JPH01143133U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01143133U JPH01143133U JP3878688U JP3878688U JPH01143133U JP H01143133 U JPH01143133 U JP H01143133U JP 3878688 U JP3878688 U JP 3878688U JP 3878688 U JP3878688 U JP 3878688U JP H01143133 U JPH01143133 U JP H01143133U
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- JP
- Japan
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- holes
- container
- rods
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 2
Description
第１図は本考案の実施例を示す斜視図、第２図
乃至第３図はロツドの一例を示す斜視図である。 １…容器（キヤリア）、２…半導体ウエハ、３
ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅ，３ｆ…穴、４…ロ
ツド。
乃至第３図はロツドの一例を示す斜視図である。 １…容器（キヤリア）、２…半導体ウエハ、３
ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅ，３ｆ…穴、４…ロ
ツド。
Claims (1)
- 半導体ウエハを収容する容器の外面に複数の穴
を穿設し、少なくとも端部を着色したロツドを前
記穴に選択的に挿入したことを特徴とする半導体
ウエハキヤリア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3878688U JPH01143133U (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3878688U JPH01143133U (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01143133U true JPH01143133U (ja) | 1989-10-02 |
Family
ID=31265324
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3878688U Pending JPH01143133U (ja) | 1988-03-23 | 1988-03-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01143133U (ja) |
-
1988
- 1988-03-23 JP JP3878688U patent/JPH01143133U/ja active Pending