JPH01133217A - 磁気記録体 - Google Patents
磁気記録体Info
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- JPH01133217A JPH01133217A JP29151987A JP29151987A JPH01133217A JP H01133217 A JPH01133217 A JP H01133217A JP 29151987 A JP29151987 A JP 29151987A JP 29151987 A JP29151987 A JP 29151987A JP H01133217 A JPH01133217 A JP H01133217A
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- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 20
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えば、ディスク状の磁気記録体に関するも
のである。
のである。
従来、この種の磁気記録体、特に薄膜磁気記録体は高密
度記録用として用いられている。この薄膜磁気記録体の
製法には、蒸着法、メツキ法等がある。最近では、特に
スパッタリング法による製法が用いられる。このスパッ
タリング法による薄膜磁気記録体は第８図に示すように
ＮｉＰからなる非磁性基材１上にＣｒ／Ｃｏ、Ｎ ｉ系
あるいはＣｒ／Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｒ系の下層２上層３の二
層構造が多くとられている。即ち、下層２は数１００人
から数１ 、０００人のＣｒからなり、上Ｎ３はＣ。
度記録用として用いられている。この薄膜磁気記録体の
製法には、蒸着法、メツキ法等がある。最近では、特に
スパッタリング法による製法が用いられる。このスパッ
タリング法による薄膜磁気記録体は第８図に示すように
ＮｉＰからなる非磁性基材１上にＣｒ／Ｃｏ、Ｎ ｉ系
あるいはＣｒ／Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｒ系の下層２上層３の二
層構造が多くとられている。即ち、下層２は数１００人
から数１ 、０００人のＣｒからなり、上Ｎ３はＣ。
系合金からなっている。その他、この種の磁気記録体と
しては、特開昭６１−１９０７１６号公報、特開昭６１
．−２０４８３６号公報、で示すものがある。
しては、特開昭６１−１９０７１６号公報、特開昭６１
．−２０４８３６号公報、で示すものがある。
しかしながら、最近の磁気記録分野では、ますます高記
録密度化の傾向が高まり、高い保磁力、低ノイズ化の磁
気記録体が要求されており、従来の技術によっては、望
ましい高い保持力を得ることができず、又変調ノイズも
まだ高い値であるという問題点があった。
録密度化の傾向が高まり、高い保磁力、低ノイズ化の磁
気記録体が要求されており、従来の技術によっては、望
ましい高い保持力を得ることができず、又変調ノイズも
まだ高い値であるという問題点があった。
そこで、本発明は上記問題点に鑑みなされたものであっ
て、高保持力、低ノイズの磁気記録体を提供することを
目的とする。
て、高保持力、低ノイズの磁気記録体を提供することを
目的とする。
本発明における上記目的を達成させるための手段は、非
磁性基材面上にＣｒ層を介して磁性金属層を形成してな
る磁気記録体において、前記磁性金属層は、Ｘ、Ｙを原
子％としたときＧｏｌｏ。−（Ｘ＋Ｖ）ＣｒＸＴａ、で
表され１≦×≦１８．２≦Ｙ≦９の組成比をもち面内方
向に磁気異方性を有することを特徴とする磁気記録体に
係るものである。
磁性基材面上にＣｒ層を介して磁性金属層を形成してな
る磁気記録体において、前記磁性金属層は、Ｘ、Ｙを原
子％としたときＧｏｌｏ。−（Ｘ＋Ｖ）ＣｒＸＴａ、で
