JPH01144011A - ガルバノメータミラーの調整方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はガルバノメータミラーの調整方法に関し、−層
詳細には、被走査体をガルバノメータミラーによって偏
向された光ビームにより走査して画像等の読取あるいは
記録を行う光ビーム走査装置に組み込まれるガルバノメ
ータミラ−のオフセットの調整方法に関する。

［発明の背景］ 従来から、光偏向器であるガルバノメータミラーによっ
て一次元方向に偏向された光ビームにより被走査体を主
走査すると共に、この被走査体を主走査方向と略直交す
る方向（副走査方向）に相対的に移動して被走査体を二
次元的に走査するよう構成した光ビーム走査装置が各種
記録装置並びに読取装置として広汎に使用されている。

例えば、放射線画像情報が蓄積記録された蓄積性蛍光体
シートをレーザ光等の励起光により走査し放射線画像情
報を有する輝尽発光光を生じさせ、この輝尽発光光をフ
ォトマルチプライヤ等の光検出手段を用いて光電的に検
出することにより画像信号を得るように構成した放射線
画像情報読取装置がその好例と謂えよう。なお、ここで
、蓄積性蛍光体とは、放射線（Ｘ線、α線、β線、Ｔ線
、電子線および紫外線等）を照射するとこの放射線エネ
ルギの一部を蓄積し、後に可視光等の励起光を照射する
ことにより蓄積されたエネルギに応じて輝尽発光光を生
じる蛍光体をいい、また、蓄積性蛍光体シートとは当該
蓄積性蛍光体からなる層を有するシートをいう。

ところで、前記放射線画像情報読取装置においては、蓄
積性蛍光体シートを主走査する光ビームの走査線毎の読
取開始位置並びに主走査速度（読取速度）は一定である
ことが望ましい。

すなわち、走査線毎の読取開始位置く以下、単に読取開
始位置という）が一定であれば、常に、前記蓄積性蛍光
体シートの所定の位置からの画像情報が正確に得られ、
一方、主走査速度が一定であれば、画像情報の１画素あ
たりのサンプリング時間が均等となり、画像情報をムラ
なく読み取ることが出来るからである。そして、これら
読取開始位置並びに主走査速度は、夫々、光ビームを偏
向するガルバノメータミラーの位置オフセット並びに偏
向角速度に依存して変化する。

ところが、前記ガルバノメータミラーは機械的可動部分
が多い構成であるため、周囲温度等の環境条件の変動に
よって、その位置オフセットおよび偏向範囲が機械的に
僅かにずれる場合がある。この場合、機械的な僅かなず
れ、例えば、ミラーのアライメントの僅かな位置ずれ等
であっても、蓄積性蛍光体シート上の読取開始位置並び
に光ビームの走査速度は相当に変化する。

そこで、この環境条件による読取開始位置・走査速度の
変動を除去するために、次のような調整作業が遂行され
ている。すなわち、先ず、走査用の光ビームをハーフミ
ラ−等により分割してこの分割した同期用の光ビームを
光透過部と非透過部とが交互に配設されてなる明暗パタ
ーンを有する光学格子（以下、グリッドという）に導い
て走査することでパルス光を生成する。

次いで、このパルス光から得られるグリッド信号に基づ
いて同期信号を発生し、この同期信号を用いてガルバノ
メータミラーを駆動するのこぎり波状の電気信号（以下
、のこぎり波信号という）の直流オフセットおよび偏向
角速度に対応する傾斜（単位時間あたりの電流または電
圧の変化量、以下、単に走査速度という）を可変し、ガ
ルバノメータミラーの位置オフセットおよび偏向角速度
を調整している。

このように直流オフセット並びに偏向角速度を調整する
場合、前記蓄積性蛍光体シートの読取開始位置を決定す
る基準信号が必要である。

この基準信号を得る方策として、従来は前記グリッドの
端部に配設される非透過部を幅広に形成し、この幅広非
透過部を同期用光ビームで走査した後に最初に発生する
パルス光を基準信号とする方策あるいは蓄積性蛍光体シ
ートの読取開始位置に対応して同期用光ビームの走査区
域の先端位置近傍に光検出センサを配設し、この光検出
センサから得られるパルス光を基準信号とする方策等が
採用されている。

