JPH01165646U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例を示す正面図、第
２図はその側面図、第３図はその要部正面図、第
４図はこの考案の他の実施例を示す要部正面図、
第５図は従来装置の正面図、第６図はその側面図
、第７図は第５図のローラを示す部分正面図であ
る。図中、１はフアセツトアライナー本体、４は
キヤリアケース、５はウエハ、６はオリエンテー
シヨンフラツト、２１，２２はローラである。な
お、各図中同一符合は同一又は相当部分を示す。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. フアセツトアライナー本体、このフアセツトア
   ライナー本体に着脱自在に支持され、略垂直状の
   ウエハが多数並列されるキヤリアケース、及び上
   記フアセツトアライナー本体に回動可能に支承さ
   れ、上記ウエハを回動して上記ウエハのフアセツ
   トが下方となるよう上記ウエハを位置決めするロ
   ーラを備え、上記ウエハが位置決めされたときに
   に、上記ウエハが階段状に整列されるよう上記ロ
   ーラの上面を傾斜状としたことを特徴とするウエ
   ハフアセツトアライナー装置。