JPH0114168B2 - - Google Patents
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- JPH0114168B2 JPH0114168B2 JP57208958A JP20895882A JPH0114168B2 JP H0114168 B2 JPH0114168 B2 JP H0114168B2 JP 57208958 A JP57208958 A JP 57208958A JP 20895882 A JP20895882 A JP 20895882A JP H0114168 B2 JPH0114168 B2 JP H0114168B2
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- JP
- Japan
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- particle size
- silicon carbide
- type silicon
- carbide powder
- powder
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- Expired
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- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 19
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 150000004756 silanes Chemical class 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 9
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 3
- 238000000815 Acheson method Methods 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 1
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Description
本発明は、β型炭化ケイ素粉末の製造方法に関
する。 炭化ケイ素粉末を得るには、従来、アチソン法
によつて得られた塊状の炭化ケイ素を粉砕した
り、SiガスとＣを含むガスとをプラズマ雰囲気下
で反応合成する方法が知られている。 しかし、前者の方法で得られる粉末は、微粉が
得にくいばかりでなく、粒径の揃つたものの入手
が困難であつた。 又、後者の方法で得られる粉末は、微粉が得ら
れるものの、0.1μとあまりにも細かすぎ、好まし
い焼結強度を有する焼結体とすることが困難であ
つた。 一方、本発明者は、焼結に際し、原料となる炭
化ケイ素粉末の性状について種々検討したとこ
ろ、平均粒径0.2〜0.7μ、粒子の最大粒径と最小
粒径との比率の平均が1.1〜1.4であるβ型炭化ケ
イ素粉末が、成形性及び焼結強度等の点で優れて
いることを見い出した。 本発明は、上記知見に基づいてなされたもの
で、平均粒径0.2〜0.7μ、粒子の最大粒径と最小
粒径との比率の平均が1.1〜1.4であるβ型炭化ケ
イ素粉末を得るに際し、ハロゲン化シランを蒸気
化し、H2ガス雰囲気中において1550〜2100℃の
温度で熱分解する方法である。 上記手段においては、所望のβ型炭化ケイ素粉
末が連続的に形成される。 1550℃未満の温度では、β型炭化ケイ素粉末の
収率が悪く、2100℃を越える温度では、β型炭化
ケイ素の粉末が極端に細かくなり、かつ熱エネル
ギーが必要以上に多くなり好ましくない。 以下、本発明の実施例を説明する。 実施例 ハロゲン化シラン（CH3SiCl3）を蒸気化し、
アルゴンガスをキヤリヤーガスとして1550〜2100
℃の反応室にH2ガスと共に導入した。ノズル前
方でβ型炭化ケイ素粉末が連続的に形成され、反
応室内に堆積した。 反応室の温度を1550℃未満としたものでは、粉
末の収率が悪く、又、2100℃を超えたものでは、
粉末が極端に細かくなり、かつ熱エネルギーを多
く必要とした。 得られたβ型炭化ケイ素粉末を、アチソン法に
よる粉砕粉（比較例１，２）、プラズマ法による
粉末（比較例３）、低温（1500℃）で合成した粉
末（比較例４）と共に、それぞれの平均粒子径、
粒子の最大直径と最小直径の比の平均値を測定し
たところ、次表のようになり、これらの粉末を用
いた焼結体の粘結剤添加率、強度は同表のように
なつた。
する。 炭化ケイ素粉末を得るには、従来、アチソン法
によつて得られた塊状の炭化ケイ素を粉砕した
り、SiガスとＣを含むガスとをプラズマ雰囲気下
で反応合成する方法が知られている。 しかし、前者の方法で得られる粉末は、微粉が
得にくいばかりでなく、粒径の揃つたものの入手
が困難であつた。 又、後者の方法で得られる粉末は、微粉が得ら
れるものの、0.1μとあまりにも細かすぎ、好まし
い焼結強度を有する焼結体とすることが困難であ
つた。 一方、本発明者は、焼結に際し、原料となる炭
化ケイ素粉末の性状について種々検討したとこ
ろ、平均粒径0.2〜0.7μ、粒子の最大粒径と最小
粒径との比率の平均が1.1〜1.4であるβ型炭化ケ
イ素粉末が、成形性及び焼結強度等の点で優れて
いることを見い出した。 本発明は、上記知見に基づいてなされたもの
で、平均粒径0.2〜0.7μ、粒子の最大粒径と最小
粒径との比率の平均が1.1〜1.4であるβ型炭化ケ
イ素粉末を得るに際し、ハロゲン化シランを蒸気
化し、H2ガス雰囲気中において1550〜2100℃の
温度で熱分解する方法である。 上記手段においては、所望のβ型炭化ケイ素粉