表され１≦×≦１８．２≦Ｙ≦９の組成比をもち面内方
向に磁気異方性を有することを特徴とする磁気記録体に
係るものである。
上記構成において、磁性金属層をＸ、Ｙを原子％とした
ときにＣＯ＋ｏｏ−＋＊＊ｙ＋ ＣｒＸＴａ、で表わ
され１≦×≦１８．２≦Ｙ≦９の組成比で成膜し、これ
により面内方向に磁気異方性を有する記録媒体となるこ
とによって保磁力の向上とノイズの低減を図っている。
ときにＣＯ＋ｏｏ−＋＊＊ｙ＋ ＣｒＸＴａ、で表わ
され１≦×≦１８．２≦Ｙ≦９の組成比で成膜し、これ
により面内方向に磁気異方性を有する記録媒体となるこ
とによって保磁力の向上とノイズの低減を図っている。
以下、図面によって本発明の一実施例を説明する。本発
明者は以下に説明する各種の実験の結果、第１図で示す
ような磁気記録体を得た。これは非磁性基材１の面上に
０１層４を形成し、その上に磁性金属層５を形成したも
のである。そして、磁性金属層５は、Ｘ、Ｙを原子％と
したときＣｏ１００−ｔｘ−ｖ、ｃｒＸＴａｙで表され
１≦×≦１８，２≦Ｙ≦９の組成比をもつものである。
明者は以下に説明する各種の実験の結果、第１図で示す
ような磁気記録体を得た。これは非磁性基材１の面上に
０１層４を形成し、その上に磁性金属層５を形成したも
のである。そして、磁性金属層５は、Ｘ、Ｙを原子％と
したときＣｏ１００−ｔｘ−ｖ、ｃｒＸＴａｙで表され
１≦×≦１８，２≦Ｙ≦９の組成比をもつものである。
まず、第１の実験について説明する。
これは、１５ ｃｍ （６１ｎｃｈ）のターゲットを用
いたＤＣマグネトロンスパンタリング法により磁気記録
体を形成したものである。この磁気記録体はＮｉＰ非磁
非磁性基材面上に下地層として１ 、０００人の０１層
４を形成し、その上に、ＣｏＣｒ、□原子％にＴａチッ
プ（５ｍｘ５ｍｍ）の個数を変化させてＴａの添加量を
変化させながら６００人のるｎ性金屈層５を成膜する。
いたＤＣマグネトロンスパンタリング法により磁気記録
体を形成したものである。この磁気記録体はＮｉＰ非磁
非磁性基材面上に下地層として１ 、０００人の０１層
４を形成し、その上に、ＣｏＣｒ、□原子％にＴａチッ
プ（５ｍｘ５ｍｍ）の個数を変化させてＴａの添加量を
変化させながら６００人のるｎ性金屈層５を成膜する。
このときの他の条件はバックグランド気圧として２．４
Ｘ １０−６Ｔｏ ｒ ｒ、 Ａ ｒガス圧５ｍＴｏ
ｒｒ、基板温度１７０℃である。この条件におけるＴａ
添加量と面内方向における保磁力Ｈｃとの関係を第２図
によって表わすと、Ｔａが約６％で保磁力が約１，２０
０ （Ｏｅ ）の最大値となり、ＣｏＣｒ、□原子％だ
けで成膜を形成した場合に比しＴａの添加による成膜の
方が保６■力を高（できる。Ｔａの添加ＩＹは２≦Ｙ≦
９の範囲内で保磁力の優位性が現われてくることが判明
された。またこれらの膜はすべて面内方向に磁気異方性
を有していることがｌｉ！認されている。これはＶＳＭ
を用い膜面に平行及び垂直方向に磁界を印加し、ヒステ
リシスカーブより判断したものである。
Ｘ １０−６Ｔｏ ｒ ｒ、 Ａ ｒガス圧５ｍＴｏ
ｒｒ、基板温度１７０℃である。この条件におけるＴａ
添加量と面内方向における保磁力Ｈｃとの関係を第２図
によって表わすと、Ｔａが約６％で保磁力が約１，２０
０ （Ｏｅ ）の最大値となり、ＣｏＣｒ、□原子％だ
けで成膜を形成した場合に比しＴａの添加による成膜の
方が保６■力を高（できる。Ｔａの添加ＩＹは２≦Ｙ≦
９の範囲内で保磁力の優位性が現われてくることが判明
された。またこれらの膜はすべて面内方向に磁気異方性
を有していることがｌｉ！認されている。これはＶＳＭ
を用い膜面に平行及び垂直方向に磁界を印加し、ヒステ
リシスカーブより判断したものである。
次に、第２の実験について説明する。
Ｃｒ ｆｆｉ ４を１ 、０００人としＣｏ Ｃｒ ＋
ｂＴ ａ ｂ原子％で６００人の磁性金属層５を成膜し
たものと、０１層４を同じ＜ １．０００人としＴａ
を取り除いたＣｏＣｒ、□原子％で６００人の磁性金属
