JPH0112801B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0112801B2 JPH0112801B2 JP56144188A JP14418881A JPH0112801B2 JP H0112801 B2 JPH0112801 B2 JP H0112801B2 JP 56144188 A JP56144188 A JP 56144188A JP 14418881 A JP14418881 A JP 14418881A JP H0112801 B2 JPH0112801 B2 JP H0112801B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- sintering
- gas
- cooling
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F3/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
- B22F3/10—Sintering only
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
- Tunnel Furnaces (AREA)
Description
本発明は、鉄系焼結部品の真空焼結にあたり、
生産性に優れ、しかも焼結温度の精度を上げるこ
とにより、焼結後の製品の寸法精度を良くするこ
とを特徴とする連続真空焼結炉に関するものであ
る。 鉄系焼結部品の焼結雰囲気としては、一般にブ
タン等の変成ガス、アンモニア分解ガス、N2ガ
スあるいはH2ガスが用いられているが、易酸化
性のCr等の元素を含む品物は、H2ガスを除いて
他の雰囲気では還元力が弱いため、品物が酸化し
やすいという問題があつた。 一方H2ガスの場合には、露点を低く管理すれ
ば品物の酸化は防げるが、他のガスに比べH2ガ
スのコストが高くつくという問題がある。 その点真空焼結は還元性が優れ、しかもガスを
使用しないで、エネルギー的にも非常に優利な方
法である。 しかしながら、従来の真空炉はバツチ式である
ため、製品を炉に挿入してから昇温―焼結温度で
の一定時間保持―冷却という過程をふみ、発熱体
が大気にふれても劣化しない温度まで低下しない
と、炉のフタを開けて製品を取り出せないという
問題があることから、サイクル時間が長く、通常
4〜5時間を要していた。このため大量生産を必
要とするような鉄系焼結機械部品には対処しにく
いという問題があり、対処できたとしても製品1
ケ当りの処理時間が長くなるということから、コ
ストが高くつくという問題があつた。 これを解消する手段として、最近連続的に処理
できる連続焼結炉が実用化されているが、発熱体
配置が側壁あるいは上下面のみの2面構造である
ため、炉内の温度バラツキが約20℃あり、そのた
め焼結後の品物の寸法バラツキが大きくなるとい
う問題がある。それに加えて、炉内におけるボー
ト処理が3〜4ケースとなつているため、1ボー
ト焼結室に挿入する毎に、N2ガスを導入して大
気圧にしてから、焼結室と予備室の中間扉を開け
る構造となつており、真空雰囲気がその都度中断
され、連続して雰囲気制御ができないという問題
を有している。これらの問題点を解決するために
考え出されたのが本発明による連続真空焼結炉で
ある。 以下本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。 第1図は本発明の焼結炉(以下本焼結炉と略
す)の概略を示したもので、1は脱ガス室で操業
時は500〜700℃の温度で保持されている。こゝで
脱ガス室1を設けた理由は、第1に中央の焼結室
2に品物を挿入する際に、焼結室の発熱体11が
大気にさらされて劣化することを防ぐための予備
室的な役目を果すこと、第2には真空焼結室2で
脱ガスを行うことは、成形体から出て来た潤滑材
が炉壁および真空ポンプ13内に一部付着し、雰
囲気の汚れ更にはポンプの性能低下をきたすた
め、前もつて脱ガスを行う方が望ましいこと、第
3には脱ガス室1と焼結室2とを連続化すること
により、脱ガス時に加熱された予熱を焼結時に有
効に生かせるため、焼結時の加熱に要するエネル
ギーがその分節約できるという点である。第1表
は焼結炉がバツチ式で脱ガスを別の炉で行うとい
う従来の方法と本焼結炉での加熱に要する電力エ