末が連続的に形成される。 1550℃未満の温度では、β型炭化ケイ素粉末の
収率が悪く、2100℃を越える温度では、β型炭化
ケイ素の粉末が極端に細かくなり、かつ熱エネル
ギーが必要以上に多くなり好ましくない。 以下、本発明の実施例を説明する。 実施例 ハロゲン化シラン（CH3SiCl3）を蒸気化し、
アルゴンガスをキヤリヤーガスとして1550〜2100
℃の反応室にH2ガスと共に導入した。ノズル前
方でβ型炭化ケイ素粉末が連続的に形成され、反
応室内に堆積した。 反応室の温度を1550℃未満としたものでは、粉
末の収率が悪く、又、2100℃を超えたものでは、
粉末が極端に細かくなり、かつ熱エネルギーを多
く必要とした。 得られたβ型炭化ケイ素粉末を、アチソン法に
よる粉砕粉（比較例１，２）、プラズマ法による
粉末（比較例３）、低温（1500℃）で合成した粉
末（比較例４）と共に、それぞれの平均粒子径、
粒子の最大直径と最小直径の比の平均値を測定し
たところ、次表のようになり、これらの粉末を用
いた焼結体の粘結剤添加率、強度は同表のように
なつた。
【表】
比較例１及び２のものは、強度のバラツキが大
きく、得られる製品の信頼性に欠け、比較例３の
ものは、粒径が細かすぎ作業性も困難であつた。
又、比較例４のものは粒径が大きく強度が低かつ
た。 以上のように本発明によれば、成形性、焼結体
の強度や均質性等に優れる、平均粒径0.2〜0.7μ、
粒子の最大粒径と最小粒径との比率の平均が1.1
〜1.4であるβ型炭化ケイ素粉末を連続的に製造
することができる。
きく、得られる製品の信頼性に欠け、比較例３の
ものは、粒径が細かすぎ作業性も困難であつた。
又、比較例４のものは粒径が大きく強度が低かつ
た。 以上のように本発明によれば、成形性、焼結体
の強度や均質性等に優れる、平均粒径0.2〜0.7μ、
粒子の最大粒径と最小粒径との比率の平均が1.1
〜1.4であるβ型炭化ケイ素粉末を連続的に製造
することができる。
Claims (1)
- １ 平均粒径0.2〜0.7μ、粒子の最大粒径と最小
粒径との比率の平均が1.1〜1.4であるβ型炭化ケ
イ素粉末を得るに際し、ハロゲン化シランを蒸気
化し、H2ガス雰囲気中において1550〜2100℃の
温度で熱分解することを特徴とするβ型炭化ケイ
素粉末の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57208958A JPS59102809A (ja) | 1982-11-29 | 1982-11-29 | β型炭化ケイ素粉末の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57208958A JPS59102809A (ja) | 1982-11-29 | 1982-11-29 | β型炭化ケイ素粉末の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59102809A JPS59102809A (ja) | 1984-06-14 |
| JPH0114168B2 true JPH0114168B2 (ja) | 1989-03-09 |
Family
ID=16564961
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57208958A Granted JPS59102809A (ja) | 1982-11-29 | 1982-11-29 | β型炭化ケイ素粉末の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59102809A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE112014007284B4 (de) | 2014-12-25 | 2023-03-02 | Ykk Corporation | Reißverschlusskette, mit der Reißverschlusskette versehener Reißverschluss und Herstellungsverfahren für die Reißverschlusskette |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FI82231C (fi) * | 1988-11-30 | 1991-02-11 | Kemira Oy | Foerfarande foer framstaellning av keramraomaterial. |
| JP5630333B2 (ja) | 2011-03-08 | 2014-11-26 | 信越化学工業株式会社 | 易焼結性炭化ケイ素粉末及び炭化ケイ素セラミックス焼結体 |
-
1982
- 1982-11-29 JP JP57208958A patent/JPS59102809A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE112014007284B4 (de) | 2014-12-25 | 2023-03-02 | Ykk Corporation | Reißverschlusskette, mit der Reißverschlusskette versehener Reißverschluss und Herstellungsverfahren für die Reißverschlusskette |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59102809A (ja) | 1984-06-14 |
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