JPH01130457A - 反射型電子顕微鏡用走査トンネル顕微鏡 - Google Patents
反射型電子顕微鏡用走査トンネル顕微鏡Info
- Publication number
- JPH01130457A JPH01130457A JP62288079A JP28807987A JPH01130457A JP H01130457 A JPH01130457 A JP H01130457A JP 62288079 A JP62288079 A JP 62288079A JP 28807987 A JP28807987 A JP 28807987A JP H01130457 A JPH01130457 A JP H01130457A
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- Japan
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は走査トンネル顕微鏡に係わり、特に反射型電子
顕微鏡に組み込むようにした走査トンネル顕微鏡に関す
るものである。
顕微鏡に組み込むようにした走査トンネル顕微鏡に関す
るものである。
一般に、探針先端の原子と試料の原子の電子雲とが重な
り合う１ｒｖ＋程度まで探針を試料に近づけ、この状態
で探針と試料との間に電圧をかけると電流が流れる。こ
の電流はトンネル電流と呼ばれ、電圧が１ｍＶのとき、
１〜１０ｍＡ程度である。
り合う１ｒｖ＋程度まで探針を試料に近づけ、この状態
で探針と試料との間に電圧をかけると電流が流れる。こ
の電流はトンネル電流と呼ばれ、電圧が１ｍＶのとき、
１〜１０ｍＡ程度である。
このトンネル電流の大きさは、試料と探針との間の距離
により変化し、トンネル電流の大きさを測定することに
より試料と探針との間の距離を超精密測定することがで
き、探針位置が既知であれば試料の表面形状を原子レベ
ルで求めることができる。またトンネル電流が一定にな
るように探針位置を制御すれば探針位置軌跡により同様
に試料の表面形状を測定することができる。
により変化し、トンネル電流の大きさを測定することに
より試料と探針との間の距離を超精密測定することがで
き、探針位置が既知であれば試料の表面形状を原子レベ
ルで求めることができる。またトンネル電流が一定にな
るように探針位置を制御すれば探針位置軌跡により同様
に試料の表面形状を測定することができる。
このような原理に基づく走査型トンネル顕微鏡（Ｓｃａ
ｎｎｉｎｇ Ｔｕｎｎｅｌ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ 、
略してＳＴＭ）は、大気中、液体中、真空中などどのよ
うな状態ででも使用できるため、近年、各方面で開発が
行われている。
ｎｎｉｎｇ Ｔｕｎｎｅｌ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ 、
略してＳＴＭ）は、大気中、液体中、真空中などどのよ
うな状態ででも使用できるため、近年、各方面で開発が
行われている。
このようなＳＴＭを走査形電子顕微鏡（ＳＥＭ）の中に
組み込み、二次電子像とＳＴＭ像を得ることを目的にし
たものの報告がある。
組み込み、二次電子像とＳＴＭ像を得ることを目的にし
たものの報告がある。
ところで、ＳＴＭで像を観察したり評価しようとすると
、ＳＴＭ単体では試料のどの位置を観察しているか分か
らないという問題がある。そこで、ＳＥＭとＳＴＭを組
み合わせ、ＳＥＭで視野探しを行わせるようにすること
が考えられる。
、ＳＴＭ単体では試料のどの位置を観察しているか分か
らないという問題がある。そこで、ＳＥＭとＳＴＭを組
み合わせ、ＳＥＭで視野探しを行わせるようにすること
が考えられる。
ＳＥＭでの観察は、凹凸の変化の大きい試料には非常に
を効であるが、凹凸の小さい試料では二次電子の発生度
合の違いが小さく、とのため観察が難しい。このため、
