JPH01126493U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01126493U JPH01126493U JP2333388U JP2333388U JPH01126493U JP H01126493 U JPH01126493 U JP H01126493U JP 2333388 U JP2333388 U JP 2333388U JP 2333388 U JP2333388 U JP 2333388U JP H01126493 U JPH01126493 U JP H01126493U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- duct
- leak test
- connections
- utility
- exhaust system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Flanged Joints, Insulating Joints, And Other Joints (AREA)
- Joints Allowing Movement (AREA)
Description
第１図は考案の一実施例である排気ダクトの接
続図、第２図は第１図の多段フランジ付ダクトの
拡大断面図、第３図ａ，ｂは考案の他の実施例で
ある軸直角方向の多段フランジ付ダクトの平面図
、第４図は従来の排気ダクトの接続図を示す。 図において、１は真空排気装置、２は排気ダク
ト、３，４，６，７，５ａ，５ｂ，５ｅ，５ｆ，
１０〜１５はフランジ、５は多段フランジダクト
、８は被リークテスト部品、９はビーム方向又は
排気方向、１１ａ〜１５ａはめくらフランジ、１
６は変換ダクト、１７はガスケツト、１８は締付
ボルトである。なお、図中、同一符号は同一、ま
たは相当部分を示す。
続図、第２図は第１図の多段フランジ付ダクトの
拡大断面図、第３図ａ，ｂは考案の他の実施例で
ある軸直角方向の多段フランジ付ダクトの平面図
、第４図は従来の排気ダクトの接続図を示す。 図において、１は真空排気装置、２は排気ダク
ト、３，４，６，７，５ａ，５ｂ，５ｅ，５ｆ，
１０〜１５はフランジ、５は多段フランジダクト
、８は被リークテスト部品、９はビーム方向又は
排気方向、１１ａ〜１５ａはめくらフランジ、１
６は変換ダクト、１７はガスケツト、１８は締付
ボルトである。なお、図中、同一符号は同一、ま
たは相当部分を示す。
Claims (1)
- 真空機器のリークテストダクトで数個の異る接
続フランジを有し、排気装置と機器側フランジと
の接続を１つのダクトで、数種類の接続を可能に
したことを特徴とする多段フランジ付ダクト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2333388U JPH01126493U (ja) | 1988-02-24 | 1988-02-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2333388U JPH01126493U (ja) | 1988-02-24 | 1988-02-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01126493U true JPH01126493U (ja) | 1989-08-29 |
Family
ID=31242229
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2333388U Pending JPH01126493U (ja) | 1988-02-24 | 1988-02-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01126493U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014156832A (ja) * | 2013-02-18 | 2014-08-28 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプ及びクライオポンプ取付構造 |
-
1988
- 1988-02-24 JP JP2333388U patent/JPH01126493U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014156832A (ja) * | 2013-02-18 | 2014-08-28 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプ及びクライオポンプ取付構造 |
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