JPH01142594A - マトリクス型画像表示装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、フラットデイスプレィに関するものであり、
とくにマトリクス型画像表示装置または開用要部装置に
おいて有効な製造方法に関するものである。

従来の技術 近年の微細加工技術および材斜技術の進歩によって液晶
パネルによってテレビ画像を提供することが可能となシ
、一部は商品化されている。液晶パネルでは画素毎にス
イッチング素子を内蔵した、言わゆるアクティブ型にな
ると高いコントラスト比も得られ、はぼＣＲＴと同等の
画質が実現している。

このような液晶パネルはマトリクス型画像表示装置とも
呼ばれるが、その理由は提供される画面が縦（走介）方
向には１２０〜４８０本の走査線と横方向には２４０〜
７２０本の信号線との交点に独立した非常に多くの画素
が配列（行列）しているからである。

周知の如く、画像表示装置は人間の視覚という高感度の
センサによって識別される対象であるから各種の欠陥に
対しては非常に唐しい制約が課せられ、線欠陥はもちろ
ん点欠陥でもＣＲＴとの比較では非常に難しい。

点欠陥の検査については、半導体メモリにたとえればフ
ルビットの検査に相当し、画像表示デバイスの構造によ
っても異なるが、−船釣に言って検査時間は長くな）か
つ困難でもあるので、最終工程において画像の品質を確
認する時に同時に点欠陥についても検査している。

線欠陥は画面に線状に瑠われる欠陥で、その発生理由は
以下に述べるように比較的明確である。

それは、（１）、走査線や信号線などの電極線が途中で
断線した、（２）、電極線に電気信号が到達していない
、（３）、複数の隣シ合った電極線が短絡している、（
４）−走査線と信号線が短絡している、などが主たる要
因である。

現在のところ高度に完成された検査装置は市販されてお
らず、電極線の両端に探針（プローブ）を接触させて断
線あるいは隣り同志の短絡を全ての電極線に実施する主
として断線チエツク機能を検査する簡易的なものか、あ
るいは特定の走査線または信号線、あるいは数１０本の
走査線または信号線に一斉に探針を接触して他の１本の
信号線または走査線との短絡を発見する主とし不良解析
的な評価を行うものと２通りの検査がなされている。

発明が解決しようとする問題点 画像表示装置であるから線欠陥は一本も許されないこと
ば稟実であるが、上述したように電極線を１本ずつ断線
チエツクしていくのでは検査工程の生産性の劣悪なこと
は明白であシ、あるいは走査線または信号線を全て直列
に接続しておいて一度の測定で断線チエツクを済ますと
いう先例では歩留的に問題にならない事実に直面する。

一方、本発明者は既に特願昭６１−１４５２３７号にお
いて、断線した電極線のみ両端から電気信号を供給でき
るように救済線と救済端子を内蔵したマ）　ＩＪクス型
両画像表示装置提案し、見掛は上の歩留を向上させてい
る。したがって数本までの断線は致命的な不良とはなシ
得ないわけであり、このような条件のもとでは、轟然の
ことながら効率のよい検査方法が必要である。

問題点を解決するための手段 本発明は上記した状況に君みなされたもので、マトリク
ス型画像表示装置またはマトリクス画像表示装置を構成
する要部装置にお込て、走査線および信号線を適当な本
数直列に接続してブロック化し、ブロック毎の検査が終
了した後で走査線および信号線を一本ずつ独立させると
とによって目的が達成される。

作用 本発明によれば、多数の電極線をブロック化することに
よって検査回数が飛躍的に減少し、かつ断線チエツクの
みならず走査線と信号線間の短絡検査も高速化され、検
査時間は大巾に短縮される。

実施例 第１図は例えば２４０本の走査線を６０本ずつ４ケのブ
ロックに分割しＣＧ１〜Ｇ４）、３６０本の信号線を６
０本ずつ６０ずつ６ケのブロック（８１〜Ｓｓ）に分割
して電極端子を周辺部に配置したマ）　ＩＪクス型両画
像表示装置たは開用要部装置１の平面図である。マ）　
ＩＪクス型両画像表示装置そのデバイス構造によって１
枚の基板上に走査線と信号線が同居するとは限らないが
、ここでは理解を簡単にするため１枚の基板上に両者が
形成されている。例えばＴＰＴ　（薄膜トランジスタ）
をスイッチング素子として画素毎に内蔵しているアクテ
ィブ型の画像表示装置の一例として液晶パネルを選ぶ。

そうすると中央部２はカラーフィルタで、基板１とカラ
ーフィルタ２とシール材トで構成される閉空間に液晶が
充填されていても構わないし、あるいは単に画像表示部
２としてパネル組立前のアクティブ基板１であっても構
わない。

走査線側の電極端子群３の両端には検査端子６が、そし
て信号線側の電極端子群４の両端と中央部には検査端子
６と６′がそれぞれ形成されている。

７は後述するが切断線で最終的には切断線より外側の領
域は不要となって排除される。

第２図は第１図において信号線側の電極端子群４の上下
両端部８．９を部分拡大したものであり、第３図は走査
線側の電極端子群３の先端部１０及び反対側の領域１１
を部分拡大したものである。

第２図からも分るように上側のブロック（Ｓｌ。

ＳＳ、Ｓｓ　）には奇数番号の端子群４が、そして下側
のブロック（８２，８４，ＳＳ）には偶数番号の端子群
４が配置されている。これは画質の均質化を図るためと
、信号線に電気信号を供給する駆動用半導体集積回路の
消費電力を低減させるための一般的な配置である。