ＳＴＭに必要な平らな面を探すことばにはあまり向いて
いない。
を効であるが、凹凸の小さい試料では二次電子の発生度
合の違いが小さく、とのため観察が難しい。このため、
ＳＴＭに必要な平らな面を探すことばにはあまり向いて
いない。
またＳＥＭによる観察では、高分解能像を得るためには
、ビームを絞らねばならず、試料ダメージ、コンタミネ
ーションが問題となり、表面状態を変えてしまう可能性
が大で、この点でもＳＴＭには不向きである。
、ビームを絞らねばならず、試料ダメージ、コンタミネ
ーションが問題となり、表面状態を変えてしまう可能性
が大で、この点でもＳＴＭには不向きである。
一方、反射型電子顕微鏡（ＲＥＶ）においてもＳＴＭ像
を得ることが望まれていた。しかしながら、ＲＥＭはＳ
ＥＭより、対物レンズポールピースのギヤ・７ブが狭く
、ＳＴＭ走査部が入らないことや、試料と針を近づける
手段、試料の良い視野に針を移動させる手段、試料にヘ
ーク、茎着等の加工を施した時、針に薄気や金属が付着
するのを防止する手段等がなく、またＳＴＭ走査部の剛
性を上げて耐振性を良くする方法がないためにＲＥＭに
ＳＴＭを組み込むことはできなかった。
を得ることが望まれていた。しかしながら、ＲＥＭはＳ
ＥＭより、対物レンズポールピースのギヤ・７ブが狭く
、ＳＴＭ走査部が入らないことや、試料と針を近づける
手段、試料の良い視野に針を移動させる手段、試料にヘ
ーク、茎着等の加工を施した時、針に薄気や金属が付着
するのを防止する手段等がなく、またＳＴＭ走査部の剛
性を上げて耐振性を良くする方法がないためにＲＥＭに
ＳＴＭを組み込むことはできなかった。
本発明は上記問題点を解決するためのもので、ＲＥＶに
ＳＴＭを組み込み、試料の電子顕微鏡による観察とトン
ネル現象を利用した超精密測定とを可能にした反射型電
子顕微鏡用トンネル顕微鏡を提供することを目的とする
。
ＳＴＭを組み込み、試料の電子顕微鏡による観察とトン
ネル現象を利用した超精密測定とを可能にした反射型電
子顕微鏡用トンネル顕微鏡を提供することを目的とする
。
そのために本発明の反射型電子顕微鏡用走査トンネル１
ｍ鏡は、試料表面が光軸に平行になるように試料を保持
した試料ホルダー中に、探針を備えた走査トンネル顕微
鏡走査機構を配置した反射型電子顕微鏡用走査トンネル
顕微鏡であって、電子線を偏向する偏向手段を備え、偏
光手段を動作させて電子線を試料表面に当てて反射電子
顕微鏡法により試料表面像を得ると共に、走査トンネル
顕微鏡により試料表面の観察を行うようにしたことを特
徴とする。
ｍ鏡は、試料表面が光軸に平行になるように試料を保持
した試料ホルダー中に、探針を備えた走査トンネル顕微
鏡走査機構を配置した反射型電子顕微鏡用走査トンネル
顕微鏡であって、電子線を偏向する偏向手段を備え、偏
光手段を動作させて電子線を試料表面に当てて反射電子
顕微鏡法により試料表面像を得ると共に、走査トンネル
顕微鏡により試料表面の観察を行うようにしたことを特
徴とする。
本発明の反射型電子顕微鏡用トンネル顕微鏡は、反射電
子ｗ４微鏡法により視野探しを行い、さらに走査トンネ
ル顕微鏡により試料表面の超精密観察を行うものであり
、電子線を試料表面に平行に照射することにより探針と
試料表面との間の透過像を得ることにより探針と試料表
面間の間隔を測定することが可能となる。
子ｗ４微鏡法により視野探しを行い、さらに走査トンネ
ル顕微鏡により試料表面の超精密観察を行うものであり
、電子線を試料表面に平行に照射することにより探針と
試料表面との間の透過像を得ることにより探針と試料表
面間の間隔を測定することが可能となる。
（実施例〕
以下、実施例を図面を参照して説明する。
第１図は本発明の反射型電子ｇｌｉ微鏡微速用走査トン
ネル顕微鏡り反射像を得る場合の概略構成を示す図、第
２図は電子線の軌跡を示す図で、図中、１はホルダー、
２は試料、３は試料固定台、４はＳＴＭ走査部、５はＳ
ＴＭ針、６は対物レンズ（ＯＬ）ポールピース、７は光
軸、８は偏向器、８ａ、８ｂは第１、第２偏向器、９は
