JPH0328109A - 複合酸化物粉末の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、複合酸化物製造用前駆体の製法及びこの前駆
体を用いた微細でかつ均一な組成を有する複合酸化物粉
末の製造方法に関する。

複合酸化物粉末は誘電体、圧電体、超伝導体、オプトエ
レクトロニクス材料等の電子部品材料や触媒を始め多く
の利用分野がある。近年これらの材料の高機能化が要求
されており、原料粉末においても低温焼結性、組成の均
一性等が要求されている。本発明はこれらの要求にこた
えるものである。

［従来の技術］ 従来、複合酸化物粉末の製造方法として以下の方法が知
られている。

（１）乾式法 この方法は、構成成分の原料化合物（主として酸化物）
を乾式混合もしくは湿式混合し、これを焼成する方法で
ある。この方法では、原料粉末が安価であること、複雑
な操作を必要としないこと等の利点もあるが、均一組成
の原料粉末が得にくく、また混合時に不純物の混入が生
じる等の問題点を有する。さらに、この方法で均一な相
の複合酸化物粉末を得るためには焼或温度を高くする必
要があり、そのため原料粉末の粒子は粗大化する。

（２）共沈法 この方法は、その構成或分のすべてを混合した混合溶液
とし、これにアルカリ等の沈澱形戊剤を添加して構或成
分を共沈させ、この共沈物を濾過、乾燥、焼成する方法
である。この共沈法では、微細な原料粉末が得られるが
、沈澱形成剤添加の際の溶液のｐｌ１によって構或或分
の各金属イオンの沈澱形成状態が異なる場合が多く、製
造した酸化物の組成が、当初設定した組成と異る場合が
多く目的とした複合酸化物を得ることが困難である等の
欠点がある。

（３）アルコキシド法 この方法は構或戊分のアルコキシド溶液の混合物を加水
分解することにより、金属酸化物あるいは水酸化物の共
沈体とアルコールを生或する事を利用したものである。

この方法で得られる酸化物の粉末は非常に微細であり、
粒度分布が狭く、かつ高純度なため、この方法で得られ
たものはセラミックス原料粉末として優れた特性を有し
ている。

しかし、アルコキシド原料が高価であり、アルコキシド
溶液を調製するために溶媒を十分に脱水する必要があり
、そのための脱水コスト及び溶媒回収コストがかかると
いう欠点を有する。

［発明が解決しようとする課題］ 本発明の目的は、従来の複合酸化物粉末の製造方法の欠
点を改良した、組成の均一性に優れかつ微細で焼結性の
よい複合酸化物粉末前駆体の製造方ｌ去及びこの前駆体
を用いた複合酸化物粉末の製造方法を提供することにあ
る。

［課題を解決するための手段コ 複合酸化物は、その結晶構造により多くの種類がある。

たとえば、強磁性をもつスビネル構造やマグネトプラン
バイト構造、強誘電性を持つベロブス力イト構造等を持
つものが良く知られている。

組成の均一性に優れた複合酸化物粉末を製造するために
は、各種金属原料を均一に混合することが必要である。

このような理想的な混合状態は、例えば各種金属化合物
を共通の溶媒に均一に溶解することにより得ることが出
来る。各種金属塩が溶解した溶液では、原子オーダーで
の混合が行われており、また、各種コロイド溶液を混合
した溶液では、コロイド次元オーダーで混合が行われて
いると考えらている。このような混合状態を保ちながら
溶媒を除去し、得られた成分を焼成することにより、低
温で組成の均一性に優れた複合酸化物粉末を調製するこ
とが出来ると考えられる。例えば従来技術である共沈法
は、各種金属化合物が共通の溶媒に溶解混合された状態
の溶戒に沈澱剤を加え各種金属成分の混合された沈澱物
を得る方法であるが、溶液中での金属或分の沈澱生成の
条件は金属成分ごとに異なり、一般的に多数のイオンを
同時に沈澱させることは実際上不可能である。

また、各種金属或分が溶解混合された状態の溶液から蒸
発乾固あるいは、噴霧乾燥等により溶媒を除去した場合
には、各種金属成分の溶媒に対する溶解度が異なるため
乾燥時に金属成分の偏析が避けられない。以上のように
して得た前駆体を焼成することにより複合酸化物粉末の
調製を試みた場合、前駆体の組成が不均一で、単一複合
酸化物相を得ようとした場合、高い焼或温度を必要とす
る。

