JPH0349020A - 磁気記録媒体 - Google Patents

磁気記録媒体

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JPH0349020A
JPH0349020A JP2077758A JP7775890A JPH0349020A JP H0349020 A JPH0349020 A JP H0349020A JP 2077758 A JP2077758 A JP 2077758A JP 7775890 A JP7775890 A JP 7775890A JP H0349020 A JPH0349020 A JP H0349020A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、例えば磁気ヘッドとの間において情報の記録
および再生を行う磁気記&ii′媒体に関するものであ
り、特にノイズが少なく耐食性および生産性を向上させ
得る磁気記録媒体に関するものである。
[従来の技術] 従来より磁気記録媒体上に情報を記録し、若しくは媒体
上に記録した情報を再生出力するために磁気ディスク装
置が使用されてるが、上記の記録、再生を行う場合には
磁気ヘッドと磁気記録媒体とを例えば0.2〜0.3虜
の微小間隙に保持するのが通常である。従って磁気ヘッ
ドと磁気記録媒体の衝突に伴う損傷を防止するため、浮
動へラドスライダを使用する。すなわち磁気へラドスラ
イダが、磁気記録媒体との接触による111M、摩耗お
よび/または両者の表面との相対速度により、両者の間
隙に発生する流体力学的浮上刃を利用して、両者の微小
間隙な保持するように構成している。
一方、近年の磁気記録媒体に要求される仕様は次第に厳
しくなってきており、記録密度の高い磁性膜が要求され
る。
[発明が解決しようとする課題] 上記磁性膜を形成する材料としては、Go−Ni−t’
を合金が使用されており、基板上にN1−Pメツキ膜を
介してスパッタ等の手段で成膜することが多い、この材
料は磁性膜の保磁力を大きくすることができるが、ノイ
ズが大であると共に、高価であるという欠点がある。
このような欠点を除くために、基板上にCr膜を介して
Go−NiCr膜を成膜したものがある。このように形
成した磁性膜においては、前記の材料によるものよりコ
ストが低く、ノイズを減少することができるが、所定の
保磁力を確保するためには、基板上に形成するべき下地
膜としてのCr膜の厚さを1500〜3000Aに形成
する必要がある。従って、Cr−膜の形成に要する時間
が長いため、生産性を低下させるという問題点がある。
一方このような構成とすることにより、前記Go−Ni
−Ptlliによるものよりノイズを若干改良する効果
も認められるが、未だ満足すべきレベルには到達してい
ないと共に、耐食性の点で不十分であるという問題点が
ある。
これら、下地層としてCrあるいはCr合金を用い、そ
の上にCo−Ni−Cr、 Go−Ni −PL、 G
o−PM;などの磁気記録層をスパッターして作成した
磁性層は、平均結晶粒径が500〜600人である。
これらの磁性層は、基板の面に平行な長手方向(トラッ
ク方向)に磁化されて磁気記録を持つ、この面密度を上
げて、高密度記録をするために、磁性層の保磁力Hcを
高めることが必要である。このHcを高めるには、Cr
下地層の上にスパッタされた層をエピタキシャルに成長
させる必要があり、このことはUSP4,652,49
9にも示されている。
Go金合金Cr結晶の上にエビキシャルに成長させるた
めには、下地層のCr結晶と合金の結晶粒の大きさがほ
ぼ同じでなければならない、Crの結晶粒径の大きさは
、Cr層の薄膜が薄いときは、結晶粒を綱かく、膜厚を
厚くするに従い結晶が成長して結晶粒が粗くなってくる
そこで、500〜600人の大きさの平均結晶粒径を持
つGo金合金Cr層上にエビキシャル成長させて、磁性
層を形成したとき、この磁性層が高いHaを持つために
とは、Crの厚みを厚くして、Crの結晶粒の大きさを
Co合金のそれにあわせることが必要なので、Cr層の
厚みを1500〜3000人にしてCrの結晶粒の大き
さを500〜600人にすることが行われている。
[発明が解決しようとする課題] 本発明の目的とするところは、非磁性基板上に形成した
磁性層からなる磁気記録媒体であって、この磁性層は基
板面内に磁化容易方向を有するもので、この基板と磁性
層の間のCr又はCr合金層の厚さが薄いときでも、ノ
イズが少なく、耐食性が良好で高い保磁力を有するもの
を提供することにある。ここで、基板面内に磁化容易方
向を有するとは、磁性層が基板面と平行な方向、すなわ
ち長手方向に磁化することが出来ることを意味し、Co
合金磁性層がhcp結晶構造を有する場合、そのC軸の
磁性層面内成分の大きいことを、豚味する。
本発明の他の目的は、磁気記録媒体を製造するときの生
産性のよい下地層の薄い媒体を提供することにある。
[課題を解決するための手段] 上記した本発明の目的は、磁気記録媒体の磁性層の材料
として平均結晶粒度の綱かいものを採用することによっ
て達成される。
本発明の磁気記録媒体に用いられる磁性層の材料は、C
rあるいはCr合金下地層上に蒸着成長させたとき、1
00〜300人の平均結晶粒径を有するもので、5〜1
5at%のCr、1〜8at%Ta及び残部実質的にG
oからなる組成のものが適切である。
本発明の磁気記録媒体においては、基板としてはアルミ
ニウム又はA1−3〜6wt%Mg合金の円盤の上に、
下地層が付けられたものが適切であり、下地層としては
Cr又はCr合金が適している。この下地層として、N
iPのメツキ膜の上にOr又はCr合金スパッタ層を付
けたものも使うことが出来る。
本発明のように、微細なGo金合金磁性層として用いる
場合、Cr又はCr合金下地層の厚さは1000Å以下
、望ましくは300−1000人が適当である。1oo