ネルギーを比較したもので、いずれも鉄系部品60
Kgを加熱した場合の数値である。これによつて本
焼結炉がエネルギーの節約という点でも、従来の
方法に比べ優れていることが判る。
生産性に優れ、しかも焼結温度の精度を上げるこ
とにより、焼結後の製品の寸法精度を良くするこ
とを特徴とする連続真空焼結炉に関するものであ
る。 鉄系焼結部品の焼結雰囲気としては、一般にブ
タン等の変成ガス、アンモニア分解ガス、N2ガ
スあるいはH2ガスが用いられているが、易酸化
性のCr等の元素を含む品物は、H2ガスを除いて
他の雰囲気では還元力が弱いため、品物が酸化し
やすいという問題があつた。 一方H2ガスの場合には、露点を低く管理すれ
ば品物の酸化は防げるが、他のガスに比べH2ガ
スのコストが高くつくという問題がある。 その点真空焼結は還元性が優れ、しかもガスを
使用しないで、エネルギー的にも非常に優利な方
法である。 しかしながら、従来の真空炉はバツチ式である
ため、製品を炉に挿入してから昇温―焼結温度で
の一定時間保持―冷却という過程をふみ、発熱体
が大気にふれても劣化しない温度まで低下しない
と、炉のフタを開けて製品を取り出せないという
問題があることから、サイクル時間が長く、通常
4〜5時間を要していた。このため大量生産を必
要とするような鉄系焼結機械部品には対処しにく
いという問題があり、対処できたとしても製品1
ケ当りの処理時間が長くなるということから、コ
ストが高くつくという問題があつた。 これを解消する手段として、最近連続的に処理
できる連続焼結炉が実用化されているが、発熱体
配置が側壁あるいは上下面のみの2面構造である
ため、炉内の温度バラツキが約20℃あり、そのた
め焼結後の品物の寸法バラツキが大きくなるとい
う問題がある。それに加えて、炉内におけるボー
ト処理が3〜4ケースとなつているため、1ボー
ト焼結室に挿入する毎に、N2ガスを導入して大
気圧にしてから、焼結室と予備室の中間扉を開け
る構造となつており、真空雰囲気がその都度中断
され、連続して雰囲気制御ができないという問題
を有している。これらの問題点を解決するために
考え出されたのが本発明による連続真空焼結炉で
ある。 以下本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。 第1図は本発明の焼結炉(以下本焼結炉と略
す)の概略を示したもので、1は脱ガス室で操業
時は500〜700℃の温度で保持されている。こゝで
脱ガス室1を設けた理由は、第1に中央の焼結室
2に品物を挿入する際に、焼結室の発熱体11が
大気にさらされて劣化することを防ぐための予備
室的な役目を果すこと、第2には真空焼結室2で
脱ガスを行うことは、成形体から出て来た潤滑材
が炉壁および真空ポンプ13内に一部付着し、雰
囲気の汚れ更にはポンプの性能低下をきたすた
め、前もつて脱ガスを行う方が望ましいこと、第
3には脱ガス室1と焼結室2とを連続化すること
により、脱ガス時に加熱された予熱を焼結時に有
効に生かせるため、焼結時の加熱に要するエネル
ギーがその分節約できるという点である。第1表
は焼結炉がバツチ式で脱ガスを別の炉で行うとい
う従来の方法と本焼結炉での加熱に要する電力エ
ネルギーを比較したもので、いずれも鉄系部品60
Kgを加熱した場合の数値である。これによつて本
焼結炉がエネルギーの節約という点でも、従来の
方法に比べ優れていることが判る。
【表】
次に脱ガス室の温度を500〜700℃とした理由
は、500℃以下では成形体中に分散している潤滑
材の飛散が不十分であり、真空雰囲気における焼
結時に残つていた潤滑材が出てくるため、焼結雰
囲気の制御に悪影響を及ぼすという問題があるこ
と、一方700℃に達すると潤滑材は殆ど抜けてお
り、それ以上温度を上げても効果は変らないから
である。 次に脱ガスの雰囲気ガスについて述べる。 第1図の18は脱ガス雰囲気ガスの導入回路で
ある。雰囲気ガスとしてはN2ガス、アンモニア
分解ガス、H2ガス等非酸化性ガスであれば何で
もよいが、成形体から出て来る潤滑材は白煙とな
るので、出来ればアンモニア分解ガス、H2ガス
等の燃焼性ガスを使用して白煙を燃やして炉外に
排出させる方が環境対策の点で望ましい。 以上が本発明で雰囲気ガスとして燃焼性ガスを
用いる理由である。但し、アンモニア分解ガス
(N2+3H2)にN2ガスを混合して使用する場合に