然しなから、このような方策を選択した場合において、
前記したガルバノメータミラーの初期オフセットのずれ
が相当に大きく、従って、同期用光ビームの走査域が前
記グリッド上の幅広非透過部あるいは読取開始位蓋に対
応して配設した光検出センサから外れる場合が生ずる。

この場合においては、最早、直流オフセット並びに走査
速度を調整をするための基準信号が発生しないのでガル
バノメータミラーの自動調整が出来ないという欠点が内
在している。

［発明の目的］ 本発明は前記の不都合を克服するためになされたもので
あって、前記グリッドに明暗パターンの位相変調部分を
複数個所形成し、グリッド上を同期用の光ビームで走査
することによって得られるパルスの中、前記位相変調部
分に係るパルスの数が予め設定した所定のパルス数にな
るようにガルバノメータミラーを駆動するのこぎり波信
号の直流オフセットを調整することによって、ガルバノ
メータミラーに起因する初期位置オフセットを自動的に
調整することを可能とするガルバノメータミラーの調整
方法を提供することを目的とする。

［目的を達成するための手段］ 前記の目的を達成するために、本発明はガルバノメータ
ミラーによって一次元方向に偏向された光ビームにより
被走査体を主走査すると共に、該被走査体を主走査方向
と略直交する方向に相対的に移動して被走査体を二次元
的に走査し文字情報、画像情報等の記録あるいは読取を
行うにあたり、同期用光ビームにより主走査方向に複数
の明暗パターンが形成されたグリッドを走査し該グリッ
ドを通過した光ビームを光電的に検出して同期信号を得
る光ビーム走査装置に採用されるガルバノメータミラー
の調整方法であって、前記グリッドに明暗パ゛ターンの
位相変調部をＮ個（Ｎは２以上の自然数）形成し、当該
Ｎ個の位相変調部を有するグリッドを同期用光ビームに
よって走査する際、一走査あたりの位相変調部の検出数
がＭ個（ＭはＭ≦Ｎを満足する自然数）になるようガル
バノメータミラーのオフセットを調整することを特徴と
する。

［実施態様コ 次に、本発明に係るガルバノメータミラーの調整方法に
ついてこれを実施する装置の好適な実施態様を挙げ、添
付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。

第１図において、参照符号１０は本発明に係るガルバノ
メータミラーの調整方法を実施する装置を組み込む放射
線画像情報読取装置の概略構成を示す。当該放射線画像
情報読取装置ｌＯには放射線画像情報が記録された被走
査体、例えば、副走査方向（矢印入方向）に搬送される
蓄積性蛍光体シートＳを、光ビームＬａにより走査する
レーザ走査部１２と、前記光ビームＬａによる走査で得
られた画像情報を有する光を光電変換する画像読取部１
４と、光ビームＬｂの走査位置を検出し、同期信号を発
生する同期信号発生部１６と、ガルバノメータミラー１
７を駆動するガルバノメータミラーの駆動部１８と、前
記画像読取部１４からの信号を同期信号に基づきデジタ
ル画イ象情報に変換して図示しない画像メモリに蓄積す
る信号処理部２０とから基本的に構成される。

そこで、レーザ走査部１２のレーザ光源２２から発せら
れた光ビームＬはビームエキスパンダ２４を通過して所
望の太さのビーム径に形成された後、矢印Ｂ方向に揺動
動作して光ビームＬを反射する前記ガルバノメータミラ
ー１７に入射して反射偏向される。

前記ガルバノメータミラー１７の揺動動作により反射偏
向された光ビームＬは光路中に配設されたｆθレンズ等
の走査レンズ２６を通過した後、光路上に主走査方向に
延在して配設されたハーフミラ−２８に入射する。この
ハーフミラ−２８は入射した光ビームＬの中、走査に必
要な量の光ビームを走査用の光ビームＬａとして反射し
、残りの光ビームを同期用の光ビームＬｂとして透過さ
せる。前記ハーフミラ−２８により反射された光ビーム
Ｌａは光路上に配設された蓄積性蛍光体シー）Ｓ上で集
束し、蓄積性蛍光体シートＳ上を主走査方向（矢印Ｃ方
向）に走査する。

前記画像読取部１４は光ビームＬａによって励起された
蓄積性蛍光体シートＳから発生される輝尽発光光を集光
する光ガイド３０と、集光された輝尽発光光を光電変換
するフォトマルチプライヤ３２とを含む。この場合、光
ガイド３０における輝尽発光光の受光面は蓄積性蛍光体
シートＳに近接してその主走査方向に沿って配置されて
いる。前記フォトマルチプライヤ３２の光電変換後の電
気信号は前記信号処理部２０の中、ログアンプ３３を介
してＡ／Ｄ変換器３４の信号入力端子に導入される。