層５を比較した。このときの条件は、両者共に第１の実
験と同一である。その結果、保磁力はＣｏ Ｃｒ Ｈｂ
Ｔ ａ ｂ原子％の方が８５００ｅでＣｏＣｒ＋を原子
％の方が５２００ｅであった。従って、Ｔａを添加する
ことによって保磁力が高くなることが判明された。
ｂＴ ａ ｂ原子％で６００人の磁性金属層５を成膜し
たものと、０１層４を同じ＜ １．０００人としＴａ
を取り除いたＣｏＣｒ、□原子％で６００人の磁性金属
層５を比較した。このときの条件は、両者共に第１の実
験と同一である。その結果、保磁力はＣｏ Ｃｒ Ｈｂ
Ｔ ａ ｂ原子％の方が８５００ｅでＣｏＣｒ＋を原子
％の方が５２００ｅであった。従って、Ｔａを添加する
ことによって保磁力が高くなることが判明された。
次に、第３の実験について説明する。
実施例１と同様に６”Ｔａｒｇｅｔを用いＤＣマグネト
ロン法により、ＮｉＰ基板上に、Ｃｒを１ 、０００人
成膜する。次にＣｏＣｒｘＴａｂになる様にＣｒ添加４
］Ｘを変化させながら６００人の磁性膜を成膜しディス
クとした。
ロン法により、ＮｉＰ基板上に、Ｃｒを１ 、０００人
成膜する。次にＣｏＣｒｘＴａｂになる様にＣｒ添加４
］Ｘを変化させながら６００人の磁性膜を成膜しディス
クとした。
このディスクにおいてＣｒ添加量と保磁力Ｈｃとの関係
について調べた結果を第３図に示す。Ｃｒの添加量の増
加とともにＨｃは増大し約１１ａｔ％程度で極大となる
。その後添加量が増えるとＨｃは低下していく傾向をも
つ。この図よりＣｒ添加量は１≦×≦１８ａｔ％になる
ことが望ましいことがわかる。
について調べた結果を第３図に示す。Ｃｒの添加量の増
加とともにＨｃは増大し約１１ａｔ％程度で極大となる
。その後添加量が増えるとＨｃは低下していく傾向をも
つ。この図よりＣｒ添加量は１≦×≦１８ａｔ％になる
ことが望ましいことがわかる。
次に、第４の実験について説明する。
これは、１５ ｃｍ （６１ｎｃｈ）のターゲットを用
いてＮｉＰを基板としてＣ１を４．０００人の厚さにし
たＣｒ層層上上ＣＯＣｒ ＋ｏ、 ｓＴ ａ ６．３の
磁性金属層５を６００人の厚さに成膜したものと、０１
層４を同じくしてａｌ性金属層５をＣｏＮｆ＋ａＣｒｑ
の６００人の厚さに成膜したものとを比較した。このと
きの条件は、両者共にバンクグランド気圧２×１０−’
Ｔｏ ｒ ｒ、 Ａ ｒガス圧５ｍＴｏｒｒ、基板温度
１７０℃である。この両者の結果は、磁性金属層５の表
面を走査電子顕微鏡で同一倍率の状態で観察してみると
、第４図（Ａ）、 （Ｂ）で示すように第４図（Ａ）
のＣＯＣｒ ＋ｏ、ｓＴ ａ ｂ、ｙの方がＣＯＮ ｉ
１ｓＣｒ ｑよりも粒子サイズが微細化され高密度記
録に適していることが判明された。
いてＮｉＰを基板としてＣ１を４．０００人の厚さにし
たＣｒ層層上上ＣＯＣｒ ＋ｏ、 ｓＴ ａ ６．３の
磁性金属層５を６００人の厚さに成膜したものと、０１
層４を同じくしてａｌ性金属層５をＣｏＮｆ＋ａＣｒｑ
の６００人の厚さに成膜したものとを比較した。このと
きの条件は、両者共にバンクグランド気圧２×１０−’
Ｔｏ ｒ ｒ、 Ａ ｒガス圧５ｍＴｏｒｒ、基板温度
１７０℃である。この両者の結果は、磁性金属層５の表
面を走査電子顕微鏡で同一倍率の状態で観察してみると
、第４図（Ａ）、 （Ｂ）で示すように第４図（Ａ）
のＣＯＣｒ ＋ｏ、ｓＴ ａ ｂ、ｙの方がＣＯＮ ｉ
１ｓＣｒ ｑよりも粒子サイズが微細化され高密度記
録に適していることが判明された。
次に第５の実験について説明する。
これは、２０ ｃｍ （８１ｎｃｈ）のターゲットを用
いてＮ ｉ Ｐ％板としてＣｒを６００人の厚さにした
Ｃｒ層４上にＣｏＣｒ、、、、Ｔａ、の磁性金属層５を
３５０人〜８６０人まで変化させて成膜したものと、磁
性金属層５の素材のみをＣｏＮｉ＋５Ｃｒｑに変更し厚
さを２５０人〜７５０人まで変化させて成膜したものと
を比較した。このときの他の条件は、両者共にバンクグ
ランド気圧Ｉ Ｘ Ｉ Ｏ−’Ｔｏ ｒ ｒ。
いてＮ ｉ Ｐ％板としてＣｒを６００人の厚さにした
