JPH01139993U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01139993U JPH01139993U JP1988036006U JP3600688U JPH01139993U JP H01139993 U JPH01139993 U JP H01139993U JP 1988036006 U JP1988036006 U JP 1988036006U JP 3600688 U JP3600688 U JP 3600688U JP H01139993 U JPH01139993 U JP H01139993U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- condensing lens
- laser beam
- laser
- ceramic substrate
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示す縦断面図である
。 １……第２のノズル、２……集中して吹き出す
エア、３……飛び散り、４……ノズル、５……セ
ラミツク基板、６……照射部、７……吹き付けエ
ア、８……短焦点の集光レンズ、９……レーザ光
。
。 １……第２のノズル、２……集中して吹き出す
エア、３……飛び散り、４……ノズル、５……セ
ラミツク基板、６……照射部、７……吹き付けエ
ア、８……短焦点の集光レンズ、９……レーザ光
。
Claims (1)
- レーザ光を集光しアルミナセラミツク基板に照
射する集光レンズと、前記集光レンズの下部に配
置された第１のノズルと、前記第１のノズルの下
面にノズルの吹き出し穴に極力近づけて配置され
、前記第１のノズルの下面をレーザ光と直角の方
向にレーザ光のＯＮ／ＯＦＦに同期して集中した
エアーを吹き付けることができる第２のノズルを
有することを特徴とするＣＯ２レーザ加工機の加
工ヘツド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988036006U JPH01139993U (ja) | 1988-03-17 | 1988-03-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988036006U JPH01139993U (ja) | 1988-03-17 | 1988-03-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01139993U true JPH01139993U (ja) | 1989-09-25 |
Family
ID=31262627
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988036006U Pending JPH01139993U (ja) | 1988-03-17 | 1988-03-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01139993U (ja) |
-
1988
- 1988-03-17 JP JP1988036006U patent/JPH01139993U/ja active Pending