JPH01137534U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01137534U JPH01137534U JP3335788U JP3335788U JPH01137534U JP H01137534 U JPH01137534 U JP H01137534U JP 3335788 U JP3335788 U JP 3335788U JP 3335788 U JP3335788 U JP 3335788U JP H01137534 U JPH01137534 U JP H01137534U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microscope
- probe device
- down mechanism
- explanatory diagram
- observed
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は、本考案のプローブ装置の一実施例を
説明するための概略説明図、第２図は第１図の上
下機構の第１操作支杆と第２操作支杆を説明する
ための説明図、第３図は第１図の上下機構の構成
を説明する説明図、第４図は、本考案のプローブ
装置をウエハプローバに用いた一実施例を説明す
る概略外観説明図である。 １……ウエハプローバ、２……ローダ部、３…
…第１ステージ、４……第２ステージ、５……観
察部、５ａ……マイクロスコープ、６……旋回部
、６ａ……旋回アーム、８……上下機構、９……
ガイド部材、１０……マイクロスコープ取付台、
１１……引張バネ、１２……第１操作支杆、１２
ａ……端部、１２ｂ……スタツド、１２ｃ……他
端、１３……固定板、１４……側壁板、１５……
最上位置、１５ａ……溝部（最上位置用）、１６
……最下位置、１６ａ……溝部（最下位置用）、
１７……第２操作支杆。
説明するための概略説明図、第２図は第１図の上
下機構の第１操作支杆と第２操作支杆を説明する
ための説明図、第３図は第１図の上下機構の構成
を説明する説明図、第４図は、本考案のプローブ
装置をウエハプローバに用いた一実施例を説明す
る概略外観説明図である。 １……ウエハプローバ、２……ローダ部、３…
…第１ステージ、４……第２ステージ、５……観
察部、５ａ……マイクロスコープ、６……旋回部
、６ａ……旋回アーム、８……上下機構、９……
ガイド部材、１０……マイクロスコープ取付台、
１１……引張バネ、１２……第１操作支杆、１２
ａ……端部、１２ｂ……スタツド、１２ｃ……他
端、１３……固定板、１４……側壁板、１５……
最上位置、１５ａ……溝部（最上位置用）、１６
……最下位置、１６ａ……溝部（最下位置用）、
１７……第２操作支杆。
Claims (1)
- ウエハ面上で、上下機構によつて接近させて観
察するマイクロスコープを備えたプローブ装置に
おいて、上記マイクロスコープと連動した操作支
杆を操作される側にそれぞれ設けたことを特徴と
するプローブ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3335788U JPH01137534U (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3335788U JPH01137534U (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01137534U true JPH01137534U (ja) | 1989-09-20 |
Family
ID=31260025
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3335788U Pending JPH01137534U (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01137534U (ja) |
-
1988
- 1988-03-14 JP JP3335788U patent/JPH01137534U/ja active Pending