対物レンズである。
ネル顕微鏡り反射像を得る場合の概略構成を示す図、第
２図は電子線の軌跡を示す図で、図中、１はホルダー、
２は試料、３は試料固定台、４はＳＴＭ走査部、５はＳ
ＴＭ針、６は対物レンズ（ＯＬ）ポールピース、７は光
軸、８は偏向器、８ａ、８ｂは第１、第２偏向器、９は
対物レンズである。
ホルダーｌ （詳細は後述する）は、図示しないサイド
エントリゴニオメータにより移動させられて試料２を所
定位置にセットするようになっている。このホルダー１
内には、試料２が試料固定台３に図示のように取りつけ
られ、またピエゾ素子からなるＳＴＭ走査走査部数納さ
れ、ＳＴＭ針５が試料１に対向して設けられている。こ
のＳＴＭ走査走査部数約１．６ｆｉＸ３鶴×５龍程度の
もので、ホルダー１内に十分収納可能なように構成され
ている。
エントリゴニオメータにより移動させられて試料２を所
定位置にセットするようになっている。このホルダー１
内には、試料２が試料固定台３に図示のように取りつけ
られ、またピエゾ素子からなるＳＴＭ走査走査部数納さ
れ、ＳＴＭ針５が試料１に対向して設けられている。こ
のＳＴＭ走査走査部数約１．６ｆｉＸ３鶴×５龍程度の
もので、ホルダー１内に十分収納可能なように構成され
ている。
このような構成において、第２図に示すように光軸に沿
って試料面に平行に放出された電子線が、対物レンズ９
の前方磁場と対物レンズ上方に設置された偏向器８によ
り曲げられかつ集束されて試料面にある角度を持ってス
ポット状に照射され、そこで反射されたビームは光軸上
を通って対物しンズ下方に反射像を結像する。その反射
像が図示しない感光面状に結像されて試料面の観察が行
われる。このとき、試料面が光軸に平行であるために、
凹凸部分が電子線に対して影となるために、その形状に
対応して縞が観察される。この凹凸の程度はＳＴＭ走査
走査部子動して３７Ｍ走査針５により超精密に測定され
る。この場合、前述したようにＳＴＭの分解能は原子レ
ベルであるので、ＳＴＭ針の許容される振動の振幅は０
．１Å以下であるが、本発明においては試料と針とが１
つのホルダー内に固定されているため耐振上極めて有利
となる。
って試料面に平行に放出された電子線が、対物レンズ９
の前方磁場と対物レンズ上方に設置された偏向器８によ
り曲げられかつ集束されて試料面にある角度を持ってス
ポット状に照射され、そこで反射されたビームは光軸上
を通って対物しンズ下方に反射像を結像する。その反射
像が図示しない感光面状に結像されて試料面の観察が行
われる。このとき、試料面が光軸に平行であるために、
凹凸部分が電子線に対して影となるために、その形状に
対応して縞が観察される。この凹凸の程度はＳＴＭ走査
走査部子動して３７Ｍ走査針５により超精密に測定され
る。この場合、前述したようにＳＴＭの分解能は原子レ
ベルであるので、ＳＴＭ針の許容される振動の振幅は０
．１Å以下であるが、本発明においては試料と針とが１
つのホルダー内に固定されているため耐振上極めて有利
となる。
また、ＳＴＭ針を試料面に対してＩｎｍ程度の間隔で走
査するので、両者が衝突しないようにする必要があるが
、電子線を試料面と平行に照射して試料面とＳＴＭ針の
透過像を得るようにすれば、両者間の間隔を測定するこ
とができ、ＳＴＭ針と試料面との衝突を防止することが
できる。
査するので、両者が衝突しないようにする必要があるが
、電子線を試料面と平行に照射して試料面とＳＴＭ針の
透過像を得るようにすれば、両者間の間隔を測定するこ
とができ、ＳＴＭ針と試料面との衝突を防止することが
できる。
第３図は本発明におけるホルダーの一実施例を示す図で
、同図（イ）は試料観察状態を示す図、同図（ロ）はＳ
ＴＭ走査部を試料から離した状態を示す図で、第１図と
同一番号は同一内容を示している。なお、１１はアーム
、１２は球、１３．１４．１５は０リング溝、１６はバ
ー、１７は内筒、１８はダイアル、１９はロック部材、
