JPH01130544U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01130544U JPH01130544U JP2766388U JP2766388U JPH01130544U JP H01130544 U JPH01130544 U JP H01130544U JP 2766388 U JP2766388 U JP 2766388U JP 2766388 U JP2766388 U JP 2766388U JP H01130544 U JPH01130544 U JP H01130544U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dicing line
- view
- sectional
- cross
- line
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Dicing (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例によるダイシング
ラインの断面図、第２図はダイシングライン両端
部の拡大断面図、第３図はこの考案のダイシング
ライン面中央を切刃により切断した時の断面図、
第４図はこの考案のダイシングライン面中央から
ずれて切刃により切断した時の断面図、第５図は
従来のダイシングラインの断面図、第６図は従来
のダイシングラインの端部拡大断面図を示す。 図において、１は基板、２は酸化膜、３は拡散
領域、４は多層構造層、５はダイシングライン面
、５′はウエハ工程に於ける中間工程で生じる合
金膜、６，６′はダイシングライン境界線、７は
切刃溝、８はチツピングを示す。なお、図中、同
一符号は同一、または相当部分を示す。
ラインの断面図、第２図はダイシングライン両端
部の拡大断面図、第３図はこの考案のダイシング
ライン面中央を切刃により切断した時の断面図、
第４図はこの考案のダイシングライン面中央から
ずれて切刃により切断した時の断面図、第５図は
従来のダイシングラインの断面図、第６図は従来
のダイシングラインの端部拡大断面図を示す。 図において、１は基板、２は酸化膜、３は拡散
領域、４は多層構造層、５はダイシングライン面
、５′はウエハ工程に於ける中間工程で生じる合
金膜、６，６′はダイシングライン境界線、７は
切刃溝、８はチツピングを示す。なお、図中、同
一符号は同一、または相当部分を示す。
Claims (1)
- 半導体ウエハのダイシングラインの両側と能動
領域境界に円筒状の溝を設けたことを特徴とする
ダイシングライン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2766388U JPH01130544U (ja) | 1988-03-01 | 1988-03-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2766388U JPH01130544U (ja) | 1988-03-01 | 1988-03-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01130544U true JPH01130544U (ja) | 1989-09-05 |
Family
ID=31250347
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2766388U Pending JPH01130544U (ja) | 1988-03-01 | 1988-03-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01130544U (ja) |
-
1988
- 1988-03-01 JP JP2766388U patent/JPH01130544U/ja active Pending