Ｃｒ層４上にＣｏＣｒ、、、、Ｔａ、の磁性金属層５を
３５０人〜８６０人まで変化させて成膜したものと、磁
性金属層５の素材のみをＣｏＮｉ＋５Ｃｒｑに変更し厚
さを２５０人〜７５０人まで変化させて成膜したものと
を比較した。このときの他の条件は、両者共にバンクグ
ランド気圧Ｉ Ｘ Ｉ Ｏ−’Ｔｏ ｒ ｒ。
Ａｒガス圧１０ｍＴｏ ｒ ｒ、基板温度２２０℃であ
る。この第５の実験における上記２例について磁性金属
層５の厚さと変調ノイズの最大値との関係をみると第５
図に示すように前者のＣｏＣｒ、、、。
る。この第５の実験における上記２例について磁性金属
層５の厚さと変調ノイズの最大値との関係をみると第５
図に示すように前者のＣｏＣｒ、、、。
Ｔａ４の方が最大ノイズの少ないことが判明された。こ
の測定方法は、第６図に示すように再生出力レベルの基
準マーカと２．５ＭＨ２の再生出力信号以外が変調ノイ
ズであって、Ａ点がノイズの最大値である。更に、２．
５ＭＩＩＺの再生出力信号のレベルと変調ノイズの最大
値との関係を測定してみると第７図に示す結果が得られ
た。この測定方法５は、得られた磁気記録体をディスク
状とし、これを２．５９７ ｒｐｍで回転させ、半径２
５ｍｍの位置でトラック幅２０μｍの測定用磁気ヘッド
を用いフライング高さ０．２５μｍの条件で行なったも
のである。即ち、同一膜厚６００人ならば、Ｃｏ Ｃｒ
、、、Ｓ’Ｔ’ ａ ａの方がＣＯＮ ！ ＋ｅＣｒ
ｑよりも約３ｄＢノイズが少ないことが判明された。又
、同一出力でもＣｏ Ｃｒ ｚ、５Ｔａ４の方がＣｏＮ
ｉ、、Ｃｒ、よりも約１．５ｄｌｌノイズが少ないこと
が判明された。
の測定方法は、第６図に示すように再生出力レベルの基
準マーカと２．５ＭＨ２の再生出力信号以外が変調ノイ
ズであって、Ａ点がノイズの最大値である。更に、２．
５ＭＩＩＺの再生出力信号のレベルと変調ノイズの最大
値との関係を測定してみると第７図に示す結果が得られ
た。この測定方法５は、得られた磁気記録体をディスク
状とし、これを２．５９７ ｒｐｍで回転させ、半径２
５ｍｍの位置でトラック幅２０μｍの測定用磁気ヘッド
を用いフライング高さ０．２５μｍの条件で行なったも
のである。即ち、同一膜厚６００人ならば、Ｃｏ Ｃｒ
、、、Ｓ’Ｔ’ ａ ａの方がＣＯＮ ！ ＋ｅＣｒ
ｑよりも約３ｄＢノイズが少ないことが判明された。又
、同一出力でもＣｏ Ｃｒ ｚ、５Ｔａ４の方がＣｏＮ
ｉ、、Ｃｒ、よりも約１．５ｄｌｌノイズが少ないこと
が判明された。
以上の実験結果から、磁性金属層５はＣｒの添加量が１
８原子％以内であることが望ましく、かつＴａを添加す
る必要性があることが判明される。
８原子％以内であることが望ましく、かつＴａを添加す
る必要性があることが判明される。
そして、これらの実験結果によりｔｎ性金属層５は１≦
×≦１８．２≦Ｙ≦９の組成比のＣＯ＋ ｏｏ−（Ｘ＊
ｙ）ＣｒＸＴａｙから形成することにより磁性体粒子を
微粒子化して保磁力とノイズの低減を図ることができる
。
×≦１８．２≦Ｙ≦９の組成比のＣＯ＋ ｏｏ−（Ｘ＊
ｙ）ＣｒＸＴａｙから形成することにより磁性体粒子を
微粒子化して保磁力とノイズの低減を図ることができる
。
以上のように本発明によれば、磁性金属層は磁性体粒子
が微粒子化し、そして保磁力とノイズの低減を図ること
によって高密度記録に好適な磁気記録媒体を提供するこ
とができる。
が微粒子化し、そして保磁力とノイズの低減を図ること
によって高密度記録に好適な磁気記録媒体を提供するこ
とができる。
第１図は本発明の一実施例における磁気記録体を示す断
面図、第２図は本発明における第１の実験結果を示す特
性回、第３図は本発明における第３の実験結果を示す特
性図、第４図（Ａ）、（Ｂ）は本発明における第４の実
験結果を示す磁性金属層の表面を観察した写真、第５図
は本発明における第５の実験結果を示す特性図、第６図
は第５の実験における測定時の特性を示す特性図、第７
図は本発明における第５の実験の他の結果を示す特性図
