JPH0199298A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）　産業上の利用分野 本発明は電子回路基板等の基板を加工する工程で用いる
基板搬送装置に関する。

（ロ）　従来の技術 基板加工工程、例えば電子回路基板に電子部品を装着す
るといった工程においては、ＸＹ子テーブルような基板
位置決め装置に基板を固定して、基板の任意の位置を加
工用工Ａ（例えば電子部品装着用真空チルツク）に相対
させる、という構成をとることが多い、基板位置決め装
置に基板を取り付けたり、あるいはそこから基板を取り
外したりする作業も最近では殆ど自動化されている。こ
の作業に関連してローディングブリッジとアンローディ
ングブリッジが用いられる。ローディングブリッジ、基
板位置決め装置、アンローディングブリッジは、この順
序に並んで基板の受け渡しを行なう、かかる装置の例は
、例えば特公昭５ト１２５６５号公報、特公昭６２−１
３８３７号公報に見ることができる。これらの例では基
板受け渡し時のみ３者が集合し、それ以外の時はローデ
ィングブリッジとアンローディングブリツノが互の間隔
を広げて基板位置決め装置の移動空間を確保するのであ
るが、両ブリッジの相互位置を不変に保ち、基板加工作
業は両ブリッジから脇にそれた場所で行ない、基板受け
渡し時のみ、基板位置決め装置が両ブリッジ間に帰って
来る、という構成をとることもある。

さて、ローディングブリッジは通常基板撤退ベルトによ
り基板１１んで来るのであるか、基板のオーバーランを
防ぎ、且つ、基板位置決め装置への載せ替えに備えて・
一定位置で待機させるため、ローディングブリッジには
ストッパを設けるのが普通である。このストッパは、基
板載せ替え時には基板の動きを阻害しない位置へ退避せ
しめられる訳であるが、従来はこの退避動作をローディ
ングブリッジ自体に備えたアクチュエータで行なってい
た。

（ハ）　発明が解決しようとする問題点本発明は、ロー
ディングブリッジの基板ストッパの退避動作が、ローデ
ィングブリッジ、基板位置決め装置、アンローディング
ブリッジの３者が並んだ時にしか行なオ）れ得ないよう
にして、動作の確実比表計ったものである。

く二）問題点を解決するための手段 本発明では、ローディングブリッジとアンローディング
ブリッジを相互距離不変に設置し、基板受け渡し時には
、その間に基板位置決め装置を入り込ませるようにする
。ローディングブリッジは基板のストッパ及びストッパ
の退避動作機構を有し、アンローディングブリッジはア
クチュエータを有する。基板位置決め装置はアクチュエ
ータの動きをストッパ退避動作機構に伝える運動伝達機
構を有する。

（ホ）　作用 ローディングブリッジのストッパは常時基板の移動を阻
止する位置にあるが、ローデイ〉・グブリッジとアンロ
ーディングブリッジの間に基板位置決め装置が入り込ん
だ時、アンローディングブリッジ側でアクチュエータが
作動すると、その動きが運動伝達機構を介してストップ
退避動作機構に伝わり、ストッパは基板の通過を許す位
置へと退避する。

（へ）　実施例 まず第１図に基き装置のアウトラインを説明する。同図
において、（１）は加工すべき基板、（３〉は基板（１
）を加工位置に移動させる基板位置決め装置、（５）は
基板位置決め装置（３）に未加工の基板（１）を送り込
むローディングブリッジ、（７）は基板位置決め装ｅ（
３）から加工済基板を受け取るアシロ−ディングブリッ
ジである。ローディングブリッジ〈５）とアンローディ
ングブリッジ（７）の相互距離は不変である。基板加工
作業は両ブリッジ（５）（７）の脇の方で行なわれ、作
業が終わると基板位置決め装置（３）が両ブリッジ＜５
）（７）の間隙に入り込み、基板（１）の受け渡しが行
なわれるものである。

次にローディングブリッジ（５）の構造を説明する。ロ
ーディングブリッジ（５）は、１対の平行する桁構造（
１０）（１１）により構成される。一方の桁構造（１１
）は、桁構造（ｌＯ）に対し開閉動可能、つまり桁構造
り１０）からの距離を変えられるようになっている。開
閉動を生じさせるのは、第１２図に模型的に示す電動機
（１２）と、これによって回転せしめられるねじ軸（１
３）である、以下の説明では、桁構造（１１）のことを
特に可動桁構造と呼ぶことにする。