本発明者らは、以上のような問題点を解決するために検
討を行った桔果、或る種の条件で各種金属化合物を溶解
混合した状態の溶液から溶媒を除大したものは、均一な
組成を持つ複合酸化物粉末製造用前駆体を得ることを見
出し本発明を完成した。即ち本発明は、熱分解性金属化
合物、金属酸化物ゾル、金属水酸化物ゾルの化合物群か
ら選ばれた２種以上の化合物及び溶媒を含んだ溶液と水
溶性高分子化合物とを混合し、該混合溶液から溶媒を除
失することを特徴とする複合酸化物製造用前駆体の製造
方法に関するものであり、更にこの方法で得た前駆体を
４００℃以上の温度で熱処理することを特徴とする複合
酸化物粉末の製遣方法に関するものである。

次に本発明を更に詳述する。

本発明で得る複合酸化物は、特に限定されるものではな
く、例えば、強磁性をもつスピネル構造やマグネトプラ
ンバイト構造、強誘電性を持つベロブス力イト構造等の
複合酸化物等いづれでも得られるが、特にペロブス力イ
ト型複合酸化物の製造に対して有効である。

以下ペロブス力イト構造を持つ複合酸化物を得る方法を
例として本発明を詳細に説明する。

ベロブス力イト型複合酸化物は一般にＡＢＯ３で示され
る。このようなベロブス力イト構造をとる前記一般式の
Ａ成分と、Ｂ成分の組合せは、多数存在し、例えばコン
デンサ材料として用いられるものでは、Ａ成分がＰｂ，
　Ｂ成分がＴＩ，　Ｍｇ，　Ｎ１，Ｎｂからなるものが
知られており、以下の組成のものが知れている。

［ＰｂＴｉＯ　　ｉ　　コ　−　　−　　　［Ｐｂ　　
（Ｍｇ＋，　３　Ｎｂ　２ｚｉ　　）　　０　　３　　
］　　−［Ｐｂ　　（Ｎｌｌ／３　　Ｎｂ　２／ｘ　　
）　　０　　３　コ　２（　：．：．　テＸ＋Ｙ＋Ｚ−
１　テ以下ＰＴ−ＰＭＮ−ＰＮＮと略記する）本発明に
おいて、複合酸化物製造用前駆体を調製するための原料
としては、熱分解性金属化合物、金属酸化物ゾル、金属
水酸化物ゾルの化合物群から構成される化合物の２種以
上を使用する。具体的な熱分解性金属化合物としては、
各種金属のカルボン酸塩、硝酸塩等があげられる。これ
らの内ＴＩ、ＺｒＳＮｂ等の金属元素については、カル
ボン酸塩、硝酸塩等を用いることが困難であるため、金
属酸化物ゾルあるいは、金属水酸化物ゾルを用いること
が好ましい。金属酸化物ゾル、金属水酸化物ゾルとして
は、金属酸化物や金属水酸化物をボールミルや振動ミル
等を用いて超微粉砕し溶媒に分散させたもの、市販各種
金属酸化物コロイド溶液、あるいは、各種金属アルコキ
シド、金属塩化物、金属オキシ塩化物、金属蓚酸化合物
等を加水分解等の反応により調製して得たゾルを使用す
ることが出来るが、金属塩化物等を原料として使用した
場合、生成系残留する塩素イオン等が製品粉末の性能低
下の原因となり、また、これらが他の原料例えばｐｂと
結合して沈澱を生成するため、充分な桔製が必要がある
。また、塩素イオンや蓚酸イオンは、他の原料例えばｐ
ｂと結合して沈澱を生成するために、これらを含んだ原
料を用いてゾルを調整した場合は十分な精製が必要であ
る。ここで用いるゾルの粒子径は、小さければ小さいほ
ど反応性に富むので、５００ｎ一以下、特に１００ｒ＋
＋ｗ以下のゾル粒子を使用することが好ましい。先に示
しタＰＴ−ＰＭＮ−ＰＮＮの組成を持つベロプス力イト
型複合酸化物の生成に於いては、Ｐｂ，　Ｍｇ，　Ｎ１
は酢酸塩あるいは硝酸塩を、ＴＩＳＮｂはゾルを原料と
することができる。