一方、同期信号発生部１６は前記ハーフミラ−２８を通
過した光ビームＬｂを透過させる透過部３６ａ、後述す
る幅広の透過部３６Ｃおよびこの光ビームＬｂを反射さ
せる非透過部３６ｂからなる明暗パターン３７が前記光
ビームＬｂの走査方向く矢印Ｆ方向）に沿って交互に配
設されてなるグリッド３６と、前記グリッド３６の後方
に沿って配設される円柱状の光ガイド３８と、前記光ガ
イド３８の両端部に設けられグリッド３６から透過した
光ビームＬｂを検出する光センサ４０ａ、４０ｂと当該
光センサ４Ｑａ、４０ｂから出力される基準グリッド信
号Ｇ、を波形整形する波形整形回路４２と、波形整形回
路４２からの波形整形後の出力信号であるグリッドクロ
ックＧｃに基づいて同期クロックＴＲを発生する同期信
号発生回路４４とから構成される。

この場合、前述のように前記走査用の光ビームＬａは蓄
積性蛍光体シートＳ上において主走査方向の所定の位置
から実質的な読取（以下、有効走査という）を開始する
必要があり、各走査線毎に有効走査の始点が同一位置に
制御される必要がある。そこで、本装置においては、前
記グリッド３６の明暗パターン３７を第２図ａに示す特
徴的な構成として始点制御を行うようにしている。すな
わち、グリッド３６の明暗パターン３７は基本的には同
期用光ビームＬｂを透過させる標準幅の透過部３６ａと
同期用光ビームＬｂを遮る非透過部３６ｂが一定のピッ
チで交互に形成されているが、所定間隔毎にこれらの部
分とはピッチが異なる、すなわち、位相変調された幅広
の透過部３６ｃが形成される構成としている。

なお、本実施態様において、前記幅広透過部３６ｃの数
Ｎは４個としている。この幅広透過部３６Ｃの数Ｎは、
後述するように、本発明を実施するためには最低限２個
必要であり、後述する理由により３個以上形成すればさ
らに好適である。

一方、前記同期信号発生回路４４からの同期クロックＴ
Ｒは前記Ａ／Ｄ変換器３４の同期信号入力端子に導入さ
れる。この場合、前記同期信号発生回路４４は、例えば
、周波数シンセサイザとして構成され、グリッドクロッ
クＧ、を所定倍数逓倍した、所謂、画素クロックに対応
する同期クロックＴ、を発生する。

第３図は前記駆動部１８の概略構成を示すブロック図で
ある。駆動部１８は同期信号発生回路４４で生成される
同期クロックＴ、を利用してグリッドクロックＧ、に含
まれる幅広透過部３６Ｃに係る位相変調されたパルスＰ
１を検出し、変調部に対応するパルスＧ、（以下、変調
検出パルスという）を出力する変調検出部５０と、前記
変調検出パルスＧＨを基にガルバノメータミラー１７の
揺動動作オフセット分を検出するオフセット検出部５２
と、グリッドクロックＧｃの所定のパルス数を発生する
時間に基づいてガルバノメータミラー１７の走査速度を
検出する速度検出部５４と、前記オフセット検出部５２
と速度検出部５４の出力信号から所定のオフセットデー
タＤ。ＰＦ　と所定の速度データＩ）ｓｐをＤ／Ａコン
バータ５６．５８に夫々送給する制御部６０と、Ｄ／Ａ
コンバータ５８の出力信号を積分してのこぎり波信号を
発生するのこぎり波発生器である積分器６２と、当該積
分器６２の出力信号と前記Ｄ／Ａコンバータ５６の出力
信号を加算する加算増幅器６９と当該加算増幅器６９の
出力信号をガルバノメータミラー１７を駆動する所定の
駆動電流に変換するガルバドライバ７０とからなる。

本発明に係るガルバノメータミラーの調整方法を実施す
るための装置を組み込む放射線画像情報読取装置は基本
的には以上のように構成されるものであり、次にその作
用並びに効果について説明する。