桁構造（１０）と可動桁構造（１１）の互に向かい合う
縁部には、基板（１）の側縁を落とし込んで支える段部
（１４）が形設筋れている１段部＜１４）の底の部分は
、ローディングブリッジ（５）の出口に近い僅かな個所
を除いて、その殆どを基板撤退ベルト（１５）（第６図
〉によって構成されている。モして桁構造（１０）及び
可動桁構造（１１）の内面には、基板搬送ベルト（１５
）によって運ばれて来た基板（１）のオーバーランを防
ぐためのストッパ（１６）が設置される。

桁構造（１０）の側のストッパ（１６）も可動桁構造（
１１）の側のストッパ（１６）も基本的な仕組は同一な
ので、ここでは可動桁構造（１１）のストッパ（１６）
についてその動作機構を説明する。ストッパ（１６）そ
のものは、基板（１）の行く手に立ちはだかる板状の部
材であるが、これは、板金製レバー（１８）ノ揺動端に
固定されている。レバー（１８）はストｙバ退避動作機
ｊＩｇ（１７）の−環をなすものであり、可ｇＪ桁構造
（１１）に軸（１９）で取り付けらルて、＠直面内で揺
動可能となっている。レバー（１８）には、可動桁構造
（１１）との間に張り渡した引張コイルばね（２０）に
より、第６図において反時計まわりの回動力が付与され
ている。可動桁構造（１１）の内面に量定した軸受ブロ
ック（２１）によりレバー（１８〉は回転を止められる
が、この時ストツパ〈１６）は、基板（１）の支持高さ
誹り少し上に頭を出す、レバー（１８）の、軸（１９）
に近い部位には、ローラ（２２）が取り付けられている
。　（２３）は、ローラ（２２ンに向かい合う如く軸受
ブロック（２１）を水平に貫通する押圧ロッドである。

抑圧ロッド（２３）は圧縮コイルばね（２４）により第
６図において右方に押され、常時は第６図の位置を保っ
ている。押圧ロッド（２３）の、ローラ（２２）に面す
る側は、平たく面積の大きい頭部（２５）となっている
、　（２６）は基板（１）を送るためのウオーキングビ
ームで、３本の爪（２７）（２Ｂ）＜２９＞を下向きに
突出させている。爪（２７）は基板位置決め装置（３）
から加工済基板（１）を押し出すためのもの、爪（２８
）（２９）は、コーディングブリッジ（５）から基板位
置決め装置（３）へ、未加工の基板（１）を前後から挾
んで送り込むためのものである。

アンローディングブリッジ（７）も、平行する１対の桁
構造（４０）（４１）からなる、可動桁構造（１１）と
同じ側に位置する桁構造（４１〉は、やはり＃？槽構造
４０）に対し開閉動可能となっている。そこで、桁構造
（４１）も可動桁構造と呼ぶ。可動桁構造（４１〉に開
閉動を生じきせるのは、第１２図に模型的に示ｊ電動機
り４２〉と、これによって回転せしめられるねじ軸（４
３）である、電動機（１２＞（４２）は、可動桁構造（
１１）（４１＞が、同時に、同方向へ、同速度で同距離
だけ移動するよう、制御装！（４４）により制御される
０桁構造（４０）と可動桁構造（４１）の互に向かい合
う縁部には、基板（１）の側縁を落とし込んで支える段
部（４５）が形設され、段部（４５）の底の部分は、ア
ンローディングブリッジ（７）の入口に近い僅かな個所
を除いて、その殆どを基板搬送ベルト（４６）によって
構成されている６桁構造（４０）及び可動桁構造（４１
〉の内面にはブロック（４７）が固定され、ここからロ
ーディングブリッジ（５）の方に向かってピン（４８）
が突出する。ピン（４８）の軸心は、これと同じ例にあ
る抑圧ロンド（２３）の軸心に一致する。

ピン（４８）はブロック（４７）に対しスライド自在で
あり、桁構造（４０）及び可動桁構造（４１）の内面に
取り付けたアクチュエータ（４９）（第１３図）によっ
て動きを与えられる。アクチュエータ（４９）として、
ここではエアシリンダを使用している。アクチュエータ
＜４９）は、常時はピン（４８）の先端をアンローディ
ングブリッジ（７）の端とつらいちの位置に置いている
。