次にこのような原料を溶媒を用いて溶解混合する。ここ
で用いる溶媒としては、特に限定されるものではないが
全ての熱分解性金属化合物が溶解し、またゾルを使用す
る場合は、ゾル粒子が凝集またはゲル化しない溶媒及び
条件を選択する必要がある。これらの条件を満たす溶媒
としては、水が最も適しておりかつコスト的にも最適で
あるが、水に限定されるものではなく、例えば水とアル
コールあるいは水と有機酸（ギ酸、酢酸等）の混合溶媒
や、非水溶媒を用いてもよい。また、例えばチタニアゾ
ルを原料の一部として使用するような場合、溶媒をゲル
化しない条件、即ちｐｌ１を４以下に保つ必要があり他
の金属成分のゾルを使用する場合も同様の注意が必要で
ある。

原料を溶解混合した時点で各種金属成分は、原子オーダ
ーあるいはコロイド次元のオーダーで均一に混合された
状態となる。このような混合状態を保ちながら溶媒を除
去し、焼成することにより低温で粒度分布の少ない複合
酸化物粉末を調製することが出来る。

本発明においては、溶解混合した溶液から溶媒を除表す
る前に、水溶性高分子化合物を前記混合溶液に混合する
ことが必須である。

ここで用いる水溶性高分子化合物の効果は明確ではない
が、各種金属成分が溶解混合された状態の溶液から溶媒
を除去する時点で、水溶性高分子化合物により形成され
るネットワークの中に金属イオンあるいは、コロイド粒
子が取り込まれることにより、各種金属塩の偏析あるい
は、コロイド粒子の凝集が抑制され、理想的な混合状態
が保たれたまま混合溶液から溶媒の除去が可能になるた
めと考えられる。従って、本発明においては、水溶性高
分子化合物は、特に限定されるものではないが、各種金
属成分が溶解混合された状態の溶液から溶媒を除去する
時点で、金属塩の偏折、およびコロイド粒子の凝集防止
作用を強く有していると４えられるもの例えば、ポリビ
ニルアルコール、ポリエチレングリコール、ポリアクリ
ル酸、ポリメタクリル酸等が特に好ましい。

このような水溶性高分子化合物の添加方法は特に規定さ
れるものではなく、各種金属化合物の混合溶液に水溶性
高分子化合物を加えてもよく、水溶性高分子溶液に各種
金属化合物を添加することにより混合してもよい。用い
る水溶性高分子化合物の添加量が少ないと偏析あるいは
、凝集防止効果が発揮されない。従って水溶性高分子化
合物の添加量は、金属成分の種類によっても異なるが、
金属酸化物の重量の２０ｗｔ％以上、好ましくは、５０
ｖｔ％以上となるような量である。

以上のような各種或分を含んだ溶液から溶媒を除去する
方法は特に制限されないが、通常の蒸発乾固、噴霧乾燥
等を用いることが出来る。蒸発乾固を行う場合は、撹拌
下で行うのが好ましく、また、減圧下で行ってもよい。

以上のような方法で複合酸化物製造用前駆体を得ること
ができる。

次に得られた複合酸化物製造用前駆体から複合酸化物粉
末を得る方法について説明する。

本発明では、得られた前記前駆体を４００℃以上の温度
で熱処理するが、前駆体をまず比較的低い温度で熱分角
ダすることが好ましい。これは前記熱処理にまり生或す
る副生ガス等をまず熱分解により除去し、後に高温度で
焼成するのに好ましいことである。この際の熱分解の温
度は、２５０℃以上好ましくは３００℃以上である。こ
の温度が２５０℃未満では、前駆体の分角ｑが充分に進
行しない。分角イに要する時間は、添加した水溶性高分
子化合物の量によっても異なるが、空気雰囲気下で１時
間程度行えば十分である。次に熱分解した前駆体を焼威
する。この焼或工程は、熱分解工程と厳密に分ける必要
はなく、熱分解に引き続いて焼戊を行ってもよく、また
、熱分解後の前駆体を一旦ボールミル等で粉砕した後行
ってもよい。焼或温度は、目的とする複合酸化物の結晶
構造及び生成のしやすさによって大きく異なるが通常４
００℃以上を必要とする。焼戊温度が４００℃未満の場
合、目的とする複合酸化物を得にくく、また、水溶性高
分子化合物が分解して生じた炭素が残留する可能性が有
るため好ましくない。例えば、ベロブス力イト型複合酸
化物の生成の場合を例にとると、焼成温度は６００℃以
上であればよく、好ましくは７００〜９００℃である。