は、混合後においてH2ガスの占める体積比が25
%以上となる様にN2ガス混合量を制限する必要
がある。その理由はH2ガスの体積比が25%以下
になると混合ガスとしては不燃性となり、潤滑材
を燃焼させることが出来なくなるからである。 具体的にはN2ガスを混合する際、その混合量
は全体に占める体積比で66%以下であることが必
要である。 以上アンモニア分解ガスとN2ガスとの混合ガ
スについて述べたが、混合ガスは最終的にはN2
ガスとH2ガスから成るので、アンモニア分解ガ
スの代りにH2ガスを用い、H2ガスとN2ガスの混
合ガスを用いることも可能である。この場合も当
然ながらH2ガス量は体積比で25%以上必要であ
る。 ボートの挿入であるが、挿入は入口の扉4を開
けて外部のローダーを用いて脱ガス室1のボート
21の位置にセツトする。扉4を開ける際には上
部の排気口8をフタ9によつて閉じておくと共
に、炉内圧は1気圧をやゝ上回る程度にして大気
からエアーをまき込まないようにする。ボート2
1がセツトされた後は扉4を閉めて排気口8のフ
タ9を開けて排気口8から潤滑材をガスと共に燃
焼させながら排出させる。脱ガス室に保持する時
間は次工程の焼結時間によつて決定されるが、潤
滑材を十分に飛散させるという点からは少なくと
も30分以上が望ましい。 次に焼結室への移動であるが、移動の前に先ず
焼結室内にガス導入回路19、電磁弁16から
N2ガスあるいはArガスを導入し、炉内圧を脱ガ
ス室と同等か若干上まわる程度にし、この状態で
中間扉5を開ける。次に脱ガス室内下部にセツト
されたローダーを用いてボートを焼結室内に移動
させ、セツトが終ると中間扉5を閉め、ガス導入
を止め、電磁弁14を開にし、真空ポンプ13で
炉内を真空にする。この間の所要時間はできる限
り短時間であることが望ましいので、ガス導入回
路19からのガス流量を多くなるようして、真空
ポンプの排気能力も高くして、大体5分以内で移
動完了できるようにすることが望ましい。 脱ガス室1から焼結室2へボート21を移動さ
せる別の方法として、脱ガス室に真空ポンプ1
3′、電磁弁14′による排気回路を設け、脱ガス
終了後、排気口8のフタを閉じ、真空ポンプ1
3′で炉内を真空にし、焼結室も真空にした状態
で中間扉5を開け、ボート21を移動させること
も可能である。この場合、焼結室のガス導入回路
19および電磁弁16は不要となる。 次に焼結室の発熱体の構造について述べる。従
来の焼結炉は発熱体の配置が側面あるいは上下面
の2面に限られているため、炉内の温度バラツキ
が大きく、ボートの中央部と端部との温度差が大
きくなり、通常温度巾で20℃位あり、そのため焼
結体の寸法バラツキも大きくなるという問題があ
つた。そこで本焼結体では温度精度を上げるた
め、第3図に示すような発熱体の構造をとるこ
とゝした。第3図でカーボン発熱体31(前部),
32(中央部),33(後部)は4面構造をなし
ており、それぞれ別個に電流回路35および電源
36によつて加熱されるようになつている。温度
制御は熱電対34によつて温度を検知し、マイコ
ン38およびフイードバツク回路37によつて、
所定の温度あるいは昇温速度を維持できるよう
に、発熱体31,32,33に加える電力を調整
することにより達成する。すなわち、上下方向の
温度バラツキは上下面の発熱体によつて低く抑
え、前後方向のバラツキは発熱体を3ゾーンに分
割制御することによつて低く抑えることができ、
極めて高い温度精度が得られることが可能となつ
た。第2表は1200℃の温度における炉内の温度バ
ラツキを示したものである。
は、500℃以下では成形体中に分散している潤滑
材の飛散が不十分であり、真空雰囲気における焼
結時に残つていた潤滑材が出てくるため、焼結雰
囲気の制御に悪影響を及ぼすという問題があるこ
と、一方700℃に達すると潤滑材は殆ど抜けてお
り、それ以上温度を上げても効果は変らないから
である。 次に脱ガスの雰囲気ガスについて述べる。 第1図の18は脱ガス雰囲気ガスの導入回路で
ある。雰囲気ガスとしてはN2ガス、アンモニア
分解ガス、H2ガス等非酸化性ガスであれば何で
もよいが、成形体から出て来る潤滑材は白煙とな
るので、出来ればアンモニア分解ガス、H2ガス
等の燃焼性ガスを使用して白煙を燃やして炉外に
排出させる方が環境対策の点で望ましい。 以上が本発明で雰囲気ガスとして燃焼性ガスを
用いる理由である。但し、アンモニア分解ガス