oÅ以下の厚さのCr下地層をスパッターでイ・jけた
上に、微細なGo金合金蒸着成長させると、Co合金の
磁化容易方向が基板面内に向くようになり、高い保磁力
が得られ、長手方向磁気記録に適した媒体となる6[実
施例] マグネシウムを4重量%含有するアルミニウム合金から
なる基板の表面を旋削加工により平滑に形成し、外径9
5N、内径25画、厚さ1.27閣の基板とした1次に
この基板の表面にN1−P合金からなるメツキ膜を5〜
154の厚さに形成し、磁気記録媒体の起動時及び停止
時における磁気ヘッド若しくはスライダとの接触摺動(
Con tac tStart and 5top、以
下CSSと記す)特性を確保する。上記のように被着し
たメツキ膜の表面を平滑に研磨すると共に、磁気ヘッド
若しくはスライダとの吸若を防止するためのテクスチャ
ー加工を施す0次に基板を洗浄後、例えばDCマグネト
ロンスパッタ装置により、第1表のNo、0がら12に
示すように、Crからなる下地膜と、Go−Cr−Ta
合金からなる磁性膜とCからなる保護膜とを順次積層し
て成膜する。この場合、F地膜の成膜には、スパッタ室
内をl X i O’Torr以ドに排気後、基板を2
00℃において30分間加熱し、Arガスを導入してス
パッタ室内を5 ffITorrに保持し、投入電力2
000W、成膜速度400A/分の条件により、第1表
に示す膜厚の下j8膜を成膜した0次にこの下地膜の上
にCo−Cr−’raTa合金なる磁性膜を上記同様に
して、投入電力2000W、成膜速度1000A/分の
条件で600人の膜厚に成膜した。なお保護膜は投入電
力1000W、成膜速度80人/分の条件で、前記磁性
膜上に膜厚300人で成膜した。
次に比較のために、従来材であるCo□N1゜Pt、、
合金(No、 16)およびC/ O@ 1 N l 
s a Cr y合金(No、13〜15)を磁性膜と
するものを作製した。
上記のようにして作製した磁気記録媒体の表面に液体潤
滑剤を塗布し、3.5 i nφディスクドライブに装
着して周波数O〜lOMHzにおけるS/N比および耐
食性の測定を行った結果を第1表に併記する。この場合
、耐食性は、80℃、80%R、I(、の雰囲気に10
0時間放置した後のエラー増加数で表す、なお、測定に
際して使用した磁気ヘッドは、M n −Z nミニモ
ノリシック型(トラック幅20−)であり、スライダ幅
61〇−、ジンバルはね圧9.5gf、半径24 ws
の部位における浮上i0.2.、磁気記録媒体の回転数
240Or、p、mの条件で測定した。S/N比の測定
は、まずリニアデンシティ30KPCI  (または任
、はの密度にて)で書き込み、0〜IOMH2の帯域で
ノイズを含まず再生信号をスペクトラムアナライザーに
より測定する。次に、使用した測定機器のヘッドを含も
ノイズを同一測定条件および同一機器を用いて測定し、
さら門こ、r m s ’&圧計を使用してノイズ電力
を測定し、較正用データとする。媒体ノイズは再生時の
ノイズより測定機器ノイズを差し引いた値をrmsm較
値較正−タと比較参照し算出する。
このような方法により媒体のS/N比を求めた。
従来材の(:、 o、、Ni、、Cr、及びGo、、N
i、Pt+sのものは、飽和磁束密度が高いが、S/N
比、耐食性に劣っている。CoNiCrはCr下地層を
2000人以上に厚くすることによって保磁力を上げら
れることがわかる。
本発明のGo−Cr−Ta材は平均結晶粒度が100〜
300人と綱がいもので、Cr下地層の厚みを20OA
から成年に厚くすることで、保磁力も上昇することがわ
かる。しかし、Cr T:地層を1300Aの厚さにし
たもの(No、6)は結晶粒が少し大きくなり、S/N
比が悪くなっている。
Cr下地層の厚さが300〜1000人のとき(No、
1〜5)、保磁力が大きく、S/Nも良好である。Cr
が5at%未滴のNo、8、Ta址の不足しているNo
、lOlまた1゛aが過剰のNo、12は、Cr下地層
の厚さが適当であってもS/N比が低い。
CrやTa量が過剰のもの(No、9〜12)は4πM
sが低いa T a +Cr量の低いものは耐食性に劣
る。上記の実験とほぼ同一の条件にて、G o、。
(/ r 、T a @合金とCooNi、ecr、合
金の磁性層を下地層上に形成したもので、Cr下地層の
厚さを変化させたものの保磁力と下地層の厚さとの関係
を示したのが第1図である。平均結晶粒径の大きいCo
NiCr合金は、Cr下地層を1500Å以上にしてH
c8000e以上の特性が得られているが、平均結晶粒
径の小さいCoCrTa合金の場合、300A以上でH
c8000e以上が得られている。
本実施例においては、下地膜を形成する材料としてCr
を使用した例を示したが、Crの他に、Cr−Mo、C
r−V、Cr−Mn等のCr合金によって形成してもよ
い、また磁性膜を形成する材料としては、にr5〜15
%、Ta1〜8%。
Cobal、 を基本組成とする合金に他の元素を含有
させたCoCr−Ta系合金を使用することができる。
更に基板を形成する非磁性祠料としては本実施例以外の
他の金属材料および非金属材料を使用することができる
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明に使用される磁性層CCo**Cr、
、T a、)と従来の磁性層(Coss Nms Cr
 t)の保磁力HC(Oe)とCr下地層の厚さ(A)
の関係を示すグラフである。 00 eil!藺の浄書(内■に変更なし) 第1図 000 150゜ CrM厚 (ム) 手 続 補 正 =1 四 (方式) 1、事件の表示 平成 年 特 許 願 第 7758 号 2、発明の名称 磁気記録媒体 3、補正をする者 事件との関係 特 許 出 願 人 住 所 東京都千代田区丸の内二丁目1番2号 平成2年7月24日(発送口) 5、補正の対象