本発明の主旨に従って電極端子群４の両端には検査端子
６が配置され、２ケの検査端子間の全ての信号線１４を
直列に接続するためには信号線１４の一方の端は電極端
子の一方の端に接がれ、信号線１４のもう一方の端は対
向して配置された電極端子の他方の端に接がれる必要が
あシ、電極端子群４の間隙を縫っては折り返し近接の電
極端子に接続されるリターン線１５が存在する。

一方、電極端子群を直列に接続する方法には他の方法も
考えられ、その実例を第３図で走査線側の電極端子群３
で適用してみる。この場合には電気信号は一方の側から
全て供給されるので、走査線１３の一方の端は電極端子
の一方の端に接がれ、走査線１４のもう一方の端はチャ
ネル番号が増す方向に隣りの走査線に接続されるリター
ン線１６と、電極端子のもう一方の端もチャネル番号が
増す方向に隣シの電極端子に接続されるリターン線１６
′とが存在する。

以上のようにして走査線側には４ケの電極端子群０１〜
Ｇ４に対応した検査端子が４組葎在し、信号線側には６
ケの電極端子群８１〜Ｓ６に対応した検査端子が３組（
中間端子６′の活用も考慮すれば６組）存在している。

したがって、まず各ブロック内の断線状態をチエツクし
、規定のブロック数（これは救済線の数によって決定さ
れる）が断線していなければ断線検査は合格となる。つ
ぎに走査線側の各ブロックと信号線側の各ブロックとの
間のリーク電流を測定し規定のリーク電流以下であれば
短絡検査は合格である。断線チエツクとリークチエツク
の２つの検査が合格であれば線欠陥は原理上化じない。

電気検査終了後に切断線７に沿って基板を切断し、不要
となった検査端子５．６及びリターン線ｆｆ　５　、１
６　、１６’と電極端子の一部を排除することによって
全ての電極端子は独立するので次工程へ進めるか、ある
いは最終検査であっても構わない。

切断以外にも電極端子の直列状態を解除する方法は存在
し、走査線側について第４図で本発明の池の実施例につ
いて説明する。

この場合には信号線１４は２つの隣り合ったチャネル番
号に対応した電極端子に接続されるので、隣り合った信
号線を結ぶ接続線１７が電極端子近傍にあればよい。接
続線１７の材質を適当に選ぶことによシ信号線１４を消
失することなく接続線１７を食刻で除去することは可能
であるが、必要ならば適当な絶縁膜で接続線１７をおお
い開口部１８を接続線１７上に形成しておいてもよい。

以上の説明において、電極端子、走査線、信号線及びリ
ターン線と接続線の材質についてとくに記載はしなかっ
たが、これはデバイス構造によって任意のものが選択で
きるからであり、導電性であることは言うまでもないだ
ろう。またそれら相互の接続方法や手段については話を
簡単にするため省略した。

発明の効果 以上述べたごとく、本発明によるマトリクス型画像表示
装置もしくは開用要部装置は走査線と信号線の断線試験
と短絡試験が従来に比べて１７１０以下の短時間で実施
され、検査工程の生産性の改善は著しい。また検査端子
を許される範囲で大きく（１〜３ｍｍ角）形成できるの
で検査端子と検査探針との位置合せのための機構が簡単
となり、検査機の製作費が安価になる副次的効果も大き
い。

さらに断線とシコートの発生状況が画像部において面情
報として収集できるのでデータベースに基〈統計処理か
ら不良解析や評価にも役立たせることができる。

デバイス構造によっては走査線と信号線の他にも共通ア
ース線等の導電路が存在することがあるが、同様の考え
方で対処すればよい。

マ）＋Ｊクス型両画像表示装置しては液晶パネルに限ら
ず、またアクティブ型のスイッチ素子がＴＰＴに限定さ
れるものでないことは言うまでもない。

最大の効果はマトリクス型画像表示装置として完成され
た状態でなく、要部装置として工程途中で線欠陥を有す
ると判定、されたものは除外してロスコストを抑制する
ととｋあり１例えば液晶パネルであれば高価なカラーフ
ィルタを無駄に使用することがなくなる。

【図面の簡単な説明】

ｆａ１図は本発明によるマ）　ＩＪクス型両画像表示装
置たは同月要部装置の製造方法を示す平面図、第２図〜
第４図は同装置の電極端子の要部拡大図である。 １・・・・・・マ）　ＩＪクス型両画像表示装置２・・
・・・・画像部、３・・・・・・走査線伸の電極端子、
４・・・・・・信号線側の電極端子、６．６・・・・・
・検査端子、７・・・・・・切断線、１３・・・・・・
走査線、１４・・・・・・信号線、１６．１６・・・・
・・リターン線、１７・・・・・・接続線、１８・・・
・・・開口部。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名ｌ　
−マトリクス型画蟻表系長置 ２−画酌部 ５．６−検査鵡子 第　１ｒｌ！Ｉ ３−電極皇子群

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）走査線および信号線が複数個電気的に直列に接続
   して形成され、電気検査終了後、前記電気的接続が解除
   されて全端子が独立することを特徴とするマトリクス型
   画像表示装置の製造方法。
2. （２）電気的接続の解除が基板の切断によってなされる
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のマトリク
   ス型画像表示装置の製造方法。
3. （３）電気的接続の解除が食刻による導電路の消失によ
   ってなされることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
   載のマトリクス型画像表示装置の製造方法。