２０はネジ、２１はネジ、２２はノブ、２３は導線、２
４はハーメチックシール部、２５はくさび、２６はピエ
ゾ素子、２７はピン、２８はネジ、２９はバネ、３０は
導線収納空間、３１は貫通孔である。
、同図（イ）は試料観察状態を示す図、同図（ロ）はＳ
ＴＭ走査部を試料から離した状態を示す図で、第１図と
同一番号は同一内容を示している。なお、１１はアーム
、１２は球、１３．１４．１５は０リング溝、１６はバ
ー、１７は内筒、１８はダイアル、１９はロック部材、
２０はネジ、２１はネジ、２２はノブ、２３は導線、２
４はハーメチックシール部、２５はくさび、２６はピエ
ゾ素子、２７はピン、２８はネジ、２９はバネ、３０は
導線収納空間、３１は貫通孔である。
本発明のホルダー構成は、ホルダー１の中に、Ｘ、Ｙ、
Ｚ３軸の試料移動機構を設け、そこにＳＴＭ走査走査部
子５を設けたものである。なお、光軸は紙面に垂直方向
、即ち試料面に平行になっている。
Ｚ３軸の試料移動機構を設け、そこにＳＴＭ走査走査部
子５を設けたものである。なお、光軸は紙面に垂直方向
、即ち試料面に平行になっている。
ホルダー１内には、試料固定台３が固定され、また内筒
１７がホルダー軸方向に摺動可能なように内面に接して
設けられている。試料２は、その面がホルダーｌの中心
軸に一致するように試料固定台３に固定され、これに対
向して針５がＳＴＭ走査走査部子端に取り付けられ、Ｓ
ＴＭ走査走査部子−ム１１に固定されている。内筒１７
の先端部には真空シール用の０リング溝１３を設けたテ
ーバ部が設けられ、アーム１１と一体の球１２を気密状
態を保持して回動自在に受けるようになっている。そし
て球１２にはバー１６が一体に設けられ、その先端はフ
リーで、バネ２８により上方へ付勢されると共に、ネジ
２１で下方へ押下げられるようになっている。したがっ
て、ネジ２１を回してバー１６の自由端を上下に動かす
ことにより、球１２を支点としてアーム１１を動かすこ
とができ、針５を試料に近づけたり離したりすることが
できる。また紙面に垂直にネジ２１と同様のネジ（図示
せず）が設けてあり、このネジを操作することにより針
５を試料面に沿って移動でき、視野探しを行うことがで
きる。
１７がホルダー軸方向に摺動可能なように内面に接して
設けられている。試料２は、その面がホルダーｌの中心
軸に一致するように試料固定台３に固定され、これに対
向して針５がＳＴＭ走査走査部子端に取り付けられ、Ｓ
ＴＭ走査走査部子−ム１１に固定されている。内筒１７
の先端部には真空シール用の０リング溝１３を設けたテ
ーバ部が設けられ、アーム１１と一体の球１２を気密状
態を保持して回動自在に受けるようになっている。そし
て球１２にはバー１６が一体に設けられ、その先端はフ
リーで、バネ２８により上方へ付勢されると共に、ネジ
２１で下方へ押下げられるようになっている。したがっ
て、ネジ２１を回してバー１６の自由端を上下に動かす
ことにより、球１２を支点としてアーム１１を動かすこ
とができ、針５を試料に近づけたり離したりすることが
できる。また紙面に垂直にネジ２１と同様のネジ（図示
せず）が設けてあり、このネジを操作することにより針
５を試料面に沿って移動でき、視野探しを行うことがで
きる。
これらアーム１１、球１２、バー１６は、ホルダー１の
中心軸から外れた偏心位置（図では上側）に設けられ、
その下方に導線２３の収納空間３０を形成するようにし
ている。また内筒１７とホルダー１との間は真空シール
用の０リング１ｌｊ１４が形成され、これとＯリング溝
１３とにより試料側を真空に保持し、また、ＳＴＭ走査
走査動駆動用トンネル電流取り出し用の導線２３の為の
ハーメチックシール部２４が形成されている。また内筒
１７は、ダイアル１８のネジ部と噛み合うネジ２０を有
し、ダイアル１８を回すと内筒１７はビン２７により回
転できないため、軸方向に移動する。この移動により試
料の軸方向の視野探しを行うことができる。また内筒１
７の内面にはテーバ状先端部が球１２の所まで伸びると