、第８図は従来の磁気記録体を示す断面図である。 １・・・非磁性基材 ４・・・Ｃｒ層 ５・・・磁気記録体 第１図 第２図 Ｔａ Ｊ≦殉ｔ（Ｊ船Ｖム） ０ ５ １０ Ｉｓ
２０Ｃｒ（Ｘｌ ： Ｃｏｎｔｅｎｔ ＣＬＪ
ｐ乞第４間 第４図 （８） に１ 第５図 盾颯剥６ネ厚（入） − 第６図
面図、第２図は本発明における第１の実験結果を示す特
性回、第３図は本発明における第３の実験結果を示す特
性図、第４図（Ａ）、（Ｂ）は本発明における第４の実
験結果を示す磁性金属層の表面を観察した写真、第５図
は本発明における第５の実験結果を示す特性図、第６図
は第５の実験における測定時の特性を示す特性図、第７
図は本発明における第５の実験の他の結果を示す特性図
、第８図は従来の磁気記録体を示す断面図である。 １・・・非磁性基材 ４・・・Ｃｒ層 ５・・・磁気記録体 第１図 第２図 Ｔａ Ｊ≦殉ｔ（Ｊ船Ｖム） ０ ５ １０ Ｉｓ
２０Ｃｒ（Ｘｌ ： Ｃｏｎｔｅｎｔ ＣＬＪ
ｐ乞第４間 第４図 （８） に１ 第５図 盾颯剥６ネ厚（入） − 第６図
Claims (1)
- 非磁性基材面上にＣｒ層を介して磁性金属層を形成して
なる磁気記録体において、前記磁性金属層は、Ｘ、Ｙを
原子％としたときＣｏ＿１＿０＿０＿−＿（＿Ｘ＿＋＿
Ｙ＿）Ｃｒ＿ｘＴａ＿ｙで表され１≦Ｘ≦１８、２≦Ｙ
≦９の組成比をもち面内方向に磁気異方性を有すること
を特徴とする磁気記録体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29151987A JPH01133217A (ja) | 1987-11-18 | 1987-11-18 | 磁気記録体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29151987A JPH01133217A (ja) | 1987-11-18 | 1987-11-18 | 磁気記録体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01133217A true JPH01133217A (ja) | 1989-05-25 |
Family
ID=17769946
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29151987A Pending JPH01133217A (ja) | 1987-11-18 | 1987-11-18 | 磁気記録体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01133217A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0349020A (ja) * | 1989-04-26 | 1991-03-01 | Hitachi Metals Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPH03237613A (ja) * | 1990-02-13 | 1991-10-23 | Fuji Electric Co Ltd | 面内磁気記録媒体の製造方法 |
-
1987
- 1987-11-18 JP JP29151987A patent/JPH01133217A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0349020A (ja) * | 1989-04-26 | 1991-03-01 | Hitachi Metals Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPH03237613A (ja) * | 1990-02-13 | 1991-10-23 | Fuji Electric Co Ltd | 面内磁気記録媒体の製造方法 |
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