモニアであることを特徴とする請求項4
記載の方法。 6)アンモニアが水性混合物に予め導入された尿素の分
解によりその場で生成することを特徴とする請求項5記
載の方法。 7)溶媒の除去を加熱蒸発により行うことを特徴とする
請求項1〜6のいずれかに記載の方法。 8)蒸発を60℃〜90℃の間の温度で行うことを特徴
とする請求項7記載の方法。 9)熱分解を酸化性雰囲気下に行うことを特徴とする請
求項1〜8のいずれかに記載の方法。 10)雰囲気が空気であることを特徴とする請求項9記
載の方法。 11)熱分解温度が800℃〜1100℃であることを
特徴とする請求項9又は10記載の方法。 12)熱分解温度が850℃〜1000℃であることを
特徴とする請求項11記載の方法。 13)90モル%以上までが正方晶系であることを特徴
とするイットリウムで安定化されたジルコニア粉末。 14)95モル%以上までが正方晶系であることを特徴
とする請求項13記載のジルコニア粉末。 15)99モル%以上までが正方晶系であることを特徴
とする請求項14記載のジルコニア粉末。
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