共に、ネジ２１が貫通する貫通孔３１が設けられたロッ
ク部材１９が設けられ、また後端部には、ノブ２２が取
付けられるネジ２８が設けられ、ロック部材の後端と接
している。そして、ノブ２２を回し、ロック部材１９を
押すことにより、ロック部材先端のテーパが球１２を押
圧して固定し、アーム１１を動き難くシて剛性を上げら
れるようになっている。
中心軸から外れた偏心位置（図では上側）に設けられ、
その下方に導線２３の収納空間３０を形成するようにし
ている。また内筒１７とホルダー１との間は真空シール
用の０リング１ｌｊ１４が形成され、これとＯリング溝
１３とにより試料側を真空に保持し、また、ＳＴＭ走査
走査動駆動用トンネル電流取り出し用の導線２３の為の
ハーメチックシール部２４が形成されている。また内筒
１７は、ダイアル１８のネジ部と噛み合うネジ２０を有
し、ダイアル１８を回すと内筒１７はビン２７により回
転できないため、軸方向に移動する。この移動により試
料の軸方向の視野探しを行うことができる。また内筒１
７の内面にはテーバ状先端部が球１２の所まで伸びると
共に、ネジ２１が貫通する貫通孔３１が設けられたロッ
ク部材１９が設けられ、また後端部には、ノブ２２が取
付けられるネジ２８が設けられ、ロック部材の後端と接
している。そして、ノブ２２を回し、ロック部材１９を
押すことにより、ロック部材先端のテーパが球１２を押
圧して固定し、アーム１１を動き難くシて剛性を上げら
れるようになっている。
また内筒１７のホルダー１との接触面の一部にテーパを
持った溝が設けられ、この溝にはくさび２５と、くさび
を押す積層型のピエゾ素子２６が設けられ、ピエゾ素子
２６を駆動して伸ばすことによりくさび２５を押し、内
筒１７とホルダー１との間に圧入さ廿ることにより内筒
１７をロックして剛性を上げる構造となっている。
持った溝が設けられ、この溝にはくさび２５と、くさび
を押す積層型のピエゾ素子２６が設けられ、ピエゾ素子
２６を駆動して伸ばすことによりくさび２５を押し、内
筒１７とホルダー１との間に圧入さ廿ることにより内筒
１７をロックして剛性を上げる構造となっている。
このような構成において、図示しないサイドエントリゴ
ニオメータにホルダー１を挿入し、ホルダーを移動させ
ることにより試料移動を行って視野探しを行い、反射像
観察法により試料面を観察する。こうして得られた反射
像の中でさらにＳＴＭにより観察したい領域を設定し、
ダイアル１８で軸方向移動、ネジ２１で試料との接近、
ネジ２１と同様の図示しない紙面に直交するネジで試料
面に沿った方向の針の移動を行う。ネジ２１で針５を試
料に近づける場合、前述したようにＴＥＭ法で試料と針
のギャップを観察しながらトンネル電流を検出できる距
離まで接近させるようにすれば、針を試料に衝突させて
針と試料に損傷を与えることを防ぐことができる。こう
して、針のセットを行った後、ノブ２２を回してロック
部材１９を押して球１２、アーム１１を固定し、更にピ
エゾ素子２６を駆動して内筒１７を固定することにより
全体として剛性を上げて３７Ｍ走査の耐振性を良くして
ＳＴＭ法による超精密測定を行う。
ニオメータにホルダー１を挿入し、ホルダーを移動させ
ることにより試料移動を行って視野探しを行い、反射像
観察法により試料面を観察する。こうして得られた反射
像の中でさらにＳＴＭにより観察したい領域を設定し、
ダイアル１８で軸方向移動、ネジ２１で試料との接近、
ネジ２１と同様の図示しない紙面に直交するネジで試料
面に沿った方向の針の移動を行う。ネジ２１で針５を試
料に近づける場合、前述したようにＴＥＭ法で試料と針
のギャップを観察しながらトンネル電流を検出できる距
離まで接近させるようにすれば、針を試料に衝突させて
針と試料に損傷を与えることを防ぐことができる。こう
して、針のセットを行った後、ノブ２２を回してロック
部材１９を押して球１２、アーム１１を固定し、更にピ
エゾ素子２６を駆動して内筒１７を固定することにより
全体として剛性を上げて３７Ｍ走査の耐振性を良くして