本装置では、前記したように、ガルバノメータミラー１
７に係る読取開始位置Ｅｆ（第１図参照）と、当該読取
開始位置Ｅ１から読取終了位置Ｅ２に至るまでの走査速
度Ｖを決定する。この場合、読取開始位置Ｅ１　　・走
査速度Ｖの決定はガルバノメータミラー１７に供給され
る繰り返しのこぎり波信号Ｗ（第２図す参照）の調整に
よって可能である。すなわち、のこぎり波信号Ｗの振幅
ＷＡが全走査区間Ｅｃ（第１図参照）に対応することを
考慮すれば、のこぎり波信号Ｗの直流オフセラ）Ｗａの
調整によって読取開始位置Ｅ。

が決定出来、のこぎり波信号Ｗの傾斜、すなわち、走査
期間Ｔ。内の振幅変化ＷＡ（以下、単に振幅ＷＡ　とい
う）を調整することによって所定の読取速度Ｖが決定出
来ることが容易に諒解されよう。

そこで、先ず、前記制御部６０において直流オフセラ）
Ｗａと振幅Ｗ、の初期値が適当に設定され、当該設定値
に係るのこぎり波信号Ｗがガルバドライバ７０からガル
バノメータミラー１７に供給されるものとする。

再び第１図において、レーザ光源２２から発せられた光
ビームＬはのこぎり波信号Ｗが供給されたがルバノメー
タミラ−１７によって矢印Ｂ方向に偏向される。このよ
うに偏向された光ビームＬの中、走査レンズ２６、ハー
フミラ−２８を通過した光ビームＬｂはグリッド３６上
を矢印Ｆ方向に走査する。この場合、グリッド３６の標
準幅の透過部３６ａ並びに幅広透過部３６ｃを通過した
光ビームＬｂが光ガイド３８に入射し、光ガイド３８の
光ビームＬｂの入射側と反対側に形成されている拡散帯
（図示せず）により種々の異なる方向に拡散され、光ガ
イド３８内を全反射を繰り返した光ビームＬｂは光セン
サ４０ａ、４０ｂに到達し光電変換され、幅広の透過部
３６Ｃに係る幅広光パルスを含む基準グリッド信号Ｇａ
が生成される。この基準グリッド信号ＧＲはアナログ信
号であるのでタイミング信号として利用すべく、コンパ
レータを含み比較動作を行う波形整形回路４２により波
形の立ち上がり部および立ち下がり部の急峻なグリッド
クロックＧＧ（第２図Ｃ参照）に変換されて駆動部１８
および同期信号発生回路４４に導入される。

次に、ガルバノメータミラー１７の調整を実施する。な
お、当該ガルバノメータミラー１７の調整にあっては、
オフセットの調整と走査速度に係る振幅の調整とは互い
に独立なものでなく、一方を調整すると他方が所定量変
動するので、このオフセットの調整と振幅の調整はその
調整を何度か繰り返すことにより所定の設定範囲内に入
るように調整する。

そこで、先ず、オフセットの調整について説明する。こ
の場合、前記したように変調検出部５０には波形整形回
路４２からのグリッドクロックＧｃが導入されると共に
、同期信号発生回路４４から当該グリッドクロックＧｃ
が所定逓倍された同期クロック’ｒｉ（第２図Ｃ参照）
が導入される。第２図Ｃから諒解されるように、グリッ
ドクロックＧ０にはグリッド３６の透過部３６ａ並びに
幅広透過部３６Ｃに対応する標準パルスＰ、と幅広パル
スＰ１が存在する。従って、グリッドクロックＧ、から
幅広パルスＰ、のみを検出する変調検出部５０の構成は
標準パルスＰ、および幅広パルスＰ、の発生期間中に発
生する同期クロックＴＩＩのクロックパルスＰＣの数が
所定個数以上の数であるパルスのみを幅広パルスＰ。

とじて選択するカウンタとタイマとから構成すればよい
。このようにして変調検出部５０で検出される変調検出
パルスＧ）Ｉを第２図ｅに示す。

第２図ｅにおいては、変調検出パルスＧＨに存在するパ
ルスＰＨの数を４個全て描出しているが、今、例えば、
ガルバノメータミラー１７のオフセットずれによってグ
リッド３６上の光ビームＬｂの走査範囲が、第３図、偏
向角θ１に示すように右方にずれていて、４個目のパル
スＰＩＩ４のみしか検出出来ないものとし、この場合に
ついてのガルバノメータミラー１７のオフセットの調整
方法について述べる。