(N2+3H2)にN2ガスを混合して使用する場合に
は、混合後においてH2ガスの占める体積比が25
%以上となる様にN2ガス混合量を制限する必要
がある。その理由はH2ガスの体積比が25%以下
になると混合ガスとしては不燃性となり、潤滑材
を燃焼させることが出来なくなるからである。 具体的にはN2ガスを混合する際、その混合量
は全体に占める体積比で66%以下であることが必
要である。 以上アンモニア分解ガスとN2ガスとの混合ガ
スについて述べたが、混合ガスは最終的にはN2
ガスとH2ガスから成るので、アンモニア分解ガ
スの代りにH2ガスを用い、H2ガスとN2ガスの混
合ガスを用いることも可能である。この場合も当
然ながらH2ガス量は体積比で25%以上必要であ
る。 ボートの挿入であるが、挿入は入口の扉4を開
けて外部のローダーを用いて脱ガス室1のボート
21の位置にセツトする。扉4を開ける際には上
部の排気口8をフタ9によつて閉じておくと共
に、炉内圧は1気圧をやゝ上回る程度にして大気
からエアーをまき込まないようにする。ボート2
1がセツトされた後は扉4を閉めて排気口8のフ
タ9を開けて排気口8から潤滑材をガスと共に燃
焼させながら排出させる。脱ガス室に保持する時
間は次工程の焼結時間によつて決定されるが、潤
滑材を十分に飛散させるという点からは少なくと
も30分以上が望ましい。 次に焼結室への移動であるが、移動の前に先ず
焼結室内にガス導入回路19、電磁弁16から
N2ガスあるいはArガスを導入し、炉内圧を脱ガ
ス室と同等か若干上まわる程度にし、この状態で
中間扉5を開ける。次に脱ガス室内下部にセツト
されたローダーを用いてボートを焼結室内に移動
させ、セツトが終ると中間扉5を閉め、ガス導入
を止め、電磁弁14を開にし、真空ポンプ13で
炉内を真空にする。この間の所要時間はできる限
り短時間であることが望ましいので、ガス導入回
路19からのガス流量を多くなるようして、真空
ポンプの排気能力も高くして、大体5分以内で移
動完了できるようにすることが望ましい。 脱ガス室1から焼結室2へボート21を移動さ
せる別の方法として、脱ガス室に真空ポンプ1
3′、電磁弁14′による排気回路を設け、脱ガス
終了後、排気口8のフタを閉じ、真空ポンプ1
3′で炉内を真空にし、焼結室も真空にした状態
で中間扉5を開け、ボート21を移動させること
も可能である。この場合、焼結室のガス導入回路
19および電磁弁16は不要となる。 次に焼結室の発熱体の構造について述べる。従
来の焼結炉は発熱体の配置が側面あるいは上下面
の2面に限られているため、炉内の温度バラツキ
が大きく、ボートの中央部と端部との温度差が大
きくなり、通常温度巾で20℃位あり、そのため焼
結体の寸法バラツキも大きくなるという問題があ
つた。そこで本焼結体では温度精度を上げるた
め、第3図に示すような発熱体の構造をとるこ
とゝした。第3図でカーボン発熱体31(前部),
32(中央部),33(後部)は4面構造をなし
ており、それぞれ別個に電流回路35および電源
36によつて加熱されるようになつている。温度
制御は熱電対34によつて温度を検知し、マイコ
ン38およびフイードバツク回路37によつて、
所定の温度あるいは昇温速度を維持できるよう
に、発熱体31,32,33に加える電力を調整
することにより達成する。すなわち、上下方向の
温度バラツキは上下面の発熱体によつて低く抑
え、前後方向のバラツキは発熱体を3ゾーンに分
割制御することによつて低く抑えることができ、
極めて高い温度精度が得られることが可能となつ
た。第2表は1200℃の温度における炉内の温度バ
ラツキを示したものである。
【表】
次に焼結室における品物の保持時間について述
べる。脱ガス室で600℃に加熱された品物を1200
℃で焼結する場合を例にとると、昇温速度を20
℃/分とすれば、約30分で焼結温度に達する。こ
こで焼結温度での保持時間を30分とすれば、結局
焼結室での保持時間は60分となる。保持時間につ
いては昇温速度、焼結温度、焼結温度での保持時
間の設定によつて適宜変更が可能である。 最後に、焼結された品物の冷却室への移動であ
るが、この場合、冷却室も真空ポンプによつて炉
内を真空にし、その時点で中間扉6を開け、冷却
室に設けられたローダーによつて焼結室内のボー
トを取り出して冷却室にセツトする。セツト終了
後直ちに中間扉6を閉じ、ガス導入回路20、電