基板位置決め装置（３）の構造は次のようになっている
。ベース（５０）はいわゆるＸＹ子テーブルあって、２
次元の移動が可能である。この上にフレーム（５１）が
設置され、フレーム（５１）の上部には、ローディング
ブリッジ（５）及びアンローディングブリッジ（７）の
桁構造と並ぶように、１対のガイドレール構造（５２）
（５３）が設置される。ガイドレール構造（５３）はガ
イドレール構造〈５２〉に対し開閉動可能であり、可動
ガイドレール構造と呼ぶことにする。ガイドレール構造
（５２）のレールＩ（５４＞と、可動ガイドレール構造
（５３）のレール板（５５）には、向かい合う段部（５
６）が形設され、ここで基板（１）の側縁を支持するよ
うになっ尤いる。第２図に示すように、レール板（５４
）の内部には空洞（５７）を設け、ここにベルクランク
状のレバー（５８）ヲ、軸（５９）により、水平面内で
回動できるよう枢支している。レバー（５８）は、圧縮
−イルばね〈６０）に押されて一端を僅かに段部（５６
）の中に突き出す、基板位置決め装置く３〉に基板（１
）が到着すると、ｔ・／＜−（５８）は基板（１〉に押
されて空洞（５７）の中へ引っ込む、この時のレバー（
５８）の動きを図示しないセンサ（例えばリミットスイ
ッチ、光電管）で検知し、基板到着の信号を得るもので
ある。レール板（５５）については、段部（５６）のと
ころに多数のローラ＜６１）を配置している。ロー？（
６１）は１列に並んで基板（１）の縁部を誘導するもの
で、各々が１個づつのスライドブロッククロ２）に支持
きれ、互に独立して進退可能である。各スライドブロッ
ク（６２）は、第４図に見られるように一定距離の進退
が可能であって、圧縮フィルばね（６３）により、ロー
ラ（６１）を最大限に突出させる位置まで押し出されて
いる。

可動ガイドレール構造＜５３）について更に詳しく述べ
る。レール板（５５）は左右１対のスライドブロック（
７０）に取り付ける。そこで以後、し＝ル板〈５５〉を
可動レール板と呼ぶことにする。スライドブロック〈７
０）はフレーム（５１）の上面に固定したレール（７１
）に直線移動のみ可能なる如く支持されている。レール
（７１）と、これを支えるフレーム（５１）の上部水平
ビーム（７２）とは、レール板（５５）と直角の方向に
延びる。（７５）は上部水平ビーム（７２）に懸垂状態
で支持されるスライドベースである。スライドベースク
７５）は上部水平ビーム（７２）を挾む１対の側板（７
６）を有し、この１対の側板＜７６）の間に、第４図に
見られるように２個のブロック（７７）（７８）を固定
し、及び２個のローラ（７９）を枢支し、ブロック（７
７）（７ｇ）をレール（７１）に載置して重量を支え、
ローラ（７９）を上部水平ビーム（７２）の下面に接触
させて上方への動きを止める仕組としている。

ブロック（７７）（７８）は間が広く開いており、スラ
イドブロック（７０〉はここに位置する。スライドブロ
ック（７０）とスライドベース（７５）とは、スライド
ブロック（７０）から突出したロッド（８０）により連
結されている。すなわちロッド（８０）はブロック（７
８）をスライド自在に貫通しており、その先端には抜は
止め用ナツト（８１）が固定されている。スライドブロ
ック（７０）とブロック（７８）の間には、ロッド（８
０）を取り巻く形で圧縮フィルばね（８２）が挿入され
ており、この圧縮フィルばね（８２）によりスライドブ
ロック（７０〉と可動レール板（５５）は、レール板＜
５４）ｉ、ｍ接近ｒる方向に附勢きれている。

（８５）は左右のスライドベース（７５）を貫通する伝
達ロッドである。伝達ロッド（８５）は、ローディング
ブリッジ（５）、基板位置決め装ｒＩｔ（３）、アンロ
ーディングブリッジく７）の３者が整列した時、抑圧ロ
ッド（２３）及びビン（４８）と−直線に並ぶ位置に設
けられ、また抑圧ロッド（２３）及びピン（４Ｂ）と等
しい直径を有している。伝達ロッド（８５）の長さは左
右のスライドベース（７５）の外面間隔に等しい。

伝達ロッド（８５）は、途中に設けたストッパ（８６）
がアンローディングブリッジ（７）側に位置するスライ
ドベース（７５）に当たるところまで、圧縮フィルばね
（８７）の断発力でアンローディングブリッジ（７５〉
側に押すことにより、基板位置決め装置（３）の中に全
身を没する状態に常時隷持されている。

これと同様の伝達ロッドがガイドＬ・−ル構造（５２）
の側にも設けられる。可動ガイドレール構造（５３）の
側の伝達ロッド（８５）にはくさび形のカム〈８８）を
固定する。このカム（８８）は、可動１・−ル板（５５
）の中央部に取り付けられたローラ（８９）（第５図、
第１０図、第１１図に図示〉に関連づけられるもので、
伝達ロッド（８５）がローディングブリッジ（５）の方
へ移動した時にローラ（８９）を押し、可動レール板（
５５）及びスライドブロック（７０）を、圧縮コイルば
ね（８２）の力に抗しレール板（５４）から遠ざかる方
向に移動させる。

可動ガイドレール構造り５３〉はブレーキ機構（９５）
を有する。ブレーキ機構（９５〉はスライドベースク７
５）の動きを止めるためのもので、ロッド（９７）を上
に向けた形でスライドベース（７５）に固定されたエア
シリンダ（９６）と、ロッド（９７）の先端に固定した
ブレーキパッド（９８）と、ロッド（９７）を押し上げ
てブレーキパッド〈９８）を上部水平ビーム（７２）の
下面に圧接させる圧縮フィルばね〈９９）とにより構成
される。エアシリンダ（９６）に圧縮空気を送り込むと
、ロッド（９７）が引っ込み、ブレーキパッド（９８）
が上部水平ビーム（７２）から離れ、スライドベース（
７５）のロックは解陰される。

（１０５）は基板位置決め装置（３）に送り込まれた基
板（１）を下から支えるエレベータである。エレベータ
＜１０５）は、基板（１）を支える位置まで、エアシリ
ンダ（１０６）によって上昇せしめられる。この他基板
位置決め装置（３）には、特公昭６２−１３８３７号公
報におけると同様、レール板及び可動レール板（５４）
（５５）と直角の方向から基板（１）を挾みつける位置
決め爪が設置されるが、ここでは図示しない。

本発明装置は次のように動作する。基板位置決め装ｅ（
３）上の基板（１）を加工している間に、ローディング
ブリッジ（５）においては基板搬送ベルト（１５＞によ
り未加工の基板（１）が運ばれて来て、ストッパ（１６
）に当たり待機している。基板加工路ｒ後、第１０ｒ５
！Ｊに示すようにａ−ディングブリッジ（５）とアンロ
ーディングブリッジ（７）の間へ基板位置決め装置（３
）が帰って来る。基板位置決め装ＨＣ３）がローディン
グブリッジ（５）とアンローディングブリッジ（７）に
整列し、静止した時点で、アクチュエータ（４９）が動
作し、基板位置決め装置（３）の方へビン（４８）を突
出きせる。第７図に示すように、突出したビン（４８）
はスライドベース＜７５）の中に入り込み、圧縮フィル
ばね（８７）の弾発力に抗して伝達ロッド（８５）を押
す、押された伝達ロッド（８５）は第７図及び第１１図
において基板位置決め装ｒＩｌ（３）の左側に突出し、
ローディングブリッジ（５〉の押圧ロッド（２３）を押
す、抑圧ロッド（２３）はレバー（１８）のローラ（２
２）を押し、レバー（１８）は引張コイルばね（２０）
の張力に抗し第７図において時計まわりに回動し、スト
ッパ（１６）は待機中の基板（１）から離れる。これと
同時に、カム（８８）は可動レール板（５５）のローラ
（８９）を押し、レール板及び可動レール板（５４）（
５５）による基板（１）の挾みっけを解除する。勿論こ
の時、レール板及び可動レール板（５４）（５５）と直
角の方向から基板（１）を挾みつける図示しない位置決
め爪、及びエレベータ（１０５）も、完全に基板（１）
から離れている。ここでつオーキングピームク２６）が
動き、基板位置決め装置（３）から加工済基板（１）を
アンローディングブリッジ（７）へと押し出し、また未
加工基板（１）をローディングブリッジ（５）から基板
位置決め装置（３）へ移す、つオーキングビーム（２６
）の動作中は、基板搬送ベルト（１５）（４６）は静止
している。基板（１）の受け渡しを終えた後、アクチュ
エータ（４９）が元の状態に復帰してビン（４８）を引
っ込めると、伝達ロッド（８５）は旧位置に復し、可動
レール板（５５）は圧縮コイルばね（８２）の力で、ロ
ーラ（６１〉を介して基［（１）をレール板（５４）に
押しつける。ローディングブリッジ（５）においてはス
トッパ（１６）が旧位置に復元し、このストッパ（１６
）めがけて基板搬送ベルト（１５〉が基ｍ（１）を運ん
で来るものである。アンローディングブリッジ（７）で
は、つす−キングビーム（２６）が加工済基板（１）を
移し終えると同時に基板搬送ベルト（４６）が動作を始
めてこの基板（１）を運び去る。

基板製送部の幅調節は、第１２図のように、ローディン
グブリッジ（５）、基板位置決め装置く３）、アンロー
ディングブリッジ（７）の３者が一直線に並んだ状態で
行なう。ここで、可動桁構造（４１）から連結構造体が
進出し、可動ガイドレール構造（５３）の運動伝達体に
連結する。この場合ビン（４８）が連結構造体であり、
これを受け入れるスライドベース（７５〉が運動伝達体
である。ビン（４８）によって押し出された伝達ロッド
（８５）は軸受ブロック（２１）に入り込み、可動桁構
造（１１）と可動ガイドレール構造（５３）との連結も
ここにおいて生じる。このようにして可動桁構造（４１
）（１１）と可動ガイドレール構造（５３）を連結した
上で、ブレーキ機構（９５）による可動ガイドレール構
造（５３）のロックを解除し、この状態で電動機（１２
）（４２）を駆動して、可動桁構造（１１）（４１）と
可動ガイドレール構造（５３）の位置を変更する０位貨
変更終了後、ブレーキｍ１ｓ（９５）で再び可動ガイド
レール構造（５３）にロックをかけ、新しい搬送幅に見
合う幅の基板（１）の加工を開始する。

（ト）発明の効果 本発明によれば、ローディングブリッジ、基板位置決め
装置、アンローディングブリッジの３者が正しく並んだ
時にしかローディングブリッジのストッパ退避動作機構
が作動され得ないから、基板位置決め装置が並ばないう
ちにローディングプリメジから基板が送り出されるとい
った事故を皆無にできる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例を示し、第１図は装置の概略構成
を示す斜視図、第２図は基板位置決め装置の部分的に破
断した上面図、第３図は基板位置決め装置の部分斜視図
、第４図は基板位置決め装置の部分垂直断面図、第５図
は可動レール板の部分垂直断面図、第６図及び第７図は
本発明装置の部分垂直断面図にして異なる動作状態時に
おけるもの、第８図はローディングブリッジの部分水平
断面図、第９図はローディングブリッジの部分斜視図、
第１Ｏ図及び第１１図は基板受け渡し動作説明用の上面
図にして、一部破断したもの、第１２図は基板搬送幅変
更動作説明用の上面図、第１３図はアクチュエータ設置
状況を示す一部断面部分正面図である。 （１）・・・基板、（３）・・・基板位置決め装置、（
５）・・・ローディングブリッジ、（７）・・・アンロ
ーディングプリンシ、（１５）・・・基板搬送ベルト、
＜１６）・・・ストッパ、〈１７）・・・ストχパ退避
動作機構、　（４９＞・・・アクチュエータ、（８５〉
・・・伝達ロッド（運動伝達機構）。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）基板加工のため、基板を支持して任意位置に移動さ
   せる基板位置決め装置と、この基板位置決め装置に未加
   工の基板を送り込むローディングブリッジと、基板位置
   決め装置から加工済基板を受け取るアンローディングブ
   リッジとを備え、ローディングブリッジとアンローディ
   ングブリッジとは相互距離不変に設置され、基板受け渡
   し時には、基板位置決め装置が両ブリッジ間に入り込む
   ようにしたものにおいて、前記ローディングブリッジに
   は、基板搬送ベルトと、搬送されて来た基板を一時的に
   待機させておくためのストッパと、このストッパの退避
   動作機構とを設け、前記アンローディングブリッジには
   アクチュエータを設け、前記基板位置決め装置には、前
   記アクチュエータの動きを前記ストッパ退避動作機構に
   伝え、もってストッパの退避動作を生ぜしめる運動伝達
   機構を設けてなる基板搬送装置。