JPH01130537U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01130537U JPH01130537U JP2700388U JP2700388U JPH01130537U JP H01130537 U JPH01130537 U JP H01130537U JP 2700388 U JP2700388 U JP 2700388U JP 2700388 U JP2700388 U JP 2700388U JP H01130537 U JPH01130537 U JP H01130537U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- carrier
- rotating roller
- semiconductor wafer
- semiconductor wafers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 12
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
Description
第１図は本考案に係る半導体ウエーハ立替装置
の一実施例を示す正面図、第２図は第１図の平面
図、第３図は第１図の側面図、第４図はボート部
を示す側面図、第５図はホルダ部のホルダを示す
拡大正面図、第６図は第５図の平面図、第７図は
第５図の側面図、第８図はホルダのスイングアー
ムを示す拡大正面図、第９図は第８図の断面図、
第１０図は左右上下回転ローラを示す正面図、第
１１図は左右上回転ローラのガイド溝を示す展開
図、第１２図は左右下回転ローラのガイド溝を示
す展開図である。第１３図はボート上でのＢａｃ
ｋ ｔｏ Ｂａｃｋ方式によるウエーハを示す側
面図、第１４図はウエーハを整列収納したキヤリ
アを示す斜視図、第１５図はウエーハを整列保持
したボートを示す斜視図である。 １……半導体ウエーハ、３……キヤリア、５…
…ボート、１５〜１８……上下回転ローラ、１９
……ホルダ、ｍ，ｎ……ガイド溝。
の一実施例を示す正面図、第２図は第１図の平面
図、第３図は第１図の側面図、第４図はボート部
を示す側面図、第５図はホルダ部のホルダを示す
拡大正面図、第６図は第５図の平面図、第７図は
第５図の側面図、第８図はホルダのスイングアー
ムを示す拡大正面図、第９図は第８図の断面図、
第１０図は左右上下回転ローラを示す正面図、第
１１図は左右上回転ローラのガイド溝を示す展開
図、第１２図は左右下回転ローラのガイド溝を示
す展開図である。第１３図はボート上でのＢａｃ
ｋ ｔｏ Ｂａｃｋ方式によるウエーハを示す側
面図、第１４図はウエーハを整列収納したキヤリ
アを示す斜視図、第１５図はウエーハを整列保持
したボートを示す斜視図である。 １……半導体ウエーハ、３……キヤリア、５…
…ボート、１５〜１８……上下回転ローラ、１９
……ホルダ、ｍ，ｎ……ガイド溝。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 複数の半導体ウエーハを一枚ずつ定ピツチで整
列収納するキヤリアと、上記半導体ウエーハを二
枚ずつその裏面同士を密着させて定ピツチで整列
保持するボートとの間に配設されたホルダにて、
半導体ウエーハをその整列状態を変更させてキヤ
リア及びボート間で移し替える装置であつて、 上記ホルダは、キヤリア或いはボートから移送
されて定位置に保持された各半導体ウエーハをガ
イド溝により誘導しながら密着或いは分離するウ
エーハ整列方向に沿う長尺な二対の上下回転ロー
ラを有し、上記上回転ローラを半導体ウエーハの
中心を通る垂線を境界として両側位置に相互に逆
回転するように固定配置し、上記下回転ローラを
上回転ローラの下方位置で上回転ローラに対して
逆回転するように回動自在に配置したことを特徴
とする半導体ウエーハ立替装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2700388U JPH0249716Y2 (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2700388U JPH0249716Y2 (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01130537U true JPH01130537U (ja) | 1989-09-05 |
| JPH0249716Y2 JPH0249716Y2 (ja) | 1990-12-27 |
Family
ID=31249131
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2700388U Expired JPH0249716Y2 (ja) | 1988-02-29 | 1988-02-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0249716Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-02-29 JP JP2700388U patent/JPH0249716Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0249716Y2 (ja) | 1990-12-27 |
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