先ず、主走査全長を走査した場合、変調検出パルスＧ□
に係るパルスＰＨの全数Ｎが４個ということが予め分か
ってるのでオフセット値を徐々に減らしてその度毎にパ
ルスＰＨの数を計数しパルスＰＨの数が４個になるまで
オフセットを低減する。次に、予め蓄積性蛍光体シート
Ｓの大きさを制御部６０に図示しない入力手段から人力
することによって制御部６０において自動的に決定され
るある走査モードに対応した規定数Ｍ（この実施態様で
はＭは４以下〉の数だけパルスＰ、Ｉが検出されるよう
にオフセットを、逆に、徐々に増加する。そこで、今、
規定数Ｍが、例えば、Ｍ＝３に決定されていて、パルス
ＰＲの数が当該規定数Ｍ＝３となるまでオフセット値を
増加した後、当該規定数Ｍ＝３に対してパルスＰＨの数
がＭ−１＝２となるようにオフセット値をさらに増加し
、パルスＰＲの数がＭ−１＝２となった直後のオフセッ
ト値Ｘ□１を求める。このオフセット値ｘｍ−１はＤ／
Ａコンバータ５６に対する設定値Ｄ０７．である。

次いで、さらにオフセットを増加しパルスＰＨの数がＭ
−２＝１となるオフセット値Ｘ５−２を求める。以上の
結果より、ガルバノメータミラー１７に設定すべきオフ
セット値ｘｍをＸ、＝３／　２　Ｘ５−１−１／　２　
Ｘ、−２とする（第２図ｆに示す数直線参照）。第２図
ｆから容易に諒解されるように、オフセット値ｘｍは隣
接するパルスＰ、の略中央部に対応する値に設定してパ
ルスＰ、ｌの誤検出を回避している。

ところで、規定数Ｍが２以上の場合には、上記の手順に
よりオフセット値を調整すればよいが、規定数Ｍが１の
場合には上記の方法は採用出来ないので次に述べる方法
で行う。すなわち、規定数ＭがＭ＝１と設定された場合
、先ず、パルスＰ、！が２となるオフセット値Ｘ２を求
め、次に、オフセットを増加させてパルスＰＩ（の数が
１となるオフセット値Ｘ。を求める。この結果、オフセ
ット値Ｘ、は３／　２　ｘ２−１／　２　Ｘ３とすれば
よいことが容易に諒解されよう。

なお、以上に述べたオフセットの調整方法は光ビームＬ
ｂの走査範囲がグリッド３６の右方にずれている場合の
調整方法であるが、走査範囲が左方にずれている場合で
あっても、最初の工程、すなわち、変調検出パルスＧＨ
に係るパルスＰｏの全数を見つけるまでの工程において
オフセットを増加する方向に調整するように変更すれば
よい。

このようにしてオフセットを調整後、次に、走査速度Ｖ
を調整する。走査速度Ｖの調整は、例えば、前記変調検
出パルスＧＨの第１パルスＰＨＩが発生した後に、グリ
ッドクロックＧｃの所定数のパルスＰ、を発生する時間
が所定時間となるようにＤ／Ａコンバータ５８に設定す
べき振幅値［）ｓｐを調整すればよい。このように振幅
を調整すると、オフセットも変動するので前記したオフ
セット調整、当該速度調整を繰り返して双方共予め定め
られた設定値以内となるまで調整を行う。

以上のようにしてのこぎり波信号Ｗが適切に調整された
後、蓄積性蛍光体シートＳを設定し画像の読取を開始す
る。この場合、前記蓄積性蛍光体シートＳの表面にはレ
ーザ光源２２から射出される光ビームＬａが主走査方向
に照射され、前記蓄積性蛍光体シートＳに記録された被
写体の画像情報が輝尽発光光として取り出される。

この輝尽発光光は蓄積性蛍光体シー）Ｓの主走査方向に
配設された光ガイド３０を介してフォトマルチプライヤ
３２に入射し電気信号に変換される。そして、フォトマ
ルチプライヤ３２からの電気信号がログアンプ３３を介
してＡ／Ｄ変換器３４の信号入力端子に加えられ、この
信号が前記同期クロックＴ、の各パルス毎にＡ／Ｄ変換
される。このようにして得られた画像信号は図示しない
信号処理器によって階調処理、周波数処理等の信号処理
が施された後、フィルム等の画像記録担体上にあるいは
ＣＲＴ等の表示器上に可視像として再生される。