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)非磁性材料からなる基板、この基板上に形成され
    厚さが300〜1000ÅであるCr金属あるいはCr
    合金から出来た下地層、下地層上に蒸着成長させ、5〜
    15at%のCr、1〜8at%Ta及び残部実質的に
    Coからなる組成を有し、上記基板面内に磁化容易方向
    を有する磁気記録層を有する磁気記録媒体。
  2. (2)非磁性材料からなる基板、この基板上に形成され
    厚さが300〜1000ÅであるCr金属あるいはCr
    合金から出来た下地層、下地層上に蒸着しエピタキシャ
    ル成長された、5〜15at%のCr、1〜8at%T
    a、及び残部実質的にCoからなる組成を有し、上記基
    板面内に磁化容易方向を有する磁気記録層を有する磁気
    記録媒体。
  3. (3)非磁性材料からなる基板、この基板上に形成され
    、厚さが300〜1000ÅであるCr金属あるいはC
    r合金から出来た下地層、下地層上に蒸着成長させた1
    00〜300Åの平均結晶粒径を持ったCo合金で、上
    記基板面内な磁化容易方向を有する磁気記録層を有する
    磁気記録媒体。
JP2077758A 1989-04-26 1990-03-27 磁気記録媒体 Expired - Lifetime JP2513893B2 (ja)

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JP1-106703 1989-04-26
JP10670389 1989-04-26

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