ＳＴＭ法による超精密測定を行う。
なお、ホルダー１内での試料の加工を行う場合には、ネ
ジ２１を回して針５を試料２から離し、周囲に当たらな
くなる状態にしてダイアル１８を回すことにより内筒１
７を引き込んで第３図（口に示す状態とし、この状態で
試料のベータ、蒸着等を行えば、針が試料面から離れて
いるので金属や蒸気が針に付着する等の悪影響を防止す
ることができる。
ジ２１を回して針５を試料２から離し、周囲に当たらな
くなる状態にしてダイアル１８を回すことにより内筒１
７を引き込んで第３図（口に示す状態とし、この状態で
試料のベータ、蒸着等を行えば、針が試料面から離れて
いるので金属や蒸気が針に付着する等の悪影響を防止す
ることができる。
第４図は本発明の他の実施例を示す図で、試料とＳＴＭ
走査部を直交させて反射像を観察する意思外は、第３図
の場合と全く同様である。
走査部を直交させて反射像を観察する意思外は、第３図
の場合と全く同様である。
なお、上記実施例では針の移動、ロック等をネジによる
駆動力を使用して行う例について説明したが、てこの原
理を使用したり、またピエゾ素子を用いて行う等、駆動
機構はどのような手段を使用してもよい。
駆動力を使用して行う例について説明したが、てこの原
理を使用したり、またピエゾ素子を用いて行う等、駆動
機構はどのような手段を使用してもよい。
以上のように本発明によれば、試料表面が光軸に平行に
なるように試料を保持した試料ホルダー中に、走査トン
ネル顕微鏡走査機構を配置することにより、反射電子ｓ
ｇｉ微鏡法により視野探しを行って観察後、さらに、走
査トンネル顕微鏡により超精密に試料面の観察を行うこ
とができ、また試料と探針との距離をＴＥＭ法で観察し
ながら接近させることができるので、探針と試料とを衝
突させることを防ぐことができる。
なるように試料を保持した試料ホルダー中に、走査トン
ネル顕微鏡走査機構を配置することにより、反射電子ｓ
ｇｉ微鏡法により視野探しを行って観察後、さらに、走
査トンネル顕微鏡により超精密に試料面の観察を行うこ
とができ、また試料と探針との距離をＴＥＭ法で観察し
ながら接近させることができるので、探針と試料とを衝
突させることを防ぐことができる。
第１図は本発明の反射型電子顕微鏡用走査トンネルＷＡ
微鏡により反射像を得る場合の概略構成を示す図、第２
図は電子線の軌跡を示す図、第３図は本発明におけるホ
ルダーの一実施例を示す図で、同図（イ）は試料観察状
態を示す図、同図（ロ）はＳＴＭ走査部を試料から離し
た状態を示す図、第４図は試料とＳＴＭ走査部を直交さ
せた本発明の他の実施例を示す図である。 １・・・ホルダー、２・・・試料、３・・・試料固定台
、４・・・ＳＴＭ走査部、５・・・ＳＴＭ針、６・・・
対物レンズ（ＯＬ）ポールピース、７・・・光軸、１１
・・・アーム、１２・・・球、１６・・・バー、１７・
・・内筒、１８・・・ダイアル、１９・・・ロック部材
、２２・・・ノブ、２３・・・導線、２８・・・ネジ。 出 願 人 日本電子株式会社 代理人 弁理士 蛭 川 昌 信（外３名）手続補正
書動式） 昭和６３年θ月１日 特許庁長官 小 川 邦 夫 殿 １、事件の表示 昭和６２年特許願第２８８０７９号゛
−２、発明の名称 反射型電子顕微鏡用走査トンネル顕
微鏡３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都昭島市武蔵野三丁目１番２号名 称
（４２７）日本電子株式会社代表者 竹 内
隆 ４、代理人 ５、補正命令の日付 昭和６３年 ２月 ３日発送日
昭和６３年 ２月２３日
微鏡により反射像を得る場合の概略構成を示す図、第２
図は電子線の軌跡を示す図、第３図は本発明におけるホ
ルダーの一実施例を示す図で、同図（イ）は試料観察状
態を示す図、同図（ロ）はＳＴＭ走査部を試料から離し
た状態を示す図、第４図は試料とＳＴＭ走査部を直交さ
せた本発明の他の実施例を示す図である。 １・・・ホルダー、２・・・試料、３・・・試料固定台