なお、上記実施態様は光ビーム走査装置により読取を行
う装置について説明したが、光ビーム走査によりフィル
ム等の画像記録担体上に画像記録を行う装置にも適用出
来ることは勿論である。

［発明の効果］ 以上のように、本発明によれば、位相変調部分を複数個
所形成したグリッドを同期用の光ビームで走査すること
により、得られるパルスの中、変調グリッド部分にかか
るパルスの数が予め設定した所定の数になるよう調整し
ている。このため、ガルバノメータミラーの位置オフセ
ットを正確に調整出来る。従って、このように調整され
たガルバノメータミラーを用いて被走査体の読取開始位
置あるいは記録開始位置が正確に゛得られ、その結果、
常に精緻な再生画像を得ることが出来る。

以上、本発明について好適な実施態様を挙げて説明した
が、本発明はこの実施態様に限定されるものではなく、
本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の改良並び
に設計の変更が可能なことは勿論である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るガルバノメータミラーの調整方法
を実施する放射線画像情報読取装置の概略構成図、 第２図は第１図並びに第３図に示す放射線画像情報読取
装置並びにガルバノメータミラー駆動部の各構成ブロッ
クに入出力する信号等の説明図、 第３図は第１図に示す放射線画像情報読取装置の中、ガ
ルバノメータミラー駆動部の詳細ブロック図である。 １０・・・放射線画像情報読取装置 １２・・・レーザ走査部　　　　Ｉ４・・・画像読取部
１６・・・同期信号発生部 １７・・・ガルバノメータミラー １８・・・駆動部　　　　　　　２０・・・信号処理部
２２・・・レーザ光源 ２４・・・ビームエキスパンダ ２６・・・走査レンズ　　　　　２８・・・ハーフミラ
−３０・・・光ガイド ３２・・・フォトマルチプライヤ ３４・・・Ａ／Ｄ変換器　　　　３６・・・グリッド３
６ａ・・・透過部　　　　　　３６ｂ・・・非透過部３
６ｃ・・・幅広透過部　　　　３８・・・光ガイド４０
ａ、４０ｂ・・・光センサ　　４２・・・波形整形回路
４４・・・同期信号発生回路　　５４・・・速度検出部
５６．５８・・・Ｄ／Ａコンバータ ６０・・・制御回路　　　　　　６２・・・積分器り、
Ｌａ５Ｌｂ−・・光ビーム Ｓ・・・蓄積性蛍光体シート Ｇ、・・・グリッドクロック Ｇ、・・・基準グリッド信号 ＴＲ、Ｔｓ・・・同期クロック

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）ガルバノメータミラーによって一次元方向に偏向
   された光ビームにより被走査体を主走査すると共に、該
   被走査体を主走査方向と略直交する方向に相対的に移動
   して被走査体を二次元的に走査し文字情報、画像情報等
   の記録あるいは読取を行うにあたり、同期用光ビームに
   より主走査方向に複数の明暗パターンが形成されたグリ
   ッドを走査し該グリッドを通過した光ビームを光電的に
   検出して同期信号を得る光ビーム走査装置に採用される
   ガルバノメータミラーの調整方法であって、前記グリッ
   ドに明暗パターンの位相変調部をＮ個（Ｎは２以上の自
   然数）形成し、当該Ｎ個の位相変調部を有するグリッド
   を同期用光ビームによって走査する際、一走査あたりの
   位相変調部の検出数がＭ個（ＭはＭ≦Ｎを満足する自然
   数）になるようガルバノメータミラーのオフセットを調
   整することを特徴とするガルバノメータミラーの調整方
   法。
2. （２）特許請求の範囲第１項記載の方法において、明暗
   パターンの位相変調部の数Ｎは３以上であって、前記第
   １項における調整を行った後変調検出数がＭ−１となる
   のこぎり波信号のオフセット値ｘ＿ｍ＿−＿１を測定し
   、次いで、変調検出数がＭ−２となるのこぎり波信号の
   オフセット値ｘ＿ｍ＿−＿２を測定した時、ガルバノメ
   ータミラーに印加するのこぎり波信号のオフセット値ｘ
   ＿ｍはｘ＿ｍ＝３／２ｘ＿ｍ＿−＿１−１／２ｘ＿ｍ＿
   −＿２の値を中位の値としてなるガルバノメータミラー
   の調整方法。