本発明では勿論当初から４００℃以上の温度で分解、焼
成を含む熱処理を行なっても良い。

本発明において水溶性高分子を用いることの効果は、各
種金属塩の偏折あるいはコロイド粒子の凝集を抑制し、
理想的な混合状態が保たれたまま混合溶液から溶媒の除
去を可能にするだけでなく、前駆体を熱分解、さらに焼
成することにより調製した複合酸化物粉末を微細化する
作用も有している。この詳細な機構は不明であるが、前
駆体を熱分解しさらに焼成する工程において、ネットワ
ークを形或していると考えられる水溶性高分子化合物の
分解作用が有効に働き、生或した複合酸化物粉末は、非
常に微細で粒度分布のそろったものが得られると考えら
れる。

本発明で得られる複合酸化物粉末の一次粒子径は、用い
る水溶性高分子の種類と添加量及び分解、焼成条件によ
り異なるが、通常１μｍ以下のものが得られる。また、
粒子径は添加する高分子化合物の量によりある程度制御
でき、添加量が多いと得られた粉末の一次粒子径は、小
さくなる傾向にある。

［発明の効果コ 以上の説明から明らかなように本発明によれば、熱分解
性金属化合物、金属酸化物ゾル、金属水酸化物ゾルを原
料として均一な前駆体組成物を調製でき、この前駆体組
成物を熱分解し、焼成することにより組成の均一性にす
ぐれた複合酸化物を調製できる。更に、均一な前駆体組
底物を調製するために用いた水溶性高分子化合物が分解
するときの作用により、生戊した複合酸化物粉末は、非
常に微細なものが得られる。

［実施例コ 次に本発明を実施例により更に詳細に説明する。

実施例１ （１−１）ペロブス力イト型Ｐｂ　（Ｍｇ＋．２ｉ　Ｎ
ｂ２／３）　０３？末製造用前駆体の調製 撹拌器を備えた２００ｒｄ四つ目フラスコに酢酸鉛三水
塩５．８９ｇ，酢酸マグネシウム四水塩１．０７ｇ，ポ
リエチレングリコール（平均分子ｍ６０００）　２．６
４ｇ１蒸留水８０ｇを加え撹拌溶解した。ニオブペンタ
エトキシド３．１８ｇを無水エタノール２５ｒｄに溶解
させたものを蒸留水８０−に添加し、ニオブゾルを調製
した。この二オブゾルを先に調製した鉛，マグネシウム
溶液に撹押下で添加混合した。この混合溶液をオイルバ
スを用いて加熱し蒸発乾固を行った。蒸発が進行するに
従い溶液の粘度は上昇したが、ニオブゾルの凝集及び塩
の偏析は、観察されなかった。

（１−２）ペロブス力イト型Ｐｂ　（Ｍｇ＋／ｓ　Ｎｂ
２．■３）　０３粉末の調製 上記操作により得られた樹脂状の前駆体を磁性ルツボに
移し、マツフル炉を用い空気中３００℃で熱分解した。

得られた、試料をボールミルで１時間粉砕した後、磁性
ボートに移し管状炉を用い空気流通下８５０℃で２特間
焼成した。得られた粉末？Ｘ線回折を用いて分析したと
ころ、Ｐｂ（Ｍｇ１／，Ｎｂ２７３）０３ベロブス力イ
ト相を示すピークと微量のパイロクロア相の存在を示す
ピーク（最強ピークのピーク強度比で１０分の１以下）
が観察された。また、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用
い粒子の形状を観察したところ、平均粒子径０．８　μ
ｍの１次粒子、及びその弱く凝集した２次粒子が観察さ
れた。

実施例２ （２−１）ベロブス力イト型Ｐｂ（Ｍｇ＋／３Ｎｂ２ｚ
３）０＞粉末製造用前駆体の調製 ニオブゾルとして、永和酸化ニオブ（表面積１４０１１
１２／ｇ．強熱減量ｌ５．９％）をジルコニアビーズを
用いた振動ミルを用い２４時間湿式粉砕することにより
平均粒子径０．２　μ傷まで微粉砕したものを水に分散
することにより調製したニオブゾルを用いた以外は、実
施例１　（１−１）と同様の操作を行った。前駆体調製
時にゾルの凝集及び塩の偏折は、観察されなかった。

（２−２）ベロブス力イト型Ｐｂ（Ｍｇｌ■Ｊｂ２／ｉ
）Ｏｉ粉末の調製 （２−１）で得られた前駆体を、実施例１　（１−２）
と同様の操作を行ない得られた粉末をＸ線回折を用いて
分析したところ、Ｐｂ（Ｍｇ＋／ｉ　Ｎｂ２／ｉ）０３
ベロブス力イト相を示すピークと微量のパイロクロア相
の存在を示すピーク（最強ピークのピーク強度比で約ｌ
Ｏ分の１）が観察された。また、走査型電子顕微鏡を用
い粒子の形状を観察したところ、平均粒子径０．８　μ
ｍの１次粒子、及びその弱く凝集した２次粒子が観察さ
れた。

実施例３ （３−１）ペロブスカイト型０．２ＰＴＯ−０．２ＰＭ
Ｎ−０．６ＰＮＮ粉末製造用前駆体の調製 撹拌器を備えた２００一四つ口フラスコに蒸留水５０ｇ
１ポリビニルアルコール４，４ｇを加え加熱下で撹拌溶
解した。さらに酢酸鉛三水塩５．６９ｇ，酢酸マグネシ
ウム四水塩０．２１５ｇ，酢酸ニッケル四水塩０．７４
７ｇを加え撹拌溶解した。ニオプベンタエトキシド２．
５５ｇを無水エタノール２０艷に溶解させたものを蒸留
水７０艷に添加し、ニオブゾルを調製した。

チタンテトラエトキシド０．６８４ｇを無水エタノール
１５ｒｎｉに溶解したものを、ポリビニルアルコール１
ｖＬ％を含んだ４ｗｔ％ギ酸水溶液４０ｇに添加し、チ
タニアゾルを調製した。このニオブゾルとチタニアゾル
を先に調製した、鉛，ニッケル，マグネシウム溶液に撹
袢下で添加混合した。この混合溶岐をオイルバスを用い
て加熱し蒸発乾固を行った。蒸発が進行するに従い溶液
の粘度は上昇したが、ニオブゾル及びチタニアゾルの凝
集及び塩の偏析は、観察されず、蒸発乾固が終了した時
点で樹脂状の前駆体が得られた。

（３−２）ペロブス力イト型ＰＴ−ＰＭＮ−ＰＮＮ粉末
の調製上記操作により得られた樹脂状の前駆体を磁性ル
ッポに移し、マツフル炉を用い空気中３００℃で熱分解
した。得られた試料をボールミルで３０分間粉砕した後
、磁性ボートに移し管状炉を用い空気流通下８５０℃で
２時間焼威した。得られた粉末をＸ線同折を用いて分析
したところ、ＰｂＴＩＯ３：　Ｐｂ（Ｍｇ＋・３Ｎｂ２
／３）　　０３　　：　Ｐｂ　（Ｎｌ＋，・３Ｎｂ２／
３）０３が固溶したべロブス力イト相を示すピークと微
量のパイロクロア相の存在を示すピーク（最強ピークの
ピーク強度比でＩＯ分の１以下）が観察された。

また、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用い粒子の形状を
観察したところ、平均粒子径０，５　μｍの１次粒子、
及びその弱く凝集した２次粒子が観察された。図−１に
Ｘ線回折図を示した。

実施例４ （４−１）ペロプスカイト型０．２ＰＴ−０．２ＰＭＮ
−０．ｅＰＮＮ粉末製造用前駆体の調製 チタニアゾルとして、市販チタニアゾルに含まれる塩素
イオンを、チタニアゾルを限外濾過膜を用いて濃縮した
後、ギ酸水溶液で希釈する操作を繰り返すことにより取
り除き精製したものを用い、ニオブゾルとして、水和酸
化ニオブ及び蓚酸２水和物を１１０℃で水に溶解した後
、氷冷し析出した蓚酸を濾別した溶液を加熱することに
よりニオプゾルを調製し、これを限外濾過膜を用いて精
製したものを用いた以外は、実施例３　（３−１）と同
様の操作を行った。前駆体調製時にゾルの凝集及び塩の
偏折は観察されなかった。（４−２）ペロブスカイ？型
ＰＴ−ＰＭＮ−ＰＮＮ粉末の調製 （４−１）で得られた前駆体を、実施例３　（３−２）
と同様の操作を行なうことにより得られた粉末をＸ線回
折を用いて分析したところ、ＰｂＴＩＯ＊　　：　Ｐｂ
（Ｍｇ＋／３Ｎｂ２／ｉ）Ｏｉ　；　Ｐｂ（Ｎｉ＋７ｉ
Ｎｂ２．■ｓ）Ｏｉが固溶したべロブス力イト相を示す
ピークと微量のパイロクロア相の存在を示すピーク（最
強ピークのピーク強度比でＩＯ分の１以下）が観察され
た。また、走査型電子顕微鏡を用い粒子の形状を観察し
たところ、平絢粒子径０．６　μｍの１次粒子、及びそ
の弱く凝集した２次粒子が観察された。

実施例５ （５−１）スビネル型Ｃｏｄｅ２０　４複合酸化物粉末
製造用前駆体の調製 撹拌器を備えたｌ　０　０ｒｄフラスコに酢酸コバルト
四水塩２．４９ｇ，硝酸鉄九水塩８．０８ｇ，蒸留水４
０ｇ１ポリビニルアルコール４ｇを加え撹拌溶解した。

この混合溶液をオイルバスを用いて加熱し蒸発乾固を行
った。蒸発が進行するに従い溶液の粘度は上昇したが塩
の偏析は、観察されず、蒸発乾固が終了した時点で樹脂
状の前駆体が得られた。

（５−２＞スビネル型ＣＯＦｅ２０４複合酸化物粉末の
調製 上記操作により得られた樹脂状の前駆体を磁性ルツボに
移し、マツフル炉を用い空気中３００℃で熱分解した。

得られた、試料をボールミルで１時間粉砕した後、磁性
ボートに移し管状炉を用い空気流通下５００℃で２時間
焼或した。得られた粉末をＸ線回折を用いて分析したと
ころ、スピネル構造を示すピークのみが観察された。ま
た、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用い粒子の形状を観
察したところ、平均粒子径０，４　μ燗の１次粒子、及
びその弱く凝集した２次粒子が観察された。

比較例１ 粉末混合法によるペロプスカイト型ＰＴ−ＰＭＮ−ＰＮ
Ｎ粉末の調製 酸化鉛１３．６９ｇ，酸化マグネシウム０．１６６ｇ，
酸化ニッケル０．９１６ｇ，二酸化チタン０．９８ｇ，
五酸化ニオブ４．３ｇをボールミルを用いて１８時間混
式混合した。混合物を乾燥後、磁性ボートに移し管状炉
を用い空気流通下８５０℃で２時間焼成した。得られた
粉末をＸ線回折を用いて分析したところ、ＰｂＴＩ０　
３　　；　Ｐｂ　ＣＭｇ＋／３Ｎｂ２。）　０３　　：
　Ｐｂ　（Ｎ１１／３Ｎｂ２／３）０３が固溶したべロ
ブス力イト相を示すピークと多量のパイロクロア相の存
在を示すピーク（最強ピークのピーク強度比１０：４）
が観察された。

比較例２ ペロブス力イト型ＰＴ粉末の調製 撹拌器を備えた２　０　０ｄ四つ目フラスコに酢酸鉛三
水塩５．８９ｇ，酢酸マグネシウム三水塩１．０７ｇ、
蒸留水８０ｇを加え撹拌溶解した。ニオプベンタエトキ
シド３．１８ｇを無水エタノール２５ｍＮに溶解させた
ものを蒸留水８０ｍｊ！に添加し、ニオブゾルを調製し
た。このニオブゾルを先に調製した鉛，Ｍｇ溶液に撹拌
下で添加混合した。この混合溶液をオイルバスを用いて
加熱し蒸発乾固を行った。蒸発乾固が進行するに従い、
ニオブゾルの凝集及び塩の偏析が、観察された。蒸発乾
固により？リられた固体を磁性ボートに移し管状炉を用
い空気流通下８５０℃で２時間焼成した。生成した粉末
をＸ線回折を用いて分析したところ、Ｐｂ　（Ｍｇ＋／
３Ｎｂ２／３）　０　３ベロブスカイト相を示すピーク
と多量のパイロクロア相の存在を示すピーク（最強ピー
クのピーク強度比でｌｏ：３）が観察された。

【図面の簡単な説明】

図−１は実施例３で得たＰＴ−ＰＭＮ−ＰＮＮ粉末のＸ
腺回折図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）熱分解性金属化合物、金属酸化物ゾル、金属水酸化
   物ゾルの化合物群から選ばれる２種以上の化合物及び溶
   媒を含んだ溶液と水溶性高分子化合物とを混合し該混合
   溶液から溶媒を除去することを特徴とする複合酸化物製
   造用前駆体の製造方法２）熱分解性金属化合物、金属酸
   化物ゾル、金属水酸化物ゾルの化合物群から選ばれる２
   種以上の化合物及び溶媒を含んだ溶液と水溶性高分子化
   合物とを混合し該混合溶液から溶媒を除去して得た前駆
   体を４００℃以上の温度で熱処理すことを特徴とする複
   合酸化物粉末の製造方法