、４・・・ＳＴＭ走査部、５・・・ＳＴＭ針、６・・・
対物レンズ（ＯＬ）ポールピース、７・・・光軸、１１
・・・アーム、１２・・・球、１６・・・バー、１７・
・・内筒、１８・・・ダイアル、１９・・・ロック部材
、２２・・・ノブ、２３・・・導線、２８・・・ネジ。 出 願 人 日本電子株式会社 代理人 弁理士 蛭 川 昌 信（外３名）手続補正
書動式） 昭和６３年θ月１日 特許庁長官 小 川 邦 夫 殿 １、事件の表示 昭和６２年特許願第２８８０７９号゛
−２、発明の名称 反射型電子顕微鏡用走査トンネル顕
微鏡３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都昭島市武蔵野三丁目１番２号名 称
（４２７）日本電子株式会社代表者 竹 内
隆 ４、代理人 ５、補正命令の日付 昭和６３年 ２月 ３日発送日
昭和６３年 ２月２３日
Claims (2)
- （１）試料表面が光軸に平行になるように試料を保持し
た試料ホルダー中に、探針を備えた走査トンネル顕微鏡
走査機構を配置した反射型電子顕微鏡用走査トンネル顕
微鏡であって、電子線を偏向する偏向手段を備え、偏光
手段を動作させて電子線を試料表面に当てて反射電子顕
微鏡法により試料表面像を得ると共に、走査トンネル顕
微鏡により試料表面の観察を行うようにしたことを特徴
とする反射型電子顕微鏡用トンネル顕微鏡。 - （２）電子線を試料表面に平行に照射し、探針と試料表
面間の透過像を得るようにした特許請求の範囲第１項記
載の反射型電子顕微鏡用走査トンネル顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62288079A JPH0624110B2 (ja) | 1987-11-14 | 1987-11-14 | 反射型電子顕微鏡用走査トンネル顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62288079A JPH0624110B2 (ja) | 1987-11-14 | 1987-11-14 | 反射型電子顕微鏡用走査トンネル顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01130457A true JPH01130457A (ja) | 1989-05-23 |
| JPH0624110B2 JPH0624110B2 (ja) | 1994-03-30 |
Family
ID=17725525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62288079A Expired - Fee Related JPH0624110B2 (ja) | 1987-11-14 | 1987-11-14 | 反射型電子顕微鏡用走査トンネル顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0624110B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1130573A (ja) * | 1997-05-20 | 1999-02-02 | Jeol Ltd | ホルダ保持装置 |
-
1987
- 1987-11-14 JP JP62288079A patent/JPH0624110B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1130573A (ja) * | 1997-05-20 | 1999-02-02 | Jeol Ltd | ホルダ保持装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0624110B2 (ja) | 1994-03-30 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |