JPH01130252U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01130252U JPH01130252U JP2627888U JP2627888U JPH01130252U JP H01130252 U JPH01130252 U JP H01130252U JP 2627888 U JP2627888 U JP 2627888U JP 2627888 U JP2627888 U JP 2627888U JP H01130252 U JPH01130252 U JP H01130252U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray intensity
- measuring device
- ray
- ion
- intensity measuring
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 2
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Description
第１図は、実施例に係るイオン処理装置を部分
的に示す概略図である。第２図は、従来のイオン
処理装置の一例を部分的に示す概略図である。 ８……イオン源、１０，１０′……イオンビー
ム、１２……質量分析器、１４……加速管、１６
……Ｘ線、１８……Ｘ線強度測定器、２０……比
較器。
的に示す概略図である。第２図は、従来のイオン
処理装置の一例を部分的に示す概略図である。 ８……イオン源、１０，１０′……イオンビー
ム、１２……質量分析器、１４……加速管、１６
……Ｘ線、１８……Ｘ線強度測定器、２０……比
較器。
Claims (1)
- イオン源から引き出したイオンビームを質量分
析器および加速管内を通してターゲツトに導くよ
う構成されたイオン処理装置において、そのＸ線
発生個所の方に向けてＸ線強度を測定するＸ線強
度測定器を配置し、かつこのＸ線強度測定器によ
つて測定したＸ線強度を基準値と比較する比較器
を設けたことを特徴とするイオン処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2627888U JPH01130252U (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2627888U JPH01130252U (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01130252U true JPH01130252U (ja) | 1989-09-05 |
Family
ID=31247761
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2627888U Pending JPH01130252U (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01130252U (ja) |
-
1988
- 1988-02-29 JP JP2627888U patent/JPH01130252U/ja active Pending
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