磁弁17により冷却ガスを炉内圧700〜760Torr
に達するまで導入する。この時冷却速度を早めた
い場合には、冷却ガスを導入した後、フアン12
をまわしてガスフアン強制冷却を実施する。ある
いはまた更に冷却速度を早めたい場合には、セツ
トされたボートをエレベーターによつて、冷却室
下部の油槽22に下げ油焼入れを実施する。油焼
入れが終ればエレベーターによつて元の位置に上
昇させ油切りを行う。冷却が終れば炉内圧を大気
圧とした後、出口の扉7を開け外部ローダーによ
つて炉内のボートを外へ出す。 上述のようなサイクルによつて、品物の脱ガ
ス、焼結および冷却を連続的に実施するのであ
る。たゞし、実際に連続的に操業する場合には、
ボートの移動先を先ず空にしておくという必要か
ら、先ず冷却室のボートを外へ、次に焼結室のボ
ートを冷却室へ、その次に脱ガス室のボートを焼
結室へと順次後のボートから先に移動させること
が必要である。 最後に、60Kgの製品を脱ガス、焼結および冷却
させるのに要する時間について、従来のバツチ式
の炉と本発明の焼結炉で行つた比較結果を第3表
に示す。第3表より、本焼結炉の生産性がバツチ
式の従来炉に比べ、格段に優れていることが明ら
かである。
べる。脱ガス室で600℃に加熱された品物を1200
℃で焼結する場合を例にとると、昇温速度を20
℃/分とすれば、約30分で焼結温度に達する。こ
こで焼結温度での保持時間を30分とすれば、結局
焼結室での保持時間は60分となる。保持時間につ
いては昇温速度、焼結温度、焼結温度での保持時
間の設定によつて適宜変更が可能である。 最後に、焼結された品物の冷却室への移動であ
るが、この場合、冷却室も真空ポンプによつて炉
内を真空にし、その時点で中間扉6を開け、冷却
室に設けられたローダーによつて焼結室内のボー
トを取り出して冷却室にセツトする。セツト終了
後直ちに中間扉6を閉じ、ガス導入回路20、電
磁弁17により冷却ガスを炉内圧700〜760Torr
に達するまで導入する。この時冷却速度を早めた
い場合には、冷却ガスを導入した後、フアン12
をまわしてガスフアン強制冷却を実施する。ある
いはまた更に冷却速度を早めたい場合には、セツ
トされたボートをエレベーターによつて、冷却室
下部の油槽22に下げ油焼入れを実施する。油焼
入れが終ればエレベーターによつて元の位置に上
昇させ油切りを行う。冷却が終れば炉内圧を大気
圧とした後、出口の扉7を開け外部ローダーによ
つて炉内のボートを外へ出す。 上述のようなサイクルによつて、品物の脱ガ
ス、焼結および冷却を連続的に実施するのであ
る。たゞし、実際に連続的に操業する場合には、
ボートの移動先を先ず空にしておくという必要か
ら、先ず冷却室のボートを外へ、次に焼結室のボ
ートを冷却室へ、その次に脱ガス室のボートを焼
結室へと順次後のボートから先に移動させること
が必要である。 最後に、60Kgの製品を脱ガス、焼結および冷却
させるのに要する時間について、従来のバツチ式
の炉と本発明の焼結炉で行つた比較結果を第3表
に示す。第3表より、本焼結炉の生産性がバツチ
式の従来炉に比べ、格段に優れていることが明ら
かである。
第1図は本発明の連続真空焼結炉の実施例概略
説明図、第2図は脱ガス―焼結に至る製品加熱に
要する電力エネルギーの温度パターン図でイは従
来の方法によるもの、ロは本焼結炉によるもの、
第3図は本焼結炉の温度精度を上げるための発熱
体の構造を示すものである。 1…脱ガス室、2…焼結室、3…冷却室、4…
入口扉、5,6…中間扉、7…出口扉、8…潤滑
材とガスの排気口、9…排気口フタ、10…断熱
材、11…発熱体、12…冷却用フアン、13,
13′…真空ポンプ、14,14′,15,16,
17…電磁弁、18,19,20…ガス導入回
路、21…ボート、22…油槽、31,32,3
3…カーボン発熱体、34…熱電対、35…発熱
体加熱用電源回路、36…発熱体電源、37…フ
イードバツク回路(温度制御、電力制御信号回
路)、38…マイコン。
説明図、第2図は脱ガス―焼結に至る製品加熱に
要する電力エネルギーの温度パターン図でイは従
来の方法によるもの、ロは本焼結炉によるもの、
第3図は本焼結炉の温度精度を上げるための発熱
体の構造を示すものである。 1…脱ガス室、2…焼結室、3…冷却室、4…
入口扉、5,6…中間扉、7…出口扉、8…潤滑
材とガスの排気口、9…排気口フタ、10…断熱
材、11…発熱体、12…冷却用フアン、13,
13′…真空ポンプ、14,14′,15,16,
17…電磁弁、18,19,20…ガス導入回
路、21…ボート、22…油槽、31,32,3
3…カーボン発熱体、34…熱電対、35…発熱
体加熱用電源回路、36…発熱体電源、37…フ
イードバツク回路(温度制御、電力制御信号回
路)、38…マイコン。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 粉末冶金法によつて成形された成形体を、真
空雰囲気中で焼結させる焼結炉において、その構
造が成形時の金型潤滑を目的として、原料粉末中
に添加混合された潤滑材を加熱して成形体から飛
散させ、さらに飛散した潤滑材を燃焼ガスにより
燃焼させて排出する機構を設けた脱ガス室と、脱
ガスされた成形体を真空雰囲気中で焼結させる焼
結室および焼結された製品を非酸化性雰囲気ガス
中で冷却させる冷却室からなり、品物挿入側から
脱ガス室→焼結室→冷却室の順に連続して配置さ
れ、各室の間には中間扉を設けることにより、各
各独立して気密性を保つことが出来る構造を有す
ることを特徴とする連続真空焼結炉。 2 焼結室における発熱体の配置を上下面および
左右の側壁の四面とすると共に、ボート移動方向
に発熱体を3分割し、それぞれ別個に温度制御が
出来るようにしたことを特徴とする特許請求の範
囲第1項記載の連続真空焼結炉。 3 冷却室に冷却用の非酸化性ガスを導入させる
ガス導入回路、および冷却室の上部に少なくとも
1台以上のフアンを設けると共に、冷却室の下部
には油槽を設け、エレベーターにより製品の油槽
への出し入れが出来る装置を設けたことを特徴と
する特許請求の範囲第1項または第2項記載の連
続真空焼結炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14418881A JPS5845304A (ja) | 1981-09-11 | 1981-09-11 | 連続真空焼結炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14418881A JPS5845304A (ja) | 1981-09-11 | 1981-09-11 | 連続真空焼結炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5845304A JPS5845304A (ja) | 1983-03-16 |
| JPH0112801B2 true JPH0112801B2 (ja) | 1989-03-02 |
Family
ID=15356245
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14418881A Granted JPS5845304A (ja) | 1981-09-11 | 1981-09-11 | 連続真空焼結炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5845304A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5861424U (ja) * | 1981-10-22 | 1983-04-25 | 東北金属工業株式会社 | 真空焼結装置 |
| JPS609801A (ja) * | 1983-06-27 | 1985-01-18 | Chugai Ro Kogyo Kaisha Ltd | 真空焼結炉 |
| JPS60164448A (ja) * | 1984-02-08 | 1985-08-27 | Hideike:Kk | 米糠と胚芽の分離装置 |
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Family Cites Families (6)
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-
1981
- 1981-09-11 JP JP14418881A patent/JPS5845304A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5845304A (ja) | 1983-03-16 |
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